JP2011181899A - ダイシングシート - Google Patents
ダイシングシート Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011181899A JP2011181899A JP2011001972A JP2011001972A JP2011181899A JP 2011181899 A JP2011181899 A JP 2011181899A JP 2011001972 A JP2011001972 A JP 2011001972A JP 2011001972 A JP2011001972 A JP 2011001972A JP 2011181899 A JP2011181899 A JP 2011181899A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acrylate
- dicing sheet
- meth
- dicing
- adhesive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 54
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 41
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 32
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 28
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 claims abstract description 26
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 19
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 49
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 32
- -1 cyanurate compound Chemical class 0.000 claims description 29
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 8
- 125000000392 cycloalkenyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 claims description 3
- CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N carbon carbon Chemical compound C.C CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 31
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 11
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCCCC1 KBLWLMPSVYBVDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 4
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 3
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical class C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 2
- 0 *N(C(N(*)C(N1*)=O)=O)C1=O Chemical compound *N(C(N(*)C(N1*)=O)=O)C1=O 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002998 adhesive polymer Substances 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 description 2
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 description 1
- QWUWMCYKGHVNAV-UHFFFAOYSA-N 1,2-dihydrostilbene Chemical group C=1C=CC=CC=1CCC1=CC=CC=C1 QWUWMCYKGHVNAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propan-2-yloxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC(C)C)C(=O)C1=CC=CC=C1 MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C(C)=C WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- BUZICZZQJDLXJN-UHFFFAOYSA-N 3-azaniumyl-4-hydroxybutanoate Chemical compound OCC(N)CC(O)=O BUZICZZQJDLXJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-M Carbamate Chemical compound NC([O-])=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- QSJXEFYPDANLFS-UHFFFAOYSA-N Diacetyl Chemical group CC(=O)C(C)=O QSJXEFYPDANLFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920010126 Linear Low Density Polyethylene (LLDPE) Polymers 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008062 acetophenones Chemical class 0.000 description 1
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- KOMDZQSPRDYARS-UHFFFAOYSA-N cyclopenta-1,3-diene titanium Chemical class [Ti].C1C=CC=C1.C1C=CC=C1 KOMDZQSPRDYARS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N diphenylphosphoryl-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N edrophonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C1=CC=CC(O)=C1 BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- GFJVXXWOPWLRNU-UHFFFAOYSA-N ethenyl formate Chemical compound C=COC=O GFJVXXWOPWLRNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011086 glassine Substances 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001083 polybutene Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920006264 polyurethane film Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=C NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N propyl prop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C=C PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004053 quinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J4/00—Adhesives based on organic non-macromolecular compounds having at least one polymerisable carbon-to-carbon unsaturated bond ; adhesives, based on monomers of macromolecular compounds of groups C09J183/00 - C09J183/16
- C09J4/06—Organic non-macromolecular compounds having at least one polymerisable carbon-to-carbon unsaturated bond in combination with a macromolecular compound other than an unsaturated polymer of groups C09J159/00 - C09J187/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J133/00—Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
- C09J133/04—Homopolymers or copolymers of esters
- C09J133/06—Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical
- C09J133/062—Copolymers with monomers not covered by C09J133/06
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/20—Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
- C09J7/22—Plastics; Metallised plastics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
Landscapes
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Dicing (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
Abstract
【解決手段】基材と、その上に形成された粘着剤層とからなるダイシングシートであって、前記粘着剤層が、脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(A)と、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するシアヌレート系化合物、及び、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物から選択される少なくとも一種のエネルギー線重合性化合物(B)とを含有する粘着剤組成物からなる。
【選択図】なし
Description
(1)基材と、その上に形成された粘着剤層とからなるダイシングシートであって、
前記粘着剤層が、脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(A)と、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するシアヌレート系化合物、及び、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物から選択される少なくとも一種のエネルギー線重合性化合物(B)とを含有する粘着剤組成物からなるダイシングシート。
シクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基の炭素数が3〜12である(1)または(2)に記載のダイシングシート。
共重合体(A)は、脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む。脂環式(メタ)アクリレートとしては、具体的には、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、アダマンタン(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらの中でも脂環式(メタ)アクリレートがシクロアルキル(メタ)アクリレートまたはシクロアルケニル(メタ)アクリレートであって、シクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基の炭素数が3〜12であることが好ましく、シクロヘキシル(メタ)アクリレートが特に好ましい。脂環式(メタ)アクリレートは、1種単独で、または2種以上を組み合わせて用いてもよい。
エネルギー線重合性化合物(B)は、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するシアヌレート系化合物、及び、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物から選択される少なくとも一種の化合物であり、紫外線、電子線等のエネルギー線の照射を受けると重合硬化する化合物である。
半導体パッケージ(京セラケミカル製KE−G1250、サイズ:50mm×50mm、厚み:600μm、ダイシングシート貼付面の算術平均粗さRa:2μm)のダイシングは、株式会社ディスコ社製ダイシング装置(型番:DFD651)を用い、切断速度50mm/分、ダイシングシートの基材への切り込み深さ50μmで行った。なお、ダイシングブレードとしては、株式会社ディスコ社製ダイシングブレード:Z111OLS3を用い、ブレードの回転数を30000rpmとした。
実施例および比較例において、得られたダイシングシートの粘着力を以下のように測定した。
半導体パッケージの樹脂封止面を被着体とした以外は、JIS Z0237;2000に準じて、万能型引張試験機(株式会社オリエンテック製、TENSILON/UTM−4−100)を用いて、剥離速度300mm/分、剥離角度180°にてダイシングシートの粘着力を測定し、紫外線照射前の粘着力とした。
半導体パッケージ(京セラケミカル製KE−G1250、サイズ:50mm×50mm、厚み:600μm、ダイシングシート貼付面の算術平均粗さRa:2μm)の樹脂封止面に、実施例および比較例のダイシングシートをテープマウンター(リンテック社製:Adwill RAD2500)を用いて貼付し、ダイシング用リングフレーム(ディスコ社製:2−6−1)に固定し、半導体パッケージを1mm角の半導体部品にダイシングした。ダイシング後、ダイシングシートから飛散した半導体部品の個数を目視にて数え、0個をA、1〜2個をB、3個以上をCと評価した。
5mm角にダイシングされた半導体部品のうち、半導体パッケージの四隅の位置と中央の位置にある半導体部品(計5個)の側面に付着した粘着剤層および/または基材の一部(ダイシング屑)を光学顕微鏡により目視にて確認した。20μm以上の大きさのダイシング屑の個数を数え、20個以下をA、21個以上をBと評価した。
脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(ブチルアクリレート/シクロヘキシルアクリレート/アクリル酸=85/5/10(質量比)、重量平均分子量=71万)100質量部に対し、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物として、下記一般式(I)の化合物(重量平均分子量=861)125質量部、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学製、TETRAD−C)0.15質量部、および光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュア184」)3.75質量部を配合(全て固形分換算による配合比)し、粘着剤組成物とした。
脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(ブチルアクリレート/シクロヘキシルアクリレート/アクリル酸=80/10/10(質量比)、重量平均分子量=71万)を用いた以外は、実施例1と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(ブチルアクリレート/シクロヘキシルアクリレート/アクリル酸=60/30/10(質量比)、重量平均分子量=63万)を用いた以外は、実施例1と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(ブチルアクリレート/シクロヘキシルアクリレート/アクリル酸=50/40/10(質量比)、重量平均分子量=63万)を用いた以外は、実施例1と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(ブチルアクリレート/シクロヘキシルアクリレート/アクリル酸=45/45/10(質量比)、重量平均分子量=63万)を用いた以外は、実施例1と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物として、一般式(I)の化合物(重量平均分子量=861)を100質量部とした以外は、実施例3と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物として、一般式(I)の化合物(重量平均分子量=861)を150質量部とした以外は、実施例3と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
粘着剤層の厚みを10μmとした以外は、実施例3と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体の代わりに、アクリル系共重合体(ブチルアクリレート/アクリル酸=90/10(質量比)、重量平均分子量=60万)を用いた以外は、実施例1と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物の代わりに、脂肪族系ウレタンアクリレート(大日精化工業製、セイカビーム EXL−810TL)を用いて粘着剤組成物を得た以外は、実施例3と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物の代わりに、脂肪族系ウレタンアクリレート(大日精化工業製、セイカビーム EXL−810TL)を用いて粘着剤組成物を得、粘着剤層の厚みを30μmとした以外は、比較例1と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
粘着剤層の厚みを15μmとした以外は、比較例3と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
粘着剤層の厚みを10μmとした以外は、比較例3と同様にしてダイシングシートを得、評価を行った。結果を表1に示す。
Claims (7)
- 基材と、その上に形成された粘着剤層とからなるダイシングシートであって、
前記粘着剤層が、脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位を含む共重合体(A)と、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するシアヌレート系化合物、及び、炭素−炭素二重結合を含有する基を有するイソシアヌレート系化合物から選択される少なくとも一種のエネルギー線重合性化合物(B)とを含有する粘着剤組成物からなるダイシングシート。 - 前記脂環式(メタ)アクリレートから導かれるモノマー単位の含有量が、前記共重合体(A)100質量部に対して5〜45質量部である請求項1に記載のダイシングシート。
- 前記脂環式(メタ)アクリレートがシクロアルキル(メタ)アクリレートまたはシクロアルケニル(メタ)アクリレートであって、
シクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基の炭素数が3〜12である請求項1または2に記載のダイシングシート。 - 前記脂環式(メタ)アクリレートが、シクロヘキシル(メタ)アクリレートである請求項3に記載のダイシングシート。
- 前記粘着剤層の厚みが、8〜20μmである請求項1〜5のいずれかに記載のダイシングシート。
- 半導体チップを樹脂封止した半導体パッケージの樹脂封止面に、前記粘着剤層を貼付する請求項1〜6のいずれかに記載のダイシングシート。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011001972A JP5743555B2 (ja) | 2010-02-02 | 2011-01-07 | ダイシングシート |
KR1020110009068A KR101766399B1 (ko) | 2010-02-02 | 2011-01-28 | 다이싱 시트 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010021458 | 2010-02-02 | ||
JP2010021458 | 2010-02-02 | ||
JP2011001972A JP5743555B2 (ja) | 2010-02-02 | 2011-01-07 | ダイシングシート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011181899A true JP2011181899A (ja) | 2011-09-15 |
JP5743555B2 JP5743555B2 (ja) | 2015-07-01 |
Family
ID=44693055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011001972A Active JP5743555B2 (ja) | 2010-02-02 | 2011-01-07 | ダイシングシート |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5743555B2 (ja) |
KR (1) | KR101766399B1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013201350A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Lintec Corp | ダイシングシート |
JP2013201349A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Lintec Corp | ダイシングシート |
CN103360999A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-10-23 | 琳得科株式会社 | 粘着剂以及粘着片 |
JP2014022476A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-03 | Lintec Corp | ダイシングシート |
JP2014110366A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Lintec Corp | ダイシングシート |
WO2015002270A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | リンテック株式会社 | ダイシングシート |
JP6034522B1 (ja) * | 2016-03-17 | 2016-11-30 | 古河電気工業株式会社 | 半導体ウェハ加工用粘着テープおよび半導体ウェハの加工方法 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61133215A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 硬化性樹脂組成物 |
JPH05232701A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
JPH0729860A (ja) * | 1993-07-15 | 1995-01-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体ウエハダイシング用粘着テープ |
JPH08286372A (ja) * | 1995-04-19 | 1996-11-01 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
JP2002003795A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-09 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 新規接着剤組成物及びそれを用いた接合部材 |
JP2005268434A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Nitto Denko Corp | ダイシング・ダイボンドフィルム |
JP2007100064A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-04-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ダイシング用粘着テープ |
WO2007049519A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 |
JP2007119646A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 接着剤組成物および接着フィルム |
JP3963169B2 (ja) * | 2001-06-27 | 2007-08-22 | ダイキン工業株式会社 | 表面処理剤組成物 |
JP2007220863A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Nitto Denko Corp | 活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシートおよび被加工物の切断片のピックアップ方法 |
JP2007335643A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Nitto Denko Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2008060434A (ja) * | 2006-09-01 | 2008-03-13 | Nitto Denko Corp | 活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシートおよび被加工物の切断片のピックアップ方法 |
JP2009278066A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-26 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体用接着部材、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2010016393A (ja) * | 2009-08-27 | 2010-01-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
2011
- 2011-01-07 JP JP2011001972A patent/JP5743555B2/ja active Active
- 2011-01-28 KR KR1020110009068A patent/KR101766399B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61133215A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 硬化性樹脂組成物 |
JPH05232701A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
JPH0729860A (ja) * | 1993-07-15 | 1995-01-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体ウエハダイシング用粘着テープ |
JPH08286372A (ja) * | 1995-04-19 | 1996-11-01 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
JP2002003795A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-09 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 新規接着剤組成物及びそれを用いた接合部材 |
JP3963169B2 (ja) * | 2001-06-27 | 2007-08-22 | ダイキン工業株式会社 | 表面処理剤組成物 |
JP2005268434A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Nitto Denko Corp | ダイシング・ダイボンドフィルム |
JP2007100064A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-04-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ダイシング用粘着テープ |
WO2007049519A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 |
JP2007119646A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 接着剤組成物および接着フィルム |
JP2007220863A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Nitto Denko Corp | 活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシートおよび被加工物の切断片のピックアップ方法 |
JP2007335643A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Nitto Denko Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2008060434A (ja) * | 2006-09-01 | 2008-03-13 | Nitto Denko Corp | 活性面貼付ダイシング用粘着テープ又はシートおよび被加工物の切断片のピックアップ方法 |
JP2009278066A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-26 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体用接着部材、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2010016393A (ja) * | 2009-08-27 | 2010-01-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013201350A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Lintec Corp | ダイシングシート |
JP2013201349A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Lintec Corp | ダイシングシート |
CN103360999A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-10-23 | 琳得科株式会社 | 粘着剂以及粘着片 |
JP2014022476A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-03 | Lintec Corp | ダイシングシート |
JP2014110366A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Lintec Corp | ダイシングシート |
WO2015002270A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | リンテック株式会社 | ダイシングシート |
CN105378899A (zh) * | 2013-07-05 | 2016-03-02 | 琳得科株式会社 | 切割片 |
JPWO2015002270A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2017-02-23 | リンテック株式会社 | ダイシングシート |
CN105378899B (zh) * | 2013-07-05 | 2018-05-11 | 琳得科株式会社 | 切割片 |
JP6034522B1 (ja) * | 2016-03-17 | 2016-11-30 | 古河電気工業株式会社 | 半導体ウェハ加工用粘着テープおよび半導体ウェハの加工方法 |
WO2017159343A1 (ja) * | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 古河電気工業株式会社 | 半導体ウェハ加工用粘着テープおよび半導体ウェハの加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110090799A (ko) | 2011-08-10 |
KR101766399B1 (ko) | 2017-08-08 |
JP5743555B2 (ja) | 2015-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5128575B2 (ja) | ステルスダイシング用粘着シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP5743555B2 (ja) | ダイシングシート | |
JP6274588B2 (ja) | 保護膜形成層付ダイシングシートおよびチップの製造方法 | |
JP5603757B2 (ja) | レーザーダイシング用粘着シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP5823591B1 (ja) | 半導体ウエハ表面保護用粘着テープおよび半導体ウエハの加工方法 | |
KR101488047B1 (ko) | 다이싱-다이본딩 테이프 및 반도체 칩의 제조 방법 | |
JP6018730B2 (ja) | ダイシングシートおよび半導体チップの製造方法 | |
JP5997477B2 (ja) | 表面保護用シート | |
JP2009155625A (ja) | 保護膜、積層フィルム及びそれを用いた加工方法 | |
JPWO2014155756A1 (ja) | 粘着シートおよび保護膜形成用複合シートならびに保護膜付きチップの製造方法 | |
JP5414953B1 (ja) | ダイシングシートおよびデバイスチップの製造方法 | |
JP2004186429A (ja) | 粘接着テープ | |
JP2013199562A (ja) | ワーク加工用シート基材およびワーク加工用シート | |
JP2011178874A (ja) | 放射線硬化性粘着剤組成物、それを用いたダイシング用粘着フィルム、及び切断片の製造方法 | |
JP2014214157A (ja) | エネルギー線硬化型自発巻回性粘着テープ | |
JP2002203822A (ja) | 脆性部材の加工方法および両面粘着シート | |
JP5149888B2 (ja) | ステルスダイシング用粘着シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP5314308B2 (ja) | レーザーダイシング・ダイボンド兼用シートおよびチップ複合体の製造方法 | |
JP5945439B2 (ja) | ダイシングシート | |
WO2021065070A1 (ja) | 粘着シート及び粘着シートの製造方法 | |
JP5945438B2 (ja) | ダイシングシート | |
TWI770000B (zh) | 玻璃切割用黏著板片及其製造方法 | |
JP2016194020A (ja) | ダイシングフィルム一体型半導体用接着剤 | |
TW201927980A (zh) | 工件加工用片材及加工畢工件之製造方法 | |
JP6190134B2 (ja) | ダイシングシート用基材フィルム、ダイシングシート、ダイシングシート用基材フィルムの製造方法およびチップ状部材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131101 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20131101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150422 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150428 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5743555 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |