JP2009155625A - 保護膜、積層フィルム及びそれを用いた加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の保護膜は、(メタ)アクリル酸エステル共重合体、不飽和結合を有する放射線重合性(メタ)アクリレートを含有したフィルム状のレーザー加工用の保護膜である。他の発明である積層フィルムは、このレーザー加工用の保護膜の双方の面に積層された剥離ライナーを有する積層フィルムである。他の発明であるレーザー加工方法は、レーザー加工用の保護膜を被加工材料表面に貼り合わせる貼合工程と、レーザー加工用の保護膜を介して被加工材料にレーザー光を照射するレーザー加工工程を有するものである。
【選択図】図1
Description
本発明で使用する(メタ)アクリル酸エステル共重合体は、(メタ)アクリル酸エステル系の2種以上の単量体の共重合体である。(メタ)アクリル酸エステル系の単量体としては、例えばブチル(メタ)アクリレート、2−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、ミリスチル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸エステル共重合体はTgが−40〜−10℃の範囲のものが好適に用いられる。Tgが低いと柔らかすぎてフィルムとしてのハンドリングが悪い場合がある。Tgが高いとフィルムが硬くなり接着性が低下する場合がある。
不飽和結合を有する放射線重合性(メタ)アクリレートは、放射線による重合性を有するものであれば特に限定されないが、代表的なものとしては分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレートであるウレタンアクリレートオリゴマがあげられる。また、トリメチロールプロパントリアクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレートジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、及び、これらの化合物のアクリレート基の一部又は全部をメタアクリレート基とした化合物等も例示できる。
本発明のフィルム状保護膜を加工物の保護膜として貼り付ける方法は、例えば加工物表面にローラー等で貼り合わせる方法がある。
本発明においてフィルム状保護膜を加工物から除去する方法はフィルム状保護膜上に粘着シートを貼り合わせてから十分密着させた後、保護膜の粘着力を消失させるに十分な波長と照射量の紫外線を照射して硬化させることにより、粘着シートと一緒に剥離することが可能である。粘着シートで採用される粘着剤は、アクリル樹脂製粘着剤、天然ゴム製粘着剤等があり、保護膜の粘着力の硬化より少ない硬化反応を示す紫外線硬化型粘着剤であっても良い。
表1に記載され実施例・比較例で用いた材料を先に説明する。
(メタ)アクリル酸エステル共重合体は、ブチルアクリレート75質量%、メチルメタクリレート20質量%、2−ヒドロキシエチルアクリレート5質量%を共重合したものであり、そのガラス転移温度Tgは−32.8℃であった。
硬化剤は、トリメチロールプロパンのトリレンジイソシアネート付加物である。
剥離ライナーBは、厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に、付加反応型のシリコーン樹脂剥離層を塗布したもので、JIS Z 0237:2000 10.4.1に準じて測定した場合の保護膜層からの引き剥がし力が1000mN/50mmの重剥離グレードである。
剥離ライナーGは、厚さ50μmのポリプロピレンの一方の面に、付加反応型のシリコーン樹脂剥離層を塗布したものであり、JIS Z 0237:2000 10.4.1に準じて測定した場合の保護膜層からの引き剥がし力が300mN/50mmのものである。
剥離ライナーHは、厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの一方の面に、アルキド樹脂系剥離層を塗布したものであり、JIS Z 0237:2000 10.4.1に準じて測定した場合の保護膜層からの引き剥がし力が150mN/50mmのものである。
フィルム状保護膜Cは、(メタ)アクリル酸エステル共重合体100質量部、不飽和結合を有する放射線重合性(メタ)アクリレート100質量部及び硬化剤5質量部配合したものであり、5μmの厚さで製膜したものである。
レーザー光の光源 ;YAGレーザー
波長 ;355nm
繰り返し周波数 :50〜100kHz
出力 ;0.3〜4.0W
集光スポット径 ;φ9.2μm
加工送り速度 ;1〜800mm/秒
図1及び表1に示すように、実施例の積層フィルムは、剥離ライナー1(素材A:軽剥離)とフィルム状保護膜2(素材C)及び剥離ライナー2(素材B:軽剥離)を積層したものである。この積層フィルムから、剥離ライナー1を除去し、保護膜3をシリコンウエハにローラーを用いて貼り合わせ、その後剥離ライナー2を剥がして保護膜つきシリコンウエハ(図示省略)を作成する。
保護膜が積層されたシリコンウエハに対し、YAGレーザー(355nm)加工を行い、加工が終了した保護膜付きウエハの保護膜3に粘着シートとしてのUV硬化型ダイシングテープ(電気化学工業株式会社製エレグリップテープUHP−110M3)を貼り合わせる(図示省略、)。貼り合わせ後、ダイシングテープ背面より80W/cm2の高圧水銀ランプを用いて15秒間紫外線を照射し、保護膜を硬化させると、ダイシングテープを剥がすと保護膜3も一緒に剥がすことができた。レーザー加工周辺部を観察したところ、保護膜の残りやデブリの付着はなく良好な加工状態であった。
フィルム状保護膜Dを使用した以外は、実施例1と全く同様の試験を実施した。市販UV硬化型ダイシングテープを用いて保護膜を除去し、レーザー加工周辺部を観察したところ、保護膜の残りやデブリの付着はなく良好な加工状態であった。
フィルム状保護膜Eを使用した以外は、実施例1と全く同様の試験を実施した。市販UV硬化型ダイシングテープを用いて保護膜を除去し、レーザー加工周辺部を観察したところ、保護膜の残りやデブリの付着はなく良好な加工状態であった。
フィルム状保護膜Fを使用した以外は、実施例1と全く同様の試験を実施した。市販UV硬化型ダイシングテープを用いて保護膜を除去し、レーザー加工周辺部を観察したところ、保護膜の残りやデブリの付着はなく良好な加工状態であった。
剥離ライナーBの変わりに剥離ライナーGを使用した以外は、実施例1と全く同様の試験を実施した。市販UV硬化型ダイシングテープを用いて保護膜を除去し、レーザー加工周辺部を観察したところ、保護膜の残りやデブリの付着はなく良好な加工状態であった。
剥離ライナーBの変わりに剥離ライナーHを使用した以外は、実施例1と全く同様の試験を実施した。市販UV硬化型ダイシングテープを用いて保護膜を除去し、レーザー加工周辺部を観察したところ、保護膜の残りやデブリの付着はなく良好な加工状態であった。
水溶性保護膜をスピンコーターにてシリコンウエハに塗布、乾燥させ、厚みが3〜5μmの保護膜を形成した保護膜付きシリコンウエハを作成し、実施例1と同様の試験を実施した。レーザー加工後、純水で保護膜を洗い流して、レーザー加工周辺部を観察したところ、加工端部に一部、保護膜の剥がれとわずかなデブリが観察された。
積層に用いる剥離ライナー1、2を双方とも剥離ライナーAを使用した以外は、実施例1と全く同様の試験を実施した。保護膜層をシリコンウエハに貼り付けるために一方の剥離ライナーを除去した際、保護膜層が剥離ライナー間で延伸・破断し、均一に貼り付けることができなかった。
2 剥離ライナー
3 保護膜
Claims (8)
- (メタ)アクリル酸エステル共重合体、不飽和結合を有する放射線重合性(メタ)アクリレートを含有したフィルム状のレーザー加工用の保護膜。
- (メタ)アクリル酸エステル共重合体のガラス転移温度(Tg)が−40〜−10℃である請求項1に記載のフィルム状のレーザー加工用の保護膜。
- 請求項1又は2のいずれか記載のレーザー加工用の保護膜と、レーザー加工用の保護膜の双方の面に積層された剥離ライナーを有する積層フィルムであって、剥離ライナーのレーザー加工用の保護膜から剥離するのに必要な力(剥離力)が一方の剥離ライナーと他方の剥離ライナーとの間で差があることを特徴とする請求項1乃至2記載の積層フィルム。
- 請求項1乃至3の何れか記載のレーザー加工用の保護膜を被加工材料表面に貼り合わせる貼合工程と、レーザー加工用の保護膜を介して被加工材料にレーザー光を照射するレーザー加工工程を有するレーザー加工方法。
- 請求項3又は4のいずれか記載の積層フィルムの一方の剥離ライナーを剥離する第一剥離工程と、剥離された側のレーザー加工用の保護膜の面を被加工材料に貼り付ける貼付工程と、他方の剥離ライナーをレーザー加工用の保護膜から剥離する第二剥離工程と、保護膜を介して被加工材料にレーザー光を照射するレーザー加工工程を有するレーザー加工方法。
- 剥離ライナーのうち剥離力が低い剥離ライナーのみをレーザー加工用の保護膜から剥離した後に請求項5記載の貼合工程を行うことを特徴とするレーザー加工方法。
- レーザー加工工程後、レーザー加工用の保護膜に粘着シートを貼り合わせ、紫外線をレーザー加工用の保護膜に照射してこのレーザー加工用の保護膜の剥離力を低下させ、レーザー加工用の保護膜ごと粘着シートを剥離する保護膜剥離工程を有するレーザー加工方法。
- レーザー光の波長が380nm以下である請求項5乃至8の何れか記載のレーザー加工方法。
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