JP2011096877A - 基板ホルダ、搬送装置および貼り合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を載置するホルダ本体と、基板をホルダ本体に静電吸着させる静電吸着部と、ホルダ本体を搬送する第1の搬送部から静電吸着部へ電力を供給する第1の搬送部用端子と、第1の搬送部との間でホルダを受け渡してホルダを搬送する第2の搬送部から静電吸着部へ電力を供給し、第1の搬送用端子と異なる位置に配された第2の搬送部用端子とを備える基板ホルダが提供される。
【選択図】図5
Description
Claims (6)
- 基板を載置するホルダ本体と、
前記基板を前記ホルダ本体に静電吸着させる静電吸着部と、
前記ホルダ本体を搬送する第1の搬送部から前記静電吸着部へ電力を供給する第1の搬送部用端子と、
前記第1の搬送部との間で前記ホルダを受け渡して前記ホルダを搬送する第2の搬送部から前記静電吸着部へ電力を供給し、前記第1の搬送部用端子と異なる位置に配された第2の搬送部用端子と
を備える基板ホルダ。 - 前記第1の搬送部用端子および前記第2の搬送部用端子とは異なる位置に配され、前記第1の搬送部と前記第2の搬送部との間で前記ホルダ本体が受け渡される場合に載置されるステージから前記静電吸着部へ電力を供給するステージ用端子をさらに備える請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記第1の搬送部用端子および前記第2の搬送部用端子と、前記ステージ用端子とは、前記第1の搬送部および前記第2の搬送部の受け渡しにおける搬送方向について重ならない位置に配される請求項2に記載の基板ホルダ。
- 前記第1の搬送部用端子および前記第2の搬送部用端子の一方は、前記ステージ用端子に近接しておりかつ前記ステージ用端子よりも外側に配される請求項3に記載の基板ホルダ。
- 静電吸着により基板を保持した基板ホルダを搬送する第1の搬送部と、
前記第1の搬送部との間で前記ホルダを受け渡して、前記基板ホルダを搬送する第2の搬送部と
を備え、
前記第1の搬送部は、前記基板ホルダに配された第1の搬送部用端子に電力を供給する電力供給端子を有し、
前記第2の搬送部は、前記基板ホルダにおいて前記第1の搬送部用端子と異なる位置に配された第2の搬送部用端子に電力を供給する電力供給端子を有する搬送装置。 - 請求項5に記載の搬送装置を備え、前記基板を貼り合わせる貼り合わせ装置。
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