JP2011096877A5 - 基板ホルダ、基板貼り合わせ装置、基板ホルダ対および搬送装置 - Google Patents

Claims (13)

1. 基板を載置するホルダ本体と、
   前記基板を前記ホルダ本体に静電吸着させる静電吸着部と、
   前記ホルダ本体を搬送する第１の搬送部から前記静電吸着部の吸着のための電力が供給される第１の搬送部用端子と、
   前記第１の搬送部から前記ホルダ本体を受けて前記ホルダ本体を搬送する第２の搬送部から前記静電吸着部の吸着のための電力が供給され、前記第１の搬送部用端子と異なる位置に配された第２の搬送部用端子と
   を備える基板ホルダ。
2. 前記第１の搬送部用端子および前記第２の搬送部用端子とは異なる位置に配され、前記第１の搬送部と前記第２の搬送部との間で前記ホルダ本体が受け渡される場合に載置されるステージから前記静電吸着部へ電力を供給するステージ用端子をさらに備える請求項１に記載の基板ホルダ。
3. 前記第１の搬送部用端子および前記第２の搬送部用端子と、前記ステージ用端子とは、前記第１の搬送部および前記第２の搬送部の受け渡しにおける搬送方向について重ならない位置に配される請求項２に記載の基板ホルダ。
4. 前記第１の搬送部用端子および前記第２の搬送部用端子の一方は、他方に比べて前記ステージ用端子に近接している請求項２または３に記載の基板ホルダ。
5. 前記第１の搬送部用端子および前記第２の搬送部用端子の一方は、前記ステージ用端子よりも外側に配される請求項４に記載の基板ホルダ。
6. 基板を載置するホルダ本体と、
   前記基板を前記ホルダ本体に静電吸着させる静電吸着部と、
   前記ホルダ本体を搬送する第１の搬送部から前記静電吸着部の吸着のための電力が供給される第１の搬送部用端子と、
   前記第１の搬送部用端子と異なる位置に配され、前記ホルダ本体が載置されるステージから前記静電吸着部の吸着のための電力が供給されるステージ用端子と、
   を備える基板ホルダ。
7. 前記第１の搬送部との間で前記ホルダを受け渡して前記ホルダを搬送する第２の搬送部から前記静電吸着部へ電力を供給し、前記第１の搬送部用端子および前記ステージ用端子と異なる位置に配された第２の搬送部用端子を備える請求項６に記載の基板ホルダ。
8. 請求項１から７のいずれか一項に記載の基板ホルダに保持された前記基板と他の基板とを互いに位置合わせする位置合わせ部と、
   前記位置合わせ部で位置合わせされた前記基板と前記他の基板とを互いに貼り合わせる貼り合わせ部とを備える基板貼り合わせ装置。
9. 重ね合わされた第１の基板と第２の基板とを間に挟持した状態で搬送される第１基板ホルダおよび第２基板ホルダとを備える基板ホルダ対であって、
   前記第１基板ホルダは、
   前記第１の基板を保持する第１のホルダ本体と、
   前記第１の基板を前記第１のホルダ本体に静電吸着する第１静電吸着部と、
   前記第１静電吸着部の吸着のための電力が第１の搬送部から供給される第１の搬送部用端子と、
   前記第１の搬送部から前記基板ホルダ対を受ける第２の搬送部から前記静電吸着部の吸着のための電力が供給され、前記第１の搬送部用端子と異なる位置に配された第２の搬送部用端子とを有し、
   前記第２基板ホルダは、
   前記第２の基板を保持する第２のホルダ本体と、
   前記第２の基板を前記第２のホルダ本体に静電吸着する第２静電吸着部と、
   前記挟持した状態で、前記第２静電吸着部の吸着のための電力が前記第１の搬送部から供給される第３の搬送部用端子と、
   前記挟持した状態で、前記第２静電吸着部の吸着のための電力が前記第２の搬送部から供給され、前記第３の搬送部用端子と異なる位置に配された第４の搬送部用端子とを有する基板ホルダ対。
10. 重ね合わされた第１の基板と第２の基板とを間に挟持した状態で搬送される第１基板ホルダおよび第２基板ホルダとを備える基板ホルダ対であって、
    前記第１基板ホルダは、
    前記第１の基板を保持する第１のホルダ本体と、
    前記第１の基板を前記第１のホルダ本体に静電吸着する第１静電吸着部と、
    前記第１静電吸着部の吸着のための電力が搬送部から供給される第１の搬送部用端子と、
    前記第１の搬送部用端子と異なる位置に配され、前記第１基板ホルダおよび前記第２基板ホルダが載置されるステージから前記第１静電吸着部の吸着のための電力が供給される第１ステージ用端子とを有し、
    前記第２基板ホルダは、
    前記第２の基板を保持する第２のホルダ本体と、
    前記第２の基板を前記第２のホルダ本体に静電吸着する第２静電吸着部と、
    前記挟持した状態で、前記第２静電吸着部の吸着のための電力が前記搬送部から供給される第２の搬送部用端子と、
    前記第２の搬送部用端子と異なる位置に配され、前記挟持した状態で、前記第２静電吸着部の吸着のための電力が前記ステージから供給される第２ステージ用端子とを有する基板ホルダ対。
11. 静電吸着により基板を保持した基板ホルダを搬送する第１の搬送部と、
    前記第１の搬送部から前記基板ホルダを受けて、前記基板ホルダを搬送する第２の搬送部とを備え、
    前記第１の搬送部は、前記基板ホルダに配された第１の搬送部用端子に電力を供給する第１の電力供給端子を有し、
    前記第２の搬送部は、前記基板ホルダにおいて前記第１の搬送部用端子と異なる位置に配された第２の搬送部用端子に電力を供給する第２の電力供給端子を有する搬送装置。
12. 前記第１の搬送部は、静電吸着により他の基板を保持し、前記基板と前記基板に積層された前記他の基板とを前記基板ホルダとの間で挟持する他の基板ホルダを前記挟持した状態で搬送し、
    前記第２の搬送部は、前記第１の搬送部との間で前記基板ホルダおよび前記他の基板ホルダを前記挟持した状態で受け渡し、
    前記第１の電力供給端子は、前記挟持した状態で、前記第１の搬送部用端子と、前記他の基板ホルダに配された第３の搬送部用端子とに電力を供給し、
    前記第２の電力供給端子は、前記第２の搬送部用端子と、前記他の基板ホルダに配された第４の搬送部用端子とに電力を供給する請求項１１に記載の搬送装置。
13. 請求項１１または１２に記載の搬送装置と、前記搬送装置により搬送された前記基板と他の基板とを互いに貼り合わせる貼り合わせ部とを備える基板貼り合わせ装置。