JP2012253272A5 - 基板貼り合わせ装置及び基板搬送装置 - Google Patents

Claims (19)

1. 複数の基板を接合する接合部と、
   基板を保持する基板保持部材を前記接合部に搬送する第一の搬送部と、
   前記第一の搬送部により搬送された前記基板保持部材を前記接合部に搬送する第二の搬送部と、
   前記第二の搬送部によって前記接合部に搬入するときの前記基板保持部材の向きが前記第一の搬送部によって前記接合部に搬入するときの前記基板保持部材の向きと異なる場合に、前記基板保持部材の向きを調整する調整部と、
   を備える基板貼り合わせ装置。
2. 前記調整部は、前記基板保持部材が前記第一の搬送部から前記第二の搬送部に受け渡される前に前記基板保持部材の向きを調整する請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
3. 前記調整部は、前記基板保持部材が前記第一の搬送部から前記第二の搬送部に受け渡された後に前記基板保持部材の向きを調整する請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
4. 前記調整部は、前記基板保持部材の搬送経路に配置される請求項１から３のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
5. 前記基板保持部材が仮置きされる仮置部をさらに備え、前記調整部は前記仮置部に配されている請求項１から４のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
6. 前記調整部は、前記仮置部に仮置きされた前記基板保持部材の向きに応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項５に記載の基板貼り合わせ装置。
7. 前記第二の搬送部は、前記仮置部に仮置きされた前記基板保持部材を搬出し、前記調整部は、前記仮置部に仮置きされた前記基板保持部材の向きに対する前記仮置部からの前記第二の搬送部による前記基板保持部材の搬出方向の角度に応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項５または６に記載の基板貼り合わせ装置。
8. 前記第二の搬送部は前記基板保持部材を保持する保持部を有し、前記調整部は、前記基板保持部材を前記保持部で保持された前記保持部に対する前記基板保持部材の向きに応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項１から７のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
9. 前記調整部は、前記基板保持部材を回転させる回転部を有する請求項１から８のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
10. 前記回転部は、前記回転部に載置された前記基板保持部材の向きに応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項９に記載の基板貼り合わせ装置。
11. 前記回転部は、前記第一の搬送部から前記第二の搬送部に前記基板保持部材を受け渡すための受け渡しポートであり、前記回転部に載置された前記基板保持部材の向きに対する前記回転部からの前記第二の搬送部による搬出方向の角度に応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項９または１０に記載の基板貼り合わせ装置。
12. 前記第一の搬送部及び前記第二の搬送部の少なくとも一方は、回転することにより前記基板保持部材を搬送する搬送アームを有し、前記回転部は前記搬送アームに配される請求項９に記載の基板貼り合わせ装置。
13. 複数の前記接合部を備え、
    前記調整部は、前記複数の接合部のうち前記基板保持部材が搬入される接合部を識別し、識別した前記接合部に対応した前記基板保持部材の回転量を示す情報を受け、前記情報に基づいて前記基板保持部材の向きを調整する請求項１から１２のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
14. 前記基板保持部材は、前記基板の保持力の供給を受ける受給部を有し、前記接合部は、前記基板保持部材の前記受給部に前記保持力を供給する供給部を有し、前記基板保持部材の向きは、前記基板保持部材が前記接合部に搬入されたときに前記受給部が前記供給部に接続される向きである請求項１から１３のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
15. 前記保持力は静電力であり、前記受給部は端子である請求項１４に記載の基板貼り合わせ装置。
16. 前記接合部は、前記第一の搬送部により前記基板保持部材が搬入される第一の接合部と、前記第二の搬送部により前記基板保持部材が搬入される第二の接合部とを有する請求項１から１５のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
17. 複数の基板を接合する接合部と、
    基板を前記接合部に搬送する第一の搬送部と、
    前記第一の搬送部により搬送された前記基板を前記接合部に搬送する第二の搬送部と、
    前記第二の搬送部によって前記接合部に搬入するときの前記基板の向きが前記第一の搬送部によって前記接合部に搬入するときの前記基板の向きと異なる場合に、前記基板の向きを調整する調整部と、
    を備える基板貼り合わせ装置。
18. 基板を保持する基板保持部材を搬送する第一の搬送部と、
    前記第一の搬送部により搬送された前記基板保持部材を搬送する第二の搬送部と、
    前記第二の搬送部による搬送時の前記基板保持部材の向きが前記第一の搬送部による搬送時の前記基板保持部材の向きと異なる場合に、前記基板保持部材の向きを調整する調整部と、
    を備える基板搬送装置。
19. 基板を搬送する第一の搬送部と、
    前記第一の搬送部により搬送された前記基板を搬送する第二の搬送部と、
    前記第二の搬送部による搬送時の前記基板の向きが前記第一の搬送部による搬送時の前記基板の向きと異なる場合に、前記基板の向きを調整する調整部と、
    を備える基板搬送装置。