JP2012253272A - 基板貼り合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板貼り合わせ装置は、複数の基板を加圧して貼り合わせる第一の加圧部及び第二の加圧部と、基板を保持する基板保持部材を第一の加圧部に搬送する第一の搬送部と、第一の搬送部から基板保持部材を受け取り、第二の加圧部に搬送する第二の搬送部と、第一の搬送部から第二の搬送部への基板保持部材の受け渡しにより、第二の搬送部によって第二の加圧部に搬入される基板保持部材の向きが第一の搬送部によって第一の加圧部に搬入される基板保持部材の向きと異なる場合に、基板保持部材の向きを調整する調整部と、を備える。
【選択図】図11
Description
特許文献1 特開2009−49066号公報
Claims (21)
- 複数の基板を加圧して貼り合わせる第一の加圧部及び第二の加圧部と、
基板を保持する基板保持部材を前記第一の加圧部に搬送する第一の搬送部と、
前記第一の搬送部から前記基板保持部材を受け取り、前記第二の加圧部に搬送する第二の搬送部と、
前記第一の搬送部から前記第二の搬送部への前記基板保持部材の受け渡しにより、前記第二の搬送部によって前記第二の加圧部に搬入される前記基板保持部材の向きが前記第一の搬送部によって前記第一の加圧部に搬入される前記基板保持部材の向きと異なる場合に、前記基板保持部材の向きを調整する調整部と、
を備える基板貼り合わせ装置。 - 前記調整部は、前記基板保持部材が前記第一の搬送部から前記第二の搬送部に受け渡される前に前記基板保持部材の向きを調整する請求項1に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記調整部は、前記基板保持部材が前記第一の搬送部から前記第二の搬送部に受け渡された後に前記基板保持部材の向きを調整する請求項1に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記調整部は、前記基板保持部材の搬送経路に配置される請求項1から3のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第一の加圧部と前記第二の加圧部とを連結し、前記基板保持部材が仮置きされる連結部をさらに備え、前記調整部は前記連結部に配されている請求項1から4のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記調整部は、前記連結部に仮置きされた前記基板保持部材の向きに応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項5に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第二の搬送部は、前記連結部に仮置きされた前記基板保持部材を搬出し、前記調整部は、前記連結部に仮置きされた前記基板保持部材の向きに対する前記連結部からの前記第二の搬送部による前記基板保持部材の搬出方向の角度に応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項5または6に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第二の搬送部は前記基板保持部材を保持する保持部を有し、前記調整部は、前記基板保持部材を前記保持部で保持したときの前記保持部に対する前記基板保持部材の向きに応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項1から7のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記調整部は、前記基板保持部材を回転させる回転部を有する請求項1から8のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記回転部は、前記基板保持部材が仮置きされる回転テーブルである請求項9に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記回転テーブルは、前記回転テーブルに載置されたときの前記基板保持部材の向きに応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項10に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記回転テーブルは、前記第一の搬送部から前記第二の搬送部に前記基板保持部材を受け渡すための受け渡しポートであり、前記回転テーブルに載置されたときの前記基板保持部材の向きに対する前記回転テーブルからの前記第二の搬送部による搬出方向の角度に応じて前記基板保持部材の向きを調整する請求項10または11に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第一の搬送部及び前記第二の搬送部の少なくとも一方は、回転することにより前記基板保持部材を搬送する搬送アームを有し、前記回転部は前記搬送アームに配される請求項9に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記回転部は、前記第一の搬送部及び前記第二の搬送部の少なくとも一方に設けられ、前記基板保持部材の向きをして搬送するデュアルアームの搬送ロボットである請求項13に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記調整部は、複数の加圧部のうち前記基板保持部材が搬入される加圧部を識別し、識別した前記加圧部に対応した前記基板保持部材の回転量を示す情報を受け、前記情報に基づいて前記基板保持部材の向きを調整する請求項1から14のいずれか1項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記第一の搬送部及び前記第二の搬送部は、前記複数の基板を重ね合せた状態で搬送する請求項1から15のいずれか1項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記基板保持部材は、前記基板の保持力の供給を受ける受給部を有し、前記第一の加圧部および前記第二の加圧部は、前記基板保持部材の前記受給部に前記保持力を供給する供給部を有し、前記基板保持部材の向きは、前記基板保持部材が前記第一の加圧部および第二の加圧部に搬入されたときに前記受給部が前記供給部に接続される向きである請求項1から16のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記保持力は静電力であり、前記受給部は端子である請求項17に記載の基板貼り合わせ装置。
- 複数の前記第一の加圧部を有する第一の加圧室と、複数の前記第二の加圧部を有する第二の加圧室とを備え、前記第一の搬送部は前記第一の加圧室内に配置されており、前記第二の搬送部は前記第二の加圧室内に配置されている請求項1から18のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記調整部は、前記第二の搬送部によって前記第二の加圧部に搬入される前記基板保持部材の向きが前記第一の搬送部によって前記第一の加圧部に搬入される前記基板保持部材の向きと同一になるように前記基板保持部材の向きを調整する請求項1から19のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。
- 複数の基板を加圧して貼り合わせる第一の加圧室及び第二の加圧室と、
基板を前記第一の加圧室に搬送する第一の搬送部と、
前記第一の搬送部から前記基板を受け取り、前記第二の加圧室に搬送する第二の搬送部と、
前記第一の搬送部から前記第二の搬送部への前記基板の受け渡しにより、前記第二の搬送部によって前記第二の加圧室に搬入される前記基板の向きが前記第一の搬送部によって前記第一の加圧室に搬入される前記基板の向きと異なる場合に、前記基板の向きを調整する調整部と、
を備える基板貼り合わせ装置。
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