JP2011051025A5 - - Google Patents
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本発明の要旨構成は、次のとおりである。
(1)離間する複数のローラ間を、ワイヤをローラ軸方向に対し直交する方向に走行可能かつ並列に張り渡した多条ワイヤ群と、ワークを保持し、前記多条ワイヤ群に対し前記ワークを押し込む方向に移動するワーク保持部と、前記多条ワイヤ群に前記ワークを押し込む経路よりも少なくとも前記多条ワイヤ群の走行方向上流側から、前記多条ワイヤ群にスラリを供給するノズルとを具えたワイヤソー装置において、前記多条ワイヤ群の並列方向に延びる遮蔽板を、少なくとも前記経路に対して前記多条ワイヤ群の走行方向上流側であって前記多条ワイヤ群の上方に位置する基点にて、該基点回りに前記ワークの押し込み経路側の前記ワークに倒れ込み可能に設置したことを特徴とするワイヤソー装置。ここでいう「押し込み経路」とは、ワークを押し込んで切断作業がなされる経路を言うものである。
(1)離間する複数のローラ間を、ワイヤをローラ軸方向に対し直交する方向に走行可能かつ並列に張り渡した多条ワイヤ群と、ワークを保持し、前記多条ワイヤ群に対し前記ワークを押し込む方向に移動するワーク保持部と、前記多条ワイヤ群に前記ワークを押し込む経路よりも少なくとも前記多条ワイヤ群の走行方向上流側から、前記多条ワイヤ群にスラリを供給するノズルとを具えたワイヤソー装置において、前記多条ワイヤ群の並列方向に延びる遮蔽板を、少なくとも前記経路に対して前記多条ワイヤ群の走行方向上流側であって前記多条ワイヤ群の上方に位置する基点にて、該基点回りに前記ワークの押し込み経路側の前記ワークに倒れ込み可能に設置したことを特徴とするワイヤソー装置。ここでいう「押し込み経路」とは、ワークを押し込んで切断作業がなされる経路を言うものである。
(3)前記経路よりも前記多条ワイヤ群の走行方向下流側に、該多条ワイヤ群にスラリを供給するノズルを更に具え、該多条ワイヤ群及び該下流側のノズルの上方に、遮蔽板を、該多条ワイヤ群側を基点として前記押し込み経路側の前記ワークに倒れ込み可能に更に設置したことを特徴とするワイヤソー装置。
(6)前記(5)に記載のワイヤソー装置において、前記可撓性材料は、樹脂、金属、ゴム、又は、それらを組合せたものであることを特徴とするワイヤソー装置。
以下、この発明に従うワイヤソー装置について、図1を参照して詳しく説明する。
図1に示すように、この発明に従うワイヤソー装置1は、離間する一組のローラ2、2、2間に、ワイヤ3をローラ軸方向Xに対し直交する方向へ走行可能に張り渡すことを、ローラ軸方向に間隔を置いて繰り返してローラ軸方向に並列させた、多条ワイヤ群4と、かかる多条ワイヤ群4に対しワークWを押し込む方向にワークWを移動するワーク保持部5と、かかる多条ワイヤ群4に対しワークWを押し込む経路側よりも該多条ワイヤ群4の走行方向上流側及び下流側から、該多条ワイヤ群4にスラリを供給する一対のノズル6、6とを具えている。また、多条ワイヤ群4の上方に、多条ワイヤ群4の並列方向に延びる遮蔽板7を具える。かかる遮蔽板7は、遮蔽板固定部材70に回動可能に取り付けられており、遮蔽板固定部材70の多条ワイヤ群4側を基点としてワークWの押し込み経路側に自重により倒れ込みするものである。なお、図1に示すワイヤソー装置1は、ノズル6を上記した多条ワイヤ群4の走行方向上流側及び下流側の双方に設置しているが、これに限定されるものではなく、図示は省略するが、上流側のみにノズル6及び遮蔽板7を設置した構成とすることも可能である。図2に示すように、ワーク保持部5は、ワークWを直接保持するカーボン製の当て板8、かかる当て板8が取り付けられたワークプレート9、及び、かかるワークプレート9が取り付けられたベースプレート10により構成されている。当て板8は、例えばカーボン板とすることができ、ワークWはエポキシ接着剤等を介して当て板8に接着されている。また、ワークプレート9は、ステンレス鋼等により構成されており、当て板8とエポキシ接着剤により接着されている。上述のワイヤ3は、駆動モータ11により回転する一組のワイヤリール12、12に巻き付けられている。かかる駆動モータ11を駆動し、ワイヤリール12から繰り出され、トラバーサを介してパウダクラッチやダンサローラ等からなる張力付与手段を経て、ワイヤ3に張力が付与されつつも、ワイヤ3が走行することとなる。なお、駆動モータ11の回転方向を制御することにより、ワイヤ3の走行方向も制御することができ、ワイヤを一方向に走行させること、或いは必要に応じて往復走行させることが可能である。なお、多条ワイヤ群4は、例えば、2.0〜3.0kgfの張力を付与して、400〜900m/minの平均速度で走行させることができる。また、スラリは、スラリタンク13に貯蔵されており、スラリタンク13からスラリを調温するスラリチラー14を介してノズル6へと送り込まれる。以下、図2を参照しつつ、かかる切断工程を詳細に説明する。
図1に示すように、この発明に従うワイヤソー装置1は、離間する一組のローラ2、2、2間に、ワイヤ3をローラ軸方向Xに対し直交する方向へ走行可能に張り渡すことを、ローラ軸方向に間隔を置いて繰り返してローラ軸方向に並列させた、多条ワイヤ群4と、かかる多条ワイヤ群4に対しワークWを押し込む方向にワークWを移動するワーク保持部5と、かかる多条ワイヤ群4に対しワークWを押し込む経路側よりも該多条ワイヤ群4の走行方向上流側及び下流側から、該多条ワイヤ群4にスラリを供給する一対のノズル6、6とを具えている。また、多条ワイヤ群4の上方に、多条ワイヤ群4の並列方向に延びる遮蔽板7を具える。かかる遮蔽板7は、遮蔽板固定部材70に回動可能に取り付けられており、遮蔽板固定部材70の多条ワイヤ群4側を基点としてワークWの押し込み経路側に自重により倒れ込みするものである。なお、図1に示すワイヤソー装置1は、ノズル6を上記した多条ワイヤ群4の走行方向上流側及び下流側の双方に設置しているが、これに限定されるものではなく、図示は省略するが、上流側のみにノズル6及び遮蔽板7を設置した構成とすることも可能である。図2に示すように、ワーク保持部5は、ワークWを直接保持するカーボン製の当て板8、かかる当て板8が取り付けられたワークプレート9、及び、かかるワークプレート9が取り付けられたベースプレート10により構成されている。当て板8は、例えばカーボン板とすることができ、ワークWはエポキシ接着剤等を介して当て板8に接着されている。また、ワークプレート9は、ステンレス鋼等により構成されており、当て板8とエポキシ接着剤により接着されている。上述のワイヤ3は、駆動モータ11により回転する一組のワイヤリール12、12に巻き付けられている。かかる駆動モータ11を駆動し、ワイヤリール12から繰り出され、トラバーサを介してパウダクラッチやダンサローラ等からなる張力付与手段を経て、ワイヤ3に張力が付与されつつも、ワイヤ3が走行することとなる。なお、駆動モータ11の回転方向を制御することにより、ワイヤ3の走行方向も制御することができ、ワイヤを一方向に走行させること、或いは必要に応じて往復走行させることが可能である。なお、多条ワイヤ群4は、例えば、2.0〜3.0kgfの張力を付与して、400〜900m/minの平均速度で走行させることができる。また、スラリは、スラリタンク13に貯蔵されており、スラリタンク13からスラリを調温するスラリチラー14を介してノズル6へと送り込まれる。以下、図2を参照しつつ、かかる切断工程を詳細に説明する。
図2(A)〜(C)は、この発明に従うワイヤソー装置を使用してワークを切断する工程を示した図である。まず、図2(A)に示すように、エポキシ系接着剤によりワークWを当て板8に接着することによりワークWをワーク保持部5に固定し、ワイヤソー装置1にワークWをセットする。このとき、遮蔽板7は、その自重によりワーク側に倒れ込み、ワークWの側方に当接する。次いで、図2(B)に示すように、多条ワイヤ群4を白抜きの矢印の方向に走行させつつ、ワーク保持部5を多条ワイヤ群4側へと下降させて、ワークWを多条ワイヤ群4に押し込むことにより、ワークWを切断していく。このとき、多条ワイヤ群4に対しワークWを押し込まれている作業領域よりも該多条ワイヤ群4の走行方向上流側及び下流側に設置されたノズル6、6から多条ワイヤ群4へとスラリが供給される。また、このとき、遮蔽板7は、ワークWの側方に当接した状態を維持しつつ、ワークWの押し込み移動に追随して、自重によりワーク側に倒れ込む。そして、図2(C)に示すように、ワークWの切断が終了するまで、遮蔽板7は、ワークWの移動に追随して、自重によりワーク側に倒れ込み、ワークWの側方に当接した状態を維持する。従って、切断工程にあるワークWには、遮蔽板7が常に当接していることから、多条ワイヤ群4に対しスラリを供給した際に、切断時に飛散するスラリが、遮蔽板7とワークWの当接位置までしか移動しないことから、スラリがワークWの上方まで飛散することが回避されることとなる。そのことから、スラリがワーク上方まで飛散することに起因した、ナノトポグラフィ及びWarpの過剰な増大を抑制することが可能となる。また、ワイヤを一方向ではなく、往復方向に走行させる場合には、ワイヤ3の切入り側と切出し側が周期的に逆転するので、図2に示すように、ワイヤ3がワークWに切入る側と切出す側の両側にノズル6を設けることにより、常に切入り側にスラリを供給することが可能となる。更に、この発明に従うワイヤソー装置1は、装置構成が単純であり、遮蔽板7に対し複雑なコンピュータ制御を必要としないことから、安価にて製造することが可能である。
更にまた、遮蔽板7は、可撓性材料からなることが好ましい。なぜなら、可撓性を有さない材料により遮蔽板7を構成すると、遮蔽板7とワークWとが接触した際に、ワーク表面が傷付いてしまい、ワークWの切断により得られるウェーハの製品としての品質を低下させてしまう可能性があるからである。なお、可撓性材料としては、ステンレス鋼等の金属、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂等の樹脂や、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、アクリルゴム、シリコンゴム等のゴム、又はそれらを組み合わせたもの等とすることができる。例えば、遮蔽板7を板状のステンレス鋼と、板状のアクリルゴムを張り合わせた構成とすることも可能である。このとき、遮蔽板7とワークWとの密着性を向上させ、スラリ漏れを有効に抑制する観点、及び、遮蔽板7とワークWとの接触によりワーク表面が傷付いてしまうことを防止する観点から、弾性を有するアクリルゴムを遮蔽板7のワークWと接触する側に配置することが好ましい。なお、例えば、弾性を有するアクリルゴムで遮蔽板7全体を覆うような構成とすることも可能である。
Claims (2)
- 離間する複数のローラ間を、ワイヤをローラ軸方向に対し直交する方向に走行可能かつ並列に張り渡した多条ワイヤ群と、ワークを保持し、前記多条ワイヤ群に対し前記ワークを押し込む方向に移動するワーク保持部と、前記多条ワイヤ群に前記ワークを押し込む経路よりも少なくとも前記多条ワイヤ群の走行方向上流側から、前記多条ワイヤ群にスラリを供給するノズルとを具えたワイヤソー装置において、
前記多条ワイヤ群の並列方向に延びる遮蔽板を、少なくとも前記経路に対して前記多条ワイヤ群の走行方向上流側であって前記多条ワイヤ群の上方に位置する基点にて、該基点回りに前記ワークの押し込み経路側の前記ワークに倒れ込み可能に設置したことを特徴とするワイヤソー装置。 - 前記経路よりも前記多条ワイヤ群の走行方向下流側に、該多条ワイヤ群にスラリを供給するノズルを更に具え、該多条ワイヤ群及び該下流側のノズルの上方に、遮蔽板を、該多条ワイヤ群側を基点として前記押し込み経路側の前記ワークに倒れ込み可能に更に設置した、請求項1又は2に記載のワイヤソー装置。
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