JP2011082351A5 - - Google Patents

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本発明の要旨構成は次のとおりである。
（１）複数本のローラーの周面に対して一定のピッチで螺旋状に巻き回された固定砥粒ワイヤーと、該ワイヤー上にクーラントを供給する第1クーラント供給手段と、前記ワイヤーがシリコンインゴットの切断加工時に通過する前記シリコンインゴットの加工側面部にクーラントを案内する案内板を具えた第2クーラント供給手段と、を有することを特徴とする、ワイヤーソー。
（２）上記（１）に記載のワイヤーソーを用いたシリコンインゴットの切断方法であって、前記固定砥粒ワイヤーを、該ワイヤー上に前記第1クーラント供給手段によりクーラントを供給しながら走行させるとともに、前記ワイヤーがシリコンインゴットの切断加工時に通過する前記シリコンインゴットの加工側面部にも前記第2クーラント供給手段により前記クーラントを供給した状態で、該ワイヤーに対して前記シリコンインゴットを相対的に移動させ、前記シリコンインゴットをスライス加工して複数枚のシリコンウェーハとすることを特徴とする、シリコンインゴットの切断方法。
（３）上記クーラントの粘度が0.1mPa・s以上100mPa・s以下であることを特徴とする、上記（２）に記載のシリコンインゴットの切断方法。
1 … ワイヤーソー
2 … ワイヤー
3 … メインローラー
4 … 第1クーラント供給手段
41 … ノズル
5 … 第2クーラント供給手段
51 … ノズル
52 … 案内板
52a… 案内板先端部
B … シリコンブロック

Claims (3)

  1. 複数本のローラーの周面に対して一定のピッチで螺旋状に巻き回された固定砥粒ワイヤーと、該ワイヤー上にクーラントを供給する第1クーラント供給手段と、前記ワイヤーがシリコンインゴットの切断加工時に通過する前記シリコンインゴットの加工側面部にクーラントを案内する案内板を具えた第2クーラント供給手段と、を有することを特徴とする、ワイヤーソー。
  2. 請求項１に記載のワイヤーソーを用いたシリコンインゴットの切断方法であって、
    前記固定砥粒ワイヤーを、該ワイヤー上に前記第1クーラント供給手段によりクーラントを供給しながら走行させるとともに、前記ワイヤーがシリコンインゴットの切断加工時に通過する前記シリコンインゴットの加工側面部にも前記第2クーラント供給手段により前記クーラントを供給した状態で、該ワイヤーに対して前記シリコンインゴットを相対的に移動させ、前記シリコンインゴットをスライス加工して複数枚のシリコンウェーハとすることを特徴とする、シリコンインゴットの切断方法。
  3. 上記クーラントの粘度が0.1mPa・s以上100mPa・s以下であることを特徴とする、請求項２に記載のシリコンインゴットの切断方法。
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