TWI413558B - Cutting method and wire saw using wire saw - Google Patents

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TWI413558B TW097145389A TW97145389A TWI413558B TW I413558 B TWI413558 B TW I413558B TW 097145389 A TW097145389 A TW 097145389A TW 97145389 A TW97145389 A TW 97145389A TW I413558 B TWI413558 B TW I413558B
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Description

利用線鋸之工件的切斷方法及線鋸
本發明係關於一種利用線鋸(線切割機)將工件(例如矽晶棒、化合物半導體的晶棒等)切成多數晶圓的切斷方法。
近年，晶圓有大型化的趨勢，隨著此大型化而使用專門用於切斷晶棒的線鋸裝置。
線鋸係使鋼線(高張力鋼線)高速行進，在此一面澆上漿液，一面壓抵工件而切斷，同時切成多數枚晶圓的裝置(參照日本專利公開公報特開平9-262826號)。
在此，第3圖中表示習用的一般線鋸的一例的概要。
如第3圖所示，線鋸101，主要由用以切斷工件的鋼線102、捲繞有鋼線102之附凹溝滾筒103、用以賦予鋼線102張力的鋼線張力賦予機構104、向下方送出要被切斷的工件之工件進給機構105、以及於切斷時供給漿液的漿液供給機構106所構成。
鋼線102，從一側的線捲軸(線捲盤(wire reel))107送出，經由移車台(traverser)108，再經過由磁粉離合器((powder clutch)定轉矩馬達109)或上下跳動滾筒(靜重(dead weight))(未圖示)等所組成的鋼線張力賦予機構104，進入附凹溝滾筒103。鋼線102捲繞於此附凹溝滾筒103約300～400次之後，經過另一側的鋼線張力賦予機構104’捲繞在線捲軸107’上。
又，附凹溝滾筒103，係在鋼鐵製圓筒的周邊壓入聚胺酯樹脂，並於其表面以一定的節距切出凹溝的滾筒，捲繞的鋼線102可藉由驅動用馬達110而以預定的週期往復方向地驅動。
另外，切斷工件時，藉由工件進給機構105，工件一邊被保持一邊被壓下，而向已捲繞於附凹溝滾筒103上的鋼線102進給(推送)。
又，在附凹溝滾筒103與捲繞的鋼線102的附近，設有噴嘴115，於切斷時，可從漿液槽116供給漿液至鋼線102上。又，漿液槽116可與漿液冷卻器117連接，以調整供給漿液的溫度。
利用如此的線鋸101，且利用鋼線張力賦予機構104賦予鋼線102適當的張力，藉由驅動用馬達110，使鋼線102一邊往復方向地行進，一邊將工件切片。
上述鋼線到達保持工件的抵板為止，進行工件的切入，藉此完成工件的切斷。之後，藉由逆轉工件的進給方向，從上述鋼線列，將完成切斷的工件拔出。
從上述鋼線列拔出工件之際，作為用以防止該鋼線列勾在工件的切斷之處而使鋼線浮上之線鋸，例如，如日本專利公開公報特開平8-11047號所示，揭示一種線鋸，其係具備藉由構成限制手段的一對限制構件，於工件的鋼線出入點附近位置，將鋼線壓住來限制鋼線的浮上。
然而，利用上述一般的線鋸，將工件切斷成晶圓狀，調查被切斷的晶圓的形狀之後，發現產生大的翹曲。
翹曲係半導體晶圓的切斷中的重要品質考量因素之一，隨著製品的品質要求提高，而有更加地降低的要求。
對於工件的品質造成不良影響的一例，例如上述工件切斷後，從鋼線列將完成切斷的工件拔出之際，因殘存於工件切斷面上的漿液而有對於工件切斷面造成損傷的問題，日本專利公開公報特開2003-275950號揭示一種線鋸，為了抑制對於上述工件切斷面造成的不良影響，從上述鋼線列拔出切斷完成的工件時，提高附加於鋼線的張力。
一般地，要被供給至切斷用鋼線上的漿液，係以油性或水性的冷卻液將微細的磨粒作成懸濁狀，因在未攪拌的狀態下，磨粒與液體成分容易分離，因上述液體成分脫除而高粘度化的漿液，容易殘存於切斷後的工件上，因此，在此狀態下，若將工件從鋼線列拔出時，工件切斷面因該當鋼線列而受損，於該切斷面容易發生所謂的鋸痕，因此導致翹曲惡化而損及品質的結果。
上述鋸痕，係發生在垂直於工件進給方向的方向，亦即筋狀地發生於鋼線行進方向。此係被認為是因殘存於工件表面上的漿液，伴隨鋼線的行進，向鋼線行進方向移動而發生。
因此，為防止此情況發生，於工件拔出之際，只要停止鋼線的行進即可，但在停止鋼線的行進的狀態下，若進行工件的拔出時，鋼線列係局部地勾在殘存於工件表面上的漿液中，特別是磨粒凝集而固著於工件表面上的部分，而成為發生切斷用鋼線斷線的結果。
本發明係有鑑於上述問題而開發出來，其目的係提供一種線鋸，利用簡單的構成，便不會對於藉由線鋸的鋼線列切斷的工件的切斷面造成不良影響，而從上述鋼線列拔出完成切斷的工件。
為了達成上述目的，本發明提供一種利用線鋸之工件的切斷方法，係針對藉由將切斷用鋼線捲繞於複數個附凹溝滾筒的周圍上而形成鋼線列，上述切斷用鋼線於軸方向被往復驅動，且一邊供給漿液至該切斷用鋼線上，一邊對於上述鋼線列切入進給工件，藉此將該工件同時於軸方向並列的複數處切斷之形態的利用線鋸之工件的切斷方法，其特徵為：上述工件切斷後，在從上述鋼線列拔出該工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。
如此，工件切斷後，在從鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件，藉此，將切斷後的工件從鋼線列拔出之際，鋼線列不會局部地勾在殘存於工件表面上的漿液中，特別是磨粒凝集固著於工件表面上的部分，而不會發生切斷用鋼線的斷線，並可抑制因工件拔出而造成的鋸痕。
此時，較佳為：上述工件拔出時的鋼線的行進，係以向前進方向與後退方向的行進距離分別為1m以下的方式，來使鋼線作往復行進。
如此，因使工件拔出時的鋼線的行進，以向前進方向與後退方向的行進距離分別為1m以下的方式作往復行進，於是固著於工件表面上的漿液變得容易排除，可有效地防止由於工件拔出而發生的鋸痕。
又，此時，在工件拔出時所供給的漿液的溫度，較佳為：設為較切斷結束時的溫度更高溫。
如此，因在工件拔出時所供給的漿液的溫度，較切斷結束時的溫度更高溫，於是固著於工件表面上的漿液變得容易排除，可有效地防止由於工件拔出而發生的鋸痕。
又，本發明提供一種線鋸，係針對藉由將切斷用鋼線捲繞於複數個附凹溝滾筒的周邊上而形成鋼線列，上述切斷用鋼線於軸方向被往復驅動，且一邊供給漿液至該切斷用鋼線上，一邊對於上述鋼線列切入進給工件，藉此將該工件同時於軸方向並列的複數處切斷之形態的線鋸，其特徵為：該線鋸係控制成：上述工件切斷後，在從上述鋼線列拔出該工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。
如此，本發明的線鋸，係控制成：工件切斷後，在從鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。因此，可抑制鋼線的斷線、鋸痕的發生，不會對於其切斷面造成不良影響而將藉由線鋸切斷後的工件從鋼線列拔出。
此時，該線鋸，較佳係控制成：上述工件拔出時的鋼線的行進，係以向前進方向與後退方向的行進距離分別為1m以下的方式，來使鋼線作往復行進。
為了排除固著於工件表面上的漿液，相較於使鋼線向一方向行進，較有效的是：以使鋼線向前進方向與後退方向的行進距離分別成為1m以下的短間隔的方式，切換鋼線的行進方向而使其作往復行進。
如此，本發明的線鋸，係變得容易排除固著於工件表面上的漿液，可有效地防止因工件拔出而發生的鋸痕。
此時，該線鋸，較佳係控制成：在上述工件拔出時所供給的漿液的溫度，較切斷結束時的溫度更高溫。
如此，本發明的線鋸，係控制成：在工件拔出時所供給的漿液的溫度，較切斷結束時的溫度更高溫。所以，固著於工件表面上的漿液變得容易排除，可有效地防止因工件拔出而發生的鋸痕。
本發明的線鋸，係控制成：工件切斷後，在從鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。所以，鋼線不會斷線，可減少鋸痕，且不會對藉由線鋸的鋼線列切斷後的工件的切斷面造成不良影響，便能從鋼線列拔出工件。
以下說明本發明的實施形態，但本發明不限定於此。
若使用先前的線鋸來進行工件的切斷，工件切斷後，從鋼線列拔出該工件時，於工件表面殘存的漿液，伴隨鋼線的行進，向鋼線行進方向移動，因而有發生鋸痕、翹曲惡化的問題。又，為防止此情況發生，在停止鋼線的行進的狀態，進行工件的拔出時，於工件表面殘存的漿液中，特別是在磨粒凝集而固著於工件表面上的部分，鋼線列局部地勾住，而成為發生切斷用鋼線斷線的結果。
因此，本發明的線鋸，係設成：於工件的切斷後，當從鋼線列拔出該工件時，以可排除固著的漿液的最低限的速度，使鋼線行進。亦即，發現：藉由控制成一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件，便不會發生鋼線的斷線，並能在抑制鋸痕發生、翹曲惡化的情況下，拔出工件。又，拔出工件時的鋼線的行進，係以往前進方向與後退方向的行進距離分別為1m以下的方式，來控制往復行進；或者，以在抽出工件時，使供給的漿液的溫度較切斷結束時的溫度更高的方式來進行控制，藉此可更容易地排除固著於工件表面上的漿液，而可有效地防止因工件拔出而發生的鋸痕。
第1圖係表示本發明的線鋸的一例的概略圖。
如第1圖所示，本發明的線鋸1，係由用以切斷工件的鋼線2、捲繞有鋼線2之附凹溝滾筒3、用以施予鋼線2張力的鋼線張力賦予機構4、將要被切斷的工件向下方進給的工件進給機構5、以及於切斷時供給漿液的漿液供給機構6所構成。
鋼線2係從一側的線捲軸7送出，經由移車台8，再經過由磁粉離合器((powder clutch)定轉矩馬達9)或上下跳動滾筒(靜重(dead weight))(未圖示)等所組成的鋼線張力賦予機構4，進入附凹溝滾筒3。鋼線2，藉由捲繞於此附凹溝滾筒3約300～400次，而形成鋼線列。鋼線2經過另一側的鋼線張力賦予機構4’而捲繞在線捲軸7’上。這些的構成係與先前相同。
在第2圖中，表示可用於本發明中的工件進給機構的一例。如第2圖所示，工件係接著於抵板14上；又，此抵板14係藉由工件板13保持。而且，工件係隔著這些的抵板14、工件板13，藉由工件進給機構5的工件保持部11而被保持。
此工件進給機構5，係具備用以一邊保持工件一邊往下壓的工件保持部11、以及線性導軌12，以電腦控制，沿著線性導軌12驅動工件保持部11，藉此可依預先程式化的進給速度，將保持的工件推送。
而且，如此地藉由工件進給機構5的工件保持部11而被保持的工件，當進行切斷時，藉由工件進給機構5，往位於下方的鋼線2進給。又，此工件進給機構5，藉由將工件往下方進給，直到鋼線到達抵板14為止，而完成工件的切斷，之後，藉由逆轉工件的推送方向，將切斷結束的工件從鋼線列拔出。
又，附凹溝滾筒103，係在鋼鐵製圓筒的周邊壓入聚胺酯樹脂，並於其表面以一定的節距切出凹溝而成的滾筒，捲繞的鋼線2，可藉由驅動用馬達10，往復方向地運動。
另一方面，噴嘴15係被配置在鋼線2的上方，該鋼線2係被捲繞於附凹溝滾筒3上，在切斷時，於軸方向作往復行進；當進行工件的切斷時，可供給漿液至鋼線2上。
又，漿液冷卻器17，被配置在漿液槽16旁，可調整供給的漿液的溫度。又，當然不限定於如第1圖所示的構成，例如只要可藉由另外的熱交換器的構成，來進行漿液的供給溫度的調整即可。
再者，上述漿液冷卻器17、驅動用馬達10、工件進給機構5，係被連接至控制裝置25。
此控制裝置25，具有：對於驅動用馬達10，進行控制鋼線2的行進。速度之機能；對於驅動用馬達10，分別進行對鋼線2的前後方向控制往復行進距離之機能；對於漿液冷卻器17，進行控制供給至鋼線2上的漿液的溫度之機能；以及對於工件進給機構5，進行用以控制相對於鋼線列的工件的切入進給與從鋼線列拔出工件的工件進給之機能。
在此，敘述漿液供給手段6，亦即供給漿液至附凹溝滾筒3(鋼線2)上的手段。此漿液供給手段中，從漿液槽16，經由以控制裝置25控制的漿液冷卻器17，連接至噴嘴15；要被供給的漿液，係藉由漿液冷卻器17而被控制供給溫度，然後從噴嘴15供給至附凹溝滾筒3(鋼線2)上。漿液供給溫度，可藉由控制裝置25控制成預定的溫度，但控制手段未特別限定於此。
而且，本發明的線鋸中，利用此控制裝置25，控制工件進給裝置5與驅動用馬達10而控制成：在工件切斷後，在從鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件；並控制成：工件拔出時的鋼線的行進，係以向前進方向與後退方向的行進距離分別為1m以下的方式，來使鋼線作往復行進；又，藉由控制漿液冷卻器17，而控制成：在工件拔出時所供給的漿液的溫度，較切斷結束時的溫度更高溫。
接著，說明使用本發明的線鋸之工件的切斷方法。在進行上述鋼線2的軸方向的驅動、以及藉由漿液供給機構6對於鋼線2供給漿液的狀態下，控制裝置25係沿著線性導軌12驅動工件保持部11，使工件下降，將該工件相對於以例如400～800m/min行進的鋼線列切入進給。對於上述鋼線列切入進給時的切入進給速度可為例如0.2～0.4mm/min。這些條件當然地不限定於此。
又，可使工件切斷時的鋼線的行進為往復行進，其行進距離可設為例如400～600m。在切斷時要被供給至鋼線上的漿液的溫度係例如15℃～30℃。這些條件當然地不限定於此。
以如此的方式來進行工件的切斷，鋼線列到達工件上面的抵板為止之時，亦即工件的切斷結束時，停止切入進給。
此時，藉由控制裝置25來控制驅動用馬達10，使鋼線以預先設定的2m/min以下的行進速度行進。之後，將工件進給機構5的切入進給方向，與工件切斷時逆轉(相反)，將上述工件從鋼線列向上方拔出。
從上述鋼線列拔出工件時的進給速度，係例如可設為5～100mm/min，較佳是設為10～50mm/min。
如此，藉由控制裝置25來控制驅動用馬達10，使鋼線以預先設定的2m/min以下的行進速度行進，與以先前的線鋸切斷的晶圓相較，以本發明的線鋸切斷的晶圓，可降低發生的翹曲量與鋸痕。
從鋼線列拔出工件時的鋼線的行進速度若超過2m/min則會發生鋸痕與翹曲。為了防止此情況發生，鋼線的行進速度以2m/min以下為佳，較佳係1m/min以下。上述鋼線的行進速度的下限並無特別限定，但可設為0.1m/min以上。
再者，在將上述工件從鋼線列向上方拔出之間，可控制成：使鋼線的行進，以預先設定的1m以下的行進距離作往復行進。
如上所述，驅動用馬達10與控制裝置25連接，所以可藉由該控制裝置而控制成：若鋼線2行進預先設定的行進距離之後，便可反轉行進方向。
如此，固著於工件表面上的漿液變得容易排除，可有效地防止因工件拔出而發生的鋸痕與翹曲。
上述工件從鋼線列拔出時，鋼線的往復行進的行進距離，較佳是1m以下，但即使是1m以上亦可。上述鋼線的往復行進的行進距離的下限並無特別限定，但可為0.1m以上。
再者，將上述工件從鋼線列向上方拔出之間，較佳是控制成：供給鋼線的漿液的溫度，較工件的切斷結束時的溫度更高溫。
如上所述，藉由控制裝置25控制的漿液冷卻器17，可控制漿液的供給溫度，上述工件的切入進給停止後，從鋼線列拔出工件時，可供給較工件的切斷結束時的溫度更高溫的漿液。
如此，若在拔出工件時供給高溫的漿液，可容易軟化並排除固著於工件表面上的漿液，可有效地防止因工件拔出所造成鋸痕發生、翹曲惡化。
從上述鋼線列拔出工件時的漿液供給溫度，例如工件切斷時的漿液供給溫度若為15℃～30℃時，則可設為35℃～50℃。
如此，使用本發明的線鋸來進行的工件的切斷方法，此方法是在工件切斷後，當從鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件，則利用此工件的切斷方法，不會對藉由鋼線列切斷後的工件的切斷面造成不良影響，便能從上述鋼線列拔出工件。
以下，藉由實施例更具體地說明本發明，但本發明不限定於此。
(實施例1)
使用第1圖所示的線鋸，分別控制工件切斷時的鋼線的行進速度、鋼線的前進方向與後退方向的行進距離、以及向鋼線供給的漿液的供給溫度，藉由本發明的切斷方法，將直徑8英吋(200mm)的矽晶棒切斷成晶圓狀。
將工件的切斷時的鋼線的行進速度設為600m/min，並以鋼線的前進方向與後退方向的行進距離為500m以下的方式，使鋼線往復行進來切斷工件。又，工件的切斷結束時的漿液供給溫度設為25℃。
工件切斷後，將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為2m/min，並將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為1m、鋼線的後退方向的行進距離設為0.5m。另外，漿液的供給溫度設為與切斷結束時相同。
以上述條件切斷工件，調查工件切斷後的工件表面的狀態發現，鋸痕與翹曲量較使用先前的線鋸的情況降低。
(實施例2)
相對於上述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為1m/min以外，係以與實施例1相同的條件來切斷工件，然後進行與實施例1相同的評價。
由結果可知，藉由將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為2m/min以下之1m/min，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較使用先前的線鋸降低，其降低量較實施例1大。
(實施例3)
相對於上述實施例1，除了將工件拔出時的漿液供給溫度設為35℃以外，係以與實施例1相同的條件來切斷工件，然後進行與實施例1相同的評價。
由結果可知，藉由將工件拔出時的漿液供給溫度設為較工件切斷結束時的漿液供給溫度更高溫之35℃，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較使用先前的線鋸降低，其降低量較實施例1大。
(實施例4)
相對於上述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為1m/min、工件拔出時的漿液供給溫度設為35℃以外，係以與實施例1相同的條件來切斷工件，然後進行與實施例1相同的評價。
由結果可知，藉由將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為2m/min以下之1m/min，且將工件拔出時的漿液供給溫度設為較工件切斷結束時的漿液供給溫度更高溫之35℃，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較使用先前的線鋸大幅降低，其降低量較實施例1～3大。
(實施例5)
相對於上述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為0.5m/min、工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為0.3m、鋼線的後退方向的行進距離設為0.2m以外，係以與實施例1相同的條件來切斷工件，然後進行與實施例1相同的評價。
由結果可知，藉由將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為2m/min以下之0.5m/min，且將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為1m以下之0.3m、鋼線的後退方向的行進距離設為1m以下之0.2m，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較使用先前的線鋸降低，其降低量較實施例1大。
(實施例6)
相對於上述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為0.5m/min、工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為0.3m、鋼線的後退方向的行進距離設為0.2m、漿液供給溫度設為35℃以外，係以與實施例1相同的條件來切斷工件，然後進行與實施例1相同的評價。
由結果可知，藉由將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為2m/min以下之0.5m/min，且將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為1m以下之0.3m、鋼線的後退方向的行進距離設為1m以下的0.2m、鋼線拔出時的漿液供給溫度設為較工件切斷結束時的漿液供給溫度更高溫之35℃，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較使用先前的線鋸降低，其降低量較實施例1～3大。
(比較例1)
相對於上述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為10m/min、工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為20m、鋼線的後退方向的行進距離設為10m以外，係以與實施例1相同的條件來切斷工件，然後進行與實施例1相同的評價。
由結果可知，因為將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為超過2m/min之10m/min，且將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為超過1m之20m、鋼線的後退方向的行進距離設為超過1m之10m，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較實施例1惡化。
(比較例2)
相對於上述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為100m/min、工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為200m，鋼線的後退方向的行進距離設為100m以外，係以與實施例1相同的條件來切斷工件，然後進行與實施例1相同的評價。
由結果可知，因為將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為超過2m/min之100m/min，且將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設為超過1m之200m、鋼線的後退方向的行進距離設為超過1m之100m，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較實施例1大幅惡化。
(比較例3)
相對於上述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為3m/min以外，係以與實施例1相同的條件來切斷工件，然後進行與實施例1相同的評價。
由結果可知，因為將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設為超過2m/min之3m/min，則工件表面的鋸痕與翹曲量，雖較比較例1為佳，但較實施例1惡化。
在第1表中，表示匯整各實施例、比較例中的條件與工件拔出時的工件切斷面的品質評價結果。
如以上所示，採用本發明的線鋸，此線鋸是控制成在切斷工件後，從鋼線列拔出該工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件，藉此，以鋼線列切斷的工件，可從上述鋼線列拔出而不會對於其切斷面造成不良影響。
又，本發明不限定於上述實施形態。上述實施形態僅為例示，凡是與本發明的申請專利範圍中記載的技術思想，實質上具有相同的構成，能產生相同的效果者，不論為如何的形態，皆應包含於本發明的技術範圍內。
1．．．線鋸
2．．．鋼線
3．．．附凹溝滾筒
4．．．鋼線張力賦予機構
4’．．．鋼線張力賦予機構
5．．．工件進給機構
6．．．漿液供給機構
7．．．線捲軸
7’．．．線捲軸
8．．．移車台
9．．．定轉矩馬達
10．．．驅動用馬達
11．．．工件保持部
12．．．線性導軌
13．．．工件板
14．．．抵板
15．．．噴嘴
16．．．漿液槽
17．．．漿液冷卻器
25．．．控制裝置
101．．．線鋸
102．．．鋼線
103．．．附凹溝滾筒
104．．．鋼線張力賦予機構
104’．．．鋼線張力賦予機構
105．．．工件進給機構
106．．．漿液供給機構
107．．．線捲軸
107’．．．線捲軸
108．．．移車台
109．．．定轉矩馬達
110．．．驅動用馬達
115．．．噴嘴
116．．．漿液槽
117．．．漿液冷卻器
第1圖係表示本發明的線鋸的一例的概略圖。
第2圖係表示可用於本發明的工件進給機構的一例的概略圖。
第3圖係表示先前的線鋸的一例的概略圖。
1‧‧‧線鋸
2‧‧‧鋼線
3‧‧‧附凹溝滾筒
4‧‧‧鋼線張力賦予機構
4’‧‧‧鋼線張力賦予機構
5‧‧‧工件進給機構
6‧‧‧漿液供給機構
7‧‧‧線捲軸
7’‧‧‧線捲軸
8‧‧‧移車台
9‧‧‧定轉矩馬達
10‧‧‧驅動用馬達
15‧‧‧噴嘴
16‧‧‧漿液槽
17‧‧‧漿液冷卻器
25‧‧‧控制裝置

Claims (4)

  1. 一種利用線鋸之工件的切斷方法，係針對藉由將切斷用鋼線捲繞於複數個附凹溝滾筒的周邊上而形成鋼線列，上述切斷用鋼線於軸方向被往復驅動，且一邊供給漿液至該切斷用鋼線上，一邊對於上述鋼線列切入進給工件，藉此將該工件同時於軸方向並列的複數處切斷之形態的利用線鋸之工件的切斷方法，其特徵為：上述工件切斷後，在從上述鋼線列拔出該工件時，供給的前述漿液的溫度，係設為較切斷結束時的溫度更高溫，並一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的利用線鋸之工件的切斷方法，其中上述工件拔出時的鋼線的行進，係以向前進方向與後退方向的行進距離分別為1m以下的方式，來使鋼線作往復行進。
  3. 一種線鋸，係針對藉由將切斷用鋼線捲繞於複數個附凹溝滾筒的周邊上而形成鋼線列，上述切斷用鋼線於軸方向被往復驅動，且一邊供給漿液至該切斷用鋼線上，一邊對於上述鋼線列切入進給工件，藉此將該工件同時於軸方向並列的複數處切斷之形態的線鋸，其特徵為： 該線鋸係控制成：上述工件切斷後，在從上述鋼線列拔出該工件時，供給的前述漿液的溫度，較切斷結束時的溫度更高溫，並一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的線鋸，其中該線鋸係控制成：上述工件拔出時的鋼線的行進，係以向前進方向與後退方向的行進距離分別為1m以下的方式，來使鋼線作往復行進。
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