TWI568558B - Workpiece cutting method - Google Patents

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TWI568558B
TWI568558B TW103138920A TW103138920A TWI568558B TW I568558 B TWI568558 B TW I568558B TW 103138920 A TW103138920 A TW 103138920A TW 103138920 A TW103138920 A TW 103138920A TW I568558 B TWI568558 B TW I568558B
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Keiichi Kanbayashi
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Description

工件的切斷方法
本發明關於工件的切斷方法，該工件的切斷方法使用線鋸。
近年來，期望半導體晶圓的大型化，隨著此大型化而使用專門用於切斷工件的線鋸。
線鋸，是使鋼線(高張力鋼線)高速行進，在此一邊澆上漿液，一邊壓抵工件(例如，以矽晶棒來舉例)而切斷，以同時切出多數枚晶圓的裝置(參照專利文獻1)。
此處，在第6圖中表示先前的通常的線鋸的一例的概要。
如第6圖所示，線鋸101，主要由下述構件等所構成：鋼線102，其用以切斷工件；線材導件(wire guide)103，其捲繞有鋼線102；張力賦予機構104，其用以賦予鋼線102張力；工件進給手段105，其送出要被切斷的工件；及，噴嘴106，其在切斷時用以供給漿液，該漿液是在冷卻劑中分散地混合有SiC微粉等磨粒而成。
鋼線102，從一側的線捲軸(線捲盤(wire reel))107送出，經由移車台(traverser)108，再經過由磁粉離合器 ((powder clutch)定轉矩馬達109)或上下跳動滾筒(靜重(dead weight))(未圖示)等所構成的張力賦予機構104，進入線材導件103。鋼線102捲繞於此線材導件103約300~400次之後，經過另一側的張力賦予機構104’而捲繞在線捲軸107’上。
又，線材導件103，是在鋼鐵製圓筒的周邊壓入聚胺酯樹脂，並於其表面以一定的節距切出凹溝而成的滾筒，捲繞的鋼線102可藉由驅動用馬達110而以預定的週期在往復方向上驅動。
而且，在線材導件103與捲繞的鋼線102的附近，設有噴嘴106，在切斷時，可從此噴嘴106供給漿液至線材導件103、鋼線102上。而且，在切斷後作為廢漿液而排出。
使用這種線鋸101，使用張力賦予機構104來將適當的鋼線張力施加至鋼線102上，並藉由驅動用馬達110來使鋼線102在往復方向上行進，且一邊供給漿液一邊將工件切片，藉此得到所期望的切片晶圓。
又，針對上述線鋸所使用的鋼線102，將用以切斷一個工件而供給的份量的鋼線102的長度，稱為新線供給量。
鋼線102，捲繞在線捲軸107上的長度是數百km的份量，利用捲繞在此線捲軸107上的鋼線102來切斷複數個工件。
在晶圓的製造成本中包含了鋼線的成本，當要降低此費用的場合，有下述方法：利用減少每一個工件所必要的新線供給量，來增加每一個線捲軸能夠切斷的工件個數。
例如，在捲繞有510km的線捲軸中，將每1個工件的切斷所使用的新線供給量設為170km，就能夠進行3個工件的切斷。將每一個工件的切斷的新線供給量設為一半的85km，藉此同樣的鋼線的長度，亦即一個線捲軸能夠切斷的工件個數就能夠增加成6個。
這樣，減少每1個工件的切斷所使用的新線供給量，藉此減少每1個工件的切斷所使用的鋼線的量，所以能夠增加以1個線捲軸能夠切斷的工件個數，而能夠降低鋼線的成本。
[先前技術文獻] (專利文獻)
專利文獻1：日本特開平10-86140號公報
但是，上述方法，會有下述的問題點：相較於減少新線供給量之前，切斷工件時的鋼線本身磨耗的量，會對應於所減少的新線供給量而變大，因而鋼線的直徑會變細。若鋼線的直徑變細，則會使切斷後的晶圓品質惡化。
將晶圓的翹曲，舉例作為評價晶圓品質的代表。理想是切斷後的晶圓是平坦且翹曲小。但是，若鋼線的直徑變細，則附著在鋼線上的漿液的保有量變少，使得切斷效率低落，且造成切斷後的晶圓的翹曲變大。
又，鋼線的直徑變細會使鋼線的抗斷強度(breaking strength)降低，所以在工件的切斷中容易造成鋼線的斷裂。
若在工件的切斷中發生鋼線的斷裂，切斷就會中斷，而需要許多功夫和時間來進行恢復作業，而使晶圓的生產效率顯著地降低。進一步，在造成鋼線斷裂時，切斷後的晶圓品質會大幅惡化。因此，在工件的切斷中的鋼線斷裂，理想是盡量不要發生。
如上述，作為減少每1個工件的切斷所使用的新線供給量的方法的替換手段，有再次使用已使用過的鋼線的方法。將已使用在第1次工件的切斷中的已使用過的鋼線，以相同條件再次使用，藉此能夠增加以一個線捲軸能夠切斷的工件個數。
但是，若利用此方法而再次使用鋼線時，因為前述理由，已使用過的鋼線，在鋼線的切斷時容易造成鋼線的斷裂。又，會造成切斷後的晶圓的翹曲變大。
本發明是鑒於前述問題而完成，其目的在於提供一種工件的切斷方法，其將已使用在前次的工件的切斷中的使用過的鋼線，在與前次的切斷工件時的條件不同的條件下再次切斷工件，而能夠一邊增加利用同一條鋼線可以切斷的工件的個數，一邊減少鋼線發生斷裂的情況，並抑制晶圓的翹曲的惡化。
為了達成上述目的，依據本發明，提供一種工件的切斷方法，其利用螺旋狀地捲繞在複數個(二個以上)線材導件之間且在軸方向行進的鋼線來形成鋼線列，並將工件壓抵至前述鋼線列來實行的工件的切斷，其中，將使用於前次的工件的 切斷後的鋼線再次使用來切斷下一次的工件，而且，該工件的切斷方法，相對於在前述前次的工件的切斷中的鋼線張力，將切斷前述下一次的工件時的鋼線張力設為87~95%的範圍的值；並且，相對於前述切斷前次的工件時的新線供給量，將前述切斷下一次的工件時的新線供給量設為125%以上的範圍的值，而再次使用前述鋼線來切斷前述下一次的工件。
即使是再次使用已使用於在工件的切斷後的鋼線的場合，利用一邊相對於前次使用時的鋼線張力和新線供給量，將鋼線張力和新線供給量控制為上述的範圍的值，一邊實施下一次的工件的切斷，藉此能夠使鋼線的斷裂不容易發生，且抑制晶圓的翹曲的惡化，以使晶圓品質保持在與前次的切斷時同等的程度。
此時，較佳是在前述切斷下一次的工件時，相對於前述前次的工件的切斷中的工件的進給速度，將工件的進給速度設為83~91%的範圍的值。
若這樣做，即使在將使用過的鋼線再次使用來實行工件的切斷的場合，也能夠更確實地抑制切斷後的晶圓的翹曲的惡化。
如果是本發明的工件的切斷方法，將使用過的鋼線再次使用，藉此能夠大幅地增加以同一條鋼線可以切斷的工件的個數，而能夠大幅削減關於鋼線的成本。進一步，在再次使用鋼線時，以本發明的方式將鋼線張力和新線供給量控制在適當的範圍中來實行切斷，就能夠抑制鋼線的斷裂的發生率 和切斷後的晶圓的品質的惡化，而能夠得到一種與前次的切斷同等的品質的晶圓。
1‧‧‧線鋸
2‧‧‧鋼線
3‧‧‧線材導件
4‧‧‧鋼線張力賦予機構
4’‧‧‧鋼線張力賦予機構
5‧‧‧工件進給手段
6‧‧‧噴嘴
7‧‧‧線捲軸
7’‧‧‧線捲軸
8‧‧‧驅動用馬達
9‧‧‧工件進給平台
10‧‧‧LM導軌
11‧‧‧工件夾具
12‧‧‧切片抵板
13‧‧‧移車台
14‧‧‧定轉矩馬達
15‧‧‧線捲軸用驅動馬達
15’‧‧‧線捲軸用驅動馬達
16‧‧‧鋼線列
101‧‧‧線鋸
102‧‧‧鋼線
103‧‧‧線材導件
104‧‧‧張力賦予機構
104’‧‧‧張力賦予機構
105‧‧‧工件進給手段
106‧‧‧噴嘴
107‧‧‧線捲軸
107’‧‧‧線捲軸
108‧‧‧移車台
109‧‧‧定轉矩馬達
110‧‧‧驅動用馬達
W‧‧‧工件
第1圖是表示本發明的工件的切斷方法的一例的流程圖。
第2圖是表示在本發明的工件的切斷方法中所使用的線鋸的一例的概略圖。
第3圖是表示在本發明的工件的切斷方法中所使用的線鋸中的工件進給手段的一例的概略圖。
第4圖是表示在再次使用鋼線時的晶圓的翹曲與鋼線張力的關係的圖。
第5圖是表示在再次使用鋼線時的鋼線抗斷強度與新線供給量的關係的圖。
第6圖是表示通常的線鋸的一例的概略圖。
以下，針對本發明的實施型態進行說明，但是本發明不受限於這些實施型態。
如上述說明，當將已使用在1次工件的切斷中的鋼線再次使用的場合，因為鋼線的直徑變細，所以會有鋼線斷裂、晶圓品質惡化的問題。
因此，本發明人為了解決這種問題而進行深入的檢討。其結果，想到下述技術而完成本發明。亦即，當將已使用在1次工件的切斷中的鋼線再次使用的場合，相對於在前次的工件的切斷時的鋼線張力和新線供給量，若分別將鋼線 張力和新線供給量設為87~95%的範圍的值和125%以上的範圍的值來進行工件的切斷，就能夠抑制鋼線的斷裂和晶圓品質的惡化。
以下，參照第1~3圖來說明本發明的工件的切斷方法，在下述中，當將已使用在第1次工件的切斷中的鋼線再次使用而實施第2次的工件的切斷時，針對適用本發明的工件的切斷方法的場合來進行說明。
首先，一邊參照第2圖，一邊針對在本發明的工件的切斷方法中所使用的線鋸1進行說明。
如第2圖所示，線鋸1，主要由下述構件等所構成：鋼線2，其用以切斷工件W；線材導件3；鋼線張力賦予機構4、4’，其用以賦予鋼線2張力；工件進給手段5，其一邊保持工件W一邊相對地將工件壓下；及，噴嘴6，其在切斷時用以將加工液供給至鋼線2。
鋼線2，從一側的線捲軸7送出，經由移車台13，再經過由磁粉離合器(定轉矩馬達14)或上下跳動滾筒(靜重)(未圖示)等所構成的鋼線張力賦予機構4，進入線材導件3。鋼線2捲繞於複數個(二個以上)線材導件3上約300~400次以形成鋼線列16。鋼線2，經過另一側的鋼線張力賦予機構4’而捲繞在線捲軸7’上。作為此鋼線，能夠使用例如高張力鋼線。線捲軸7、7’，是藉由線捲軸用驅動馬達15、15’來旋轉驅動。進一步，藉由鋼線張力賦予機構4、4’來精密地調整施加至鋼線2上的張力。
噴嘴6，將加工液供給至工件W與鋼線2的接觸部。 此噴嘴6並沒有特別限制，但是能夠配置在捲繞於線材導件3上的鋼線2的上方。噴嘴6，被連接至漿液槽(未圖示)；所供給的漿液，能夠藉由漿液冷卻器(未圖示)來控制供給溫度並從噴嘴6供給至鋼線2。
此處，在工件W的切斷中所使用的加工液的種類沒有特別限制，能夠使用與先前同樣的加工液，例如能夠設為使碳化矽磨粒或鑽石磨粒等分散於冷卻劑中而成的加工液。作為冷卻劑，能夠使用例如水溶性或油性的冷卻劑。
在工件W的切斷時，藉由如第3圖所示的工件進給手段5，工件W被進給至已捲繞在線材導件3上的鋼線2。此工件進給手段5，是由下列構件所構成：工件進給平台(table)9，其用以進給工件；LM導軌(直線運動導軌，linear motion guide)10；工件夾具11，其把持工件；及，切片抵板12等。利用電腦控制使工件進給平台9沿著LM導軌10驅動，藉此能夠以預先程式化的進給速度來將被固定在前端的工件W送出(進給)。
線材導件3，是在鋼鐵製圓筒的周圍壓入聚胺酯樹脂，並在線材導件3的表面以一定的節距切出凹溝而成的滾筒，以防止鋼線2的損傷而變成能夠抑制鋼線斷線等。進一步，線材導件3，藉由驅動用馬達8，使捲繞的鋼線2變成能夠在軸方向往復行進。在使鋼線2往復行進時，鋼線2朝向兩方向的行進距離並沒有相同，而將朝向單方向的行進距離設為較長。這樣做，藉由進行鋼線2的往復行進，以將鋼線2的新線供給至較長的行進距離的方向上。又，也能夠藉由驅 動用馬達8來調節新線供給量，該新線供給量是在切斷1個工件中所供給的份量的鋼線2的長度。
接著，針對在使用此線鋸1的場合中的本發明的工件W的切斷方法進行說明。
首先，在線鋸1中，一邊使鋼線2如上述進行往復行進，一邊將複數個工件W依序壓抵至鋼線列16以進行切斷。在規定個數的工件切斷結束後停止鋼線2。這樣做，以進行第1次的工件的切斷(第1圖的S101)。
此第1次的工件的切斷，能夠利用與先前同樣的切斷方法來進行。在第1次的工件的切斷中，使用於切斷中的鋼線還沒有磨耗，所以直徑充分粗的鋼線的斷裂發生率低，而能夠得到切斷後的晶圓品質良好的晶圓。
在這樣的第1次的工件的切斷結束後，將在第1次的切斷時已捲繞在線捲軸7’上的鋼線2，倒捲至線捲軸7，以準備將已使用1次的鋼線2在下一次的工件W的切斷中使用。此時，此使用過的鋼線2，並沒有進行洗淨等的處理，而能夠直接在下次的第二次的工件的切斷中再次使用。
接著，藉由工件進給手段5來保持工件W。而且，一邊藉由鋼線張力賦予機構4、4’來將張力賦予至鋼線2，一邊藉由驅動用馬達8來使鋼線2朝向軸方向往復行進。
此時，在本發明中，相對於在前次的工件的切斷(此場合是第1次的切斷)中的鋼線張力，將鋼線張力設為87~95%的範圍的值。
鋼線的直徑，相較於前次的工件的切斷時，因為磨耗而 變得較細，所以鋼線的抗斷強度降低。因此，再次使用鋼線時，相對於在前次的工件的切斷時，將鋼線張力設為95%以下的值。又，為了不讓鋼線張力太小而設為87%以上，以使切斷後的晶圓的品質不容易惡化。
此處，第4圖是表示相對於通常的設定(與前次的工件的切斷時相同的鋼線張力)的鋼線張力，將再次使用鋼線2時的鋼線張力設為較小的場合，對於晶圓品質的影響。在第4圖的圖表中，橫軸表示鋼線張力，縱軸表示晶圓的翹曲。將通常的設定的鋼線張力和當時的切斷後的晶圓的翹曲分別設為100%，而鋼線張力和晶圓的翹曲是以相對值來標記。由第4圖可知，若鋼線張力太小時，會有晶圓的翹曲變大的傾向。
又，如第4圖所示，在鋼線張力是87%的場合，相對於在通常的設定下的工件的切斷時，切斷後的晶圓的翹曲增加10%而變成110%。因為不能夠容許這樣以上的增加，所以將鋼線張力的下限值設為87%。又，在將鋼線張力設為96%以上來進行切斷時會頻繁地發生鋼線斷裂，所以將鋼線張力的上限值設為95%。
又，在本發明中，相對於前次的切斷工件時(此場合是第1次的切斷時)的新線供給量，將要切斷1個工件而供給的鋼線2的長度也就是新線供給量，設為125%以上的範圍的值。
在切斷工件W時的新線供給量，與鋼線磨耗量有關。鋼線磨耗量，是指使用於工件W的切斷前的鋼線2的直徑，與使用於工件W的切斷後的鋼線2的直徑的差值。鋼線 2在實行工件W的切斷過程中，會磨耗而變細，但是如果增加新線供給量就會使鋼線磨耗量變小，相反地如果減少新線供給量就會使鋼線磨耗量變大。在本發明中，相對於前次的切斷工件時的新線供給量，將新線供給量增加至125%以上的範圍的值，藉此能夠相對於前次的切斷時的鋼線磨耗量，將鋼線磨耗量調整成80%以下。
此處，第5圖是表示相對於通常的設定(與前次的工件的切斷時相同的新線供給量)的新線供給量，將再次使用鋼線時的新線供給量設為較大的場合，對於鋼線磨耗量和鋼線的抗斷強度的影響。在第5圖中表示鋼線的抗斷強度與鋼線磨耗量的關係。在第5圖的圖表中，橫軸表示鋼線磨耗量，縱軸表示鋼線的抗斷強度。將通常的設定(與前次的工件的切斷時相同的新線供給量)時的鋼線磨耗量和鋼線的抗斷強度分別設為100%，而鋼線磨耗量和鋼線的抗斷強度是以相對值來標記。
如第5圖所示，如果相對於前次的工件的切斷時的新線供給量，將新線供給量設為125%以上的範圍的值，以將鋼線磨耗量設為80%以下，則能夠對應地將鋼線的直徑維持在較粗的狀態，而相較於設成與前次的切斷相同的新線供給量時的抗斷強度，鋼線的抗斷強度會增大5%左右。此相當於使鋼線張力下降10%左右，因而使鋼線斷裂不容易發生。
若如上述般地增加新線供給量，則即使是將使用過的鋼線2再度使用的場合，也能夠抑制鋼線發生斷裂的情況，且能夠在使晶圓的翹曲等的晶圓品質不致大幅惡化的情況下 進行切斷。另外，如果新線供給量變得太大，會使切斷每1個工件所需要的鋼線的消費量變多，所以較佳是新線供給量不要太大，理想是例如設為200%以下。
接著，藉由工件進給手段5來將工件W相對地壓下，而將工件W壓抵至鋼線列16，再次使用以開始第1個工件W的切斷。在切斷工件W時，一邊從噴嘴6將加工液供給至工件W與鋼線2的接觸部一邊進行切斷。
此時，較佳是相對於前次的工件的切斷(此場合是第1次的切斷)中的工件的進給速度，將工件的進給速度設為83~91%的範圍的值。
這樣，相對於前次的工件的切斷中的工件的進給速度，將工件的進給速度變慢為91%以下，藉此能夠彌補由於鋼線的直徑變細而使漿液的保有量減少所造成的切斷效率的低落。又，相對於前次的工件的切斷中的工件的進給速度，將工件的進給速度設為83%以上，藉此能夠使工件的切斷速度不會變得太慢，以抑制晶圓的生產效率的惡化。
一邊如上述般地控制鋼線張力、新線供給量，一邊進一步地將工件W壓下至下方以進行切斷，在切斷結束後，將工件的進給方向逆轉，藉此從鋼線列16拉出切斷後的工件W，以回收已切出的晶圓。如上述，利用使用過1次的鋼線2依序且反覆地將複數個工件切斷成晶圓狀。如以上，利用使用過1次的鋼線2來實行第2次的切斷(第1圖的S102)。
如果是這樣的工件的切斷方法，將使用過的鋼線再次使用，藉此能夠大幅地增加以同一條鋼線可以切斷的工件 的個數，而能夠大幅削減關於鋼線的成本。進一步，在再次使用鋼線時，以本發明的方式將鋼線張力和新線供給量控制在適當的範圍中來實行切斷，就能夠抑制鋼線的斷裂的發生率和切斷後的晶圓的品質的惡化，而能夠得到一種與前次的切斷同等的品質的晶圓。
又，在第2次的切斷後而在第3次的切斷時，相對於在前次的工件的切斷(此場合是第2次的切斷)中的鋼線張力，將鋼線張力設為87~95%的範圍的值，進一步，相對於在前次的工件的切斷(此場合是第2次的切斷)時的新線供給量，將新線供給量設為125%以上的範圍的值，以反覆實施工件的切斷(第1圖的S103)。進一步，利用本發明的工件的切斷方法，在第4次或第5次以後的切斷中，能夠使用同一條鋼線來實行工件的切斷，直到鋼線的直徑減少至直到使用壽命終結為止。
[實施例]
以下，表示本發明的實施例和比較例以更具體地說明本發明，但是本發明不受限於這些例子。
(實施例1)
使用如第2圖、第3圖所示的線鋸，將已經在工件的切斷中使用過1次的鋼線再次使用，來實施第2次的工件的切斷。
工件是使用單晶矽晶棒，鋼線是使用高碳鋼(high carbon steel)黃銅鍍覆鋼線(brass-plated steel wire)。將直徑300mm，長度100~450mm的單晶矽晶棒，使用直徑0.13mm的鋼線實 行切斷後，利用已使用過的鋼線來實施第2次的工件的切斷。在第1次使用鋼線時，每1個線捲軸是切斷4根矽晶棒，進一步利用同一個線捲軸，在第2次使用鋼線時是切斷4根矽晶棒。
如表1內的條件2所示，相對於在第1次使用鋼線時的鋼線張力、新線供給量及工件進給速度，在鋼線使用第2次時的條件中，分別將鋼線張力設為91%、新線供給量設為125%、及工件進給速度沒有改變而是設為100%來實行切斷。在表1內的鋼線斷裂發生率和晶圓的翹曲，將第1次使用鋼線時的值設為1以記載為相對值。鋼線斷裂發生率和晶圓的翹曲越小，這些的相對值就變得越小。理想的鋼線斷裂發生率和晶圓的翹曲，其值希望較小。
其結果，鋼線斷裂發生率，變成鋼線第1次使用時的1.6倍，這是可接受的程度。針對晶圓的翹曲，會變成第1次使用時的晶圓的翹曲的1.07倍，這是可接受的程度。
這樣，如果是本發明的切斷方法，即使將使用過的鋼線再次使用，也能夠將鋼線斷裂發生率和晶圓的翹曲降低至可接受的程度，而確認能夠一邊削減關於鋼線的成本，一邊得到與前次的切斷相同程度的品質的晶圓。
(實施例2)
與實施例1同樣，將已經在工件的切斷中使用過1次的鋼線再次使用，以實施第2次的工件的切斷。
如表1內的條件3所示，相對於在第1次使用鋼線時的鋼線張力、新線供給量及工件進給速度，在鋼線使用第2次 時的條件中，分別將鋼線張力設為91%、新線供給量設為125%、及工件進給速度設為90%來實行切斷。其結果，鋼線斷裂發生率，變成鋼線第1次使用時的1.6倍，這是可接受的程度。又，針對晶圓的翹曲，變成第1次使用時的晶圓的翹曲的0.99倍，這是比實施例1更加提升了晶圓品質。
這樣，在本發明的工件的切斷方法中，如果將工件進給速度控制在83~91%，則確認能夠更加改善晶圓的翹曲。
(實施例3)
與實施例1同樣，將已經在工件的切斷中使用過1次的鋼線再次使用，以實施第2次的工件的切斷。
如表1內的條件4所示，相對於在第1次使用鋼線時的鋼線張力、新線供給量及工件進給速度，在鋼線使用第2次時的條件中，分別將鋼線張力設為87%、新線供給量設為125%、及工件進給速度沒有改變而是設為100%來實行切斷。
其結果，鋼線斷裂發生率，變成鋼線第1次使用時的1.4倍，這是可接受的程度。針對晶圓的翹曲，變成第1次使用時的晶圓的翹曲的1.07倍，這是可接受的程度。
(實施例4)
與實施例1同樣，將已經在工件的切斷中使用過1次的鋼線再次使用，以實施第2次的工件的切斷。
如表1內的條件5所示，相對於在第1次使用鋼線時的鋼線張力、新線供給量及工件進給速度，在鋼線使用第2次時的條件中，分別將鋼線張力設為95%、新線供給量設為125%、及工件進給速度沒有改變而是設為100%來實行切斷。
其結果，鋼線斷裂發生率，變成鋼線第1次使用時的1.7倍，這是可接受的程度。針對晶圓的翹曲，變成第1次使用時的晶圓的翹曲的1.02倍，這是可接受的程度。
(比較例1)
與實施例1同樣，將已經在工件的切斷中使用過1次的鋼線再次使用，以實施第2次的工件的切斷。
如表1內的條件1’所示，在鋼線第2次使用時的條件中，是以與鋼線第1次使用時的工件的切斷時相同的鋼線張力(相對於在鋼線第1次使用時是100%的值)、相同的新線供給量(相對於在鋼線第1次使用時是100%的值)、及相同的工件進給速度(相對於在鋼線第1次使用時是100%的值)來實行切斷。
其結果，晶圓的翹曲，是與鋼線第1次使用時同等，但是鋼線斷裂發生率，大幅惡化成鋼線第1次使用時的12.6倍。
利用比較例1這樣的條件來將鋼線再次使用於工件的切斷的場合，鋼線斷裂發生率太高而無法穩定地得到高品質的晶圓，確認了實質上不能夠用於鋼線的再次使用。
(比較例2)
與實施例1同樣，將已經在工件的切斷中使用過1次的鋼線再次使用，以實施第2次的工件的切斷。
如表1內的條件6所示，相對於在第1次使用鋼線時的鋼線張力、新線供給量及工件進給速度，在鋼線使用第2次時的條件中，分別將鋼線張力設為86%、新線供給量設為125%、及工件進給速度沒有改變而是設為100%來實行切斷。 其結果，鋼線斷裂發生率，變成鋼線第1次使用時的1.4倍。又，晶圓的翹曲，變成鋼線第1次使用時的1.2倍。
利用比較例2這樣的條件來將鋼線再次使用於工件的切斷的場合，無法如實施例1~4這樣穩定地得到與前次的切斷同樣程度的品質的晶圓，而確認實質上不能夠用於鋼線的再次使用。
(比較例3)
與實施例1同樣，將已經在工件的切斷中使用過1次的鋼線再次使用，以實施第2次的工件的切斷。
如表1內的條件7所示，相對於在第1次使用鋼線時的鋼線張力、新線供給量及工件進給速度，在鋼線第2次使用時的條件中，分別將鋼線張力設為96%、新線供給量設為125%、及工件進給速度沒有改變而是設為100%來實行切斷。其結果，鋼線斷裂發生率，變成鋼線第1次使用時的3.6倍。又，晶圓的翹曲，變成鋼線第1次使用時的1.02倍。
利用比較例3這樣的條件來將鋼線再次使用於工件的切斷的場合，由於將鋼線張力設為96%，而造成鋼線斷裂頻繁地發生。如此，由於鋼線斷裂發生率太高，所以無法如實施例1~4這樣穩定地得到高品質的晶圓，而確認了實質上不能夠用於鋼線的再次使用。
(比較例4)
與實施例1同樣，將已經在工件的切斷中使用過1次的鋼線再次使用，以實施第2次的工件的切斷。
如表1內的條件8所示，相對於在第1次使用鋼線時的 鋼線張力、新線供給量及工件進給速度，在鋼線第2次使用時的條件中，分別將鋼線張力設為91%、新線供給量設為124%、及工件進給速度沒有改變而是設為100%來實行切斷。其結果，鋼線斷裂發生率，變成鋼線第1次使用時的4.0倍。又，晶圓的翹曲，變成鋼線第1次使用時的1.07倍。
利用比較例4這樣的條件來將鋼線再次使用於工件的切斷的場合，無法如實施例1~4這樣穩定地得到與前次的切斷同樣程度的品質的晶圓，而確認了實質上不能夠用於鋼線的再次使用。
在表1中，彙整地表示在實施例1~4、比較例1~4中的實施結果。
用時的值設為1。
另外，本發明不受限於上述實施型態。上述實施型態是例示，只要與本發明的申請專利範圍所記載的技術思想具有實質上相同的構成並發揮同樣的作用效果，不管何者都包含在本發明的技術範圍中。

Claims (2)

  1. 一種工件的切斷方法，其利用螺旋狀地捲繞在複數個線材導件之間且在軸方向行進的鋼線來形成鋼線列，並將工件壓抵至前述鋼線列來實行前述工件的切斷，其中，將使用於前次的工件的切斷後的鋼線再次使用來切斷下一次的工件，而且，該工件的切斷方法，相對於在前述前次的工件的切斷中的鋼線張力，將切斷前述下一次的工件時的鋼線張力設為87~95%的範圍的值；並且，相對於前述切斷前次的工件時的新線供給量，將前述切斷下一次的工件時的新線供給量設為125%以上的範圍的值，而再次使用前述鋼線來切斷前述下一次的工件。
  2. 如請求項1所述的工件的切斷方法，其中，在前述切斷下一次的工件時，相對於前述前次的工件的切斷中的工件的進給速度，將工件的進給速度設為83~91%的範圍的值。
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