JP3375877B2 - ワイヤソー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、加工用のワイヤ
を用いて、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆
材料よりなるワークに対し、切断加工を施すワイヤソー
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のワイヤソーにおいて
は、加工位置に複数の加工用ローラが所定間隔おきに配
設され、それらのローラの外周に複数の環状溝が所定ピ
ッチで形成されている。また、各加工用ローラ間におい
て、環状溝には１本の加工用のワイヤが順に架設巻回さ
れている。そして、各加工用ローラが回転されることに
より、ワイヤが走行されながら、そのワイヤ上に遊離砥
粒を含むスラリが供給され、この状態でワイヤに対しワ
ークが押し付け接触されて、ワークに切断等の加工が施
されるようになっている。

【０００３】そして、この種のワイヤソーにおいては、
加工用ローラ上にワイヤを供給するためのワイヤ供給機
構が設けられるとともに、加工用ローラ間で加工に使用
されたワイヤを回収するためのワイヤ回収機構が設けら
れている。

【０００４】このワイヤ供給機構の従来構成としては、
例えば図１０に示すように、外周に加工用のワイヤ４１
を巻回したボビン４２が着脱可能に装着され、このボビ
ン４２上からワイヤ案内機構及び張力付与機構等を介し
て、加工用ローラ上にワイヤ４１が供給されるようにな
っている。また、ワイヤ回収機構には空のボビン４２が
着脱可能に装着され、加工用ローラ間で加工に使用され
たワイヤ４１が、ワイヤ案内機構及び張力付与機構等を
介して、このボビン４２上に巻取り回収されるようにな
っている。

【０００５】さらに、前記ワイヤ回収機構において、ボ
ビン４２上に巻取り回収された使用済のワイヤ４１は、
その状態でワイヤ処理会社等に運搬された後、図１１に
示すように中央部で切断されて、ボビン４２上から除去
される。そして、図１０に示すように、空になったボビ
ン４２上には新しいワイヤ４１が巻回され、そのボビン
４２が再び加工工場に運搬されて、ワイヤソーのワイヤ
供給機構に装着使用されるようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来構
成では、ワイヤ供給機構においてボビン４２上からワイ
ヤ４１を繰出し供給するとともに、ワイヤ回収機構にお
いて使用済のワイヤ４１をボビン４２に巻取り回収する
ようになっている。

【０００７】一方、切断加工に際して、ワイヤ４１は往
復走行を繰り返しながら、トータルとして一方向へ歩進
的に前進する。従って、ワイヤ４１はボビン４２に対し
て巻回と繰出しとを繰返すことになる。このため、ボビ
ン４２に対するワイヤ４１の巻回が規則的に整然と行わ
れないと、ワイヤ４１が下層の巻取り部分に食込んだり
する。このように食込みが生じると、ワイヤ４１の繰出
しに際して、ワイヤ４１の張力が大きく変動して加工精
度が低下したり、ワイヤ４１が切断されたりするおそれ
がある。

【０００８】このため、ボビンに対するワイヤ巻取りや
ワイヤ繰出しが規則的に行われるように、各ボビン４２
には、ボビン４２に対するワイヤ４１の繰出し及び巻取
りを案内するためのトラバース機構をそれぞれ付設する
必要があった。しかも、ワイヤ供給機構及びワイヤ回収
機構には、ボビン４２を繰出し回転または巻取り回転さ
せ、ワイヤを高速に往復走行させるための大容量のモー
タを装備する必要がある。つまり、切断性の向上や品質
向上のため、ワイヤ走行の高速化及びワイヤ往復走行の
高サイクル化が必要となり、これには、ボビン４２の大
重量化はモータの正逆回転に大きな負荷となる。また、
それらのモータの回転速度をボビン４２上のワイヤ４１
の巻径に応じて調整するための制御装置を装備する必要
があった。よって、ワイヤソーの構造が複雑で高価にな
るという問題があった。

【０００９】さらに、前記従来構成においては、ボビン
４２上にワイヤ４１が規則的に整然と多層巻回されるた
め、ボビン４２に対する巻回圧力が強大になる。従っ
て、その巻回圧力に耐えるように、ボビン４２を堅固に
形成する必要があって、ボビン４２の製造単価が高くな
るばかりでなく、ボビン４２がさらに大重量になって、
前述したモータの大容量化の問題の他、運搬や保管等の
取扱い労力を要するという問題もあった。

【００１０】さらに、ボビン４２に使用前のワイヤ４１
を巻付ける前工程において、伸線工程があるが、ボビン
４２に巻付けるワイヤ４１の量が制限されていることか
ら、伸線工程の途中でボビン４２の取り替えのための作
業の中断があり、長時間連続した伸線作業が行えず、稼
働効率が悪かった。

【００１１】しかも、前記従来構成においては、使用済
のワイヤ４１を巻取り回収したボビン４２をワイヤ処理
会社等に運搬して、使用済のワイヤ４１の切断除去及び
新しいワイヤ４１の巻回処理という面倒な作業を行う必
要があった。このため、ワイヤ４１に関するデリバリコ
ストが高くなるという問題もあった。

【００１２】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その主たる
目的は、ボビンを使用することなく、貯線量を向上さ
せ、加工位置へのワイヤの供給及び加工位置からの使用
済のワイヤの回収をワイヤの量に制限なく行うことがで
きて、装置の構造を簡素化して装置自体のコストを低減
することができるとともに、ワイヤの高速走行及びワイ
ヤの高往復サイクル走行が可能になって切断加工を効率
的に行うことができるワイヤソーを提供することにあ
る。

【００１３】この発明のその他の目的は、ボビンに対す
るワイヤの巻取りや、ボビンの運搬等を不要にできて、
ワイヤのデリバリコストを低減することができるワイヤ
ソーを提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載のワイヤソーの発明では、加工位
置に配設され、加工用のワイヤを架設巻回した状態で回
転されて、ワイヤを走行させる複数の加工用ローラと、
その加工用ローラのワイヤ供給側及び回収側にそれぞれ
配設され、加工用ローラとの間のワイヤに対して、所定
の張力を付与するための第１張力付与手段と、その第１
張力付与手段よりもワイヤ供給側及び回収側にそれぞれ
配設され、第１張力付与手段による張力の伝播を遮断す
るための張力遮断手段と、その張力遮断手段よりもワイ
ヤ供給側及び回収側にそれぞれ配設され、張力遮断手段
との間のワイヤに対して、第１張力付与手段よりも弱い
張力を付与するための第２張力付与手段と、その第２張
力付与手段よりもワイヤ供給側において、供給するワイ
ヤを解線状態で収容する第１ワイヤ容器と、第２張力付
与手段よりもワイヤ回収側において、回収されたワイヤ
を収容する第２ワイヤ容器とを備えたものである。

【００１５】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記供給側及び回収側における第１張
力付与機構と第２張力付与機構との間には、ワイヤ双方
向走行時において相互に返送分のワイヤの全体或いは一
部を一時的に滞留させるワイヤ滞留機構を設けたことを
その要旨とする。

【００１６】請求項３に記載の発明は、請求項１又は請
求項２に記載の発明において、前記各ワイヤ滞留機構は
相互に返送分のワイヤの全体或いは一部をローラ上に巻
き回して滞留させることをその要旨とする。

【００１７】請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求
項３のうちいずれか一項に記載の発明において、前記張
力遮断手段はワイヤを巻き付けるローラであることをそ
の要旨とする。

【００１８】請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求
項３のうちいずれか一項に記載の発明において、前記回
収側における第２張力付与手段とワイヤ容器との間のワ
イヤ経路中に、ワイヤを切断するためのワイヤ切断手段
を配設したことをその要旨とする。

【００１９】請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求
項３のうちいずれか一項に記載の発明において、前記供
給側及び回収側のワイヤ容器のうちの少なくとも一つの
内部には、進入してくるワイヤをワイヤ容器内に案内す
る案内部材を設けたことをその要旨とする。

【００２０】請求項７に記載の発明は、請求項６に記載
の発明において、前記案内部材はその先端に案内面を形
成したことをその要旨とする。請求項８に記載の発明
は、請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の発
明において、前記第２張力付与手段と回収側のワイヤ容
器との間のワイヤ経路中に、使用済みのワイヤが挿通さ
れるワイヤ案内体を配設し、同ワイヤ案内体は駆動手段
によりワイヤ容器内へのワイヤ導入位置を変化させるよ
うに動作することをその要旨とする。

【００２１】請求項９に記載の発明は、請求項１〜請求
項３のうちいずれか一項に記載の発明において、ワイヤ
容器は揺動可能に支持されたことをその要旨とする。請
求項１０に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうちい
ずれか一項に記載の発明において、複数のワイヤ容器を
所定の位置に対して入れ替え可能に配置したことをその
要旨とする。

【００２２】請求項１１に記載の発明は、請求項１０に
記載の発明において、複数のワイヤ容器を回動可能なテ
ーブルの上に支持したことをその要旨とする。さて、請
求項１に記載のワイヤソーにおいては、加工用ローラの
ワイヤ供給側及びワイヤ回収側に、第１張力付与手段、
張力遮断手段、第２張力付与手段及びワイヤ容器がそれ
ぞれ配設されている。そして、第１張力付与手段によ
り、加工位置のワイヤに対して所定の張力が付与される
とともに、第２張力付与手段により、ワイヤ容器付近の
ワイヤに対して、第１張力付与手段の張力よりも弱い張
力が付与されるようになっている。

【００２３】このため、供給側のワイヤ容器に解線状態
で収容されたワイヤは、各手段を介して加工位置の加工
用ローラ上に支障なく繰出し供給される。また、加工用
ローラ間で加工に使用されたワイヤは、各手段を介して
回収側のワイヤ容器へ順に回収収容される。従って、ボ
ビンを使用することなく、加工位置へのワイヤの供給及
び加工位置からの使用済のワイヤの回収を行うことがで
きると共に、ワイヤの高速走行及びワイヤの高往復サイ
クル走行が可能となる。ボビンに比べ、容器内へのワイ
ヤの貯線量が飛躍的に向上し、従来のようなボビンの取
り替え作業も要らず、大口径、長尺インゴット等を連続
的に切断することが可能となる。また、使用済のワイヤ
をワイヤ処理会社等に依存することなく、回収側のワイ
ヤ容器とともに容易に廃棄処理することができる。

【００２４】請求項２及び請求項３に記載のワイヤソー
では、供給側及び回収側における第１張力付与機構と第
２張力付与機構との間には、ワイヤ双方向走行時におけ
る供給分及び返送分の全体或いは一部のワイヤを一時的
に滞留させるワイヤ滞留機構が設けられている。このた
め、返送分（繰り出し量−新線送り量）のワイヤを供給
側及び回収側滞留部に交互に溜め込むことで、供給側の
ワイヤ容器からは新線繰り出しのみが行われ、回収側の
ワイヤ容器には供給側から繰り出された分の使用済みの
ワイヤのみが回収される。従って、供給側及び回収側の
両ワイヤ容器へのワイヤの出入り動作の頻度が減少し、
ワイヤの絡みをなくすことができるため、ワイヤを供給
側及び回収側滞留機構に交互に高速に溜め込むことによ
り、ワイヤ双方向走行の単位時間当たりの往復サイクル
を容易に高めることが可能となり、切断品質（ソーマー
ク、表面荒さの低減化、厚さばらつきの低減化等）の改
善を図ることが可能となる。

【００２５】請求項４に記載のワイヤソーでは、張力遮
断手段はワイヤを巻き付けるローラとしたため、構成が
簡単であり、ローラを回転駆動することによりワイヤに
送りを与えることもできる。さらに、前記ワイヤ滞留機
構のローラを兼用することもできる。

【００２６】請求項５に記載のワイヤソーでは、ワイヤ
の回収側における第２張力付与手段とワイヤ容器との間
のワイヤ経路中に、ワイヤを切断するためのワイヤ切断
手段が配設されている。このため、使用済のワイヤを定
量毎に或いは加工工程の区切り等において随時切断し
て、容易に廃棄処理することができる。

【００２７】請求項６及び請求項７に記載のワイヤソー
では、供給側及び回収側のワイヤ容器のうちの少なくと
も一つの内部には、進入してくるワイヤをワイヤ容器内
に案内する案内部材が設けられている。また、前記案内
部材の先端には案内面が形成されている。このため、ワ
イヤ容器上部から進入する使用済みのワイヤは、案内面
に案内され、案内部材棒の周りに滑らかに円を描いてワ
イヤ容器内に巻回収容される。従って、使用済みのワイ
ヤが高速でワイヤ容器内に送り込まれても、同ワイヤが
絡まることなくスムーズにワイヤ容器内に収容すること
ができる。

【００２８】請求項８に記載のワイヤソーでは、第２張
力付与手段と回収側のワイヤ容器との間のワイヤ経路中
に、使用済みのワイヤが挿通されるワイヤ案内体を配設
し、同ワイヤ案内体はその近傍に設けられた駆動手段に
より駆動され、ワイヤ容器内へのワイヤ導入位置を変化
させるように例えばワイヤ容器の開口部に対して往復又
は回転運動を行う。このため、使用済みのワイヤはワイ
ヤ容器の開口部から例えば螺旋を描くように進入し、ワ
イヤ容器の内部底面に均等に滞積収容される。従って、
使用済みのワイヤが絡まることなくワイヤ容器内に均等
に滞積収容され、使用済みのワイヤのワイヤ容器に対す
る収容率を向上させることができる。

【００２９】請求項９に記載のワイヤソーでは、回収側
のワイヤ容器は例えば台座に突設された支持部材によっ
て支持されると共に、台座とワイヤ容器との間にはバネ
が介装され、ワイヤ容器はその近傍に設けられた駆動機
構から外力を加えられることによって支持部材を支点と
して左右に揺動自在に支持されている。このため、ワイ
ヤ容器内に滞積収容されるワイヤはワイヤ容器内部で揺
さぶられ、ワイヤはワイヤ容器の内部底面に均一に滞積
収容される。従って、使用済みのワイヤのワイヤ容器に
対する収容率を向上させることができる。

【００３０】請求項１０及び請求項１１に記載のワイヤ
ソーでは、複数のワイヤ容器が入れ替え可能に配置され
ている。このため、一つ目のワイヤ容器が満杯になった
とき、二つ目のワイヤ容器がワイヤ回収位置に移動さ
れ、これにワイヤが収容される。このため、加工途中に
ワイヤ容器がワイヤで満杯になっても、加工を中断する
ことなく継続してワイヤの回収を行うことができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】

(第１実施形態）以下に、この発明の第１実施形態を、
図１に基づいて詳細に説明する。

【００３２】図１に示すように、切断機構１１は加工位
置に配設されている。この切断機構１１は平行に延びる
複数の加工用ローラ１２を備え、それらの外周には環状
溝１２ａが所定ピッチで加工用ローラ１２の軸線方向に
形成されている。１本の線材よりなる加工用のワイヤ１
３は加工用ローラ１２間において、それらの各環状溝１
２ａに連続的に架設巻回されている。

【００３３】そして、図示しないワイヤ走行用モータ等
の駆動手段により、各加工用ローラ１２が図１の時計方
向に回転されて、ワイヤ１３が所定の走行速度で走行さ
れるようになっている。このワイヤ１３の走行は、一定
量前進（例えば１０ｍ）及び一定量後退（例えば９ｍ）
を繰り返し、全体として歩進的に前進するようになって
いる。

【００３４】ワーク支持機構１４は前記切断機構１１の
上方に上下動可能に対向配置され、その下部には硬脆材
料よりなるワーク１５が着脱自在にセットされる。そし
て、ワイヤソーの運転時には、ワイヤ１３が切断機構１
１の加工用ローラ１２間で走行されながら、このワーク
支持機構１４が切断機構１１に向かって下降される。

【００３５】このとき、図示しないスラリ供給機構によ
り、ワイヤ１３上へ遊離砥粒を含む水性または油性のス
ラリが供給される。この状態で、前記ワーク支持機構１
４の下降に伴い、ワイヤ１３に対しワーク１５が押し付
け接触されて、ラッピング作用によりワーク１５がウエ
ハ状に切断加工される。

【００３６】供給側の第１張力付与手段としての第１供
給側張力付与機構１６は、前記切断機構１１のワイヤ供
給側に配設されている。この第１供給側張力付与機構１
６はダンサローラ１７を備え、切断機構１１の加工用ロ
ーラ１２間のワイヤ１３に対して、張力変動を吸収する
ように上下に変動して供給側から所定の張力を付与する
ようになっている。

【００３７】供給側の張力遮断手段としての供給側張力
遮断機構１８は、前記第１供給側張力付与機構１６より
もワイヤ供給側に配設されている。この供給側張力遮断
機構１８はワイヤ１３を所定ピッチで架設巻回する一対
のローラ１９でなるキャプスタンを備えている。前記ロ
ーラ１９は図示しないモータにより回転駆動されると共
に、前記加工用ローラ１２によるワイヤ送りに同期して
駆動される。そして、ローラ１９は前記ダンサローラ１
７の変位量に基づいてその回転が補正制御され、ワイヤ
１３の繰り出し及び巻き取りを行う。これと同時に、前
記第１供給側張力付与機構１６によってワイヤ１３に付
与された張力の伝播が遮断されるようになっている。

【００３８】また、前記供給側張力遮断機構１８におけ
る両ローラ１９の外周には、ウレタンゴム等の弾性樹脂
材料よりなる被覆体が装着されている。そして、このロ
ーラ１９上の被覆体が摩耗したときに、新しい被覆体と
交換して使用できるようになっている。

【００３９】一対の供給側ワイヤ案内体２０は、前記供
給側張力遮断機構１８よりもワイヤ供給側において、所
定間隔おきで配設されている。供給側の第２張力付与手
段としての第２供給側張力付与機構２１は供給側ワイヤ
案内体２０間に配設され、一対の接触回転可能なローラ
２２を備えている。一方のローラ２２はモータ２３によ
り回転駆動され、他方のローラ２２は圧接ローラで構成
されている。そして、前記両ローラ２２がワイヤ１３を
挟んだ状態でモータ２３により回転されることによっ
て、供給側張力遮断機構１８側へ供給されるワイヤ１３
には、第１供給側張力付与機構１６よりも弱い張力が付
与される。

【００４０】また、前記第２供給側張力付与機構２１に
おいては、モータ２３の回転を制御して、ワイヤ１３に
付与する張力が調整されるようになっている。さらに、
第２供給側張力付与機構２１において、少なくとも一方
のローラ２２の外周には、ウレタンゴム等の弾性樹脂材
料よりなる被覆体が装着されている。そして、このロー
ラ２２上の被覆体が摩耗したときに、新しい被覆体と交
換して使用できるようになっている。

【００４１】第１容器としての供給側ワイヤ容器２４は
前記第２供給側張力付与機構２１よりもワイヤ供給側に
配設されている。この供給側ワイヤ容器２４は、有底円
筒状の容器本体２５と、その容器本体２５の中心に突設
された案内棒２６とを備えている。そして、供給するワ
イヤ１３は伸線工程において所定径に成形された後、ボ
ビンに巻き付けない状態、すなわち解線状態のまま容器
本体２５内において案内棒２６の周りに、積み上げるよ
うに収容されている。

【００４２】回収側の構成は供給側の構成と同様であ
る。すなわち、回収側の第１張力付与手段としての第１
回収側張力付与機構２７は、前記切断機構１１のワイヤ
回収側に配設されている。この第１回収側張力付与機構
２７はダンサローラ２８を備え、切断機構１１の加工用
ローラ１２間で切断加工に使用されたワイヤ１３に対し
て、張力変動を吸収するように上下変動し、回収側から
所定の張力を付与するようになっている。

【００４３】回収側の張力遮断手段としての回収側張力
遮断機構２９は、前記第１回収側張力付与機構２７より
もワイヤ回収側に配設されている。この回収側張力遮断
機構２９はワイヤ１３を所定ピッチで架設巻回する一対
のローラ３０でなるキャプスタンを備えている。前記ロ
ーラ３０は図示しないモータにより回転駆動されると共
に、前記加工用ローラ１２によるワイヤ送りに同期して
駆動される。そして、ローラ３０は前記ダンサローラ２
８の変位量に基づいてその回転が補正制御され、ワイヤ
１３の繰り出し及び巻き取りを行う。これと同時に、前
記第１供給側張力付与機構２７によってワイヤ１３に付
与された張力の伝播が遮断されるようになっている。

【００４４】また、前記回収側張力遮断機構２９におけ
る両ローラ３０の外周には、ウレタンゴム等の弾性樹脂
材料よりなる被覆体が装着されている。そして、このロ
ーラ３０上の被覆体が摩耗したときに、新しい被覆体と
交換して使用できるようになっている。

【００４５】一対の回収側ワイヤ案内体３１は、前記回
収側張力遮断機構２９よりもワイヤ回収側において、所
定間隔おきで配設されている。回収側の第２張力付与手
段としての第２回収側張力付与機構３２は回収側ワイヤ
案内体３１間に配設され、一対の接触回転可能なローラ
３３を備えている。一方のローラ３３はモータ３４によ
り駆動され、他方のローラ３３は圧接ローラで構成され
ている。そして、前記両ローラ３３がワイヤ１３を挟ん
だ状態でモータ３４により回転されることによって、回
収側張力遮断機構２９上から回収されるワイヤ１３に
は、第１回収側張力付与機構２７よりも弱い張力が付与
される。

【００４６】また、前記第２回収側張力付与機構３２に
おいては、モータ３４の回転を制御して、ワイヤ１３に
付与する張力が調整されるようになっている。さらに、
第２回収側張力付与機構３２において、少なくとも一方
のローラ３３の外周には、ウレタンゴム等の弾性樹脂材
料よりなる被覆体が装着されている。そして、このロー
ラ３３上の被覆体が摩耗したときに、新しい被覆体と交
換して使用できるようになっている。

【００４７】第２容器としての回収側ワイヤ容器３５は
前記第２回収側張力付与機構３２よりもワイヤ回収側に
配設されている。この回収側ワイヤ容器３５は、有底円
筒状の容器本体３６と、その容器本体３６の中心に突設
された案内棒３７とを備えている。そして、回収される
使用済のワイヤ１３が、容器本体３６内において案内棒
３７の周りに巻回収容されるようになっている。

【００４８】ワイヤ切断手段としてのワイヤ切断機構３
８は、前記第２回収側張力付与機構３２と回収側ワイヤ
容器３５との間のワイヤ経路中に配設されている。この
ワイヤ切断機構３８は一対の開閉動作可能なカッタ３９
を備え、例えばワイヤ容器３５内に使用済みのワイヤ１
３が満載近くになったとき、１つのワーク１５に対する
加工が終了した加工工程の区切り等において、使用済の
ワイヤ１３を切断するようになっている。そして、この
ワイヤ１３の切断状態で、回収側ワイヤ容器３５内に収
容された使用済のワイヤ１３を、その回収側ワイヤ容器
３５とともに廃棄処理するようになっている。

【００４９】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作を説明する。さて、このワイヤソーの運転時に
は、切断機構１１における加工用ローラ１２の回転によ
り、ワイヤ１３が加工用ローラ１２間で走行されなが
ら、図示しないスラリ供給機構により、ワイヤ１３上へ
遊離砥粒を含むスラリが供給される。この状態で、ワー
ク支持機構１４の下降により、ワイヤ１３に対してワー
ク１５が押し付け接触される。これにより、ワーク１５
がラッピング作用で所定の厚さに切断加工される。

【００５０】このワーク１５の加工時には、ワイヤ１３
の供給側において、第１供給側張力付与機構１６によ
り、加工位置のワイヤ１３に対して所定の張力が付与さ
れている。また、第２供給側張力付与機構２１より、供
給側ワイヤ容器２４付近のワイヤ１３に対して、第１供
給側張力付与機構１６の張力よりも弱い張力が付与され
ている。そして、第１供給側張力付与機構１６のワイヤ
供給側において、供給側張力遮断機構１８により、第１
供給側張力付与機構１６にてワイヤ１３に付与された張
力の伝播が遮断されている。このため、供給側ワイヤ容
器２４に解線状態で収容されたワイヤ１３は、供給側ワ
イヤ案内体２０及び第２供給側張力付与機構２１を介し
て供給側張力遮断機構１８のローラ１９に確実に巻き付
けられ、この供給側張力遮断機構１８及び第１張力付与
機構１６を介して、加工位置の加工用ローラ１２上に支
障なく繰出し供給される。

【００５１】一方、ワイヤ１３の回収側においては、第
１回収側張力付与機構２７により、加工位置のワイヤ１
３に対して所定の張力が付与されている。また、第２回
収側張力付与機構３２により、回収側ワイヤ容器３５付
近のワイヤ１３に対して、第１回収側張力付与機構２７
の張力よりも弱い張力が付与されている。そして、第１
回収側張力付与機構２７のワイヤ回収側において、回収
側張力遮断機構２９により、第１回収側張力付与機構２
７にてワイヤ１３に付与された張力の伝播が遮断されて
いる。このため、加工用ローラ１２間で加工に使用され
たワイヤ１３は、回収側の各機構２７，２９，３２及び
回収側ワイヤ案内体３１を介して回収側ワイヤ容器３５
内へ順に回収収容される。

【００５２】従って、加工位置において、ワイヤ１３を
確実に緊張させることができて、高精度加工を行うこと
ができる一方、その加工位置のワイヤ張力が加工位置の
両側で遮断されるため、容器２４，３５側に不要に高い
張力が伝播されるのを防止できる。そして、両容器２
４，３５の近傍においては、ワイヤ１３に軽い張力が付
与されるため、ワイヤ１３の供給や回収がジャミングを
生じることなく、円滑に行われるとともに、容器３５の
手前でカッタ３８による切断を確実に行うことができ
る。

【００５３】さらに、１つのワーク１５に対する加工の
終了域は容器３５内に所定量のワイヤ１３が回収された
とき等においては、ワイヤ切断機構３８により使用済の
ワイヤ１３が、回収側ワイヤ容器３５の開口近傍におい
て切断される。そして、このワイヤ１３の切断状態で、
回収側ワイヤ容器３５内に収容された使用済のワイヤ１
３が、ワイヤ処理会社等に運搬することなく、その回収
側ワイヤ容器３５とともに廃棄処理される。

【００５４】よって、この実施形態のワイヤソーにおい
ては、ボビンを使用することなく、加工位置の加工用ロ
ーラ１２上へワイヤ１３を供給することができるととも
に、その加工用ローラ１２間で使用されたワイヤ１３を
回収することができる。従って、ワイヤ１３の供給位置
及び回収位置に、トラバース機構、ボビン回転用モー
タ、及びそのモータの回転制御装置を装設する必要がな
く、ワイヤソーの構成が簡単になる。

【００５５】また、この実施形態のワイヤソーにおいて
は、ボビンを使用していないため、ワイヤの巻回圧力に
耐えるように、ボビンを堅固に形成する必要もない。さ
らに、使用済のワイヤを巻回したボビンをワイヤ処理会
社等に運搬して、使用済のワイヤの切断除去及び新しい
ワイヤの巻回処理という面倒な作業を行う必要もない。
従って、供給側及び回収側の双方において、ワイヤ１３
の取扱いが簡単になる。

【００５６】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 ・この実施形態のワイヤソーにおいては、加工用ローラ
１２のワイヤ供給側及びワイヤ回収側に、第１張力付与
機構１６，２７、張力遮断機構１８，２９、第２張力付
与機構２１，３２及びワイヤ容器２４，３５がそれぞれ
配設されている。そして、第１張力付与機構１６，２７
により、加工位置のワイヤ１３に対して所定の張力が付
与されるとともに、第２張力付与機構２１，３２によ
り、ワイヤ容器２４，３５付近のワイヤ１３に対して、
第１張力付与機構１６，２７の張力よりも弱い張力が付
与されるようになっている。

【００５７】このため、供給側のワイヤ容器２４に解線
状態で収容されたワイヤ１３は、各機構を介して加工位
置の加工用ローラ１２上に支障なく繰出し供給される。
また、加工用ローラ１２間で加工に使用されたワイヤ１
３は、各機構を介して回収側のワイヤ容器３５へ順に回
収収容される。

【００５８】従って、ボビンを使用することなく、加工
位置へのワイヤ１３の供給及び加工位置からの使用済の
ワイヤ１３の回収を行うことができて、トラバース機構
やボビンを回転させるためのモータ、あるいはそれらの
機構の動作を制御するための制御装置が不要になり、ワ
イヤソー全体の構造を簡素化してワイヤソー自体のコス
トを低減することができる。また、大重量のボビンを使
用しないため、新たなワイヤ１３の運搬や保管に手間が
かかることがない。しかも、供給側使用済のワイヤ１３
をワイヤ処理会社等に依存することなく、回収側のワイ
ヤ容器３５とともに容易に廃棄処理することができる。
従って、ワイヤ１３のデリバリコストを低減することが
できる。

【００５９】・この実施形態のワイヤソーにおいては、
ワイヤ１３の回収側における第２張力付与機構３２とワ
イヤ容器３５との間のワイヤ経路中に、ワイヤ１３を切
断するためのワイヤ切断機構３８が配設されている。こ
のため、使用済のワイヤ１３を定量毎或いは加工工程の
区切り等において随時切断して、容易に廃棄処理するこ
とができる。

【００６０】・この実施形態のワイヤソーにおいては、
ローラ２２，３３の被覆体がウレタン樹脂等の合成樹脂
により構成されているため、ワイヤ１３に対するダメー
ジが少なく、ワイヤダメージによる加工精度低下を防止
できる。しかも、その被覆体が交換可能であるため、そ
の被覆体が磨耗したときには新たな被覆体に交換するこ
とにより、常に良好な案内作用を得ることができ、高精
度加工に寄与できる。

【００６１】・この実施形態のワイヤソーにおいては、
ワイヤ１３の走行に際して大重量のボビンを回転させる
必要がないため、ワイヤ１３の高速走行が可能になると
ともに、ワイヤ１３の走行方向反転時においてワイヤ１
３の走行方向切替を迅速に行うことができる。従って、
ワイヤ１３による切断作業を効率的に行うことができ
る。 （第２実施形態）次に、本発明の第２実施形態を図２に
従って説明する。

【００６２】尚、以下の各実施形態においては、前述し
た第１実施形態と構成の異なる部分のみを説明する。図
２に示すように、第２容器としての回収側ワイヤ容器４
０は有底円筒状の容器本体４１と、同容器本体４１の中
心に突設された案内部材としての案内棒４２とを備えて
おり、同案内棒４２の先端には円錐状の案内面４２Ａが
形成されている。そして、使用済みのワイヤ１３が容器
本体４１内にその上部から入ってくると、ワイヤ１３は
前記案内棒４２の上部に形成された案内面４２Ａによっ
て案内され、案内棒４２の周りにスムーズに円を描いて
容器本体４１内に滞積収容される。

【００６３】従って、本第２実施形態によれば、前述し
た第１実施形態における効果に加えて、以下の効果を得
ることができる。 ・案内棒４２の先端に円錐状の案内面４２Ａを形成した
ことによって、容器本体４１内にその上部から入ってく
る使用済みのワイヤ１３は、案内面４２Ａに案内され、
案内棒４１の周りに滑らかに円を描いて容器本体４１内
に巻回収容される。従って、使用済みのワイヤ１３が高
速で容器本体４１内に送り込まれても、同ワイヤ１３を
絡まることなくスムーズに容器本体４１内に収容するこ
とができる。 （第３実施形態）次に、本発明の第３実施形態を図３〜
図５に従って説明する。

【００６４】本第３実施形態が前記第１, 第２実施形態
と主に異なるのは、一対のワイヤ案内体３１のうち、ワ
イヤ回収側に配設されているワイヤ案内体３１及びその
関連構成である。

【００６５】図３に示すように、第２容器としての回収
側ワイヤ容器５０は有底円筒状の容器本体５１により構
成されている。ワイヤ切断機構３８は、第２回収側張力
付与機構３２と回収側ワイヤ容器５０との間に配設され
ている。

【００６６】図４及び図５に示すように、前記回収側ワ
イヤ容器５０とワイヤ切断機構３８との間にはワイヤ案
内体５２が鉛直方向に対して角度θを有して配設されて
いる。ワイヤ案内体５２の上下二カ所には、球面状のジ
ャーナル５３，５４が設けられている。

【００６７】軸受ハウジング５５及び歯車５６はワイヤ
切断機構３８と回収側ワイヤ容器５０との間に配置さ
れ、歯車５６は軸Ｋを中心に回転自在に設けられてい
る。また、前記軸受ハウジング５５の中心には軸Ｋを中
心とする球面軸受５５Ａが設けられ、前記歯車５６の回
転軸Ｋからその外周方向に所定距離ずれた位置には、球
面軸受５６Ａが設けられている。

【００６８】そして、前記ワイヤ案内体５２のジャーナ
ル５３，５４は、それぞれ球面軸受５５Ａ, ５６Ａに支
持されている。また、前記ワイヤ案内体５２の近傍には
駆動手段としてのモータ５７が配置されており、同モー
タ５７の軸５８の先端には歯車５９が連結されている。

【００６９】前記歯車５６と歯車５９とは噛み合ってお
り、モータ５７の回転力は歯車５９及び歯車５６を介し
て球面軸受５６Ａに伝達される。すると、歯車５６はそ
の回転軸Ｋを中心に回転し、これに伴ってワイヤ案内体
５２の下端５２Ａは、ジャーナル５３を支点として回転
する。すると、使用済みのワイヤ１３は容器本体５１の
開口部５１Ａから螺旋を描くようにして進入し、容器本
体５１の内部底面に均等に滞積収容される。

【００７０】従って、本第３実施形態によれば、前述し
た第２実施形態における効果に加えて、以下の効果を得
ることができる。 ・ワイヤ案内体５２をジャーナル５３を中心に下端５２
Ｂが円を描いて回転するように構成したことにより、使
用済みのワイヤ１３が容器本体５１に対向する面内で常
に位置移動しながら導入されるため、ワイヤ１３が絡ま
ることなく容器本体５１内に均等に滞積収容される。こ
のため、使用済みのワイヤ１３の容器本体５１に対する
収容率を向上させることができる。

【００７１】（第４実施形態）次に、本発明の第４実施
形態を図６に従って説明する。本第３実施形態において
は、支持部材６０は台座６１の上面中心に突設されてお
り、同支持部材６０の上端には球面状の支持部６０Ａが
形成されている。また、本体容器６２の底面中央には球
面状の窪み６２Ａが形成されており、同窪み６２Ａにお
いて前記支持部材６０の支持部６０Ａが容器本体６２を
支持している。

【００７２】また、前記台座６１と容器本体６２との間
には一対のバネ６３が介在されており、同一対のバネ６
３は支持部材６０を中心とする対称位置にそれぞれ配置
されている。また、前記容器本体６２の側方には駆動機
構としてのシリンダ６４が同容器本体６２を介して対向
配置されている。前記シリンダ６４のピストンロッド６
４Ａには当接ローラ６４Ｂが設けられている。

【００７３】使用済みのワイヤ１３の収容時において、
前記二つのシリンダ６４は、一定時間ごとにその一方の
当接ローラ６４Ｂが一定量伸長すると共に、他方の当接
ローラ６４Ｂは前記伸長量分だけ後退し、これが交互に
繰り返される。このため、本体容器６２は支持部材６０
の支持部６０Ａを支点として左右に首振り運動する。

【００７４】従って、ワイヤ１３は容器本体６１内にお
いて揺さぶられ、容器本体６１の内部に均等に滞積収容
される。従って、本第４実施形態によれば、前述した第
３実施形態と同様の効果を得ることができる。

【００７５】（第５実施形態）次に、本発明の第５実施
形態を図７に従って説明する。本第５実施形態におい
て、支持台７０の上部にはテーブル７１がベアリング７
２を介して軸Ｓを中心に回転自在に配設されており、同
テーブル７１の上面には二つの容器本体７３，７４が載
置されている。

【００７６】使用済みのワイヤ１３は、まずワイヤ回収
位置にある一つ目の容器本体７３に収容される。そし
て、一つ目の容器本体７３が満杯になり、ワイヤ切断機
構３８でワイヤ１３が切断されたとき、テーブル７１を
回転することによって空である二つ目の容器本体７４が
ワイヤ回収位置に移動され、これに引き続き使用済みの
ワイヤ１３が収容される。

【００７７】尚、図７に点線で示すように、テーブル７
１に駆動手段としてのモータＭ又はシリンダを連結し、
テーブル７１の回転タイミングをワイヤ切断機構に連動
させて容器本体７３の自動交換を行わせることができ
る。

【００７８】従って、本第５実施形態によれば、前述し
た第４実施形態における効果に加え、以下の効果を得る
ことができる。 ・一つ目の容器本体７３が満杯になったとき、テーブル
７１を回転させて二つ目の容器本体７４をワイヤ回収位
置に移動させ、これにワイヤ１３を収容するようにし
た。このように、空の容器本体７４が常に待機状態にあ
るため、加工途中に容器本体７３がワイヤ１３で満杯に
なっても、加工を中断することなく継続してワイヤ１３
の回収を行うことができる。

【００７９】（第６実施形態）次に、本発明の第６実施
形態を図８に従って説明する。図８に示すように、供給
側張力遮断機構１８と供給側第１張力付与機構１６との
間、及び回収側第１張力付与機構２７と回収側張力遮断
機構２９との間にはワイヤの双方向走行時、互いに返送
分のワイヤを溜め込むための供給側ワイヤ滞留機構８０
及び回収側ワイヤ滞留機構８１がそれぞれ設けられてい
る。

【００８０】両ワイヤ滞留機構８０，８１にはプーリ８
２とプーリ８４、プーリ８３とプーリ８５が設けられて
おり、それらの間にはそれぞれベルト８６が掛け渡され
ている。プーリ８２，８３には正逆回転可能なモータＭ
１，Ｍ３がそれぞれ連結されている。

【００８１】前記プーリ８４，８５にはアーム８７，８
８が一体回転可能に連結されており、アーム８７，８８
の先端はローラ１０，３０の外周に対応され、ローラ１
９，３０の長手方向に同アーム８７，８８に対して伸縮
可能な伸縮部８９，９０が設けられている。

【００８２】張力遮断機構１８，２９を構成する一対の
ローラ１９，３０の内の一つにはモータＭ２，Ｍ４がそ
れぞれ接続されている。ローラ１９，３０はモータＭ
２，Ｍ４の駆動によって回転し、ワイヤ１３の巻き取り
又は繰り出しを行うようになっている。

【００８３】次に、ワイヤ１３の双方向走行時の動作を
図９に従って説明する。前述のように、ワイヤ１３の走
行は一定量前進及び一定量後退を繰り返し、全体として
歩進的に前進する。はじめに、ワイヤ１３は供給側及び
回収側のローラ１９，３０間に巻き付けられている。

【００８４】（１）ワイヤソー運転開始時、まず供給側
においては、モータＭ１が停止された状態でモータＭ２
が正回転され、範囲Ｌ１で示す繰り出し量分のワイヤ１
３が容器本体２４から繰り出される。この間、回収側に
おいては、モータＭ３が停止された状態でモータＭ４が
正回転され、範囲Ｌ２で示す新線送り量分（進み分）の
ワイヤ１３が容器本体３５に回収される。その後、モー
タＭ４が停止されると共に、モータＭ３が正回転されて
アーム８８が回転し、範囲Ｌ３で示す返送分（繰り出し
量−新線送り量）のワイヤ１３がローラ３０上に巻き回
される。

【００８５】（２）続いて、モータＭ２，Ｍ４が停止さ
れた状態で供給側のモータＭ１及び回収側のモータＭ３
が逆回転される。このため、両アーム８７，８８がそれ
ぞれローラ１９の巻き戻し方向に一定角度回転され、前
述のＬ３と同量の返送分のワイヤ１３が供給側張力遮断
機構１８と回収側張力遮断機構２９との間で逆送され、
ローラ１９上に巻き回される。尚、アーム８７, ８８の
伸縮部９０が張力遮断機構１８，２９に対して上下動す
るため、ワイヤ１３がローラ１９，３０の一定個所に集
中して巻回されることはなく、ローラ長手方向に均一な
巻き取りが行えるようになっている。

【００８６】（３）続いて、供給側においては、モータ
Ｍ２が停止された状態でモータＭ１が正方向へ回転さ
れ、アーム８７が正転され、ローラ１９から返送分Ｌ３
のワイヤ１３が取り出される。その後、モータＭ１が停
止されると共に、モータＭ２が正回転されて新線送り量
分のワイヤ１３が容器本体２４から繰り出される。この
間、回収側においては、モータＭ３が停止された状態で
モータＭ４が正回転され、新線送り量分Ｌ２のワイヤ１
３が容器本体３５に回収される。その後、モータＭ４が
停止されると共に、モータＭ３が正回転されてアーム８
８が回転し、返送分Ｌ３のワイヤ１３がローラ３０上に
巻き回される。

【００８７】引き続き、ワイヤソーは前記（２）,
（３）の動作Ａを繰り返す。従って、本第６実施形態に
よれば、前述した第１実施形態における効果に加えて、
以下の効果を得ることができる。

【００８８】・返送分（繰り出し量−新線送り量）のワ
イヤ１３を供給側及び回収側張力遮断機構１８，２９に
滞留させることができるため、供給側の容器本体２４か
らは新線繰り出しのみが行われ、回収側の容器本体３５
には供給側から繰り出された分の使用済みワイヤ１３の
みが回収されることになる。従って、供給側及び回収側
の両容器本体２４，３５へのワイヤ１３の出入り動作が
なく、ワイヤ１３の絡みをなくすことができると共に、
ワイヤ１３を供給側及び回収側張力遮断機構１８，２９
のローラ１９，３０に交互に高速に溜め込むことによ
り、ワイヤ双方向走行の単位時間当たりの往復サイクル
（通常往復サイクル／分）を容易に高めることが可能と
なり、切断品質（ソーマーク、表面荒さの低減化、厚さ
むらの精度向上）の改善を図ることが可能となる。

【００８９】尚、前記各実施形態は、次のように変更し
て具体化してもよい。 ・前記第１, ６実施形態において、張力遮断機構１８，
２９をそれぞれ一本のローラで構成すること。

【００９０】・前記第１実施形態において、供給側及び
回収側におけるそれぞれの第２張力付与ローラの一方の
表面を金属により構成すること。 ・前記第１実施形態において、供給側及び回収側におけ
るそれぞれの第２張力付与機構のローラを１個とし、各
ローラと圧接する固定の平面部あるいは曲面部との間で
張力を付与するように構成すること。

【００９１】・前記第１実施形態において、ワイヤ切断
のためのカッタ３９を省略すること。従って、回収側容
器３５にはワイヤ１３が連続状態で回収される。 ・前記第３実施形態において、ワイヤ案内体５２を円錐
運動でなく、下端を振るだけの往復運動をさせるように
してもよい。このようにしても、使用済みのワイヤ１３
の容器本体５１に対する収容率を向上させることができ
る。

【００９２】・前記第５実施形態において、容器本体を
三つ以上設けてもよい。このようにすれば、ワイヤ１３
の回収効率をいっそう向上させることができる。 ・前記第５実施形態においては、容器本体７３，７４を
テーブル７１上に載置して、そのテーブル７１を回転さ
せることにより複数の容器本体７３，７４を所定の位置
に対して入れ替え可能にした。これに対し、複数の容器
本体７３，７４を直線的にスライド移動させることによ
り所定の位置に対して入れ替え可能にしてもよい。

【００９３】・前記第６実施形態においては、ワイヤ１
３の返送分を供給側及び回収側張力遮断機構１８，２９
に一時的に滞留させたが、第１張力付与機構１６，２７
と供給側及び回収側張力遮断機構１８，２９との間にワ
イヤ滞留機構８０，８１としての専用のローラ及び旋回
アームやモータ等でなる巻き回し機構を設けて、このロ
ーラに返送分のワイヤ１３を巻き回して溜め込むように
してもよい。或いは、供給側及び回収側における張力遮
断機構１８，２９と第２張力付与機構２１，３２との間
にワイヤ滞留機構としての専用のローラ及び巻き回し機
構を設けてもよい。このようにしても、前記第６実施形
態における効果と同様の効果を得ることができる。

【００９４】・また、前記第６実施形態においては、ワ
イヤ滞留機構８０，８１において、ワイヤ１３の返送分
全体を溜め込むようにしたが、一部のみを溜め込む方法
をとることもできる。この場合、残りの返送分は各容器
２４，３５へ送り込むことになる。このようにしても、
一部溜め込むことによって、ワイヤ容器へのワイヤ１３
の出入り量を低減させることができ、ワイヤ１３の絡み
を防止できる。

【００９５】次に、前記各実施形態から把握できる請求
項記載発明以外の技術的思想について、以下にその効果
と共に記載する。 ・前記滞留機構は供給側及び回収側張力遮断機構である
請求項２又は請求項３に記載のワイヤソー。このように
すれば、ワイヤソーの構成を簡素化することができる。

【００９６】

【００９７】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、ボビンを使用することなく、ワイヤ容器に
よって貯線量を飛躍的に向上させ、加工位置へのワイヤ
の供給及び加工位置からの使用済のワイヤの回収をワイ
ヤの量に制限なく行うことができて、従来のような加工
工程の途中でのボビン取り替え作業等が要らず、大口
径、長尺インゴット等を連続的に切断することができ
る。かつ、装置の構造を簡素化して装置自体のコストや
ワイヤのデリバリコストを低減することができ、しか
も、ワイヤの高速走行及びワイヤの高往復サイクル走行
等が可能になって、切断加工を効率的に行うことができ
る。また、前工程となるワイヤの伸線工程においてもボ
ビンに比べ、ワイヤ容器への貯線量が格段に大きいた
め、長時間連続した作業が行え、稼働効率が向上し、全
体的なコストの大幅な低減につながる。また、使用済の
ワイヤをワイヤ処理会社等に依存することなく、容易に
廃棄処理することができ、ワイヤのコストを下げて加工
単価を低減することができる。

【００９８】請求項２又は請求項３に記載の発明によれ
ば、請求項１に記載の発明の効果に加えて、供給側及び
回収側の両ワイヤ容器へのワイヤの出入り動作がなく、
ワイヤの絡みをなくすことができると共に、ワイヤ走行
の往復サイクルを高めることが容易となり、切断品質を
改善することができる。

【００９９】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
〜請求項３に記載の発明の効果に加えて、構成を簡単に
することができる。請求項５に記載の発明によれば、請
求項１〜請求項３に記載の発明の効果に加えて、使用済
のワイヤを定量毎或いは加工工程の区切り等において随
時切断して、容易に廃棄処理することができる。

【０１００】請求項６又は請求項７に記載の発明によれ
ば、請求項１〜３に記載の発明の効果に加えて、ワイヤ
が絡まることなくスムーズにワイヤ容器内に収容するこ
とができる。

【０１０１】請求項８又は請求項９に記載の発明によれ
ば、請求項１〜請求項３に記載の発明の効果に加えて、
ワイヤのワイヤ容器に対する収容率を向上させることが
できる。

【０１０２】請求項１０又は請求項１１に記載の発明に
よれば、請求項１〜請求項３に記載の発明の効果に加え
て、加工途中にワイヤ容器がワイヤで満杯になっても、
加工を中断することなく継続してワイヤの回収を行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態におけるワイヤソーの概略構成
図。

【図２】 第２実施形態における回収側の要部概略構成
図。

【図３】 第３実施形態における回収側の要部概略構成
図。

【図４】 第３実施形態における回収側ワイヤ案内体の
要部拡大図。

【図５】 第３実施形態における回収側ワイヤ案内体の
要部断面図。

【図６】 第４実施形態における回収側の要部概略構成
図。

【図７】 第５実施形態における回収側の要部概略構成
図。

【図８】 第６実施形態における供給側及び回収側滞留
部の要部構成図。

【図９】 ワイヤの双方向走行時における動作を示す
図。

【図１０】リールにワイヤを巻回した状態を示す要部破
断正面図。

【図１１】リールから使用済のワイヤを切断除去する状
態を示す正面図。

【符号の説明】

１１…切断機構、１２…加工用ローラ、１３…加工用の
ワイヤ、１５…ワーク、１６…供給側の第１張力付与手
段としての第１供給側張力付与機構、１８…供給側の張
力遮断手段としての供給側張力遮断機構、２１…供給側
の第２張力付与手段としての第２供給側張力付与機構、
２４…供給側ワイヤ容器、２７…回収側の第１張力付与
手段としての第１回収側張力付与機構、２９…回収側の
張力遮断手段としての回収側張力遮断機構、３２…回収
側の第２張力付与手段としての第２回収側張力付与機
構、３５, ４０, ５０…回収側ワイヤ容器、３８…ワイ
ヤ切断手段としてのワイヤ切断機構。２６，３７，４２
…案内部材としての案内棒、４２Ａ…案内面、５２…ワ
イヤ案内体、５７…駆動手段としてのモータ、６０…支
持部材、６４…駆動機構としてのシリンダ、７１…テー
ブル、８０，８１…供給側及び回収側滞留機構。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木内 悦男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益 半導体工業 株式会社 内 (56)参考文献 特開 平６−143036（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工位置に配設され、加工用のワイヤを
   架設巻回した状態で回転されて、ワイヤを走行させる複
   数の加工用ローラと、 その加工用ローラのワイヤ供給側及び回収側にそれぞれ
   配設され、加工用ローラとの間のワイヤに対して、所定
   の張力を付与するための第１張力付与手段と、 その第１張力付与手段よりもワイヤ供給側及び回収側に
   それぞれ配設され、第１張力付与手段による張力の伝播
   を遮断するための張力遮断手段と、 その張力遮断手段よりもワイヤ供給側及び回収側にそれ
   ぞれ配設され、張力遮断手段との間のワイヤに対して、
   第１張力付与手段よりも弱い張力を付与するための第２
   張力付与手段と、 その第２張力付与手段よりもワイヤ供給側において、供
   給するワイヤを解線状態で収容する第１ワイヤ容器と、 第２張力付与手段よりもワイヤ回収側において、回収さ
   れたワイヤを収容する第２ワイヤ容器とを備えたワイヤ
   ソー。
2. 【請求項２】 前記供給側及び回収側における第１張力
   付与機構と第２張力付与機構との間には、ワイヤ双方向
   走行時において相互に返送分のワイヤの全体或いは一部
   を一時的に滞留させるワイヤ滞留機構を設けた請求項１
   に記載のワイヤソー。
3. 【請求項３】 前記各ワイヤ滞留機構は相互に返送分の
   ワイヤの全体或いは一部をローラ上に巻き回して滞留さ
   せる請求項２に記載のワイヤソー。
4. 【請求項４】 前記張力遮断手段はワイヤを巻き付ける
   ローラである請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に
   記載のワイヤソー。
5. 【請求項５】 前記回収側における第２張力付与手段と
   ワイヤ容器との間のワイヤ経路中に、ワイヤを切断する
   ためのワイヤ切断手段を配設した請求項１〜請求項３の
   うちいずれか一項に記載のワイヤソー。
6. 【請求項６】 前記供給側及び回収側のワイヤ容器のう
   ちの少なくとも一つの内部には、進入してくるワイヤを
   ワイヤ容器内に案内する案内部材を設けた請求項１〜請
   求項３のうちいずれか一項に記載のワイヤソー。
7. 【請求項７】 前記案内部材はその先端に案内面を形成
   した請求項６に記載のワイヤソー。
8. 【請求項８】 前記第２張力付与手段と回収側のワイヤ
   容器との間のワイヤ経路中に、使用済みのワイヤが挿通
   されるワイヤ案内体を配設し、同ワイヤ案内体は駆動手
   段によりワイヤ容器内へのワイヤ導入位置を変化させる
   ように動作する請求項１〜請求項３のうちいずれか一項
   に記載のワイヤソー。
9. 【請求項９】 ワイヤ容器は揺動可能に支持された請求
   項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載のワイヤソ
   ー。
10. 【請求項１０】 複数のワイヤ容器を所定の位置に対し
    て入れ替え可能に配置した請求項１〜請求項３のうちい
    ずれかに記載のワイヤソー。
11. 【請求項１１】 複数のワイヤ容器を回動可能なテーブ
    ルの上に支持した請求項１０に記載のワイヤソー。