JP3083232B2

JP3083232B2 - ワイヤソー装置およびワーク引抜き方法

Info

Publication number: JP3083232B2
Application number: JP14893794A
Authority: JP
Inventors: 典道益子; 修一駒野
Original assignee: 株式会社日平トヤマ
Priority date: 1994-06-30
Filing date: 1994-06-30
Publication date: 2000-09-04
Anticipated expiration: 2015-09-04
Also published as: JPH0811047A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤを高速走行さ
せ、このワイヤにワーク（被切断材）を押し当てて、こ
のワークを切断するワイヤソー装置および切断後のワー
クの引抜き方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】複数の溝ローラ（加工ヘッドローラ）に
ワイヤを所定のピッチで巻き付けてワイヤの一方の端末
側を一方のワイヤリールに、前記ワイヤの他方の端末側
を他方のワイヤリールにそれぞれ捲回し、前記ワイヤに
所定の張力を与えつつ高速走行させてワークの切断を行
うワイヤソー装置は、特開昭６３−２６０７５７号、特
開平１−１７７９５８号公報に開示してあるように公知
である。

【０００３】この従来のワイヤソー装置においては、図
７に示すように複数の加工ヘッドローラ８４、８５、８
６にワイヤ８１を所定のピッチで巻き付けて加工ヘッド
ローラ８６の回転駆動によりワイヤ８１は直線方向に走
行し、その走行運動の過程でワークＷに複数の平行な切
り込みを形成していく。この切り込みが進行する過程
で、ワーク送りモータ（図示せず）の駆動によりワーク
フィードユニット８２が少しずつ下降移動して走行状態
のワイヤ８１に対してワークＷを所定の力で押圧してワ
ークＷの切断を行う。そして、上記のようにしてワーク
Ｗが切断されて、前記ワイヤ８１がワークＷの上方の固
着用のカーボン材８３まで到達して切断を完了する。そ
の後、前記ワークフィードユニット８２を矢印の方向に
上昇移動して前記ワークＷをワイヤ８１から引き抜く。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のワイヤソー装置においては、前記ワークＷの引き抜
きの際に、前記ワイヤ８１がワークＷの切断箇所Ｗ１に
引っ掛かり、ワークＷに随伴して持ち上がってしまうこ
とがあり、ワークＷを円滑に引き抜くことができないば
かりか、ワイヤ飛びの原因にもなっていた。したがっ
て、引っ掛かりの点検や手直し、ワイヤ飛びの修正等の
作業が必要になり、作業性および生産性を低下させると
いう問題点があった。

【０００５】本発明は、上記の問題点を解消するもので
あり、その第１の目的とするところは、ワイヤの浮上り
規制手段を設けることにより、ワーク引き抜き時にワイ
ヤがワークの切断箇所に引っ掛かることなく、ワイヤの
随伴を防止できて作業性および生産性を向上させること
ができるワイヤソー装置を提供することにある。

【０００６】また、本発明の第２の目的とするところ
は、前記規制手段にスラリ供給手段を兼用させることに
より、別にスラリ供給装置を設ける必要がなく構造を簡
素化できるワイヤソー装置を提供することにある。

【０００７】また、本発明の第３の目的とするところ
は、ワーク引き抜き時にワイヤがワークの切断箇所に引
っ掛かることなく、ワイヤの随伴を防止できて作業性お
よび生産性を向上させることができるワーク引抜き方法
を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の第１の目的を達成
するために、本発明に係わるワイヤソー装置は、複数の
加工ヘッドローラにワイヤを所定のピッチで巻き付け
て、このワイヤの一方の端末側を一方のワイヤリール
に、前記ワイヤの他方の端末側を他方のワイヤリールに
それぞれ捲回し、前記ワイヤに所定の張力を与えつつ高
速走行させてワークの切断を行うワイヤソー装置におい
て、前記ワイヤによるワークの切断後ワークの引き抜き
時に、ワークのワイヤ出入り点近傍位置においてワイヤ
列全域にわたってワイヤの浮上りを規制する規制手段を
備えたことを特徴とする。

【０００９】そして、前記規制手段は、前記ワークのワ
イヤ出入り点近傍位置に対応する一対の規制部材を有す
ることが好ましい。

【００１０】また、上記の第２の目的を達成するため
に、本発明に係わるワイヤソー装置は、前記ワイヤによ
る前記ワークの切断後ワーク引き抜き時に、ワークに対
するワイヤの出入り点近傍位置においてワイヤ列全域に
わたってワイヤの浮上りを規制する規制手段を備え、こ
の規制手段は前記ワイヤによるワーク切断時にスラリ供
給位置に移動してワイヤに対しスラリを供給するスラリ
供給手段を有することを特徴とする。

【００１１】また、前記規制手段は前記ワークに対する
ワイヤの出入り点近傍位置に対応される一対の規制部材
を有し、この規制部材にスラリ流入口を設けると共に、
前記規制部材の前記ワイヤとの対向側にスラリ流出口を
設け、さらに、前記規制部材の前記ワイヤとの対向側に
前記スラリ流出口と連通する開口を有するワイヤ接触部
材を設けることが好ましい。また、前記規制部材が前記
ワイヤの浮上りを規制する規制位置と退避位置とに移動
可能であることが好ましい。また、前記規制部材がワイ
ヤの走行方向に移動可能であることが好ましい。また、
前記規制手段は、ワーク外形に応じて前記規制部材がワ
ークの移動とともに常にワークのワイヤ出入り点近傍位
置にくるように移動させる駆動手段を有することが好ま
しい。

【００１２】また、上記の第３の目的を達成するため
に、本発明に係わるワーク引抜き方法は、ワーク引き抜
き時、規制手段によりワークのワイヤ出入り点近傍位置
にてワイヤを押え込んでワイヤの浮上りを規制するよう
にしたことを特徴とする。

【００１３】そして、規制手段が一対の規制部材である
ことが好ましい。また、前記規制部材を、ワーク外形に
応じてワークの移動とともに常にワークのワイヤ出入り
点近傍位置にくるように移動させることが好ましい。

【００１４】

【作用】本発明に係わるワイヤソー装置にあっては、ワ
ーク引き抜き時、規制手段を構成する一対の規制部材に
よりワークのワイヤ出入り点近傍位置にてワイヤを押え
込んでワイヤの浮上りが規制されるため、前記ワイヤが
ワークの切断箇所に引っ掛かってワークに随伴して持ち
上がってしまうことがなく、スムーズにワークを引き抜
くことができて、引っ掛かりの点検や手直し、ワイヤ飛
びの修正等の作業が不要になり、作業性および生産性を
向上させることができる。

【００１５】また、前記規制部材はワーク引き抜き時の
ワイヤの押えを行うのみならず、ワーク切断時にはスラ
リ供給手段として作用し、しかも、駆動手段によって規
制部材はワーク外形に応じてワークの移動とともに、常
にワークのワイヤ出入り点近傍位置に移動され、ワイヤ
押えおよびスラリ供給を適正な位置で効率よく行なうこ
とができる。

【００１６】本発明に係わるワイヤ引抜き方法にあって
は、ワーク引き抜き時、規制手段を構成する一対の規制
部材によりワークのワイヤ出入り点近傍位置にてワイヤ
を押え込んでワイヤの浮上りが規制されるため、前記ワ
イヤがワークの切断箇所に引っ掛かってワークに随伴し
て持ち上がってしまうことがなく、スムーズにワークを
引き抜くことができて、引っ掛かりの点検や手直し、ワ
イヤ飛びの修正等の作業が不要になり、作業性および生
産性を向上させることができる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳述
する。図１は本発明に係わるワイヤソー装置の一部省略
した概略的な斜視図、図２の（１）は同ワイヤソー装置
における規制手段としてのワイヤ浮上り規制装置の一部
省略した平面図、図２の（２）は（１）のＡ−Ａ線に沿
う断面図、図３は図２の（１）のＢ−Ｂ線に沿う断面
図、図４の（１）は図２の（１）のＣ−Ｃ線に沿う前記
規制装置の規制部材の断面図、図４の（２）は図４の
（１）のＤ−Ｄ線に沿う横断面図である。

【００１８】本発明に係るワイヤソー装置は、加工ヘッ
ド部１と、ワイヤ走行部２と、ワイヤ走行駆動部３と、
規制手段としてのワイヤ浮上り規制装置２０とを備えて
いる。前記加工ヘッド部１は、機台（図示せず）に３個
の溝ローラである加工ヘッドローラ５、６、７を逆三角
形の各頂点に位置するように配置し、これら加工ヘッド
ローラ５、６、７に所定のピッチｐで以てワイヤ８を巻
き付け、上方の加工ヘッドローラ５、６間のワイヤ部分
をワーク切断部９とした構成である。前記ワイヤ走行駆
動部３は第１の回転モータ１３と第２の回転モータ１４
と制動手段であるブレーキ機構（図示せず）とを有して
いる。

【００１９】前記ワイヤ走行部２は、第１、第２のワイ
ヤリール１０、１１を備えており、これらの第１のワイ
ヤリール１０の回転軸は、前記ワイヤ走行駆動部３の第
１の回転モータ１３の出力軸１３ａに、第２のワイヤリ
ール１１の回転軸は第２の回転モータ１４の出力軸１４
ａにそれぞれ連結している。そして、第１のワイヤリー
ル１０には前記ワイヤ８の一方端側が捲回してあり、第
２のワイヤリール１１には前記ワイヤ８の他方端側が捲
回している。

【００２０】第１、第２のワイヤリール１０、１１のワ
イヤ巻取り側、送り出し側には、図示しないトラバース
用モータの駆動により第１、第２のワイヤリール１０、
１１の軸線方向に往復動してワイヤ８を整列巻きするト
ラバース機構（図示せず）と、ダンサローラ機構（図示
せず）が配設してある。また、前記ワイヤ８はその途中
において図示しないガイドローラに案内されている。ま
た、前記加工ヘッド部１の駆動側の加工ヘッドローラ７
は駆動モータ１５の出力軸１５ａに連結されている。

【００２１】そして、前記ワーク切断部９の上方には図
示しないワーク送り用モータ（図示せず）により昇降す
るワーク支持体１７が配置してあり、このワーク支持体
１７のワーク取付け面には、保持部材であるカーボン材
１６に接着したワークＷが保持されている。このワーク
Ｗは、高硬度脆性材料、例えば半導体材料の被切断部材
であり、その形状は例えば円筒体である。

【００２２】前記ワイヤ浮上り規制装置２０は、図２乃
至図３に示すように本体２１を備えており、この本体２
１は、その背部の図２（１）における左右にガイド部材
２２を有していて、これらのガイド部材２２を、前記機
台に立設したガイドレール２３に図３における上下方向
に摺動可能に案内して後述する移動手段である昇降シリ
ンダ６１に保持されている。図２（１）において前記本
体２１は、その左右に支持部２５、２６を、中央部に中
央支持部２７をそれぞれ有しており、この中央支持部２
７には軸受部材２８を介して連結軸２９が回転可能に設
けてあり、また、図３において、中央支持部２７には上
下にガイドバー３０、３１を保持している。

【００２３】図２（１）において、前記連結軸２９の左
端部にはジョイント３２を介して左のボールスクリュ軸
３３の右端部が連結してあり、このボールスクリュ軸３
３の左端部は、左の支持部２５に設けた回転駆動モータ
３５の出力軸側に連結してある。また、前記連結軸２９
の右端部にはジョイント３６を介して右のボールスクリ
ュ軸３７の左端部が連結してあり、このボールスクリュ
軸３７の右端部は、右の支持部２６に設けた軸受部材３
８に支承されている。左右のボールスクリュ軸３３、３
７が互いに左右逆リードの送りねじ部３３ａ、３７ａを
有している。また、図３において前記装置本体２１の左
右の支持部２５、２６の間には前記上下のガイドバー３
０、３１が取付けられ、これらのガイドバー３０、３１
は前記中央支持部２７を貫通している。

【００２４】そして、図２（１）において前記ガイドバ
ー３０、３１の左部分には左の担持体４１が、右部分に
は右の担持体４２がそれぞれ左右方向に移動可能に設け
てある。すなわち、図３において左の担持体４１にはナ
ット部材４３とこのナット部材４３を挟んだ上下に位置
させてガイドブッシュ４４、４５が設けてあり、これら
のガイドブッシュ４４、４５を前記ガイドバー３０、３
１が嵌合しており、ナット部材４３が左のボールスクリ
ュ軸３３の送りねじ部３３ａに螺合している。また、右
の担持体４２は左の担持体４１と同構成であり、ガイド
ブッシュ４７、４８を前記ガイドバー３０、３１が嵌合
しており、ナット部材４６が右のボールスクリュ軸３７
の送りねじ部３７ａに螺合している。そして、左右のボ
ールスクリュ軸３３、３７と回転駆動モータ３５とナッ
ト部材４３、４６とで駆動手段を構成している。

【００２５】そして、図２（１）において、左の担持体
４１には、左の規制部材４９Ｌと、この左の規制部材４
９Ｌの揺動手段である揺動機構５０Ｌが、右の担持体４
２には、右の規制部材４９Ｒと、この右の規制部材４９
Ｒの揺動手段である揺動操作機構５０Ｒがそれぞれ設け
てある。

【００２６】左の揺動機構５０Ｌはピニオン５１を備え
ており、このピニオン５１は、左の担持体４１を左右に
貫通する回転軸４７の左端部に固着してあり、左の担持
体４１にはラック作動シリンダ５２が設けてあり、この
ラック作動シリンダ５２のピストンロッド５２ａにはラ
ック部材５３が取り付けてあり、このラック部材５３は
前記ピニオン５１に噛み合っている。前記回転軸４７の
右端部には規制部材把持部材５４Ｌが固着してあり、こ
の規制部材把持部材５４Ｌが左の規制部材４９Ｌの基部
４９ａを把持している。

【００２７】この左の規制部材４９Ｌは、図４に示すよ
うにワーク切断部９のワイヤ列全域にわたって延びた二
重円筒体であって、内、外側円筒体５５、５６を有しス
ラリ供給手段を形成している。この規制部材４９Ｌに
は、内側円筒体５５の基部４９ａには側方に開放された
スラリ流入口５７が設けてあり、ここに図２（２）で示
すように回転軸４７内部を通ってその先端にスラリ供給
管路７３が接続される。内側円筒体５５の上部には、こ
の内側円筒体５５の軸線方向に沿うスリット状の開口部
５８が形成してあり、外側円筒体５６の下部には、この
外側円筒体５６の軸線方向に沿うスリット状のスラリ流
出口５９が形成してある。また、前記外側円筒体５６の
下部には、前記流出口５９に連通する開口４８ａを形成
するように流出口５９を挟んだ左右位置にワイヤ接触部
材４８が着脱可能に設けてある。これはワイヤ接触部材
４８がワイヤ８によって磨耗或いは削られても、前記外
側円筒体５６には損傷がなく、したがって、ワイヤ接触
部材４８のみを取り替えるだけで規制部材４９Ｌ、４９
Ｒの耐久性を向上させるようにしている。

【００２８】また、右の揺動機構５０Ｒは左の揺動機構
５０Ｌと同構成であり、右の規制部材４９Ｒは左の規制
部材４９Ｌと同構成であり、右の揺動機構５０Ｒの回転
軸５１の左端部には規制部材把持部材５４Ｒが固着して
あり、この規制部材把持部材５４Ｒが右の規制部材４９
Ｒの基部４９ａを把持している。

【００２９】また、前記ガイドレール２３の上部には天
井フレーム６０が横架してあり、この天井フレーム６０
には昇降用シリンダ６１が取り付けてあり、この昇降用
シリンダ６１のピストンロッド６２が前記装置本体２１
の中央支持部２７の上面部に連結してある。

【００３０】前記ワイヤ浮上り規制装置２０の左右の規
制部材４９Ｌ、４９Ｒは、前記加工ヘッド部１の上方で
且つワーク支持体１７の左、右方に位置するように配置
されている。また、前記加工ヘッド１の下方にはスラリ
（切削用液）を受ける受液タンク６３が配設してある。
そして、この受液タンク６３から左右の規制部材４９
Ｌ、４９Ｒまでの間には、スラリの供給回路６４が配し
てある。

【００３１】この供給回路６４は、スラリ供給ポンプ６
６と、３位置電磁切換弁６７と、スラリタンク７０とを
備えている。そして、スラリ供給ポンプ６６の吐出側は
管路７２を通り３位置電磁切換弁６７を介して管路７３
または７４に選択的に接続される。そして、この管路７
３、７４はそれぞれ規制部材４９Ｌ、４９Ｒの流入口５
７に接続してある。また、前記受液タンク６３は管路７
５を介してタンク７０に接続してある。

【００３２】次に、上記のように構成されたワイヤソー
装置の作動を説明する。ワーク切断時、まず第１、第２
の回転モータ１３、１４及び駆動モータ１５が駆動され
る。この第１の回転モータ１３の回転駆動により第１の
ワイヤリール１０がワイヤ８を繰出し、第２の回転モー
タ１４の回転駆動により第２のワイヤリール１１がワイ
ヤ８を巻き取る。また、前記駆動モータ１５の回転駆動
により、これの出力軸１５ａに固着された加工ヘッドロ
ーラ７が実線矢印の方向に回転する。したがって、加工
ヘッドローラ５と６に巻回されたワイヤ切断部９を形成
する前記ワイヤ８は実線矢印の左方向に走行する。

【００３３】第１、第２の回転モータ１３、１４の回転
方向は、一定の時間Ｔ１で正回転し、それに続く時間Ｔ
２で反転して逆転方向に回転し、これを繰り返してい
く。

【００３４】このようにして、前記ワイヤ８は直線方向
に往復走行し、その往復運動の過程でワークＷに複数の
平行な切り込みを形成していく。この切り込みが進行す
る過程で、前記ワーク送りモータの駆動によりワーク支
持体１７が少しずつ下降して走行状態のワイヤ８に対し
てワークＷを所定の力で押圧する。

【００３５】前記ワイヤ浮上り規制装置２０において
は、非作用時には左右の規制部材４９Ｌ、４９Ｒは図３
の仮想線ハに示すように直立の状態で待機している。そ
して、切断時は左、右の担持体４１、４２の揺動機構５
０Ｌ、５０Ｒのラック作動シリンダ５２が伸長作動して
ラック部材５３でピニオン５１を回転し、回転軸４７を
介して左右の規制部材４９Ｌ、４９Ｒを回動して図３の
仮想線イに示すように水平状態にして、左右の規制部材
４９Ｌ、４９Ｒを、前記ワイヤ８のワーク切削部分の上
方すなわちスラリ供給位置に位置させる。また、このと
き一対の規制部材４９Ｌ、４９Ｒは図５の（１）に示す
ように前記駆動手段によりワークのワイヤ出入り点近傍
位置の上方にに対応するように移動される。

【００３６】そして、ポンプ６６が作動されて、タンク
７０内のスラリが管路７２を介して３位置電磁切換弁６
７を経て管路７４または７３に選択的に切換えられて左
右の規制部材４９Ｒまたは４９Ｌのスラリ流入口５７に
流入する。そして、このスラリは内側円筒体５５内から
スリット状の開口部５８を経て内側円筒体５５と外側円
筒体５６との間に噴出し、この外側円筒体５６のスリッ
ト状の流出口５９から流出して、前記ワイヤ８のワーク
切削部分にスラリを供給する。

【００３７】また、第１、第２の回転モータ１３、１４
の回転方向は一定の時間Ｔ１で正回転し、それに続く時
間Ｔ２で反転して逆転方向に回転しこの往復動を繰返し
ながら前記ワイヤ８は一方向に除々に巻き取られてい
く。３位置電磁切換弁６７はワイヤ８の走行方向に合わ
せてワイヤ８のワークＷに対する上流側の規制部材にス
ラリを供給するように切換えられる。そして、このスラ
リは規制部材４９Ｒまたは４９Ｌの内側円筒体５５内か
らスリット状の開口部５８を経て内側円筒体５５と外側
円筒体５６との間に噴出し、この外側円筒体５６のスリ
ット状の流出口５９から流出して、前記ワイヤ８のワー
ク切削部分にスラリを供給する。このときスラリの供給
は、ワイヤ８がワークに切込む側の規制部材から供給す
ればよい。ワーク切込み移動とともに一対の規制部材４
９Ｌ、４９Ｒはワーク外形に従って常にワークＷに対し
ワイヤ８の出入り点近傍位置に対応するように移動され
る。よって、効率よくスラリの供給が行われる。

【００３８】上記のようにしてワークＷが切断されて、
図５の（２）に示すようにワイヤ８がワークＷを完全に
切断し上方の固着用のカーボン材１６まで切込むと、こ
の状態で、３位置電磁切換弁６７が切り換わり、スラリ
の供給が完全に停止にされる。

【００３９】次に、ワークＷの引き抜きに入る。前記昇
降用シリンダ６１が伸長作動して、左右の規制部材４９
Ｌ、４９Ｒが水平状態のまま下降して規制位置ロまで下
降する。この規制位置ロで、規制部材４９Ｌ、４９Ｒの
ワイヤ接触部材４８が前記ワイヤ８のワーク切断部９の
ワークＷを挟んだ左右位置においてワークＷに対しワイ
ヤ出入り点近傍位置に接触または非接触状態で対応され
る。この状態で前記ワーク送りモータが逆駆動されて前
記ワーク支持体１７が上昇を始め、前記ワークＷの引き
抜きを開始する。この場合、ワイヤ８が持ち上がろうと
すると、規制部材４９Ｌ、４９Ｒのワイヤ接触部材４８
にワイヤ８が接触または押さえられて、ワイヤ８がワー
クＷの移動に随伴することが防止される。よってワイヤ
８がワークＷの切断箇所に引っ掛かるようなことなく、
ワークＷが引き抜かれる。

【００４０】また、前記ワークＷは、その断面が例えば
円形であるために、このワークＷが上方に引き抜かれる
ことにより、左右の規制部材４９Ｌ、４９Ｒの水平方向
の位置を変えなければ、これらの規制部材４９Ｌ、４９
ＲにワークＷが干渉する場合が生じるし、また、規制部
材４９Ｌ、４９Ｒがワイヤ８をワークＷの出入り点の近
傍位置で押さえておくことが引き抜き上好ましい。

【００４１】したがって、前記の回転駆動モータ３５を
駆動して、左右のボールスクリュ軸３３、３７を回転し
て左右の担持体４１、４２を左右に移動させて左右の規
制部材４９Ｌ、４９Ｒを互いに接離する方向に同時に移
動する。左右の規制部材４９Ｌ、４９Ｒの移動は、図６
（１）、（２）、（３）、（４）に示すように前記ワー
クＷの引き抜き（上昇）に同期し、このワークＷの左右
の周面にそれぞれ一定の距離をおいて沿うよう制御され
る。

【００４２】上記の実施例によれば、前記ワイヤ８によ
る前記ワークＷの切断後に、このワークＷの引き抜き側
で前記ワイヤ８の前記ワークＷへの出入り点近傍付近で
左右の規制部材４９Ｌ、４９Ｒにて、ワイヤ８の浮上り
を押えることにより、前記ワイヤ８がワークＷに随伴し
て持ち上がるようなことなく、このワークＷをスムーズ
に引き抜くことができて、引っ掛かりの点検や手直し等
の作業が不要になり、ワイヤ飛びも防止され、作業性及
び生産性を向上させることができる。

【００４３】なお、前記実施例では、規制部材４９Ｌ、
４９Ｒはスラリ供給手段を含ませるために円筒状に形成
したが、スラリ供給手段を兼用させない場合には角片状
或いは板状のものを用いることもできる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明にあって
は、ワーク引き抜き時、規制手段を構成する一対の規制
部材によりワークのワイヤ出入り点近傍位置にてワイヤ
を押え込んでワイヤの浮上りが規制されるため、前記ワ
イヤがワークの切断箇所に引っ掛かってワークに随伴し
て持ち上がってしまうことがなく、スムーズにワークを
引き抜くことができて、引っ掛かりの点検や手直し、ワ
イヤ飛びの修正等の作業が不要になり、作業性および生
産性を向上させることができる。

【００４５】また、前記規制部材はワーク引き抜き時の
ワイヤの押えを行うのみならず、ワーク切断時にはスラ
リ供給手段として作用し、別にスラリ供給装置を設ける
必要がなく構造が簡単になり、しかも、駆動手段によっ
て規制部材はワーク外形に応じてワークの移動ととも
に、常にワークのワイヤの出入り点近傍位置に移動さ
れ、ワイヤ押えおよびスラリ供給を適正な位置で効率よ
く行なうことができる。

【００４６】また、本発明に係わるワーク引抜き方法に
あっては、ワーク引き抜き時、規制手段を構成する一対
の規制部材によりワークのワイヤ出入り点近傍位置にて
ワイヤを押え込んでワイヤの浮上りを規制することによ
り、ワーク引き抜き時にワイヤの浮上りが規制されるた
め、前記ワイヤがワークの切断箇所に引っ掛かってワー
クに随伴して持ち上がってしまうことがなく、スムーズ
にワークを引き抜くことができて、引っ掛かりの点検や
手直し、ワイヤ飛びの修正等の作業が不要になり、作業
性および生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるワイヤソー装置の一部省略した
概略的な斜視図である。

【図２】（１）は同ワイヤソー装置におけるワイヤ浮上
り規制装置の一部省略した平面図である。（２）は
（１）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【図３】図２のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。

【図４】（１）は図２の（１）のＣ−Ｃ線に沿うワイヤ
浮上り規制装置の規制部材の断面図である。（２）は図
４の（１）のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。

【図５】（１）はワークの切断前の状態の説明図であ
る。（２）はワークの切断後の状態の説明図である。

【図６】（１）、（２）、（３）、（４）はワークの引
き抜きと規制部材との関係の説明図である。

【図７】従来のワイヤソー装置におけるワークの切断後
のワーク引き抜き状態の説明図である。

【符号の説明】

８ワイヤ２０ワイヤ浮上り規制装置４９Ｌ、４９Ｒ規制部材Ｗワーク５、６、７加工ヘッドローラ１０、１１ワイヤリール５５、５６スラリ供給手段を構成する内、外側円筒体５７、５９スラリ供給手段を構成するスラリ流入口と
スラリ流出口４８ワイヤ接触部材４８ａ開口３３、３７駆動手段を構成するボールスクリュ軸３５駆動手段を構成する回転駆動モータ４３、４６駆動手段を構成するナット部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の加工ヘッドローラにワイヤを所定
のピッチで巻き付けて、このワイヤの一方の端末側を一
方のワイヤリールに、前記ワイヤの他方の端末側を他方
のワイヤリールにそれぞれ捲回し、前記ワイヤに所定の
張力を与えつつ高速走行させてワークの切断を行うワイ
ヤソー装置において、前記ワイヤによるワークの切断後
ワークの引き抜き時に、ワークのワイヤ出入り点近傍位
置においてワイヤ列全域にわたってワイヤの浮上りを規
制する規制手段を備えたことを特徴とするワイヤソー装
置。
【請求項２】前記規制手段は、前記ワークに対するワ
イヤの出入り点近傍位置に対応される一対の規制部材を
有する請求項１記載のワイヤソー装置。
【請求項３】複数の加工ヘッドローラにワイヤを所定
のピッチで巻き付けて、このワイヤの一方の端末側を一
方のワイヤリールに、前記ワイヤの他方の端末側を他方
のワイヤリールにそれぞれ捲回し、前記ワイヤに所定の
張力を与えつつ高速走行させてワークの切断を行うワイ
ヤソー装置において、前記ワイヤによるワークの切断後
ワーク引き抜き時に、ワークのワイヤ出入り点近傍位置
においてワイヤ列全域にわたってワイヤの浮上りを規制
する規制手段を備え、この規制手段は前記ワイヤによる
ワーク切断時にスラリ供給位置に移動してワイヤに対し
スラリを供給するスラリ供給手段を有することを特徴と
するワイヤソー装置。
【請求項４】前記規制手段は前記ワークに対するワイ
ヤの出入り点近傍位置に対応される一対の規制部材を有
し、この規制部材にスラリ流入口を設けると共に、前記
規制部材の前記ワイヤとの対向側にスラリ流出口を設
け、さらに、前記規制部材の前記ワイヤとの対向側に前
記スラリ流出口と連通する開口を有するワイヤ接触部材
を設けた請求項３記載のワイヤソー装置。
【請求項５】前記規制部材が前記ワイヤの浮上りを規
制する規制位置と退避位置とに移動可能である請求項２
または請求項４記載のワイヤソー装置。
【請求項６】前記規制部材がワイヤの走行方向に移動
可能である請求項２または請求項４または請求項５記載
のワイヤソー装置。
【請求項７】前記規制手段は、ワーク外形に応じて前
記規制部材がワークの移動とともに常にワークのワイヤ
出入り点近傍位置にくるように移動させる駆動手段を有
する請求項２または請求項４または請求項５または請求
項６記載のワイヤソー装置。
【請求項８】ワーク引き抜き時、規制手段によりワー
クのワイヤ出入り点近傍位置にてワイヤを押え込んでワ
イヤの浮上りを規制するようにしたことを特徴とするワ
ーク引抜き方法。
【請求項９】規制手段が一対の規制部材である請求項
８記載のワーク引抜き方法。
【請求項１０】前記規制部材を、ワーク外形に応じて
ワークの移動とともに常にワークのワイヤ出入り点近傍
位置にくるように移動させるようにした請求項９記載の
ワーク引抜き方法。