CN101861230A - 利用线锯的工件的切断方法及线锯 - Google Patents

利用线锯的工件的切断方法及线锯 Download PDF

Info

Publication number
CN101861230A
CN101861230A CN200880116667A CN200880116667A CN101861230A CN 101861230 A CN101861230 A CN 101861230A CN 200880116667 A CN200880116667 A CN 200880116667A CN 200880116667 A CN200880116667 A CN 200880116667A CN 101861230 A CN101861230 A CN 101861230A
Authority
CN
China
Prior art keywords
steel wire
workpiece
cutting
extracted
slurries
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN200880116667A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101861230B (zh
Inventor
北川幸司
加藤忠弘
糸井征夫
须藤富一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Handotai Co Ltd filed Critical Shin Etsu Handotai Co Ltd
Publication of CN101861230A publication Critical patent/CN101861230A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101861230B publication Critical patent/CN101861230B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/06—Grinders for cutting-off
    • B24B27/0633—Grinders for cutting-off using a cutting wire
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

本发明是一种线锯，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周边上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边对于所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：该线锯控制成为在所述工件切断后，在由所述钢线列拔出该工件时，一边使钢线以2m/min以下的速度行进，一边拔出工件。由此提供一种线锯，利用简单的结构，便不会对于通过线锯的钢线列切断的工件的切断面造成不良影响，而从所述钢线列拔出已经完成切断的工件。

Description

利用线锯的工件的切断方法及线锯
技术领域
本发明涉及一种利用线锯(线切割机)将工件(例如硅晶棒、化合物半导体的晶棒等)切成多个晶片的切断方法。
背景技术
近年，晶片有大型化的趋势，随着此大型化而使用专门用于切断晶棒的线锯装置。
线锯是使钢线(高张力钢线)高速行进，在此一边浇上浆液，一边压抵工件而切断，同时切成多片晶片的装置(参照日本专利公开公报特开平9-262826号)。
在此，图3中表示公知的一般线锯的一例的概要。
如图3所示，线锯101主要包括用以切断工件的钢线102、卷绕有钢线102的带槽滚筒103、用以赋予钢线102张力的钢线张力赋予机构104、向下方送出要被切断的工件的工件进给机构105、以及在切断时供给浆液的浆液供给机构106。
钢线102从一侧的线滚动条(线卷盘(wire reel))107送出，经由移车台(traverser)108，再经过由磁粉离合器((powder clutch)定转矩马达109或上下跳动滚筒(静重(dead weight))(未图示)等所组成的钢线张力赋予机构104，进入带槽滚筒103。钢线102卷绕在该带槽滚筒103约300～400圈之后，经过另一侧的钢线张力赋予机构104’卷绕在线滚动条107’上。
此外，带槽滚筒103是在钢铁制圆筒的周边压入聚胺酯树脂，并在其表面以恒定的间距切出槽的滚筒，卷绕的钢线102可通过驱动用马达110而以预定的周期在往复方向上被驱动。
另外，切断工件时，通过工件进给机构105，工件一边被保持一边被压下，而向已卷绕在带槽滚筒103上的钢线102进给(推送)。
此外，在带槽滚筒103与卷绕的钢线102的附近，设有喷嘴115，在切断时，可从浆液槽116供给浆液至钢线102上。此外，浆液槽116可与浆液冷却器117连接，以调整供给浆液的温度。
利用如此的线锯101，且利用钢线张力赋予机构104赋予钢线102适当的张力，通过驱动用马达110，使钢线102一边在往复方向上行进，一边将工件切片。
所述钢线到达保持工件的抵板为止，进行工件的切入，由此完成工件的切断。之后，通过逆转工件的进给方向，从所述钢线列，将完成切断的工件拔出。
作为从所述钢线列拔出工件时用以防止该钢线列勾在工件的切断之处而使钢线浮起的线锯，例如，如日本专利公开公报特开平8-11047号所示，公开一种线锯，其具备通过构成限制装置的一对限制构件，在工件的钢线出入点附近位置，将钢线压住来限制钢线的浮起。
然而，利用所述一般的线锯，将工件切断成晶片状，调查被切断的晶片的形状之后，发现产生大的翘曲。
翘曲是半导体晶片的切断中的重要质量考虑因素之一，随着制品的质量要求提高，而有进一步降低翘曲的要求。
对于工件的质量造成不良影响的一例存在如下问题，即，例如在所述工件切断后，从钢线列将完成切断的工件拔出时，因残存在工件切断面上的浆液而对于工件切断面造成损伤，日本专利公开公报特开2003-275950号公开一种线锯，为了抑制对于所述工件切断面造成的不良影响，从所述钢线列拔出切断完成的工件时，提高附加于钢线的张力。
发明内容
一般而言，要被供给至切断用钢线的浆液是以油性或水性的冷却液将微细的磨粒作成悬浊状，因在未搅拌的状态下，磨粒与液体成分容易分离，因所述液体成分脱除而高粘度化的浆液，容易残存在切断后的工件上，因此，在此状态下，若将工件从钢线列拔出时，工件切断面因该当钢线列而受损，在该切断面容易发生所谓的锯痕，因此导致翘曲恶化而损及质量的结果。
所述锯痕发生在垂直于工件进给方向的方向，即筋状地发生在钢线行进方向。这被认为是因残存在工件表面上的浆液，伴随钢线的行进，向钢线行进方向移动而发生的。
因此，为防止此情况发生，在工件拔出时，只要停止钢线的行进即可，但在停止钢线的行进的状态下，若进行工件的拔出时，钢线列局部地勾在残存在工件表面上的浆液中，特别是勾在磨粒凝集而粘固在工件表面上的部分上，而发生切断用钢线断线。
本发明是有鉴于上述问题而开发出来的，其目的是提供一种线锯，利用简单的结构，便不会对于通过线锯的钢线列切断的工件的切断面造成不良影响，而从所述钢线列拔出完成切断的工件。
为了达成所述目的，本发明提供一种利用线锯的工件的切断方法，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周围上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边向所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：在所述工件切断后，在从所述钢线列拔出该工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件。
如此，在工件切断后，从钢线列拔出工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件，由此，将切断后的工件由钢线列拔出时，钢线列不会局部地勾在残存在工件表面上的浆液中，特别是磨粒凝集粘固在工件表面上的部分，而不会发生切断用钢线的断线，并可抑制因工件拔出而造成的锯痕。
此时，优选为以向前进方向与后退方向的行进距离分别为1m以下的方式，来使所述工件拔出时的钢线作往复行进。
如此，因以向前进方向与后退方向的行进距离分别为1m以下的方式使工件拔出时的钢线作往复行进，所以粘固在工件表面上的浆液变得容易排除，可有效地防止由于工件拔出而发生的锯痕。
此外，此时，优选在工件拔出时所供给的浆液的温度设为高于切断结束时的温度。
如此，因在工件拔出时所供给的浆液的温度高于切断结束时的温度，所以粘固在工件表面上的浆液变得容易排除，可有效地防止由于工件拔出而发生的锯痕。
此外，本发明提供一种线锯，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周边上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边对于所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：
该线锯控制成为在所述工件切断后，在从所述钢线列拔出该工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件。
如此，本发明的线锯控制成为在工件切断后，在由钢线列拔出工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件。因此，可抑制钢线的断线、锯痕的发生，不会对于其切断面造成不良影响而将通过线锯切断后的工件由钢线列拔出。
此时，该线锯优选控制成为以向前进方向与后退方向的行进距离分别为1m以下的方式，来使所述工件拔出时的钢线作往复行进。
为了排除粘固在工件表面上的浆液，相较于使钢线向一方向行进，较有效以使钢线向前进方向与后退方向的行进距离分别成为1m以下的短间隔的方式，切换钢线的行进方向而使其作往复行进。
如此，本发明的线锯，变得容易排除粘固在工件表面上的浆液，可有效地防止因工件拔出而发生的锯痕。
此时，该线锯，优选控制成为在所述工件拔出时所供给的浆液的温度，高于切断结束时的温度。
如此，本发明的线锯控制成为在工件拔出时所供给的浆液的温度高于切断结束时的温度。所以，粘固在工件表面上的浆液变得容易排除，可有效地防止因工件拔出而发生的锯痕。
本发明的线锯控制成为在工件切断后，在由钢线列拔出工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件。所以，钢线不会断线，可减少锯痕，且不会对通过线锯的钢线列切断后的工件的切断面造成不良影响，便能由钢线列拔出工件。
附图说明
图1是表示本发明的线锯的一例的概略图。
图2是表示可用于本发明的工件进给机构的一例的概略图。
图3是表示现有的线锯的一例的概略图。
具体实施方式
以下说明本发明的实施方式，但本发明不限定于此。
若使用现有的线锯来进行工件的切断，工件切断后，从钢线列拔出该工件时，在工件表面残存的浆液，伴随钢线的行进，向钢线行进方向移动，因而有发生锯痕、翘曲恶化的问题。此外，为防止此情况发生，在停止钢线的行进的状态，进行工件的拔出时，在工件表面残存的浆液中，特别是在磨粒凝集而粘固在工件表面上的部分，钢线列局部地勾住，而成为发生切断用钢线断线的结果。
因此，本发明的线锯设成：在工件的切断后，当从钢线列拔出该工件时，以可排除粘固的浆液的最低限的速度，使钢线行进。即，发现通过控制成一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件，便不会发生钢线的断线，并能在抑制锯痕发生、翘曲恶化的情况下，拔出工件。此外，以向前进方向与后退方向的行进距离分别为1m以下的方式，来控制拔出工件时的钢线往复行进；或者，以在抽出工件时，使供给的浆液的温度比切断结束时的温度更高的方式来进行控制，由此可更容易地排除粘固在工件表面上的浆液，而可有效地防止因工件拔出而发生的锯痕。
图1是表示本发明的线锯的一例的概略图。
如图1所示，本发明的线锯1由用以切断工件的钢线2、卷绕有钢线2的带槽滚筒3、用以施予钢线2张力的钢线张力赋予机构4、将要被切断的工件向下方进给的工件进给机构5以及在切断时供给浆液的浆液供给机构6所构成。
钢线2是从一侧的线滚动条7送出，经由移车台8，再经过由磁粉离合器((powder clutch)定转矩马达9)或上下跳动滚筒(静重(dead weight))(未图示)等所组成的钢线张力赋予机构4，进入带槽滚筒3。钢线2通过卷绕于该带槽滚筒3约300～400圈，而形成钢线列。钢线2经过另一侧的钢线张力赋予机构4’而卷绕在线滚动条7’上。这些的构成与现有相同。
在图2中，表示可用于本发明中的工件进给机构的一例。如图2所示，工件紧贴在抵板14上；此外，该抵板14被通过工件板13保持。而且，工件隔着这些的抵板14、工件板13，被工件进给机构5的工件保持部11保持。
该工件进给机构5具备用以一边保持工件一边往下压的工件保持部11以及线性导轨12，利用计算机控制沿着线性导轨12驱动工件保持部11，由此可依预先程序化的进给速度，将保持的工件推送。
而且，当进行切断时，如此地被工件进给机构5的工件保持部11保持的工件通过工件进给机构5，往位于下方的钢线2进给。此外，该工件进给机构5通过将工件往下方进给，直到钢线到达抵板14为止，而完成工件的切断，之后，通过逆转工件的推送方向，将切断结束的工件从钢线列拔出。
此外，带槽滚筒103是在钢铁制圆筒的周边压入聚胺酯树脂，并在其表面以恒定的间距切出槽而成的，卷绕的钢线2可通过驱动用马达10，往复方向地运动。
另一方面，喷嘴15被配置在钢线2的上方，该钢线2被卷绕在带槽滚筒3上，在切断时，在轴方向作往复行进；当进行工件的切断时，可供给浆液至钢线2上。
此外，浆液冷却器17，被配置在浆液槽16旁，可调整供给的浆液的温度。此外，当然不限定于如图1所示的构成，例如只要可通过另外的热交换器的结构来进行浆液的供给温度的调整即可。
另外，所述浆液冷却器17、驱动用马达10、工件进给机构5被连接至控制装置25。
该控制装置25具有：对于驱动用马达10进行控制，来控制钢线2的行进速度的功能；对于驱动用马达10进行控制，来控制分别在钢线2的前后方向往复行进的距离的功能；对于浆液冷却器17进行控制，来控制供给至钢线2上的浆液的温度的功能；以及对于工件进给机构5进行控制，来控制相对于钢线列的工件的切入进给与从钢线列拔出工件的工件进给的功能。
在此，描述浆液供给装置6，即供给浆液至带槽滚筒3(钢线2)上的装置。此浆液供给装置中，从浆液槽16，经由以控制装置25控制的浆液冷却器17，连接至喷嘴15；要被供给的浆液被浆液冷却器17控制供给温度，然后由喷嘴15供给至带槽滚筒3(钢线2)上。浆液供给温度，可通过控制装置25控制成预定的温度，但控制装置未特别限定于此。
而且，本发明的线锯中，利用此控制装置25，控制工件进给装置5与驱动用马达10而控制成为在工件切断后，在从钢线列拔出工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件；并控制成为工件拔出时的钢线的行进是以向前进方向与后退方向的行进距离分别为1m以下的方式，来使钢线作往复行进；此外，通过控制浆液冷却器17而控制成为在工件拔出时所供给的浆液的温度比切断结束时的温度更高温。
接着，说明使用本发明的线锯的工件的切断方法。在进行所述钢线2的轴方向的驱动以及通过浆液供给机构6对于钢线2供给浆液的状态下，控制装置25是沿着线性导轨12驱动工件保持部11，使工件下降，将该工件相对于以例如400～800m/min行进的钢线列切入进给。对于所述钢线列切入进给时的切入进给速度可为例如0.2～0.4mm/min。这些条件当然不限定于此。
此外，可使工件切断时的钢线的行进为往复行进，其行进距离可设为例如400～600m。在切断时要被供给至钢线的浆液的温度，例如是15℃～30℃。这些条件当然不限定于此。
以如此的方式来进行工件的切断，钢线列到达工件上面的抵板为止时，即工件的切断结束时，停止切入进给。
此时，通过控制装置25来控制驱动用马达10，使钢线以预先设定的2m/min以下的行进速度行进。之后，将工件进给机构5的切入进给方向，与工件切断时逆转(相反)，将所述工件由钢线列向上方拔出。
由所述钢线列拔出工件时的进给速度，例如可设为5～100mm/min，优选设为10～50mm/min。
如此，通过控制装置25来控制驱动用马达10，使钢线以预先设定的2m/min以下的行进速度行进，与以现有的线锯切断的晶片相比较，以本发明的线锯切断的晶片，可降低发生的翘曲量与锯痕。
从钢线列拔出工件时的钢线的行进速度若超过2m/min则会发生锯痕与翘曲。为了防止此情况发生，钢线的行进速度以2m/min以下为佳，优选1m/min以下。所述钢线的行进速度的下限并无特别限定，但可设为0.1m/min以上。
另外，在将所述工件由钢线列向上方拔出时，可控制成以预先设定的1m(1公尺)以下的行进距离使钢线作往复行进。
如上所述，驱动用马达10与控制装置25连接，所以可通过该控制装置而控制成为若钢线2行进预先设定的行进距离之后，便可反转行进方向。
如此，粘固在工件表面上的浆液变得容易排除，可有效地防止因工件拔出而发生的锯痕与翘曲。
所述工件由钢线列拔出时，钢线的往复行进的行进距离，优选1m以下，但可以是1m以上。所述钢线的往复行进的行进距离的下限并无特别限定，但可为0.1m以上。
另外，将所述工件由钢线列向上方拔出时，优选控制成为供给钢线的浆液的温度，比工件的切断结束时的温度更高温。
如上所述，通过控制装置25控制的浆液冷却器17，可控制浆液的供给温度，所述工件的切入进给停止后，由钢线列拔出工件时，可供给比工件的切断结束时的温度更高温的浆液。
如此，若在拔出工件时供给高温的浆液，可容易软化并排除粘固在工件表面上的浆液，可有效地防止因工件拔出所造成锯痕发生、翘曲恶化。
从所述钢线列拔出工件时的浆液供给温度，例如工件切断时的浆液供给温度若为15℃～30℃时，则可设为35℃～50℃。
如此，使用本发明的线锯来进行的工件的切断方法，此方法是在工件切断后，当由钢线列拔出工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件，则利用此工件的切断方法，不会对通过钢线列切断后的工件的切断面造成不良影响，便能由所述钢线列拔出工件。
以下，通过实施例更具体地说明本发明，但本发明不限定于此。
(实施例1)
使用图1所示的线锯，分别控制工件切断时的钢线的行进速度、钢线的前进方向与后退方向的行进距离、以及向钢线供给的浆液的供给温度，通过本发明的切断方法，将直径8英寸(200mm)的硅晶棒切断成晶片状。
将工件的切断时的钢线的行进速度设为600m/min，并以钢线的前进方向与后退方向的行进距离为500m以下的方式，使钢线往复行进来切断工件。此外，工件的切断结束时的浆液供给温度设为25℃。
工件切断后，将钢线拔出时的钢线的行进速度设为2m/min，并将工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为1m、钢线的后退方向的行进距离设为0.5m。另外，浆液的供给温度设为与切断结束时相同。
以所述条件切断工件，调查工件切断后的工件表面的状态发现，锯痕与翘曲量比使用现有的线锯的情况降低。
(实施例2)
相对于所述实施例1，除了将钢线拔出时的钢线的行进速度设为1m/min以外，以与实施例1相同的条件来切断工件，然后进行与实施例1相同的评价。
从结果可知，通过将钢线拔出时的钢线的行进速度设为2m/min以下的1m/min，则工件表面的锯痕与翘曲量，比使用现有的线锯降低，其降低量比实施例1大。
(实施例3)
相对于所述实施例1，除了将工件拔出时的浆液供给温度设为35℃以外，以与实施例1相同的条件来切断工件，然后进行与实施例1相同的评价。
从结果可知，通过将工件拔出时的浆液供给温度设为比工件切断结束时的浆液供给温度更高温的35℃，则工件表面的锯痕与翘曲量，比使用现有的线锯降低，其降低量比实施例1大。
(实施例4)
相对于所述实施例1，除了将钢线拔出时的钢线的行进速度设为1m/min、工件拔出时的浆液供给温度设为35℃以外，以与实施例1相同的条件来切断工件，然后进行与实施例1相同的评价。
从结果可知，通过将钢线拔出时的钢线的行进速度设为2m/min以下的1m/min，且将工件拔出时的浆液供给温度设为比工件切断结束时的浆液供给温度更高温的35℃，则工件表面的锯痕与翘曲量，比使用现有的线锯大幅降低，其降低量比实施例1～3大。
(实施例5)
相对于所述实施例1，除了将钢线拔出时的钢线的行进速度设为0.5m/min、工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为0.3m、钢线的后退方向的行进距离设为0.2m以外，以与实施例1相同的条件来切断工件，然后进行与实施例1相同的评价。
从结果可知，通过将钢线拔出时的钢线的行进速度设为2m/min以下的0.5m/min，且将工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为1m以下的0.3m、钢线的后退方向的行进距离设为1m以下的0.2m，则工件表面的锯痕与翘曲量，比使用现有的线锯降低，其降低量比实施例1大。
(实施例6)
相对于所述实施例1，除了将钢线拔出时的钢线的行进速度设为0.5m/min、工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为0.3m、钢线的后退方向的行进距离设为0.2m、浆液供给温度设为35℃以外，以与实施例1相同的条件来切断工件，然后进行与实施例1相同的评价。
从结果可知，通过将钢线拔出时的钢线的行进速度设为2m/min以下的0.5m/min，且将工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为1m以下的0.3m、钢线的后退方向的行进距离设为1m以下的0.2m、钢线拔出时的浆液供给温度设为比工件切断结束时的浆液供给温度更高温的35℃，则工件表面的锯痕与翘曲量，比使用现有的线锯降低，其降低量比实施例1～3大。
(比较例1)
相对于所述实施例1，除了将钢线拔出时的钢线的行进速度设为10m/min、工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为20m、钢线的后退方向的行进距离设为10m以外，以与实施例1相同的条件来切断工件，然后进行与实施例1相同的评价。
从结果可知，因为将钢线拔出时的钢线的行进速度设为超过2m/min的10m/min，且将工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为超过1m的20m、钢线的后退方向的行进距离设为超过1m的10m，则工件表面的锯痕与翘曲量，较实施例1恶化。
(比较例2)
相对于所述实施例1，除了将钢线拔出时的钢线的行进速度设为100m/min、工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为200m，钢线的后退方向的行进距离设为100m以外，以与实施例1相同的条件来切断工件，然后进行与实施例1相同的评价。
从结果可知，因为将钢线拔出时的钢线的行进速度设为超过2m/min的100m/min，且将工件拔出时的钢线的前进方向的行进距离设为超过1m的200m、钢线的后退方向的行进距离设为超过1m的100m，则工件表面的锯痕与翘曲量，较实施例1大幅恶化。
(比较例3)
相对于所述实施例1，除了将钢线拔出时的钢线的行进速度设为3m/min以外，以与实施例1相同的条件来切断工件，然后进行与实施例1相同的评价。
从结果可知，因为将钢线拔出时的钢线的行进速度设为超过2m/min的3m/min，则工件表面的锯痕与翘曲量，虽较比较例1为佳，但较实施例1恶化。
在第1表中，表示总结各实施例、比较例中的条件与工件拔出时的工件切断面的质量评价结果。
[第1表]
  工件拔出时的钢线行进速度   工件拔出时的钢线前进/后退量   工件拔出时的浆液供给温度   工件拔出后的晶片质量
  实施例1   2m/min   1m/0.5m   25℃   ○
  实施例2   1m/min   1m/0.5m   25℃   ◎
  实施例3   2m/min   1m/0.5m   35℃   ◎
  实施例4   1m/min   1m/0.5m   35℃   ◎◎
  实施例5   0.5m/min   0.3m/0.2m   25℃   ◎
  实施例6   0.5m/min   0.3m/0.2m   35℃   ◎◎
  比较例1   10m/min   20m/10m   25℃   ×
  比较例2   100m/min   200m/100m   25℃   ××
  比较例3   3m/min   1m/0.5m   25℃   ×
如以上所示，采用本发明的线锯，此线锯是控制成在切断工件后，由钢线列拔出该工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件，由此，以钢线列切断的工件，可从所述钢线列拔出而不会对于其切断面造成不良影响。
此外，本发明不限定于所述实施方式。所述实施方式仅为例示，凡是与本发明的权利要求书中所记载的技术思想，实质上具有相同的构成，能产生相同的效果的，不论为如何的方式，都应包含在本发明的技术范围内。

Claims (6)

1.一种利用线锯的工件的切断方法，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周边上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边向所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：
在所述工件切断后，在从所述钢线列拔出该工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件。
2.如权利要求1所述的利用线锯的工件的切断方法，其中，所述工件拔出时的钢线的行进，是以向前进方向与后退方向的行进距离分别为1m以下的方式，来使钢线作往复行进。
3.如权利要求1或2所述的利用线锯的工件的切断方法，其中，在所述工件拔出时所供给的浆液的温度设为高于切断结束时的温度。
4.一种线锯，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周边上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边向所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：
该线锯控制成为在所述工件切断后，在从所述钢线列拔出该工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件。
5.如权利要求4所述的线锯，其中，该线锯控制成为：所述工件拔出时的钢线的行进，是以向前进方向与后退方向的行进距离分别为1m以下的方式，来使钢线作往复行进。
6.如权利要求4或5所述的线锯，其中，该线锯控制成为：在所述工件拔出时所供给的浆液的温度高于切断结束时的温度。
CN2008801166670A 2007-12-11 2008-11-17 利用线锯的工件的切断方法及线锯 Active CN101861230B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007320200A JP4998241B2 (ja) 2007-12-11 2007-12-11 ワイヤソーによるワークの切断方法およびワイヤソー
JP2007-320200 2007-12-11
PCT/JP2008/003344 WO2009075062A1 (ja) 2007-12-11 2008-11-17 ワイヤソーによるワークの切断方法およびワイヤソー

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101861230A true CN101861230A (zh) 2010-10-13
CN101861230B CN101861230B (zh) 2012-09-19

Family

ID=40755312

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008801166670A Active CN101861230B (zh) 2007-12-11 2008-11-17 利用线锯的工件的切断方法及线锯

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8037878B2 (zh)
JP (1) JP4998241B2 (zh)
KR (1) KR101517797B1 (zh)
CN (1) CN101861230B (zh)
DE (1) DE112008003321B4 (zh)
TW (1) TWI413558B (zh)
WO (1) WO2009075062A1 (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102689367A (zh) * 2011-03-23 2012-09-26 江苏聚能硅业有限公司 硅片新切割工艺方法
CN103240805A (zh) * 2012-02-09 2013-08-14 硅电子股份公司 从工件同时切割多个切片的设备和方法
CN103660050A (zh) * 2012-09-03 2014-03-26 苏州协鑫光伏科技有限公司 硅片多线切割机金刚线切割液系统
CN103998182A (zh) * 2011-12-22 2014-08-20 信越半导体株式会社 工件的切割方法
CN104040721A (zh) * 2011-11-11 2014-09-10 夏普株式会社 半导体装置及半导体装置的制造方法
CN104339460A (zh) * 2014-10-31 2015-02-11 三峡大学 一种制作圆柱形节理试件的线切割装置
CN105082380A (zh) * 2015-09-09 2015-11-25 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 硅片切割后的取出方法
CN107116710A (zh) * 2016-02-25 2017-09-01 胜高股份有限公司 晶片的制造方法
CN108778623A (zh) * 2016-04-21 2018-11-09 信越半导体株式会社 线锯装置的制造方法及线锯装置
TWI838515B (zh) 2019-05-16 2024-04-11 日商信越半導體股份有限公司 工件之切斷方法及線鋸

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2508968C2 (ru) 2009-08-14 2014-03-10 Сэнт-Гобэн Эбрейзивс, Инк. Абразивное изделие (варианты) и способ его формирования
RU2569254C2 (ru) 2009-08-14 2015-11-20 Сэнт-Гобэн Эбрейзивс, Инк. Абразивное изделие
JP4831709B2 (ja) * 2010-05-21 2011-12-07 シャープ株式会社 半導体装置および半導体装置の製造方法
TW201507812A (zh) 2010-12-30 2015-03-01 Saint Gobain Abrasives Inc 磨料物品及形成方法
DE102011082366B3 (de) * 2011-09-08 2013-02-28 Siltronic Ag Einlagiges Wickeln von Sägedraht mit fest gebundenem Schneidkorn für Drahtsägen zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
US9375826B2 (en) 2011-09-16 2016-06-28 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive article and method of forming
CN103842132A (zh) 2011-09-29 2014-06-04 圣戈班磨料磨具有限公司 包括粘结到具有阻挡层的长形基底本体上的磨料颗粒的磨料制品、及其形成方法
TW201404527A (zh) 2012-06-29 2014-02-01 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TW201402274A (zh) 2012-06-29 2014-01-16 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TWI477343B (zh) 2012-06-29 2015-03-21 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TWI483803B (zh) * 2012-06-29 2015-05-11 Saint Gobain Abrasives Inc 在工件上進行切割操作之方法
CN104603916B (zh) * 2012-09-03 2018-04-17 日立金属株式会社 利用多线切割机对高硬度材料进行切断的切断方法
JP6037742B2 (ja) * 2012-09-18 2016-12-07 コマツＮｔｃ株式会社 ウエーハ表面の処理方法およびウエーハ表面の処理可能なワイヤソー
DE102012221904B4 (de) 2012-11-29 2018-05-30 Siltronic Ag Verfahren zur Wiederaufnahme des Drahtsägeprozesses eines Werkstückes nach einer unplanmäßigen Unterbrechung
TW201441355A (zh) 2013-04-19 2014-11-01 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨製品及其形成方法
CN103831495A (zh) * 2014-03-12 2014-06-04 安徽理工大学 一种棒材线切割小车
CN104097271B (zh) * 2014-07-17 2016-02-24 北京鼎臣高科技有限公司 循环供油系统及具有该循环供油系统的内圆切片机系统
CN104552636A (zh) * 2015-01-24 2015-04-29 常州贝斯塔德机械股份有限公司 一种用于多线切割机摇摆驱动结构
TWI621505B (zh) 2015-06-29 2018-04-21 聖高拜磨料有限公司 研磨物品及形成方法
CN105365062B (zh) * 2015-10-27 2017-03-22 镇江环太硅科技有限公司 一种开方机截断去头尾的方法
JP6819619B2 (ja) * 2018-01-22 2021-01-27 信越半導体株式会社 ワーク切断方法及びワイヤソー
JP7020454B2 (ja) * 2019-05-16 2022-02-16 信越半導体株式会社 ワークの切断方法及びワイヤソー
CN112976382B (zh) * 2021-03-04 2022-04-01 福州天瑞线锯科技有限公司 一种金刚线对脆硬材料的切割方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61125767A (ja) * 1984-11-20 1986-06-13 Sumitomo Metal Ind Ltd ワイヤソ−のウエハ取出方法
JPH01316164A (ja) * 1988-06-13 1989-12-21 Osaka Titanium Co Ltd 切削製品の製法およびワイヤソーマシン
JP2516717B2 (ja) * 1991-11-29 1996-07-24 信越半導体株式会社 ワイヤソ―及びその切断方法
JPH06114828A (ja) * 1992-10-02 1994-04-26 Sumitomo Metal Ind Ltd ワイヤソーによる切断方法
JP2722975B2 (ja) * 1992-11-19 1998-03-09 住友金属工業株式会社 マルチワイヤソーによる切断方法
JP3083232B2 (ja) 1994-06-30 2000-09-04 株式会社日平トヤマ ワイヤソー装置およびワーク引抜き方法
JP2891187B2 (ja) * 1995-06-22 1999-05-17 信越半導体株式会社 ワイヤーソー装置及び切断方法
JPH0938854A (ja) * 1995-07-31 1997-02-10 Sharp Corp マルチワイヤーソーのワイヤー供給装置
JP3656317B2 (ja) 1996-03-27 2005-06-08 信越半導体株式会社 ワイヤソーによるワーク切断方法及び装置
JP2000176821A (ja) * 1998-12-17 2000-06-27 Nippei Toyama Corp ワイヤソー
JP3887574B2 (ja) 2002-03-22 2007-02-28 トーヨーエイテック株式会社 ワイヤソーからのワーク引抜き方法
US6889684B2 (en) * 2002-11-06 2005-05-10 Seh America, Inc. Apparatus, system and method for cutting a crystal ingot
DE102005007368A1 (de) * 2004-06-16 2006-01-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Schmierend wirkende Polymer-Wasser-Mischung
KR100667690B1 (ko) * 2004-11-23 2007-01-12 주식회사 실트론 웨이퍼 슬라이싱 방법 및 장치
JP2007160431A (ja) * 2005-12-12 2007-06-28 Takatori Corp ワイヤソーによる切断方法とワイヤソーの切断ワーク受け部材
JP2007173721A (ja) * 2005-12-26 2007-07-05 Sharp Corp シリコンインゴッドのスライス方法
DE602005014019D1 (de) * 2005-12-27 2009-05-28 Japan Fine Steel Co Ltd Fester schleifdraht
JP4965949B2 (ja) * 2006-09-22 2012-07-04 信越半導体株式会社 切断方法
DE102006058823B4 (de) * 2006-12-13 2017-06-08 Siltronic Ag Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück
WO2009011100A1 (ja) * 2007-07-19 2009-01-22 Mitsubishi Chemical Corporation Iii族窒化物半導体基板およびその洗浄方法
EP2393950B1 (en) * 2009-02-03 2018-12-12 The Nanosteel Company, Inc. Wire, method of cutting substrates and method of forming such a wire

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102689367A (zh) * 2011-03-23 2012-09-26 江苏聚能硅业有限公司 硅片新切割工艺方法
CN104040721A (zh) * 2011-11-11 2014-09-10 夏普株式会社 半导体装置及半导体装置的制造方法
CN103998182A (zh) * 2011-12-22 2014-08-20 信越半导体株式会社 工件的切割方法
CN103240805B (zh) * 2012-02-09 2016-02-17 硅电子股份公司 从工件同时切割多个切片的设备和方法
CN103240805A (zh) * 2012-02-09 2013-08-14 硅电子股份公司 从工件同时切割多个切片的设备和方法
US9346188B2 (en) 2012-02-09 2016-05-24 Siltronic Ag Apparatus and method for simultaneously slicing a multiplicity of slices from a workpiece
CN103660050A (zh) * 2012-09-03 2014-03-26 苏州协鑫光伏科技有限公司 硅片多线切割机金刚线切割液系统
CN103660050B (zh) * 2012-09-03 2016-03-09 苏州协鑫光伏科技有限公司 硅片多线切割机金刚线切割液系统
CN104339460A (zh) * 2014-10-31 2015-02-11 三峡大学 一种制作圆柱形节理试件的线切割装置
CN104339460B (zh) * 2014-10-31 2015-12-09 三峡大学 一种制作圆柱形节理试件的线切割装置
CN105082380A (zh) * 2015-09-09 2015-11-25 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 硅片切割后的取出方法
CN107116710A (zh) * 2016-02-25 2017-09-01 胜高股份有限公司 晶片的制造方法
CN107116710B (zh) * 2016-02-25 2019-08-13 胜高股份有限公司 晶片的制造方法
CN108778623A (zh) * 2016-04-21 2018-11-09 信越半导体株式会社 线锯装置的制造方法及线锯装置
CN108778623B (zh) * 2016-04-21 2020-07-03 信越半导体株式会社 线锯装置的制造方法及线锯装置
TWI838515B (zh) 2019-05-16 2024-04-11 日商信越半導體股份有限公司 工件之切斷方法及線鋸

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009142912A (ja) 2009-07-02
US8037878B2 (en) 2011-10-18
DE112008003321B4 (de) 2021-09-16
JP4998241B2 (ja) 2012-08-15
CN101861230B (zh) 2012-09-19
US20100252017A1 (en) 2010-10-07
TWI413558B (zh) 2013-11-01
WO2009075062A1 (ja) 2009-06-18
TW200940225A (en) 2009-10-01
DE112008003321T5 (de) 2010-12-30
KR101517797B1 (ko) 2015-05-06
KR20100098623A (ko) 2010-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101861230B (zh) 利用线锯的工件的切断方法及线锯
KR102545544B1 (ko) 워크의 절단방법 및 와이어소
JP6015598B2 (ja) インゴットの切断方法及びワイヤソー
WO2019142494A1 (ja) ワーク切断方法及びワイヤソー
KR102100839B1 (ko) 워크의 절단방법
KR20190136006A (ko) 워크의 절단방법
JP5056645B2 (ja) ワークの切断方法及びワイヤソー
CN113226640B (zh) 工件的切断方法及线锯
JP7020454B2 (ja) ワークの切断方法及びワイヤソー
JP2016068182A (ja) インゴットの切断方法
KR20200111697A (ko) 워크의 절단방법 및 와이어소

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant