CN112428463B - 一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，把原来用气枪吹硅片，改为用水枪喷硅片，且控制水枪喷硅片时的水压，保证硅片不会破损；断线后把晶棒升起，把机台的研磨液桶移开，避免有水流入研磨液；接2根水管，水管直径在10mm左右即可，使用车间内的常规纯水，管头使用淋浴喷头，水流量控制在3L～5L/min。把硅棒清洗干净，特别是硅片与硅片之间要完全没有黑水流出，目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开，解决复旧中不易吹开缝隙，容易产生裂片的问题。

Description

一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法
技术领域
本发明属于硅片加工领域，具体涉及一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法。
背景技术
原有的状况：线切割加工过程中，会发生断线异常，当发生断线后，通常会记录好当前的切割位置，再上升工作台使晶棒离开钢线，然后清理主轴上的钢线，检查导轮、张力臂等是否有异常，确认OK后重新绕上钢线，然后把晶棒下降到合适的位置，用气枪吹动硅片，使钢线能够重新卡到硅片之间，再下压到断线的位置继续切割。
存在的问题和缺点：因人员技能差异，以及断线后需要处理异常的多少，决定了停留的时间，时间越长，研磨液就会越干，片子会粘在一起，用气枪吹的时候就不容易把片子吹开，把气压调得太高，又容易把片子吹裂。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明提供一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，把原来用气枪吹硅片，改为用水枪喷硅片，且控制水枪喷硅片时的水压，保证硅片不会破损。
本发明的技术方案是：一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，具体步骤如下：
步骤一、当断线后记录好断线的位置，把晶棒升起，拆下研磨液管，清理好主轴上断线，检查相关怀疑断线的部件、部位；OK后重新绕上钢线，钢线绕好后恢复加工时使用的张力，高速运转5min以上，观察各个部件的运转情况，确保运转正常后停机；
步骤二、把机台的研磨液桶移开，放一个用于盛装清洗水的手提桶；
步骤三、接水管，使用车间内的常规纯水，水流量控制在3L～5L/min；
步骤四、采用步骤三中的水管清洗硅棒，直至硅片与硅片之间完全没有黑水流出；
步骤五、当目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开的时候，下压工作台，当硅棒进入钢线0.5±0.1mm时，停止下压，并确认对入情况；
步骤六、确认完全对入后，低速走动钢线，一边喷水一边下压工作台，直到压到断线位置时停止；
步骤七、恢复研磨液桶位置，安装好研磨液管，注意不要撞到晶棒，打开研磨液供给泵，当沙液达到需要的流量的时候，手动来回走动钢线，将沙液灌入硅片之间；
步骤八、常规开机确认，恢复生产。
进一步的，步骤三中，接2根水管，水管直径在10±1mm。
进一步的，步骤三中，水管的管头采用淋浴小喷头。保证喷洒均匀。
进一步的，步骤四中，清洗时采用1人持1根水管清洗的方法，或者采用2人各持1根水管同时清洗的方法。可根据工况及工作人员实时情况调整。
进一步的，步骤五中，下压工作台时，需要持续用水左右来回匀称喷洒硅棒。目的是利用水在硅片之间流动时，利用自身的张力把硅片分开。
进一步的，步骤六中，低速走动钢线的速度为4-6m/min。
进一步的，步骤六中工作台压到断线位置时停止，机台静止一段时间后，采用气枪对加工室吹扫除晶棒以外的区域。目的是让加工室的水能够尽可能的流出，避免更多的水分参入到研磨液中，以免影响切割。
进一步的，机台静止时间超过8分钟。
进一步的，步骤七中，手动来回走动钢线的速度在100米/min以内。
进一步的，步骤七中，手动来回走动钢线的走线量超过80米。
本发明的有益效果是：提供一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，把原来用气枪吹硅片，改为用水枪喷硅片，且控制水枪喷硅片时的水压，保证硅片不会破损。
断线后把晶棒升起，把机台的研磨液桶移开(避免有水流入研磨液)。接2根水管，水管直径在10mm左右即可，使用车间内的常规纯水，管头使用淋浴喷头(小喷头)，水流量控制在3L～5L/min。把硅棒清洗干净，特别是硅片与硅片之间要完全没有黑水流出。目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开。解决复旧中不易吹开缝隙，容易产生裂片的问题。
具体实施方式
一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，具体步骤如下：
步骤一、当断线后记录好断线的位置，把晶棒升起，拆下研磨液管。清理好主轴上断线，检查相关怀疑断线的部件、部位。OK后重新绕上钢线，钢线绕好后恢复加工时使用的张力，高速运转5min以上，观察各个部件的运转情况(以免再次发生断线)，确保运转正常后停机。
步骤二、把机台的研磨液桶移开，放一个手提桶(待会接住清洗的水)。
步骤三、接2根水管，水管直径在10mm左右即可，使用车间内的常规纯水，管头使用淋浴喷头(小喷头)，水流量控制在3L～5L/min。
步骤四、要把硅棒清洗干净，特别是硅片与硅片之间要完全没有黑水流出。清洗时可以1人持1根水管慢慢洗，也可2人各持1根水管同时清洗。
步骤五、当目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开的时候，此时就可以下压工作台了。这个时候需3人同时操作。左右各1人用水喷洒硅棒(此时要左右来回喷匀称，目的是利用水在硅片之间流动时，利用自身的张力把硅片分开)。中间1人手拿电筒，一边下压工作台，一边观察对线的状况，当硅棒进入钢线0.5mm左右时，停止下压，确认对入情况，可低速(速度为5m/min)走动钢线。
步骤六、确认完全对入后，低速走动钢线，一边喷水一边下压工作台，直到压到断线位置时停止。
步骤七、机台静止10min左右，可用气枪对加工室吹扫(不要吹晶棒)目的是让加工室的水能够尽可能的流出，避免更多的水分参入到研磨液中，以免影响切割。
步骤八、恢复研磨液桶位置，安装好研磨液管，注意不要撞到晶棒，打开研磨液供给泵，当沙液达到需要的流量的时候，手动来回走动钢线，一般速度控制在100米/min以内，走线量100米左右即可，目的是把沙液灌入硅片之间。
步骤九、常规开机确认，恢复生产。
本申请把原来用气枪吹硅片，改为用水枪喷硅片，且控制水枪喷硅片时的水压，保证硅片不会破损。断线后把晶棒升起，把机台的研磨液桶移开(避免有水流入研磨液)。接2根水管，水管直径在10mm左右即可，使用车间内的常规纯水，管头使用淋浴喷头(小喷头)，水流量控制在3L～5L/min。把硅棒清洗干净，特别是硅片与硅片之间要完全没有黑水流出。目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开。解决复旧中不易吹开缝隙，容易产生裂片的问题。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：具体步骤如下：
步骤一、当断线后记录好断线的位置，把晶棒升起，拆下研磨液管，清理好主轴上断线，检查相关怀疑断线的部件、部位；OK后重新绕上钢线，钢线绕好后恢复加工时使用的张力，高速运转5min以上，观察各个部件的运转情况，确保运转正常后停机；
步骤二、把机台的研磨液桶移开，放一个用于盛装清洗水的手提桶；
步骤三、接水管，使用车间内的常规纯水，水流量控制在3L～5L/min；
步骤四、采用步骤三中的水管清洗硅棒，直至硅片与硅片之间完全没有黑水流出；
步骤五、当目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开的时候，下压工作台，当硅棒进入钢线0.5±0.1mm时，停止下压，并确认对入情况；下压工作台时，需要持续用水左右来回匀称喷洒硅棒；
步骤六、确认完全对入后，低速走动钢线，一边喷水一边下压工作台，直到压到断线位置时停止；所述低速走动钢线的速度为4-6m/min；
步骤七、恢复研磨液桶位置，安装好研磨液管，打开研磨液供给泵，当沙液达到需要的流量的时候，手动来回走动钢线，将沙液灌入硅片之间；手动来回走动钢线的速度在100米/min以内；手动来回走动钢线的走线量超过80米；
步骤八、常规开机确认，恢复生产。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：步骤三中，接2根水管，水管直径在10±1mm。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：步骤三中，水管的管头采用淋浴小喷头。
4.根据权利要求1所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：步骤四中，清洗时采用1人持1根水管清洗的方法，或者采用2人各持1根水管同时清洗的方法。
5.根据权利要求1所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：步骤六中工作台压到断线位置时停止，机台静止一段时间后，采用气枪对加工室吹扫除晶棒以外的区域。
6.根据权利要求5所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：机台静止时间超过8分钟。
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