JP2011023655A - 窒化シリコン薄膜成膜方法および窒化シリコン薄膜成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体表面に窒化シリコン(SiNx)膜の薄膜を形成する成膜方法において、高周波電極と対向電極とを平行して対向配置してなる平板電極間の放電によってプラズマを生成し、放電プラズマによって半導体表面上に2層からなる薄膜を成膜し、2層の薄膜の内、第1層目の薄膜は60nm/min以下の低速で膜厚10nm以下に成膜し、第2層目の薄膜は100nm/min以上の高速で膜厚10nm以上に成膜する。
【選択図】図2
Description
図1は本発明の窒化シリコン薄膜成膜装置の概略構成を説明するための図である。図1に示す構成は一般的なプラズマCVD成膜装置とほぼ同様の構成とすることができ、成膜速度を調整する制御装置(図示していない)を備える。
2 成膜室
3 平行平板電極
3a 高周波電極
3b 対向電極
4 ガス供給部
5 ガス排気部
6 高周波電源
7 マッチングボックス
10 シリコン基板
11 1層目薄膜
12 2層目薄膜
13 窒化シリコン薄膜
Claims (10)
- 半導体表面に窒化シリコン(SiNx)膜の薄膜を形成する成膜方法において、
高周波電極と対向電極とを平行して対向配置してなる平板電極間の放電によってプラズマを生成し、
前記放電プラズマによって半導体表面上に2層からなる薄膜を成膜し、
前記2層の薄膜の内、
第1層目の薄膜は60nm/min以下の低速で膜厚10nm以下に成膜し、
第2層目の薄膜は100nm/min以上の高速で膜厚10nm以上に成膜することを特徴とする窒化シリコン薄膜成膜方法。 - 前記2層からなる薄膜は、結晶太陽電池の半導体表面に形成する基板反射防止膜であることを特徴とする、請求項1に記載の窒化シリコン薄膜成膜方法。
- 前記2層からなる薄膜は、半導体素子の半導体表面に形成するパッシベーション膜であることを特徴とする、請求項1に記載の窒化シリコン薄膜成膜方法。
- 前記第1層目の薄膜と第2層目の薄膜の成膜速度は、前記高周波電極に印加する高周波電力を変更することを特徴とする、請求項1から3の何れか一つに記載の窒化シリコン薄膜成膜方法。
- 第1層目の薄膜成膜時に前記高周波電極に印加する高周波電力は、第2層目の薄膜成膜時に印加する前記高周波電極に印加する高周波電力よりも低いことを特徴とする、請求項4に記載の窒化シリコン薄膜成膜方法。
- 前記第1層目の薄膜と第2層目の薄膜の成膜速度は、前記高周波電極に印加する高周波電力、前記高周波電極と対向電極との間の電極間距離、高周波電源の周波数、成膜中にプラズマに供給する供給ガスのガス圧、成膜中にプラズマに供給する供給ガスのガス流量の少なくとも何れか一つを変更することを特徴とする、請求項1から3の何れか一つに記載の窒化シリコン薄膜成膜方法。
- 前記高周波電源の周波数は10kHz〜100MHzであることを特徴とした請求項6に記載の窒化シリコン薄膜成膜方法。
- 成膜中の基板温度が250℃〜550℃であることを特徴とする請求項7に記載の窒化シリコン薄膜成膜方法。
- 半導体表面に窒化シリコン(SiNx)膜の薄膜を形成する成膜装置において、
前記半導体表面にプラズマ処理を施す成膜室と、
前記成膜室内に、平行して対向配置して平板電極を形成する高周波電極および対向電極と、
前記高周波電極に高周波電力を印加する高周波電源と、
前記成膜室内にガスを供給するガス供給部とを備え、
前記高周波電極に高周波電力を印加すると共にガスを供給して前記平板電極間に放電プラズマを生成し、成膜中に放電プラズマのプラズマ密度を変えることによって、半導体表面上に、60nm/min以下の低速で10nm以下の膜厚を成膜して成る第1層目の薄膜と、100nm/min以上の高速で10nm以上の膜厚を成膜して成る第2層目の薄膜の2層からなる薄膜を成膜することを特徴とする、窒化シリコン薄膜成膜装置。 - 前記高周波電極に印加する高周波電力、前記高周波電極と対向電極との間の電極間距離、高周波電源の周波数、成膜中にプラズマに供給する供給ガスのガス圧、成膜中にプラズマに供給する供給ガスのガス流量の少なくとも何れか一つを変更することによって前記プラズマ密度を変え、前記第1層目の薄膜の成膜速度を第2層目の薄膜の成膜速度よりも低速とすることを特徴とする、請求項9に記載の窒化シリコン薄膜成膜装置。
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Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012182232A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置の製造方法 |
WO2013057835A1 (ja) * | 2011-10-21 | 2013-04-25 | 株式会社島津製作所 | 薄膜形成装置 |
JP2014146786A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-08-14 | Novellus Systems Incorporated | 感受性基材上にフィルムを蒸着するための方法 |
WO2015045066A1 (ja) * | 2013-09-26 | 2015-04-02 | 株式会社島津製作所 | 薄膜形成装置 |
JP2016039173A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
US10037884B2 (en) | 2016-08-31 | 2018-07-31 | Lam Research Corporation | Selective atomic layer deposition for gapfill using sacrificial underlayer |
US10043655B2 (en) | 2010-04-15 | 2018-08-07 | Novellus Systems, Inc. | Plasma activated conformal dielectric film deposition |
US10062563B2 (en) | 2016-07-01 | 2018-08-28 | Lam Research Corporation | Selective atomic layer deposition with post-dose treatment |
CN108630764A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-10-09 | 通威太阳能(安徽)有限公司 | 一种提升perc电池背面转换效率的背面膜层结构以及制备方法 |
US10269559B2 (en) | 2017-09-13 | 2019-04-23 | Lam Research Corporation | Dielectric gapfill of high aspect ratio features utilizing a sacrificial etch cap layer |
US10361076B2 (en) | 2010-04-15 | 2019-07-23 | Lam Research Corporation | Gapfill of variable aspect ratio features with a composite PEALD and PECVD method |
US10373806B2 (en) | 2016-06-30 | 2019-08-06 | Lam Research Corporation | Apparatus and method for deposition and etch in gap fill |
US10559468B2 (en) | 2010-04-15 | 2020-02-11 | Lam Research Corporation | Capped ALD films for doping fin-shaped channel regions of 3-D IC transistors |
US10804099B2 (en) | 2014-11-24 | 2020-10-13 | Lam Research Corporation | Selective inhibition in atomic layer deposition of silicon-containing films |
US11646198B2 (en) | 2015-03-20 | 2023-05-09 | Lam Research Corporation | Ultrathin atomic layer deposition film accuracy thickness control |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6320837A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-28 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | アンダーカット・マスク構造の形成方法 |
JPH07106597A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-21 | Kokusai Electric Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH08111531A (ja) * | 1994-02-08 | 1996-04-30 | Applied Materials Inc | 薄膜トランジスタのための多段階cvd法 |
JPH10341022A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | Tftアレイ基板の製造方法 |
JPH1187722A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Advanced Display:Kk | 保護絶縁膜を成膜する方法 |
JP2001183639A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Nec Corp | 薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法 |
JP2002134504A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-10 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2002270879A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
WO2006046407A1 (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | 太陽電池および太陽電池の製造方法 |
-
2009
- 2009-07-17 JP JP2009169018A patent/JP2011023655A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6320837A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-28 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | アンダーカット・マスク構造の形成方法 |
JPH07106597A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-21 | Kokusai Electric Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH08111531A (ja) * | 1994-02-08 | 1996-04-30 | Applied Materials Inc | 薄膜トランジスタのための多段階cvd法 |
JPH10341022A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | Tftアレイ基板の製造方法 |
JPH1187722A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Advanced Display:Kk | 保護絶縁膜を成膜する方法 |
JP2001183639A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Nec Corp | 薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法 |
JP2002134504A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-10 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2002270879A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
WO2006046407A1 (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | 太陽電池および太陽電池の製造方法 |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10043655B2 (en) | 2010-04-15 | 2018-08-07 | Novellus Systems, Inc. | Plasma activated conformal dielectric film deposition |
US11133180B2 (en) | 2010-04-15 | 2021-09-28 | Lam Research Corporation | Gapfill of variable aspect ratio features with a composite PEALD and PECVD method |
US11011379B2 (en) | 2010-04-15 | 2021-05-18 | Lam Research Corporation | Capped ALD films for doping fin-shaped channel regions of 3-D IC transistors |
US10559468B2 (en) | 2010-04-15 | 2020-02-11 | Lam Research Corporation | Capped ALD films for doping fin-shaped channel regions of 3-D IC transistors |
US10361076B2 (en) | 2010-04-15 | 2019-07-23 | Lam Research Corporation | Gapfill of variable aspect ratio features with a composite PEALD and PECVD method |
JP2012182232A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置の製造方法 |
WO2013057835A1 (ja) * | 2011-10-21 | 2013-04-25 | 株式会社島津製作所 | 薄膜形成装置 |
US10741458B2 (en) | 2012-11-08 | 2020-08-11 | Novellus Systems, Inc. | Methods for depositing films on sensitive substrates |
JP2014146786A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-08-14 | Novellus Systems Incorporated | 感受性基材上にフィルムを蒸着するための方法 |
US10008428B2 (en) | 2012-11-08 | 2018-06-26 | Novellus Systems, Inc. | Methods for depositing films on sensitive substrates |
WO2015045066A1 (ja) * | 2013-09-26 | 2015-04-02 | 株式会社島津製作所 | 薄膜形成装置 |
JP2016039173A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
US10804099B2 (en) | 2014-11-24 | 2020-10-13 | Lam Research Corporation | Selective inhibition in atomic layer deposition of silicon-containing films |
US11646198B2 (en) | 2015-03-20 | 2023-05-09 | Lam Research Corporation | Ultrathin atomic layer deposition film accuracy thickness control |
US10373806B2 (en) | 2016-06-30 | 2019-08-06 | Lam Research Corporation | Apparatus and method for deposition and etch in gap fill |
US10957514B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-03-23 | Lam Research Corporation | Apparatus and method for deposition and etch in gap fill |
US10679848B2 (en) | 2016-07-01 | 2020-06-09 | Lam Research Corporation | Selective atomic layer deposition with post-dose treatment |
US10062563B2 (en) | 2016-07-01 | 2018-08-28 | Lam Research Corporation | Selective atomic layer deposition with post-dose treatment |
US10037884B2 (en) | 2016-08-31 | 2018-07-31 | Lam Research Corporation | Selective atomic layer deposition for gapfill using sacrificial underlayer |
US10269559B2 (en) | 2017-09-13 | 2019-04-23 | Lam Research Corporation | Dielectric gapfill of high aspect ratio features utilizing a sacrificial etch cap layer |
CN108630764A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-10-09 | 通威太阳能(安徽)有限公司 | 一种提升perc电池背面转换效率的背面膜层结构以及制备方法 |
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