JP2011016680A - Iii族窒化物半導体自立基板の製造方法、iii族窒化物半導体自立基板、iii族窒化物半導体デバイスの製造方法及びiii族窒化物半導体デバイス - Google Patents
Iii族窒化物半導体自立基板の製造方法、iii族窒化物半導体自立基板、iii族窒化物半導体デバイスの製造方法及びiii族窒化物半導体デバイス Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】III族窒化物半導体自立基板50は、基板50表面がアズグロウンであり、基板50表面の半分以上の領域が、III族極性のC面からm軸方向若しくはa軸方向に、又はM面からc軸方向若しくはa軸方向に傾いたオフ角を有する単一の結晶面からなる。
【選択図】図1
Description
種結晶基板の表面に気相成長法を用いてIII族窒化物半導体を形成した後、III族窒化物半導体から種結晶基板を剥離するIII族窒化物半導体自立基板の製造方法において、種結晶基板は、六方晶形又は立方晶形の結晶構造であり、種結晶基板の表面は、六方晶形にあってはC面からm軸方向若しくはa軸方向に又はM面からa軸方向に0.35°以上0.8°以下の範囲で傾斜し、立方晶形にあっては(111)面から[211]方向若しくは[110]方向に0.35°以上0.8°以下の範囲で傾斜し、III族窒化物半導体の成長を、III族原料の供給量の変化に対して成長速度が線形に変化しない条件で実施する。また、III族窒化物半導体デバイスの製造方法において、このIII族窒化物半導体自立基板の製造方法によりIII族窒化物半導体自立基板を製造し、III族窒化物半導体自立基板上にエピタキシャル成長によりIII族窒化物半導体層を形成する。
(自立基板の概要)
本発明の実施の形態に係るIII族窒化物半導体自立基板は、表面が鏡面であるIII族窒化物半導体自立基板であり、当該自立基板の表面における少なくとも半分以上の領域が、III族極性のC面からm軸方向に傾いたオフ角を有する単一の結晶面からなり、この結晶面が結晶成長により形成されている。上記オフ角は、0.4°以上1.0°以下の範囲とすることが好ましい。ここで、自立基板とは、自らの形状を保持でき、ハンドリングに不都合が生じない程度の強度を有する基板をいう。自立基板の厚さとしては250μm以上にすることが好ましい。また、単一の結晶面とは、結晶方位の揃った面をいう。III族窒化物半導体の成長は気相成長法により行われ、III族原料の供給量の変化に対して成長速度が線形に変化しない領域でなされる。単一の結晶面は、III族窒化物半導体がGaNである場合、Ga極性のC面からm軸方向に所定の範囲で傾くこととなる。III族窒化物半導体としては、GaN、AlN、InN、AlGaN、InGaN、InAlGaN等を用いることができる。なお、本実施の形態において「表面」とは、結晶成長面のことである。
本実施の形態に係る自立基板は、サファイアからなる六方晶形の結晶構造を有する種結晶基板を用いて、種結晶基板の表面をC面からa軸方向に0.35°以上0.8°以下の範囲で傾け、III族原料の供給量の変化に対して成長速度が線形に変化しない領域での気相成長法により当該表面上にIII族窒化物半導体を成長することにより製造される。この製造方法によれば、結晶成長直後のアズグロウン状態での自立基板の表面を、その半分以上の領域が単一の結晶面で覆われた状態にすることができる。したがって、この製造方法によれば、結晶成長後の表面の研磨は不要である。ここで、六方晶形の種結晶基板としてサファイアの代わりに、SiC、GaN、AlN、AlGaN、InN、InAlGaNのいずれかを選択して用いる場合は、種結晶基板は、その表面がC面からm軸方向に0.35°以上0.8°以下の範囲で傾いたオフ角を有する基板を用いる。
図1は、本実施形態の窒化物半導体自立基板の製造方法を説明するための模式図であり、(a)はサファイア基板上のGaN薄膜にボイド構造が形成された状態を示し、(b)はHVPE法によりGaNが成長された状態を示し、(c)はボイド構造からサファイア基板側がGaNから剥離された状態を示している。
図2は、本実施形態のIII族窒化物半導体自立基板の模式断面図であり、図3は本実施形態のIII族窒化物半導体自立基板の模式平面図である。
自立基板の表面は、アズグロウンの表面としている。ここで、アズグロウンの表面とは、結晶成長したままの状態であり、研削や研磨などの加工工程を加えていない表面という意味である。表面の汚れを除去するためのエッチングや洗浄は、ここでいう加工工程には含まれない。
図4はサファイア基板の表面がオフ角を有さないC面である場合のIII族窒化物半導体自立基板の模式断面図であり、図5はサファイア基板の表面がオフ角を有さないC面である場合のIII族窒化物半導体自立基板の模式平面図である。
GaN40の結晶成長時における雰囲気、温度、圧力等の条件の組合せの下で、第1ファセット52がC面よりも安定になるために、自立基板150の表面に第1ファセット52及び第2ファセット54が形成される。特定のファセットが安定となるメカニズムは、次のように説明することができる。結晶の表面の原子には結合相手の原子が存在しないため、結晶内部と異なり、再表面の原子は結合手が余ったエネルギーの高い状態になっている。この状態は不安定であり、結晶の最表面では隣り合う原子同士が結合手を結び合ったり、成長雰囲気中に存在する水素等の別種の原子と結合したりして、余っている結合手を減らすように表面原子の再構成が起こる。更に、結晶の面が異なると、再構成構造も異なり、ある面の再構成構造の方が、他の面の再構成構造よりもエネルギー的に安定になるということが生じる。このため、ある特定の成長条件(雰囲気、温度、圧力等)を考えた場合、最もエネルギー的に安定な再構成構造を採れる結晶面が最も安定な面となり、結晶成長時に現れやすくなる。特に、III族窒化物半導体からなる自立基板150を成長する場合のように、数100μm以上の厚さの結晶を成長する場合は、結晶成長の過程で表面の凹凸が変化する余地があるので、たとえ種結晶基板の表面が最も安定な面でなかったとしても、結晶成長中に最も安定な面が出現しやすくなる。
図4及び図5の自立基板150上にデバイス構造を成長する場合、表面を平坦に研磨して用いると、図12の場合と同様に表面の結晶方位が位置により変わり、デバイス特性が不均一になってしまう。また、自立基板150の表面を研磨せずに用いた場合は、1個のデバイス内に第1ファセット52と第2ファセット54の両方が含まれ、しかも各ファセット52,54の位置や割合が制御できないため、やはりデバイス特性を均一化することはできない。
図6は、サファイア基板の表面がC面から0.35°未満の範囲で傾いている場合のIII族窒化物半導体自立基板の模式的な断面を示す。
本実施の形態のように、サファイア基板10の表面をC面より0.35°以上0.8°以下の範囲でa軸方向に傾け、かつ、後述するように、III族原料の供給量に対して成長速度が線形に変化しない領域で成長させた場合、表面の状態は劇的に変化して、第1ファセット52の面積が大幅に拡大することにより、自立基板50における表面の半分以上の領域が単一な結晶面で覆われた状態となる。C面に近い結晶面を表面に有するサファイア基板10上にGaN40を成長させる場合、サファイア基板10のa軸とGaN40のm軸とが一致するようにGaN40が成長するので、GaN40がC面からm軸方向に傾いた面を表面に持つことになる。
なお、第1ファセット52は、全ての成長条件で安定になるわけではない。本発明者による実験によれば、第1ファセット52を安定にするためには、III族原料の供給量に対して成長速度が線形に変化しない領域で成長する必要があることが明らかになっている。発明者の実験によれば、V/III比を6以下とし、V/III比を比較的低くすると、第1ファセット52が安定した。これは、V族原料濃度が相対的に低いため、III族原料の供給を増やしても成長速度が飽和的な挙動を示して線形に変化しない領域である。すなわち、一般的なHVPE成長に用いられるIII族供給律速的な領域でなく、V族供給律速的な領域で成長を実施することになり、この領域で成長した場合にのみ基板表面の半分以上の領域が第1ファセット52からなる単一な結晶面を有する自立基板を得ることができる。III族供給律速的な領域で成長を行った場合には、第1ファセット52が安定にならず、サファイア基板10の表面をC面から0.35°以上0.8°以下に傾けても、各ファセット52,54が入り乱れた図5、図6に示すような乱雑な表面形態しか得られない。
ここで、自立基板50につき、最も広い第1ファセット52の結晶面が連続的に形成されている領域の面積を第1面積S1とし、ウエハ上にて第1面積S1を除いた領域の面積を第2面積S2とすると、単一の結晶面で覆われた領域の割合はS1/(S1+S2)になる。なお、第1面積S1は、原則として、ウエハ上で最も広い第1ファセット52を選択して、ウエハ表面上にて第2ファセット54を横切ることなく到達可能な領域から求めている。最も接近した第2ファセット54同士の距離が5mm未満であるときに、当該第2ファセット同士が連結されているものとみなした。したがって、図3に示すように、第1ファセット52内に最も接近した第2ファセット54間の距離が5mm以上離れて独立して第2ファセット54aが形成されている場合は、当該第2ファセット54aは連結されているとはみなさず、第1ファセット52の外縁及び連結されているとみなした第2ファセット54により囲まれた領域を第1面積S1としている。有効数字を一桁とすれば、図5の自立基板50ではS1/(S1+S2)は0であり、図3の自立基板50ではS1/(S1+S2)は0.7である。
ここで、サファイア基板10の表面をC面より0.8°を超えて大きくa軸方向に傾けると、第1ファセット52は第2ファセット54に細かく分断され、図5と同様の表面形態を呈してS1/(S1+S2)=0になる。この自立基板50上にデバイス構造を成長させると、図5の自立基板150と同様に、デバイス特性の均一性が大きく損なわれることとなる。
図2及び図3で示した自立基板50上に窒化物半導体層を形成してデバイスを形成すると、表面が単一の結晶面で覆われている領域においては、ファセットが乱雑に配置された領域よりも、デバイス特性が格段に安定する。例えば、自立基板50上にInGaN活性層を含む発光デバイス構造を結晶成長した場合、結晶成長中の原料原子(Ga、In)の取り込まれ方が単一の結晶面上で均一になって同一の波長で発光することになる。この状態で、LEDを作製した場合は、ウエハ面内での発光波長の均一性が格段に向上して、LDを作製した場合は、容易にレーザ発振させることができる。また、自立基板50を種結晶として、その表面にGaN/AlGaNからなるHEMTを成長した場合も、AlGaN層中のAl組成が均一化され、デバイス特性が均一となる。
本発明の実施の形態によれば、III族窒化物半導体の結晶成長により自動的にエネルギー的に安定な比較的広範囲の単一の結晶面を、自立基板50の表面に形成することができる。したがって、結晶成長時の膜厚分布や研磨形状の精密制御により図13に示すように結晶軸の揃った面を人為的、意図的に形成することを要せずに、良質な自立基板50を低コストかつ高い再現性で製造することができる。
本実施の形態の自立基板50を実際に適用するには、S1/(S1+S2)を0.5以上にすることが好ましい。これにより、自立基板50の半分以上の領域が単一の結晶面で覆われ、当該結晶面上に作製されるデバイスの特性が安定すると共に、比較的高い歩留まりが保証される。
なお、実施の形態においては、HVPE法によりGaN40を成長させる場合を説明したが、例えば、MOVPE法、分子線エピタキシー法(MBE法)等の他の気相成長法でGaN40を成長させることもできる。また、自立基板50としてGaN40からなるものを示したが、例えばAlN、InN、AlGaN、InGaN、InAlGaN等の他のIII族窒化物半導体からなるものにおいても、同様の結果を得ることができる。
20 GaN薄膜
22 ボイド構造
30 Ti
32 開口
40 GaN
50 自立基板
52 第1ファセット
54、54a 第2ファセット
60 LED
61 n−GaN層
62 多重量子構造
63 Mgドープp−AlGaN層
64 Mgドープp−GaN層
65 p側電極
66 n側電極
70 HEMT
71 アンドープGaN層
72 アンドープAlxGa1−xN層
73 n−AlxGa1−xN層
74 アンドープAlxGa1−xN層
75 ソース電極
76 ドレイン電極
77 ゲート電極
150 自立基板
250 自立基板
850 自立基板
950 自立基板
S1 第1面積
S2 第2面積
Claims (5)
- 基板表面がアズグロウンであり、前記基板表面の半分以上の領域が、III族極性のC面からm軸方向若しくはa軸方向に、又はM面からc軸方向若しくはa軸方向に傾いたオフ角を有する単一の結晶面からなるIII族窒化物半導体自立基板。
- 請求項1に記載のIII族窒化物半導体自立基板上にIII族窒化物半導体層を備えるIII族窒化物半導体デバイス。
- 種結晶基板の表面に気相成長法を用いてIII族窒化物半導体を形成した後、前記III族窒化物半導体から前記種結晶基板を剥離するIII族窒化物半導体自立基板の製造方法において、
前記種結晶基板は、六方晶形又は立方晶形の結晶構造であり、
前記種結晶基板の前記表面は、前記六方晶形にあってはC面からm軸方向若しくはa軸方向に又はM面からc軸方向若しくはa軸方向に0.35°以上0.8°以下の範囲で傾斜し、前記立方晶形にあっては(111)面から[211]方向若しくは[110]方向に0.35°以上0.8°以下の範囲で傾斜し、
前記III族窒化物半導体の成長を、III族原料の供給量の変化に対して成長速度が線形に変化しない条件で実施するIII族窒化物半導体自立基板の製造方法。 - 請求項3に記載の製造方法によりIII族窒化物半導体自立基板を製造し、
前記III族窒化物半導体自立基板上にエピタキシャル成長によりIII族窒化物半導体層を形成するIII族窒化物半導体デバイスの製造方法。 - 請求項3に記載の製造方法で製造され、
前記III族窒化物半導体自立基板における前記III族窒化物半導体層が成長される表面の半分以上の領域が、III族極性のC面からm軸方向若しくはa軸方向に、又はM面からc軸方向若しくはa軸方向に傾いたオフ角を有する単一の結晶面からなるIII族窒化物半導体デバイス。
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