JP2014216474A - 窒化物半導体基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Si単結晶基板の一主面上に、いずれも13族窒化物からなるバッファ層3、半導体動作層4が順次積層され、Si単結晶基板2が、一主面が(111)面に対して0.1〜1°又は−1〜−0.1°のオフ角を有し、バルクの平均ドーパント濃度が1×1018〜1×1021cm-3であり、裏面にSiO2膜を備え、バッファ層3と半導体動作層4の合計厚さが4〜10μmである窒化物半導体基板1を作製する。
【選択図】図1
Description
したがって、このような厚い窒化物層においては、該窒化物層表面のステップの低減化、すなわち、平坦性の向上を図るために、特許文献1,2に記載されているような、比較的オフ角の小さい面方位のSi単結晶基板を適用する必要はないと考えられていた。
窒化物層が厚膜である場合においても、このような所定の面方位を有するSi単結晶基板の一主面上に堆積形成させることにより、基板の反りやクラックの発生を抑制することができる。
また、前記SiO2膜は、成長温度400〜600℃で形成され、厚さ10〜1000nmであることが好ましい。
このような構成とすることにより、反りの抑制効果をより向上させることができる。
したがって、本発明に係る窒化物半導体基板は、高耐圧パワーデバイスの基板として好適に用いることができる。
図1に、本発明に係る窒化物半導体基板の概略を示す。図1に示す窒化物半導体基板1は、Si単結晶基板2の一主面上に、バッファ層3、半導体動作層4が順次積層された構成を備えている。これらのバッファ層3及び半導体動作層4は、いずれも13族窒化物からなる。そして、Si単結晶基板2は、前記一主面が(111)面に対して0.1〜1°又は−1〜−0.1°のオフ角を有し、バルクの平均ドーパント濃度が1×1018〜1×1021cm-3であり、裏面にSiO2膜7を備えている。バッファ層3は、例えば、互いに格子定数の異なる13族窒化物が交互に積層された複合層を含む構成からなり、また、窒化物層10であるバッファ層3と半導体動作層4の合計厚さは4〜10μmである。
このように、本発明に係る窒化物半導体基板1は、主に、下地となるSi単結晶基板2の構成に特徴を有している。このため、Si単結晶基板2自体で、窒化物半導体基板1の反りの制御性をほぼ確保することができ、基板の大口径化にも簡易かつ適切に対応し得る。
これらのオフ角、バルクのドーパント濃度及び裏面膜の各3要素による相互作用のメカニズムは必ずしも明らかではないが、本発明は、これらを所定の条件範囲とすることにより、窒化物半導体基板における窒化物層の結晶性と平坦性を維持しつつ、反りを制御することを可能としたものである。
このような複合層は、Si単結晶基板上に形成される半導体動作層の転位等による結晶欠陥を抑制する役割を果たすものである。
Si単結晶基板2の一主面が上記のようなオフ角を有していることにより、オフ角を有していない場合に比べて、ステップの規則性が保持され、平坦性が良好な窒化物層10を形成することができる。一方、オフ角が大きすぎると、大きなステップ段差の影響により、窒化物層10の平坦性が損なわれる。
また、上記のような微小オフ角は、大きなオフ角又はオフ角ゼロの場合とは、順次堆積される窒化物層10への応力伝播状態が微妙に異なり、厚さ4μm以上の比較的厚膜の窒化物層10が持つ応力分布との相互作用により、基板全体の反りが抑制されるものと考えられる。
前記オフ角の絶対値は、好ましくは0.2〜0.8°である。
Si単結晶基板2のバルクの平均ドーパント濃度を高くすることにより、Si単結晶基板2の強度が向上し、窒化物半導体基板1全体の反りを抑制することができる。
また、高ドーパント濃度である場合、ドーパントの格子間侵入による歪の影響により、微小オフ角を有するSi単結晶基板2のステップテラスの表面状態が低ドーパント濃度の場合とは異なり、この異なる表面状態によって、厚さ4μm以上の窒化物層10の高い応力下での結晶性の低下が抑制されると考えられる。
前記平均ドーパント濃度は、好ましくは5×1018〜1×1020cm-3である。
Si単結晶基板2の窒化物層が堆積形成される一主面とは反対側の面である裏面に、SiO2膜7を形成することにより、窒化物層10からSi単結晶基板2への13族窒化物のオートドーピングが抑制され、また、Si単結晶基板2の裏面からSi原子及びドーパントが外方拡散し、窒化物層10にオートドーピングされることを抑制することができる。このため、前記微小オフ角による作用との相乗効果により、窒化物層10の良好な結晶性が保持され、また、異種元素の混入による悪影響を抑制することができる。
また、必ずしも顕著ではないが、厚さ4μm以上の窒化物層10が堆積された状態では、このSiO2膜7は、応力を緩和させる作用を奏するものと推測される。
このような方法で形成されたSiO2膜7は、オートドーピングに対する保護能力を維持するのに好適な緻密さを保持しつつ、後工程での剥離性に優れているという利点を有している。なお、剥離性のよい膜を形成可能であれば、熱酸化法、スピンコート法等の他の方法を適用しても差し支えない。
前記SiO2膜7の厚さは、より好ましくは100〜700nm、さらに好ましくは300〜600nmである。
なお、このSiO2膜は、半導体動作層4を形成した後の工程において、必要に応じて剥離除去してもよい。剥離方法は、フッ酸を含む酸溶液によるエッチングが好適である。
Si単結晶基板上に窒化物半導体をエピタキシャル成長させて窒化物半導体基板を作製すれば、従来のSi半導体製造プロセスで用いられている装置や技術を利用することができ、大口径化や低コスト化を図ることができるため、製造効率の点で有利である。
窒化物層10の合計厚さが10μm超の場合には、応力が非常に大きくなり、応力制御性を維持することが困難となる。前記厚さは、好ましくは4〜6μmであり、例えば、6インチのSi単結晶基板で600〜800Vの耐圧を得る場合には、耐圧と応力制御性のバランスから、厚さ4.5〜5.5μmで形成されることがより好ましい。
(1)窒化物半導体基板の作製
図1に示すような層構造からなる窒化物半導体基板1において、Si単結晶基板2の一主面の(111)面に対するオフ角を下記表1の各試料に示すように設定した基板を、以下の工程により作製した。
まず、直径6インチ、厚さ675μm、ボロン濃度1×1019cm-3、(111)面に対して下記表1に示す所定のオフ角を有し、かつ、常圧CVD法により成長温度450℃で、裏面に厚さ500nmのSiO2膜を形成したSi単結晶基板2を用意した。
このSi単結晶基板2をMOCVD装置にセットし、水素ガス雰囲気下、1000℃で熱処理した後、原料ガスとしてトリメチルアルミニウム(TMA)及びアンモニア(NH3)を用い、1000℃での気相成長により、厚さ20nmのAlN単結晶層を形成し、その上に、原料ガスとしてトリメチルガリウム(TMG)、TMAガス、NH3ガスを用い、1000℃での気相成長により、厚さ80nmのGaN単結晶層を積層させ、このAlN単結晶層とGaN単結晶層とを対として、同様の工程を交互に繰り返し、対の層を10層、各層の合計20層を積層させた複合層を形成した。さらに、その上に、厚さ500nmのGaN層を形成して、多層構造のバッファ層3を形成した。
そして、このバッファ層3上に、原料ガスとしてTMGガス及びNH3ガスを用い、1000℃での気相成長により、厚さ3000nmのGaNからなる電子走行層を積層し、さらに、TMGガス、TMAガス、NH3ガスを用い、1000℃での気相成長により、厚さ30nmのAl0.25Ga0.75N単結晶による電子供給層を積層させて、半導体動作層4を形成し、窒化物半導体基板1を得た。
なお、気相成長により形成した各層の厚さの調整は、ガス流量および供給時間の調整により行った。
上記のようにして作製した各窒化物半導体基板について、以下に示す各種評価を行った。
反り及びクラックの発生(基板外周を除く)を、レーザ変位計及び光学顕微鏡の暗視野像により評価した。なお、反りは、エピタキシャル成長前の基板裏面が基板厚さ方向に変位した距離の最大値と最小値の差により求め、50μm以下を〇、50μm超80μm以下を△、80μm超を×として判定した。
また、結晶性の評価を、X線回折法によるGaN(002)面の回折半値幅の測定値ににより行い、0.20deg.以下を〇、0.20deg.超を×として判定した。
また、上記において作製した各窒化物半導体基板を用いて、図2に示すような層構造からなる電子デバイスを作製した。
具体的には、窒化物半導体基板1の裏面のSiO2膜7を除去した後、リセスゲート領域及び素子分離領域の溝をドライエッチングにより形成し、半導体動作層4側に、ゲート電極としてPd/Ti/Au電極を、ソース及びドレイン電極としてTi/Al/Ni/Au電極の各電極5を、また、裏面電極6としてAl電極を、それぞれ真空蒸着により形成し、HEMT素子を作製した。
得られた各HEMT素子について、カーブトレーサーを用いて、耐圧を測定し、600V以上を〇、600V未満を×として判定した。なお、各素子試料において、表中に記載した以外の条件は、いずれも試料1と同様である。
これらの評価結果を表1にまとめて示す。
一方、オフ角が0°の場合(試料2)は、ステップの規則性が低く、他の試料よりも結晶性が劣り、また、オフ角が1°超の場合(試料8)は、基板の反りが100μmを超え、クラックが発生し、HEMT素子の作製は困難であった。
上記の試料1を基準として、Si単結晶基板2のボロン濃度を下記表2に示す各濃度に変更し、それ以外については、実験1と同様にして、各窒化物半導体基板を作製し、さらに、これらを用いてHEMT素子を作製し、評価した。
これらの評価結果を表2にまとめて示す。
なお、ボロン濃度が1×1021cm-3超の場合(試料13)は、クラックが発生し、HEMT素子の作製は困難であった。
上記の試料1を基準として、Si単結晶基板2の裏面に形成するSiO2膜を、下記表3に示す各膜厚に変更し、それ以外については、実験1と同様にして、各窒化物半導体基板を作製し、さらに、これらを用いてHEMT素子を作製し、評価した。
これらの評価結果を表3にまとめて示す。
なお、SiO2膜の厚さが1000nm超の場合(試料21)は、裏面からのSiO2膜の剥離による発塵が見られ、HEMT素子の製造プロセスには適さないものであった。
上記の試料1を基準として、GaN層(電子走行層)の膜厚を変更することにより、窒化物層(バッファ層3及び半導体動作層4)の合計厚さを、下記表4に示す各厚さに変更し、それ以外については、実験1と同様にして、各窒化物半導体基板を作製し、さらに、これらを用いてHEMT素子を作製し、評価した。
なお、厚さが8μm以上の場合は、MOCVD法により成膜時間が長くなるため、応力の数値計算シミュレーションにより、反り及びクラックの発生を評価した。
これらの評価結果を表4にまとめて示す。
なお、窒化物層の厚さが4μm未満の場合(試料22)は、耐圧不足であり、また、厚さが10μm超の場合(試料28)は、クラックが発生し、HEMT素子の作製は困難であった。
2 Si単結晶基板
3 バッファ層
4 半導体動作層
5,6 電極
7 SiO2膜
10 窒化物層
Claims (3)
- Si単結晶基板の一主面上に、いずれも13族窒化物からなるバッファ層、半導体動作層が順次積層された窒化物半導体基板であって、
前記Si単結晶基板は、一主面が(111)面に対して0.1〜1°又は−1〜−0.1°のオフ角を有し、バルクの平均ドーパント濃度が1×1018〜1×1021cm-3であり、裏面にSiO2膜を備え、
前記バッファ層と前記半導体動作層の合計厚さが4〜10μmであることを特徴とする窒化物半導体基板。 - 前記ドーパントがボロンであることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体基板。
- 前記SiO2膜は、成長温度400〜600℃で形成され、厚さ10〜1000nmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の窒化物半導体基板。
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