JP2010538959A - 透明セラミックスの製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明はイットリウムアルミニウムガーネットなどの透明セラミックスを製造する方法に関する。
【解決手段】この方法は、セラミック酸化物、分散剤および有機溶媒の混合物を形成する工程と、混合物を粉砕して、第1のスラリーを生成する工程と、第1のスラリーと、有機結合剤および可塑剤とを混合して、処理されたスラリーを形成する工程と、処理されたスラリーを粉砕して、粉砕されたスラリーを生成する工程と、粉砕されたスラリーをテープキャスティングして、成形テープを生成する工程と、成形テープを乾燥して、乾燥テープを生成する工程と、乾燥テープの一部を積み重ねて、アセンブリを形成する工程と、アセンブリを圧縮して、プレフォームを生成する工程と、プレフォームを加熱して、緑色のプレフォームを生成する工程と、緑色のプレフォームを焼結して、透明イットリウムアルミニウムガーネットを生成する工程と、を必要とする。
【選択図】図1

Description

(関連出願に対する参照)
本出願は、2007年9月14日に出願された米国仮特許出願USSN60/993,744号の優先権を主張する。
(発明の分野)
本発明は透明セラミックスに関する。特に、本発明は、限定されないが、透明イットリウムアルミニウムガーネット(「YAG」)などの透明セラミックスの製造に関する。
透明セラミックスは、固体レーザー、透明なアーマーならびにIRウィンドウおよびドームにおける母体結晶などの用途における光学材料として有用である。YAGは、その高熱伝導性、強結晶場、および広範なスペクトル領域にわたる光の透過に起因するため、それらの用途についての優れた材料である。
従来技術の透明YAGの製造方法は、典型的に、乾式プレスおよびスリップキャスティングなどのプロセスを利用する。これらの方法において、まず、イットリアおよびアルミナ粉末が、スラリーを生成するために、エタノールなどの有機液体を含む粉砕機で混合される。あるいは、YAG粉末が、イットリアおよびアルミナ粉末と置き換えられてもよい。ドーパント、焼結助剤、分散剤、界面活性剤、結合剤および/または加圧剤(pressing aid)などの添加物が、スラリーの中に含まれてもよい。スリップキャスティングに関して、スラリーは粉砕されて、固体と有機物とを密接に混合する。次いで、得られた粉砕されたスラリーは、スリップキャスティングモールドに流し込まれて、セラミック粉末および有機物から形成された成分を生じる。乾式プレスに関して、スラリーは、乾燥され、粉砕され、篩にかけられ、そして一軸加圧および/または静水圧加圧される。その成分は熱処理されて、有機物が除去され、緑色のプレフォームが生成する。次いで、その緑色のプレフォームは焼結されるか、または加熱プレスされる。これらの従来技術の方法は、高い透明性を有するYAG材料を生成するために使用されている。しかしながら、これらの方法は、薄い透明プレートに形成され得る材料のシートを生成できないなどの種々の不利益を被る。これらの方法はまた、焼結された透明成分中のドーパントの組成勾配を形成する際に困難性を被る。
従って、従来技術の不利益を回避する透明YAGなどの透明セラミックスの製造方法についての必要性が存在する。
本方法は、概して、限定されないが、酸化イットリウム、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化タリウム、酸化スカンジウム、酸化ルテチウム、酸化セリウム、マグネシウムアルミニウムスピネル、YAG、酸化ジルコニウム、ケイ素アルミニウム酸窒化物およびそれらの混合物、好ましくは酸化イットリウムおよび酸化アルミニウムの混合物のうちの任意の1つ以上の酸化物などの1つ以上のセラミック化合物のスラリーをテープキャスティングすることを必要とする。
次いで、得られたテープキャスト部分は、真空、空気、酸素、水素または限定されないが、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、ラドン(Rn)などの希ガスおよびそれらの混合物中で焼結されて、焼結された透明な生成物を生成し得る。この焼結された生成物はさらに、熱間等静圧圧縮成形により圧縮されて、理論密度に近い生成物を生じ得る。本明細書で使用する場合、用語「理論密度に近い」とは、99.999%以上の理論密度を意味すると理解される。そのテープキャスト部分はまた、真空、空気、酸素、水素または不活性ガス中で熱間等静圧圧縮成形されて、透明な生成物を生成し得る。
第1の態様において、本発明は、セラミックスラリーのテープキャスティングによって生成されたテープから、限定されないが、酸化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化ルテチウム、酸化セリウム、酸化インジウム、酸化タリウム、マグネシウムアルミニウムスピネル、YAGおよびそれらの混合物などの透明酸化物などの透明セラミックスを製造するための方法を提供する。そのテープは焼結されて、シートおよびプレートの形態で、限定されないが、YAGなどの薄い透明セラミックスを生成し得る。あるいは、そのテープは、焼結され、熱間等静圧圧縮成形(HIPed)されて、限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック生成物を生成し得る。
第2の態様において、本発明は、組成的にセグメント化されたテープ、およびそれらのセグメント化されたテープから形成された生成物を製造するための方法を提供する。限定されないが、透明セラミック(例えば、限定されないが、YAG)などの透明生成物を生成するためにテープキャスティングに使用されるスラリーは、限定されないが、ボールミルジャーなどの粉砕装置に対して、乾燥酸化物粉末を、1つ以上の分散剤と1つ以上の溶媒との混合物、ならびに限定されないが、1つ以上のドーパントおよび1つ以上の焼結助剤などの任意の添加剤に加えることによって調製されて、混合物を生成し得る。有用な乾燥酸化物粉末は、限定されないが、吸着水分を除去するために約100℃にて空気中で加熱することにより調製されたものを含む。次いで、その混合物は粉砕されて、第1のスラリーを生成する。次いで、1つ以上の可塑剤および1つ以上の結合剤が、第1のスラリーに加えられて、さらに粉砕され、粉砕されたスラリーを生成し得る。ドーパントが使用される場合、そのドーパントは、第1のスラリーを生成するために使用される粉砕工程の前に混合物に加えられてもよい。あるいは、そのドーパントは、第1のスラリーに加えられた後、さらに粉砕されて、粉砕されたスラリーを生成してもよい。限定されないが、ケトン(例えば、限定されないが、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、シクロヘキサノン、アセトン、プロパノンまたはそれらの混合物)などのホモジナイザーが必要に応じて、粉砕されたスラリーに加えられてもよい。
その粉砕されたスラリーは、封入された空気を除去し、溶媒を蒸発させるために攪拌されて、所望の粘度、典型的に約50センチポイズ〜約5,000センチポイズ、好ましくは約100センチポイズ〜約1000センチポイズ、より好ましくは約100センチポイズ〜約400センチポイズの空気を除かれたスラリーを生成する。その空気を除かれたスラリーは、移動キャリア上でドクターブレードにより成形されて、成形テープを生成する。
ドクターブレードのギャップおよびキャリア速度は、所望の厚さの成形テープを達成するために変更されてもよい。ドクターブレードのギャップは、約0.2mm〜約0.5mm、好ましくは約0.25mm〜約0.4mm、より好ましくは約0.3mm〜約0.35mmで変更されてもよい。キャリア速度は、約20cm/分〜約50cm/分、好ましくは約30cm/分〜約40cm/分、より好ましくは約35cm/分〜約40cm/分で変更されてもよい。次いで、成形テープは乾燥されて、所望の形状のピースに切断される乾燥テープを生成する。典型的に、そのテープは、乾燥テープの重量に基づいて、約0.25wt%〜約5wt%、好ましくは約0.25wt%〜約3wt%、より好ましくは約0.25wt%〜約1wt%未満の溶媒容量まで乾燥される。
典型的に、約2ピース〜約200ピース、好ましくは約10ピース〜約100ピース、より好ましくは約30ピース〜約60ピースの数のピースが、アセンブリを形成するために積み重ねられてもよい。これらの数は、非常に変わりやすく、乾燥テープの厚さおよび所望の部分の厚さに依存する。生成物の厚さにわたってドーパント勾配を有する透明な生成物を生成することが望まれる場合、アセンブリを形成するために使用されるピースは、異なる量のドーパントを含んでもよい。
そのアセンブリは、限定されないが、利用される結合剤系のガラス転移温度より高い温度にて、一軸加圧および/または静水圧加圧などの加圧下で積層されて、プレフォームを生じ、次いで、そのプレフォームは有機物が燃焼されるまで加熱されて、緑色のプレフォームを生成する。次いで、その緑色のプレフォームは、限定されないが、空気、超加気圧の酸素、真空、水素、窒素、または希ガス(例えば、限定されないが、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、ラドン(Rn)およびそれらの混合物)などの雰囲気中で燃焼されて、約0.1%未満、好ましくは約0.01%未満〜約0.05%未満、より好ましくは約0.001%未満〜約0.0015%未満の多孔率を有する焼結された透明セラミック生成物を生成し得る。その焼結されたセラミックは、熱間等静圧圧縮成形などによってさらに圧縮され得る。
限定されないが、透明YAG生成物などのYAG生成物が生成される場合、その透明YAG生成物は、典型的に、全スペクトル範囲にわたって、好ましくは約300ナノメートル〜約1700ナノメートルの範囲にわたってYAG単結晶のものとほぼ等しく光学的に透明である。透明YAG生成物が生成される場合、その生成物は、ドープされていないYAGであっても、ドープされたYAG、例えば、限定されないが、Ce、Dy、Er、Eu、Gd、Ho、La、Lu、Nd、Pm、Pr、Sm、Tb、Tm、Ybおよびそれらの混合物などの希土類ドーパントで、限定されないが、ドープされたYAGであってもよい。YAG生成物における希土類ドーパントの濃度は、均一であってもよいか、または生成物の任意の容積にわたって所望の勾配に従って変化されてもよい。
限定されないが、透明YAG生成物などのYAG生成物が生成される場合、それらは、ボールミルジャーに対して、乾燥イットリア粉末および乾燥アルミナ粉末(限定されないが、炉乾燥イットリア粉末および炉乾燥アルミナ粉末)を、分散剤と1つ以上の溶媒との混合物、および必要に応じて添加剤(限定されないが、ドーパントおよび焼結助剤)に加えることによって調製されて、混合物を生じ得る。有用な粉末としては、限定されないが、吸着水分を除去するために約100℃にて空気中で加熱することにより調製されたものを含む。次いで、混合物は、ボールミルなどにより粉砕されて、第1のスラリーを生じる。次いで、1つ以上の可塑剤および1つ以上の結合剤が、第1のスラリーに加えられてもよく、さらに破砕されて、破砕されたスラリーを生じる。利用され得るドーパントとしては、限定されないが、La3+、Ce3+、Pr3+、Nd3+、Pm3+、Sm3+、Eu3+、Gd3+、Tb3+、Dy3+、Ho3+、Er3+、Tm3+、Yb3+、Lu3+およびそれらの混合物などの限定されないが、希土類ドーパントが挙げられる。1つ以上のドーパントが、第1のスラリーを生成するための粉砕する工程の前に混合物に加えられてもよい。あるいは、1つ以上のドーパントが第1のスラリーに加えられてもよく、その後、さらに破砕されて、破砕されたスラリーを生成してもよい。限定されないが、アセトン、プロパノン、ケトン(例えば、シクロヘキサノン)および必要に応じてそれらの混合物などの1つ以上のホモジナイザーが、粉砕されたスラリーに加えられてもよい。粉砕されたスラリーは、封入された空気を除去するため、および過剰な溶媒を蒸発させるために攪拌されて、所望の粘度の空気が除かれたスラリーを生じる。空気が除かれたスラリーの粘度は、約50センチポイズ〜約5000センチポイズ、好ましくは約100センチポイズ〜約1000センチポイズ、より好ましくは約100センチポイズ〜約400センチポイズで変化させてもよい。
透明YAGが生成される場合、空気が除かれたスラリーは、移動キャリア上でドクターブレードにより成形されて、成形テープを生じる。ドクターブレードのギャップは、約0.2mm〜約0.5mm、好ましくは約0.25mm〜約0.4mm、より好ましくは約0.3mm〜約0.35mmで変化させてもよい。キャリア速度は、成形テープの所望の厚さを生じるように変化させてもよい。キャリア速度は、約20cm/分〜約50cm/分、好ましくは約30cm/分〜約40cm/分、より好ましくは約35cm/分〜約39cm/分で変化させてもよい。
透明YAGが生成される場合、成形テープは乾燥されて、所望の形状のピースの数に切断される。典型的に、約2ピース〜約200ピース、好ましくは約10ピース〜約100ピース、より好ましくは約30ピース〜約60ピースの数のピースが積み重ねられて、アセンブリを形成する。
焼結されたYAG生成物の厚さにわたってドーパント勾配を有することが望まれる場合、異なる量のドーパントを有する種々のピースがアセンブリを形成するために使用されてもよい。アセンブリは、限定されないが、利用される結合剤系のガラス転移温度より高い温度にて、一軸加圧および/または静水圧加圧などの加圧下で積層されて、プレフォームを生じる。次いで、プレフォームは、有機物を燃焼するために、必要に応じて、約15分〜約240分の間、それぞれ、190℃、275℃、375℃および500℃のうちのいずれかの1つ以上で保持しながら、約0.1℃/分〜約2℃/分、好ましくは約0.1℃/分〜約1℃/分、より好ましくは約0.1℃/分〜約0.4℃/分にて空気中で加熱されて、緑色のプレフォームを生成する。次いで、緑色のプレフォームは、約1600℃〜約1900℃、好ましくは約1800℃〜約1900℃、より好ましくは約1800℃〜約1850℃の焼結温度まで、約2℃/分〜約40℃/分、好ましくは約5℃/分〜約20℃/分、より好ましくは約5℃/分〜約10℃/分の一定の速度で加熱されて、その焼結温度にて、約15分〜約48時間、好ましくは約30分〜約20時間、より好ましくは約4時間〜約8時間の保持時間で保持される。あるいは、緑色のプレフォームは、約1600℃〜約1900℃、好ましくは約1800℃〜約1900℃、より好ましくは約1800℃〜約1850℃の焼結温度まで、約2℃/分〜約40℃/分、好ましくは約5℃/分〜約20℃/分、より好ましくは約5℃/分〜約10℃/分の可変速度で加熱されてもよく、その焼結温度にて、約15分〜約48時間、好ましくは約30分〜約20時間の保持時間で保持されてもよい。さらに、約1200℃〜約1700℃、好ましくは約1200℃〜約1500℃、より好ましくは約1300℃〜約1400℃の中間温度にて、約30分〜約8時間、好ましくは約1時間〜約8時間、より好ましくは約2時間〜約4時間のうちの1つ以上の保持が、焼結の間に利用されてもよい。
限定されないが、典型的に、約0.1%未満、好ましくは約0.01%未満、より好ましくは約0.001%未満の粘度を有する焼結された透明YAGなどの焼結された透明セラミック生成物を生成するために、焼結の間に利用され得る雰囲気としては、限定されないが、空気、超過気圧の酸素、真空、水素、窒素、または希ガス雰囲気(限定されないが、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、ラドン(Rn)およびそれらの混合物のうちのいずれかなど)またはそれらの混合物などが挙げられる。
焼結の完了時に、室温までの冷却は、約2℃/分〜約40℃/分、好ましくは約10℃/分〜約40℃/分、より好ましくは約20℃/分〜約40℃/分の一定の冷却速度で実施され得る。冷却はまた、約2℃/分〜約40℃/分、好ましくは約10℃/分〜約40℃/分、より好ましくは約20℃/分〜約40℃/分の可変の冷却速度で実施されてもよい。
焼結されたYAGは、約30分〜約12時間、好ましくは約1時間〜約8時間、より好ましくは約2時間〜約8時間、約25MPa〜約400MPa、好ましくは約50MPa〜約400MPa、より好ましくは約200MPa〜約400MPaにて、約1500℃〜約1900℃、好ましくは約1600℃〜約1900℃、より好ましくは約1675℃〜約1750℃で、熱間等静圧圧縮成形などにより、さらに圧縮されてもよい。
一態様において、透明イットリウムアルミニウムガーネットの製造は、Y、Al、焼結助剤、分散剤および有機溶媒の混合物を形成すること、その混合物を粉砕して第1のスラリーを生成すること、その第1のスラリーと、有機結合剤および可塑剤とを混合して処理されたスラリーを形成すること、その処理されたスラリーを破砕して粉砕されたスラリーを生成すること、その粉砕されたスラリーをテープキャスティングして成形テープを生成すること、その成形テープを乾燥して乾燥テープを生成すること、その乾燥テープの一部を積み重ねてアセンブリを形成すること、そのアセンブリを圧縮してプレフォームを生成すること、そのプレフォームを加熱して緑色のプレフォームを生成すること、およびその緑色のプレフォームを焼結して透明イットリウムアルミニウムガーネットを生成することを必要とする。
別の態様において、本発明は、セラミック酸化物、分散剤および有機溶媒の混合物から、透明セラミック酸化物材料を形成すること、その混合物を粉砕して第1のスラリーを生成すること、その第1のスラリーと、有機結合剤および可塑剤とを混合して処理されたスラリーを形成すること、その処理されたスラリーを粉砕して粉砕されたスラリーを生成すること、その粉砕されたスラリーをテープキャスティングして成形テープを生成すること、その成形テープを乾燥させて乾燥テープを生成すること、その乾燥テープの一部を積み重ねてアセンブリを形成すること、そのアセンブリを圧縮してプレフォームを生成すること、そのプレフォームを加熱して緑色のプレフォームを生成すること、およびその緑色のプレフォームを焼結して透明セラミック酸化物を生成することの方法に関する。
さらなる態様において、本発明は、透明セラミックのセグメント化されたテープを形成する方法に関する。この方法は、異なる組成の複数の粉砕されたスラリーを形成することを必要とし、その粉砕されたスラリーのうちの少なくとも1つは、セラミック酸化物、分散剤および溶媒との混合物を形成することによって生成され、その混合物を粉砕して第1のスラリーを形成し、その第1のスラリーと、結合剤および可塑剤とを混合して処理されたスラリーを形成し、その処理されたスラリーを粉砕して粉砕されたスラリーを形成し、キャリア上でその粉砕されたスラリーの各々の同時成形に適切なドクターブレード装置内付近のリザーバーに、その粉砕されたスラリーを堆積して、セグメント間に接触面を有する複数のテープキャストセグメントを形成して、セグメント化成形テープを生成し、その成形テープを乾燥させて乾燥テープを生成し、乾燥テープの一部を積み重ねてアセンブリを形成し、そのアセンブリを圧縮してプレフォームを生成し、そのプレフォームを加熱して緑色のプレフォームを生成し、そして、その緑色のプレフォームを焼結して透明セラミックのセグメント化されたテープを生成する。
さらに別の態様において、本発明は、生成物の厚さの一部にわたってドーパント勾配を有する透明セラミック生成物を形成する方法に関する。その方法は、異なる組成の複数の粉砕されたスラリーを形成することを必要とし、その粉砕されたスラリーのうちの少なくとも1つは、セラミック酸化物、ドーパント、分散剤および溶媒との混合物を形成することにより生成され、その混合物を粉砕して複数の第1のスラリーを形成し、その第1のスラリーのうちの少なくとも1つと、結合剤および可塑剤とを混合して、処理されたスラリーを形成し、その処理されたスラリーを粉砕して粉砕されたスラリーを形成し、その粉砕されたスラリーをテープキャスティングして異なる組成の複数の成形テープを生成し、その成形テープを乾燥して異なる組成の乾燥テープを生成し、その乾燥テープの一部を積み重ねてその乾燥テープの複数のアセンブリの厚さを形成し、そのアセンブリを圧縮してプレフォームを生成し、そのプレフォームを加熱して緑色のプレフォームを生成し、その緑色のプレフォームを焼結して、厚さおよびセラミック生成物の厚さの一部にわたってドーパント勾配を有する透明セラミック生成物を生成する。
本発明は、以下の詳細な説明および非限定的な例を参照して以下にさらに記載される。
図1は、実施例1に従って作製された2.7mm厚さの透明なドープされていないYAG試料の250nm〜900nmのスペクトル範囲にわたる透過率のデータを示す。 図2は、実施例12に従って作製された3.2mm厚さの透明な0.5at%のErでドープされたYAG試料の写真である。 図3は、環境制御型走査電子顕微鏡(ESEM)で撮られた顕微鏡写真であり、実施例1に従って処理された焼結されたテープキャストYAGの微細構造を示す。 図4は、実施例11に従って生成されたNd3+でドープされた透明なYAG生成物の厚さにわたるエネルギー分散x線分光分析(EDS)で得られたライン走査を示し、ここで、Nd3+のドーパントの濃度は、YAG生成物の厚さにわたって変化する。 図5は、セグメント化された複合テープなどの複合テープを生成するためのスラリーを同時成形するために使用される装置の概略図である。 図6aは、実施例10Bに従って生成された積み重ねられたテープキャスト部分の斜視図である。図6bは、実施例13Aに従って生成された同時成形テープの斜視図である。
(定義)
本明細書で言及される場合、透明とは、約300ナノメートル〜約5000ナノメートルのスペクトル範囲の少なくとも一部にわたる可視光を含む放射線に対して約95%までの材料の理論的透過率を有する透過率を意味すると理解される。
(透明YAGなどの透明セラミック材料を製造するためのテープキャスティングスラリーの材料)
(セラミック材料)
典型的に、限定されないが、利用され得る酸化物などのセラミック粉末は、約99.99%〜約99.9999%純度、好ましくは約99.995%純度〜約99.9999%純度、より好ましくは約99.999%純度〜約99.9999%純度、および約50ナノメートル〜約5000ナノメートル、好ましくは約100ナノメートル〜約1000ナノメートル、より好ましくは約200ナノメートル〜約ミクロンの400ナノメートルの粒子サイズを有する。
利用され得る分散剤としては、限定されないが、酸化メンハーデン魚油(oxidized Menhaden fish oil)、コハク酸、エタン二酸、プロパン二酸、グルタル酸、ヘキサン二酸、ヘプタン二酸、オクタン二酸、ノナン二酸、デカン二酸、o−フタル酸、p−フタル酸などのジカルボン酸、およびそれらの混合物が挙げられる。使用され得る他の分散剤としては、ソルビタンモノオレエート、好ましくは酸化メンハーデン魚油(MFO)が挙げられる。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に使用され得る溶媒としては、限定されないが、水、限定されないが、変性エタノール、メタノール、イソプロピルアルコールなどの低級アルカノールおよびそれらの混合物、好ましくは変性エタノール、キシレン、シクロヘキサノン、アセトン、トルエンおよびメチルエチルケトン、ならびにそれらの混合物、好ましくはキシレンおよびエタノールの混合物が挙げられる。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に使用され得る焼結助剤としては、限定されないが、テトラエトキシシラン(TEOS)、コロイド状シリカおよびそれらの混合物などのシリカ;限定されないが、酸化リチウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化ストロンチウム、酸化ホウ素およびそれらの混合物などの酸化物;好ましくはテトラエトキシシラン(TEOS)が挙げられる。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に使用され得るドーパントとしては、限定されないが、La3+、Ce3+、Pr3+、Nd3+、Pm3+、Sm3+、Eu3+、Gd3+、Tb3+、Dy3+、Ho3+、Er3+、Tm3+、Yb3+、Lu3+およびそれらの混合物などの希土類ドーパントが挙げられる。そのドーパントは、限定されないが、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、およびそれらの混合物などの酸化物;限定されないが、La(OH)・6HO、Ce(OH)・6HO、Pr(OH)・6HO、Nd(OH)・6HO、Pm(OH)・6HO、Sm(OH)・6HO、Eu(OH)・6HO、Gd(OH)・6HO、Tb(OH)・6HO、Dy(OH)・6HO、Ho(OH)・6HO、Er(OH)・6HO、Tm(OH)・6HO、Yb(OH)・6HO、Lu(OH)・6HOおよびそれらの混合物などの水酸化物、ならびに限定されないが、Nd(NO、La(NO、Ce(NO、Pr(NO、Nd(NO、Pm(NO、Sm(NO、Eu(NO、Gd(NO、Ho(NO、Er(NO、Tm(NO、Yb(NO、Tb(NO、Dy(NO、Lu(NO、およびそれらの混合物などの硝酸塩の形態で使用され得る。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得る有機結合剤としては、限定されないが、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリ酢酸ビニル(PVAc)、ポリアクリロニトリル、それらの混合物およびそれらのコポリマー、ポリエチレンイミン、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、塩化ビニル酢酸およびそれらの混合物などの、限定されないが、ビニルポリマー、好ましくはPVBが挙げられる。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得る可塑剤としては、限定されないが、フタル酸ブチルベンジル、限定されないが、フタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、フタル酸ジイソノニル、フタル酸ビス(n−ブチル)、フタル酸ブチルベンジル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ジ−n−オクチル、フタル酸ジイソオクチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジイソブチル、フタル酸ジ−n−ヘキシル、およびそれらの混合物などの、限定されないがフタル酸塩ベースの可塑剤などのジカルボン酸/トリカルボン酸エステルベースの可塑剤;限定されないが、アジピン酸ビス(2−エチルヘキシル)、アジピン酸ジメチル、アジピン酸モノメチル、アジピン酸ジオクチル、およびそれらの混合物などのアジピン酸塩ベースの可塑剤;限定されないが、セバシン酸ジブチルなどのセバシン酸塩ベースの可塑剤、ならびに限定されないが、マレイン酸ジブチル、マレイン酸ジイソブチルおよびそれらの混合物などのマレイン酸塩型の可塑剤;限定されないが、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、およびそれらの混合物などのポリアルキレングリコールが挙げられる。使用され得る他の可塑剤としては、限定されないが、安息香酸エステル、エポキシ化植物油、限定されないが、N−エチルトルエンスルホンアミド、N−(2−ヒドロキシプロピル)ベンゼンスルホンアミド、N−(n−ブチル)ベンゼンスルホンアミドなどのスルホンアミド、限定されないが、リン酸トリクレジル、リン酸トリブチルなどの有機リン酸エステル、限定されないが、トリエチレングリコールジヘキサノエート、テトラエチレングリコールジヘプタノエートなどのグリコール/ポリエーテルおよびそれらの混合物;限定されないが、クエン酸トリエチル、クエン酸アセチルトリエチル、クエン酸トリブチル、クエン酸アセチルトリブチル、クエン酸トリオクチル、クエン酸アセチルトリオクチル、クエン酸トリヘキシル、クエン酸アセチルトリヘキシル、クエン酸ブチリルトリヘキシル、クエン酸トリメチル、アルキルスルホン酸フェニルエステルおよびそれらの混合物などのクエン酸アルキルが挙げられる。
(テープキャスティングスラリーの調製および透明YAGなどの透明セラミック材料の製造のための成形テープの製造)
限定されないが、酸化メンハーデン魚油などの上記の分散剤またはそれらの混合物のうちの1つ以上は、限定されないが、水、変性エチルアルコールおよびキシレンなどの上記の溶媒またはそれらの混合物のうちの1つ以上の溶媒と混合されて、中に粉砕媒体を有するミルジャーに加えられる。有用な粉砕媒体としては、限定されないが、アルミナ、イットリア安定化ジルコニア、YAG、およびそれらの混合物などの、限定されないが、セラミック材料が挙げられる。
ミルジャーは、約15%容積容量〜約50%容積容量、好ましくは約20%容積容量〜約40%容積容量、より好ましくは約25%容積容量〜約35%容積容量まで、粉砕媒体で充填され得る。限定されないが、コロイド状シリカまたはテトラエトキシシラン(TEOS)、好ましくはテトラエトキシシラン(TEOS)の形態でシリカなどの焼結助剤、ならびに限定されないが、酸化物、水酸化物もしくは窒化物、またはそれらの混合物などの形態で限定されないが、La3+、Ce3+、Pr3+、Nd3+、Pm3+、Sm3+、Eu3+、Gd3+、Tb3+、Dy3+、Ho3+、Er3+、Tm3+、Yb3+、Lu3+、およびそれらの混合物などの上記のドーパントあるいはそれらの混合物の1つ以上が、限定されないが、アルミナおよびイットリア粉末などの乾燥セラミック材料と一緒にミルジャーに加えられ得る。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得る焼結助剤は、広範囲にわたって利用されてもよい。焼結助剤は、セラミック粉末の重量に基づいて約0.01wt%〜約5wt%、好ましくは約0.02wt%〜約2wt%、より好ましくは約0.04wt%〜約1wt%で変化させてもよい。
透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得るドーパントは、広範囲にわたって利用されてもよい。ドーパントは、セラミック粉末の約0.05at%〜約50at%、好ましくは約0.1at%〜約10at%、より好ましくは約0.25at%〜約4at%で変化させてもよい。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得る溶媒は、広範囲にわたって利用されてもよい。溶媒は、セラミック粉末の重量に基づいて約20wt%〜約40wt%、好ましくは約25wt%〜約35wt%、より好ましくは約28wt%〜約32wt%で変化させてもよい。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得る分散剤は、広範囲にわたって利用されてもよい。分散剤は、セラミック粉末の重量に基づいて約0.1wt%〜約4wt%、好ましくは約0.5wt%〜約2wt%、より好ましくは約1wt%〜約1.5wt%で変化させてもよい。
粉砕媒体、セラミック粉末、溶媒、および分散剤ならびに必要に応じて焼結助剤およびドーパントを負荷するミルジャーは、約4時間〜約36時間、好ましくは約12時間〜約30時間、より好ましくは約18時間〜約24時間粉砕されて、第1のスラリーを生成する。
次いで、上記の有機結合剤またはそれらの混合物のうちの1つ以上および上記の可塑剤またはそれらの混合物のうちの1つ以上を含む結合系が、第1のスラリーに加えられ得る。限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得る結合剤は、広範囲にわたって利用されてもよい。結合剤は、セラミック粉末の重量に基づいて約0.5wt%〜約8wt%、好ましくは約1wt%〜約4wt%、より好ましくは約2.5wt%〜約3.5wt%で変化させてもよい。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得る可塑剤は、広範囲にわたって利用されてもよい。可塑剤は、セラミック粉末の重量に基づいて約0.5wt%〜約8wt%、好ましくは約1wt%〜約4wt%、より好ましくは約2.5wt%〜約3.5wt%で変化させてもよい。
限定されないが、シクロヘキサノンなどの1つ以上のホモジナイザーが、必要に応じて第1のスラリーに加えられてもよい。限定されないが、透明YAGなどの透明セラミックの製造に利用され得るホモジナイザーの量は、粉砕されたスラリーの重量に基づいて約0.01wt%〜約0.4wt%、好ましくは約0.1wt%〜約0.2wt%、より好ましくは約0.12wt%〜約0.2wt%で変化させてもよい。次いで、結合剤、可塑剤および必要に応じてホモジナイザーを添加されたスラリーは、約4時間〜約36時間、好ましくは約12時間〜約24時間〜約30時間、より好ましくは約18時間〜約24時間粉砕されて、粉砕されたスラリーを生成する。次いで、その粉砕されたスラリーは、篩を通されて、粉砕媒体から分離される。次いで、その粉砕されたスラリーは、約15分〜約60分、好ましくは約20分〜約45分、より好ましくは約20分〜約30分間、室温で攪拌されて、封入した空気を除去し、過剰な溶媒を蒸発させて、テープキャスティングに適切なスラリー粘度を生じる。次いで、そのスラリーは、ガラス、スチールベルトまたは限定されないが、ポリプロピレンまたはポリエステルなどのシリコンでコーティングされたMylarなどの高分子シートなど、好ましくはシリコンでコーティングされたMylarの移動キャリア上で成形されて、成形テープを生成する。
限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得るスラリーの適切な粘度は、スラリー組成、ドクターブレードの形状、所望のテープの厚さ、キャリア材料およびキャリア速度に依存して、約50センチポイズ〜約5000センチポイズ、好ましくは約100センチポイズ〜約1000センチポイズ、より好ましくは約100センチポイズ〜約400センチポイズである。限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得るテープキャストは、約20℃〜約40℃、好ましくは約20℃〜約27℃、より好ましくは22℃〜約25℃で乾燥されて、乾燥テープを生成する。
別の態様において、限定されないが、透明YAGなどの透明セラミック材料の製造に利用され得る異なる組成の2つ以上のスラリーは、移動キャリア上で同時に成形されて、セグメント化されたテープを生成してもよい。そのスラリーは、図5に示す装置1を用いて成形され得る。装置1は、後方支持体5、側方支持体7および支持体5に取り付けられた仕切板10を備える。仕切板10の数は、仕切板10と側方7との間に所望の数のリザーバーを生成するために変化させてもよい。ドクターブレード15は、側方7の面における溝にスライドする。支持バー17は、ドクターブレード15のギャップを変更させるためにブレード15に作動可能に接続されたダイヤル19を有する。空間が、隣接する仕切板10の間に設けられ、スラリーリザーバー20を形成し、その各々が所望の組成のスラリーを含み得る。この態様において、装置1は、移動キャリア上で2つ以上のスラリーを同時成形するために使用されてもよく、テープの長さに沿って共通の面(複数も含む)を共有する2つ以上の異なる組成を有するセグメント化されたテープを形成する。セグメント化されたテープが成形された後、そのテープは、所望の数の同時成形ピースに切断される。好ましくは、切断はテープの長さに直交する。2つ以上の同時成形ピースは積み重ねられてアセンブリを形成することができ、同じスラリーから形成されたセグメントは、好ましくは、互いに正確な位置に合わされる(in registry)。次いで、そのアセンブリは、圧縮されて、乾燥および焼結され得るプレフォームを生成することができる。
(緑色のプレフォームの製造および限定されないが、透明YAGなどの透明セラミックスを生成するための焼結)
典型的に、上記のように生成した乾燥テープを、所望のサイズおよび形状のプレートなどのピースに切断する。ピースの様々な数、典型的に約2〜約200ピース、好ましくは約10ピース〜約100ピース、より好ましくは約30ピース〜約60ピースが積み重ねられて、プレフォームを生じるために圧縮されるアセンブリを生成する。そのピースは、任意の方向に互いに対して積み重ねられてもよい。好ましくは、そのピースは、例えば、0°、90°、180°および270°などの0°と90°との間で交互に変化する方向で積み重ねられる。同時成形ピースが積み重ねられた場合、そのピースは、好ましくは、互いに対して0°と180°の方向で積み重ねられる。そのピースは、好ましくは、間で交互に層を変化させながら、上面まで、または底面まで積み重ねられる。ドーパント勾配が、焼結された生成物において望まれる場合、異なるドーパント濃度を有するテープからピース断片を合わせることによって積み重ねられている間に、そのドーパント勾配が導入され得る。
テープを形成するために使用される有機混合物のほぼガラス転移(すなわち、軟化)温度まで加熱された圧盤を有する一軸加圧が、アセンブリを圧縮して、プレフォームを生じさせるために使用されてもよい。あるいは、静水圧加圧が使用されてもよい。静水圧加圧の間、圧力は、限定されないが、蒸留水などの加熱された液体を介してアセンブリに伝えられる。
一軸加圧が利用される場合、アセンブリは、約5MPa〜約30MPa、好ましくは約5MPa〜約20MPa、より好ましくは約5MPa〜約10MPaの圧力下で一軸加圧され得、ピースを互いに結合させ、次いで、約10MPa〜約30MPa、好ましくは約15MPa〜約30MPa、より好ましくは約25MPa〜約30MPaの圧力で静水圧加圧されて、プレフォーム内のピースが密に結合される。次いで、そのプレフォームは、限定されないが、分散剤、結合剤および可塑剤などの有機物を燃焼するために、空気などの酸化雰囲気中で加熱されて、緑色のプレフォームを生成する。加熱は、ガスの発生を最小化しながら、有機物を分解するのに一定の速度で、かつ十分な時間行われる。一般に、加熱は、約0.1℃/分〜約2℃/分、好ましくは約0.1℃/分〜約1℃/分、より好ましくは約0.1℃/分〜約0.4℃/分で行われる。
緑色のプレフォームは、真空、空気、酸素超加圧力、水素、窒素または限定されないが、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、ラドン(Rn)およびそれらの混合物などの希ガスのいずれかにおいて、好ましくは約10−1Torr〜約10−6Torrの真空中、より好ましくは約10−2Torr〜約10−4Torrの真空中で焼結されて、多孔性を取り除き、限定されないが、必要に応じて透明YAG部分などの透明セラミック部分を必要に応じて生じる。
次いで、焼結された透明セラミック部分は、境界に沿って第2の層または膜を形成しやすくするために、結晶粒界による拡散に起因する焼結助剤の拡散を最小化するのに十分な速度で室温まで冷却されてもよい。冷却速度は、約10℃/分〜約50℃/分、好ましくは約15℃/分〜約40℃/分、より好ましくは約15℃/分〜約25℃/分で変化させてもよい。
透明YAGがイットリアおよびアルミナ粉末を用いて生成される場合、これらの粉末の各々は、約99.99%〜約99.9999%、好ましくは約99.995%〜約99.9999%、より好ましくは約99.999%〜約99.9999%の純度、および約50ナノメートル〜約5000ナノメートル、好ましくは約100ナノメートル〜約1000ナノメートル、より好ましくは約200ナノメートル〜約400ナノメートルの粒経を有し得る。
イットリアおよびアルミナ粉末は、約100℃で、24時間以上、空気中で乾燥されて、使用前に吸着水が取り除かれる。その粉末は、真空または不活性雰囲気中で保存されて、使用前に水が吸着するのを防ぐことができる。使用され得るイットリア粉末の例としては、限定されないが、Nippon Yttria Company(NYC)(99.999%純度、5000nm直径)、Shin−Etsu UUイットリア(300nm、99.99%純度)、Shin−Etsu UU−HPイットリア(200nm、99.99%純度)から提供されるイットリア粉末が挙げられる。使用され得るアルミナ粉末としては、限定されないが、Baikowski BA−15(200nm、99.99%純度)、Sumitomo AKP−3000アルミナ(500nm、99.999%純度)、およびSumitomo AKP−50アルミナ(300nm、99.999%純度)から提供されるアルミナ粉末が挙げられる。
イットリアおよびアルミナ粉末の量は変化させてもよい。典型的に、イットリアおよびアルミナの量は、約2.5:5.5〜約3.5:4.5、好ましくは約2.8:5.2〜約3.2:4.8、より好ましくは約2.95:5.05〜約3.05:4.95、最も好ましくは3:5のイットリア:アルミナのモル比で利用される。乾燥イットリアおよびアルミナ粉末は、乾燥オーブンから直接ミルジャーに加えられてもよい。あるいは、オーブン乾燥後、その粉末は、使用前に真空または不活性雰囲気のいずれかで保存されてもよい。焼結の間の加熱速度は、気体が放出および/または相変態を完了させることができる温度で、必要に応じて、約15分〜約48時間、好ましくは30分〜約8時間、より好ましくは約2時間〜約4時間、保持しながら、約2℃/分〜約40℃/分、好ましくは約5℃/分〜約10℃/分で変化させてもよい。焼結は、約1600℃〜約1900℃、好ましくは約1800℃〜約1900℃、より好ましくは約1800℃〜約1850℃で行われてもよい。
(実施例1:アルミナおよびイットリア粉末からのYAGの製造)
250mlの高密度ポリエチレンミルジャーを、5mm直径のY安定化ZrO粉末媒体で33.3%容積容量まで充填する。酸化メンハーデン魚油(1.40g、グレードZ−3、Tape Casting Warehouse)、無水キシレン(17.30g、J.T.Baker)、変性エチルアルコール(17.30g、Pharmco)およびTEOS(0.35g、99.999+%金属成分、Alfa Aesar)をミルジャーに加える。
粉末(99.9999%純度、5000ナノメートル直径、HJD International)およびAl粉末(グレードAKP−50、99.999%純度、300ナノメートル直径、Sumitomo Chemical Company,Ltd.)を24時間、100℃で乾燥させ、乾燥オーブンからまだ熱い状態でミルジャーに加えて、混合物を生成する。その粉末を、5:3のAl:Yのモル比で利用する。全粉末重量は70.00gである。
酸化メンハーデン魚油、キシレン、変性エチルアルコール、TEOS、Y粉末、およびAl粉末の混合物を24時間粉砕して第1のスラリーを得る。ポリビニルブチラール(3.49g、グレードB−98、Tape Casting Warehouse)、フタル酸ブチルベンジル(1.75g、グレードS−160、Tape Casting Warehouse)およびポリアルキレングリコール(1.75g、グレードUCON50HB2000、Tape Casting Warehouse)を第1のスラリーに加え、得られた処理されたスラリーをさらに24時間粉砕して、粉砕されたスラリーを得る。粉砕されたスラリーの組成を表1に示す。
Figure 2010538959
ミルジャーの内容物をビーカーに篩を通して注ぎ、粉砕されたスラリーから粉砕媒体を分離する。キシレンおよびエチルアルコールの等量の重量の7ミリリットルのリンス溶液を、媒体およびミルジャーをリンスするために使用して、残りの粉砕されたスラリーを回収する。回収された残りのスラリーおよびリンス溶液を、ビーカー内の粉砕されたスラリーに加え、25分間、室温にて磁気攪拌バーで攪拌し、次いで、38cm/分で移動するシリコンでコーティングされたMylarキャリア上で0.3mmのギャップを有するドクターブレードを用いて成形して、成形テープを生成する。
その成形テープを、1時間、空気中で室温にて乾燥させ、0.1mmの厚さを有する乾燥テープを得る。その乾燥テープをキャリアから取り除き、30mm×30mmピースに切断する。これらのピースのうちの30個を、15分間、74℃にて5MPaの一軸加圧下で積層されるアセンブリに積み重ねて、プレフォームを得る。次いで、そのプレフォームを、30分間、20MPaの圧力で74℃にて静水圧加圧する。次いで、そのプレフォームを、0.5℃/分にて500℃まで空気中で加熱し、60分間500℃にて保持して有機物を燃焼し、続いて、自然に冷やして緑色のプレフォームを得る。次いで、10℃/分にて1800℃まで加熱し、16時間、1800℃に保持しながら、緑色のプレフォームを10−3Torrの真空中で焼結し、次いで、20℃/分にて室温まで冷却して、2.7mm厚さの透明YAGを生成する。
透明YAG生成物の光の透過性を、分光光度計を用いて評価する。その分光光度計は、波長が連続して変化し得る光のビームを生成する。試料を通過する結果としての光の強度の変化を測定する。その結果を、250〜900nmのスペクトル範囲について図1および表2に示す。圧縮したテープキャストYAG部分の微細構造を図3に示す。
Figure 2010538959
(実施例1A)
成形テープを2時間、空気中で室温にて乾燥させることを除いて、実施例1の手順に従う。
(実施例2)
さらに粉砕する前に、シクロヘキサノン(4滴、Aldrich Chemical Company)を第1のスラリーに加えて粉砕されたスラリーを得ることを除いて、実施例1の手順に従う。
(実施例3)
使用するイットリア粉末がNippon Yttria Company(NYC)(99.999%純度、5,000ナノメートル直径)であることを除いて、実施例1の手順に従う。
(実施例4)
70gmの99.999%純度のYAGをイットリアおよびアルミナの混合物と置き換えることを除いて、実施例1の手順に従う。
(実施例5)
5mm直径のアルミナ粉砕媒体(99.9%、Nikkato Corp.,Sakai,日本)を、イットリア安定化ジルコニア粉砕媒体と置き換え、ミルジャーをアルミナ粉砕媒体で33%容量まで充填することを除いて、実施例1の手順に従う。
(実施例6)
ドクターブレードのギャップが0.2mmであることを除いて、実施例1の手順に従う。
(実施例6A)
ドクターブレードのギャップが0.5mmであることを除いて、実施例1の手順に従う。
(実施例7)
緑色のプレフォームを、0.1℃/分で加熱し、15分間190℃で保持して、有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7A)
緑色のプレフォームを、0.1℃/分で加熱し、15分間275℃で保持して、有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7B)
緑色のプレフォームを、0.1℃/分で加熱し、15分間375℃で保持することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7C)
緑色のプレフォームを、0.1℃/分で加熱し、15分間500℃で保持することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7D)
緑色のプレフォームを、0.1℃/分で加熱し、45分間190℃で保持して、有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7E)
緑色のプレフォームを、0.1℃/分で加熱し、45分間275℃で保持して、有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7F)
緑色のプレフォームを、0.1℃/分で加熱し、45分間375℃で保持することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7G)
緑色のプレフォームを、0.1℃/分で加熱し、45分間500℃で保持することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7H)
緑色のプレフォームを、2.0℃/分で加熱し、15分間190℃で保持して有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7I)
緑色のプレフォームを、2.0℃/分で加熱し、15分間275℃で保持して有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7J)
緑色のプレフォームを、2.0℃/分で加熱し、15分間375℃で保持して有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7K)
緑色のプレフォームを、2.0℃/分で加熱し、15分間500℃で保持して有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7L)
緑色のプレフォームを、2.0℃/分で加熱し、45分間190℃で保持して有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7M)
緑色のプレフォームを、2.0℃/分で加熱し、45分間275℃で保持して有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7N)
緑色のプレフォームを、2.0℃/分で加熱し、45分間375℃で保持して有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例7P)
緑色のプレフォームを、2.0℃/分で加熱し、45分間500℃で保持して有機物を燃焼することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例8)
75℃にて5MPaで一軸加圧を利用して、プレフォームを生成することのみを除いて実施例1の手順を利用する。
(実施例8A)
75℃にて20MPaで静水圧加圧を利用して、プレフォームを生成することのみを除いて実施例1の手順を利用する。
(実施例9)
緑色のプレフォームを15分間1800℃で保持することを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例9A)
緑色のプレフォームを60分間1800℃で保持することを除いて実施例9の手順に従う。
(実施例9B)
緑色のプレフォームを24時間1800℃で保持することを除いて実施例9の手順に従う。
(実施例9C)
緑色のプレフォームを48時間1800℃で保持することを除いて実施例9の手順に従う。
(実施例10)
生成物の厚さにわたるドーパント勾配を、異なるドーパント濃度を有するテープからテープピースを積み重ねることによって生成することを除いて実施例1の手順に従う。
本実施例において、2つの外側部分(各々、10層の0.1mm厚のドープされていないYAGから形成される)の間に10層の0.1mm厚の1at%NdでドープされたYAGの内側部分から形成される構造である。ドープされていないYAGの層の各々を、実施例1に従って作製する。Y粉末のイットリウム含有量に基づいて1アトミック%のNdをErの代わりに置き換える(ここで、NdはNd(Aldrich、100nm、99.9%)の形態で提供される)ことを除いて、1at%のNdでドープされたYAGの層の各々を、実施例12の手順に従って作製する。次いで、その層を積み重ねて合わせ、5MPaおよび74℃で一軸加圧し、続いて、20MPaおよび74℃で静水圧加圧により積層して、プレフォームを生成する。次いで、そのプレフォームを加熱して、実施例1のように有機物を燃焼し、また、実施例1の手順に従って焼結する。
(実施例10A)
この実施例において、0.1mm厚のドープされていないYAGの8つの層を、堆積される0.1mm厚の0.25at%のNdでドープされたYAGの2つの層、0.1mm厚の0.5at%のNdでドープされたYAGの2つの層、0.1mm厚の0.75at%のNdでドープされたYAGの2つの層、0.1mm厚の1at%のNdでドープされたYAGの2つの層、0.1mm厚の0.75at%のNdでドープされたYAGの2つの層、0.1mm厚の0.5at%のNdでドープされたYAGの2つの層、0.1mm厚の0.25%のNdでドープされたYAGの2つの層、および0.1mm厚のYAGの8つの層と合わせる。ドープされていないYAGの層の各々は、実施例1に従って作製する。
粉末のイットリウム含有量に基づいて0.25アトミック%のNdをErの代わりに置き換える(ここで、NdはNd(Aldrich、100nm、99.9%)の形態で提供される)ことを除いて、0.25at%のNdでドープされたYAG層の各々を、実施例12の手順に従って作製する。Y粉末のイットリウム含有量に基づいて0.5アトミック%のNdをErの代わりに置き換える(ここで、NdはNd(Aldrich、100nm、99.9%)の形態で提供される)ことを除いて、0.5at%のNdでドープされたYAG層の各々を、実施例12の手順に従って作製する。Y粉末のイットリウム含有量に基づいて0.75アトミック%のNdをErの代わりに置き換える(ここで、NdはNd(Aldrich、100nm、99.9%)の形態で提供される)ことを除いて0.75at%のNdでドープされたYAG層の各々を、実施例12の手順に従って作製する。次いで、その層を積層し、実施例10の手順に従って熱処理する。
(実施例10B)
生成物の厚さにわたるドーパント勾配を、異なるドーパント濃度を有するテープからテープピースを積み重ねることによって生成することを除いて実施例1の手順に従う。
本実施例において、図6(a)に示す構造30は、ドープされていないYAGの10個の層から形成される底部部分37と、0.5at%のドープされたYAGの10個の層から形成される上部部分39との間の0.1mm厚の0.25at%のErでドープされたYAGの10個の層の中央部分35から形成される。ドープされていないYAGの層の各々を、実施例1に従って作製する。0.5at%のErでドープされたYAGの層の各々を、実施例12の手順に従って作製する。Y粉末のイットリウム含有量に基づいて0.25アトミック%のErを利用することを除いて、0.25at%のErでドープされたYAG層の各々を、実施例12に従って作製する。次いで、その層を堆積させて合わせ、5MPaおよび74℃で一軸加圧し、続いて、20MPaおよび74℃で静水圧加圧により積層して、プレフォームを生成する。次いで、そのプレフォームを、実施例1のように有機物を燃焼するために加熱し、また、実施例1の手順に従って焼結する。
(実施例11)
純粋なYAGの層の間に挟まれる4at%のNd3+でドープされたYAGの0.4mm厚の層から形成される透明YAG生成物を生成する。そのYAG生成物は4mmの厚さを有する。この手順において、1.8mm厚の層のYAG、0.4mm厚の層の4at%のNd3+でドープされたYAG、および実施例1に従って生成される1.8mm厚の層のドープされていないYAGから形成される積層を、その積層内に合わせる。ドープされていないYAGの層を実施例1に従って作製する。Y粉末のイットリウム含有量に基づいて4.0アトミック%のNdをErの代わりに置き換える(ここで、Ndは、Nd(Aldrich、100nm、99.9%)の形態で提供される)ことを除いて、4at%のNd3+でドープされたYAGの層を、実施例12の手順に従って作製する。その堆積層を薄片にし、実施例10の手順に従って熱処理する。NdでドープされたYAG生成物の厚さにわたるライン走査を、エネルギー分散型x線検出器(EDS)によって行う。その結果を図4および表3に示す。図4の左のグラフは、Y、Al、OおよびNdについての走査の結果を示す。図4の右のグラフは、Ndについての走査を示す。
Figure 2010538959
(実施例12)
粉末をスラリーに加えるときに、Y粉末のイットリウム含有量に基づいた0.5アトミック%のEr(Er(NO・5HO(Alfa Aesar、99.99%)の形態)を、ドーパントとして加えることを除いて実施例1の手順に従う。
(実施例13)
実施例1の粉砕されたスラリーを、図5の装置の第1のリザーバーに入れる。ドーパントとして1at%のNdを含む実施例1の粉砕されたスラリーを、図5の装置の第2のリザーバーに入れる。実施例1の粉砕されたスラリーを、図5の装置の第3のリザーバーに入れる。スラリーを、20cm/分の速度にて実施例1で利用したキャリア上で0.35mmのドクターブレードのギャップで同時成形して、セグメント化された同時成形テープを生成する。セグメント化されたテープを25℃で乾燥して、乾燥テープを生成する。その乾燥テープを、25mm×25mmの寸法のピースに切断する。これらのピースのうちの50個を、テープのセグメントの各々が互いに正確な位置になる部分に積み重ねて、アセンブリを生成する。そのアセンブリを、5MPaおよび74℃で一軸加圧して、プレフォームを生成する。次いで、そのプレフォームを、20MPaおよび74℃で静水圧加圧する。次いで、得られたプレフォームを、実施例1の手順に従って、有機物を燃焼するために加熱し、10−3Torrの真空中で4時間、1700℃で燃焼する。得られた生成物を、8時間、200MPaのAr圧力下で1700℃にて熱間等静圧圧縮成形して、セグメント化された複合部分を生成する。
(実施例13A)
装置が4つの仕切板10を使用して5つのリザーバーを設けることを除いて、図5の装置を利用する。実施例1の粉砕されたスラリーを、第1および第5のリザーバーに入れる。ドーパントとして0.5%のErを含む実施例12の粉砕されたスラリーを、図5の装置内の第3のリザーバーに入れる。実施例12(0.25%のErを0.5%のErの代わりに置き換える)の粉砕されたスラリーを、図5の装置の第2および第4のリザーバーに入れる。そのスラリーを、20cm/分の速度にて実施例1で利用するキャリア上で0.35mmのドクターブレードのギャップで同時成形して、図6(a)に示すセグメント化された同時成形テープ40を生成する。そのセグメント化されたテープを25℃で乾燥して、セグメント42、44、46、48および50を有する乾燥テープを生成する。ここで、セグメント42および50はドープされていないYAGであり、セグメント46は0.5at%のErでドープされたYAGであり、セグメント44および48は、0.25at%のドープされたYAGである。
その乾燥テープを、30mm×130mmに測定して長方形のピースに切断する。これらのピースのうちの50個を、位置を正確に合わせた境界面で積み重ねて、アセンブリを生成する。そのアセンブリを5MPaおよび74℃で一軸加圧して、プレフォームを生成する。次いで、そのプレフォームを、20MPaおよび74℃で静水圧加圧する。次いで、得られたプレフォームを、実施例1の手順に従って、加熱して有機物を燃焼し、10−3Torrの真空中で4時間、1700℃で燃焼する。得られた生成物を、実施例1の手順に従って、有機物を燃焼するために加熱し、10−3Torrの真空中で4時間、1700℃で燃焼する。得られた生成物を、8時間、200MPaのAr圧力下で1700℃にて熱間等静圧圧縮成形して、セグメント化された複合部分を生成する。
(実施例14)
実施例1で生成される焼結されたYAGプレフォームを、4時間、200MPaのAr圧力下で1750℃にて熱間等静圧圧縮成形されることを除いて実施例1の手順に従う。
代替の実施形態において、水性スラリーを使用してもよい。有用な水性スラリーとしては、YAG粉末、コハク酸(分散剤)、ポリエチレンイミン(PEI、分散剤/結合剤)および水が挙げられる。この実施形態を実施例15に例示する。
(実施例15)
水性ベースのスラリーを生成することを除いて実施例1の手順に従う。
この実施形態において、14gの水をエチルアルコールおよびキシレンの代わりに置き換え、5gのコハク酸(ACS試薬グレード、≧99.0%)および14gのPEI(Aldrich、HO中80%のエトキシ化溶液平均M約50,000、37wt%)を有機物(すなわち、分散剤、結合剤および可塑剤)の代わりに置き換える。固体は70gのYAG粉末を含む。
(実施例16:透明Ceの製造)
250mlの高密度ポリエチレンミルジャーを、5mm直径のアルミナ粉砕媒体で33.3%容量まで充填する。酸化メンハーデン魚油(1.40g、グレードZ−3、Tape Casting Warehouse)、無水キシレン(17.30g.J.T.Baker)変性エチルアルコール(17.30g、Pharmco)およびTEOS(0.35g、99.999+%金属成分、Alfa Aesar)をミルジャーに加える。Ce粉末(Alfa Aesarから提供される99.9999%純度、5000ナノメートル直径)を、24時間、100℃で乾燥し、乾燥オーブンから熱い状態のままであるが、ミルジャーに加えて、混合物を生成する。粉末重量の合計は70.00gである。
酸化メンハーデン魚油、キシレン、変性エチルアルコール、TEOSおよびCe粉末を混合して、第1のスラリーを生成する。ポリビニルブチラール(3.49g、グレードB−98、Tape Casting Warehouse)、フタル酸ブチルベンジル(1.75g、グレードS−160、Tape Casting Warehouse)およびポリアルキレングリコール(1.75g、グレードUCON50HB2000、Tape Casting Warehouse)を、第1のスラリーに加えて、処理されたスラリーを生成し、次いで、それをさらに24時間、粉砕して、粉砕されたスラリーを生成する。
ミルジャーの含有物を、篩を通してビーカー内に注ぎ、粉砕されたスラリーから粉砕媒体を分離する。等量の重量のキシレンおよびエチルアルコールからなる10ミリリットルのリンス溶液を、媒体およびミルジャーをリンスするために使用して、残余の粉砕されたスラリーを回収する。回収された残余のスラリーおよびリンス溶液を、ビーカー内の粉砕されたスラリーに加え、25分間、室温にて磁気攪拌バーで攪拌し、次いで、20cm/分で移動する、シリコンでコーティングされたMylarキャリア上で0.3mmのギャップを有するドクターブレードを用いて成形して、成形テープを生成する。
成形テープを、1時間、空気中で室温にて乾燥して、0.1mmの厚さを有する乾燥テープを得る。その乾燥テープをキャリアから取り除き、30mm×30mmのピースに切断する。これらのピースのうちの30個を、15分間、74℃にて5MPaの一軸加圧下で積層されるアセンブリに積み重ねて、プレフォームを形成する。次いで、そのプレフォームを、30分間、20MPaの圧力で74℃にて静水圧加圧する。次いで、そのプレフォームを、500℃まで0.5℃/分にて空気中で加熱し、60分間、500℃に保持して、有機物を燃焼し、続いて、自然に冷やして、緑色のプレフォームを得る。次いで、その緑色のプレフォームを、1750℃まで10℃/分で加熱しながら、10−3Torrの真空中で焼結し、8時間、1800℃で保持し、次いで、室温まで20℃/分で冷却する。
(実施例17:透明Yの製造)
をCeの代わりに置き換えることを除いて実施例16の手順に従う。次いで、緑色のプレフォームを、1900℃まで10℃/分で加熱しながら、10−3Torrの真空中で焼結し、6時間、1900℃に保持し、次いで、室温まで20℃/分で冷却する。
(実施例18:透明Scの製造)
ScをCeの代わりに置き換えることを除いて実施例16の手順に従う。次いで、緑色のプレフォームを、1800℃まで10℃/分で加熱しながら10−4Torrの真空中で焼結し、10時間、1800℃で保持し、次いで、室温まで20℃/分で冷却する。
(実施例19:透明Luの製造)
LuをCeの代わりに置き換えることを除いて実施例16の手順に従う。次いで、緑色のプレフォームを、1850℃まで10℃/分で加熱し、8時間、1850℃に保持しながら、10−3Torrの真空中で焼結し、次いで、室温まで20℃/分で冷却する。
(実施例21:透明MgAlスピネルの製造)
250mlの高密度ポリエチレンミルジャーを、5mm直径のアルミナ粉砕媒体で33.3%容積容量まで充填する。酸化メンハーデン魚油(1.40g、グレードZ−3、Tape Casting Warehouse)、無水キシレン(17.30g.J.T.Baker)、変性エチルアルコール(17.30g、Pharmco)およびTEOS(0.35g、99.999+%金属成分、Alfa Aesar)をミルジャーに加える。MgO粉末(Sigma−Aldrichから提供される99.9999%純度、5000ナノメートル直径)およびAl粉末(グレードAKP−50、99.999%純度、300ナノメートル直径、Sumitomo Chemical Company,Ltd.)を、24時間、100℃で乾燥し、乾燥オーブンから熱いままの状態でミルジャーに加えて、混合物を生成する。粉末は、1:1のモル比のAl:MgOで利用する。粉末重量の合計は70.00gである。
酸化メンハーデン魚油、キシレン、変性エチルアルコール、TEOS、MgO粉末およびAl粉末の混合物を、24時間粉砕して、第1のスラリーを得る。ポリビニルブチラール(3.49g、グレードB−98、Tape Casting Warehouse)、フタル酸ブチルベンジル(1.75g、グレードS−160、Tape Casting Warehouse)およびポリアルキレングリコール(1.75g、グレードUCON50HB2000、Tape Casting Warehouse)を第1のスラリーに加えて、処理されたスラリーを生成し、次いで、それをさらに24時間粉砕して、粉砕されたスラリーを生成する。
ミルジャーの内容物を、篩を通してビーカー内に注ぎ、粉砕されたスラリーから粉砕媒体を分離する。等量の重量のキシレンおよびエチルアルコールからなる10ミリリットルのリンス溶液を、媒体およびミルジャーをリンスするために使用して、残余の粉砕されたスラリーを回収する。回収された残余のスラリーおよびリンス溶液を、ビーカー内の粉砕されたスラリーに加え、25分間、室温にて磁気攪拌バーで攪拌し、次いで、20cm/分で移動する、シリコンでコーティングされたMylarキャリア上で0.3mmのギャップを有するドクターブレードを用いて成形し、成形テープを生成する。
成形テープを、1時間、空気中で室温にて乾燥し、0.1mmの厚さを有する乾燥テープを得る。その乾燥テープをキャリアから取り除き、30mm×30mmのピースに切断する。これらのピースのうちの30個を、74℃にて15分間、5MPaの一軸加圧下で積層されるアセンブリに積み重ねて、プレフォームを得る。次いで、そのプレフォームを、30分間、20MPaの圧力で74℃にて静水圧加圧する。次いで、そのプレフォームを、600℃まで0.4℃/分にて空気中で加熱し、30分間600℃で保持して、有機物を燃焼し、続いて、自然に冷やして、緑色のプレフォームを得る。次いで、その緑色のプレフォームを、1700℃まで10℃/分にて加熱し、5時間、1700℃に保持しながら、10−3Torrの真空中で焼結し、次いで、室温まで20℃/分で冷却する。
(実施例22)
0.3gのB(99.98%、金属成分、Alfa Aesar)をTEOSの代わりに置き換えることを除いて実施例1の手順に従う。


Claims (19)

  1. 透明イットリウムアルミニウムガーネットの製造方法であって、
    、Al、焼結助剤、分散剤および有機溶媒の混合物を形成する工程と、
    前記混合物を粉砕して、第1のスラリーを生成する工程と、
    前記第1のスラリーと、有機結合剤および可塑剤とを混合して、処理されたスラリーを形成する工程と、
    前記処理されたスラリーを粉砕して、粉砕されたスラリーを生成する工程と、
    前記粉砕されたスラリーをテープキャスティングして、成形テープを生成する工程と、
    前記成形テープを乾燥して、乾燥テープを生成する工程と、
    前記乾燥テープの一部を積み重ねて、アセンブリを形成する工程と、
    前記アセンブリを圧縮して、プレフォームを生成する工程と、
    前記プレフォームを加熱して、緑色のプレフォームを生成する工程と、
    前記緑色のプレフォームを焼結して、透明イットリウムアルミニウムガーネットを生成する工程と、を含む方法。
  2. 前記焼結剤は、テトラエトキシシラン、コロイド状シリカ、酸化リチウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化ストロンチウム、酸化ホウ素、およびそれらの混合物からなる群より選択される、請求項1に記載の方法。
  3. 前記分散剤は、酸化メンハーデン魚油、コハク酸、エタン二酸、プロパン二酸、グルタル酸、ヘキサン二酸、ヘプタン二酸、オクタン二酸、ノナン二酸、デカン二酸、o−フタル酸、p−フタル酸、ソルビタンモノオレエート、およびそれらの混合物からなる群より選択される、請求項2に記載の方法。
  4. 前記有機結合剤は、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアクリロニトリル、ポリエチレンイミン、ポリメタクリル酸メチル、塩化ビニル酢酸、およびそれらの混合物からなる群より選択される、請求項3に記載の方法。
  5. 前記可塑剤は、フタル酸ブチルベンジル、フタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、フタル酸ジイソノニル、フタル酸ビス(n−ブチル)、フタル酸ブチルベンジル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ジ−n−オクチル、フタル酸ジイソオクチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジイソブチル、フタル酸ジ−n−ヘキシル、アジピン酸ビス(2−エチルヘキシル)、アジピン酸ジメチル、アジピン酸モノメチル、アジピン酸ジオクチル、セバシン酸ジブチル、マレイン酸ジブチル、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、N−エチルトルエンスルホンアミド、N−(2−ヒドロキシプロピル)ベンゼンスルホンアミド、N−(n−ブチル)ベンゼンスルホンアミド、リン酸トリクレジル、リン酸トリブチル、トリエチレングリコールジヘキサノエート、テトラエチレングリコールジヘプタノエート、クエン酸トリエチル、クエン酸アセチルトリエチル、クエン酸トリブチル、クエン酸アセチルトリブチル、クエン酸トリオクチル、クエン酸アセチルトリオクチル、クエン酸トリヘキシル、クエン酸アセチルトリヘキシル、クエン酸ブチリルトリヘキシル、クエン酸トリメチル、アルキルスルホン酸フェニルエステル、およびそれらの混合物からなる群より選択される、請求項4に記載の方法。
  6. 前記有機溶媒は、変性エタノール、メタノール、イソプロピルアルコールおよびキシレン、シクロヘキサノン、アセトン、トルエン、メチルエチルケトン、およびそれらの混合物からなる群より選択される、請求項2に記載の方法。
  7. 前記圧縮は、約5MPa〜約30MPaの圧力で行われる、請求項2に記載の方法。
  8. 前記焼結は、約1600℃〜約1900℃で行われる、請求項2に記載の方法。
  9. 前記焼結助剤は、YおよびAlの全重量に基づいて約0.01wt%〜約5wt%である、請求項1に記載の方法。
  10. 前記混合物は、La3+、Ce3+、Pr3+、Nd3+、Pm3+、Sm3+、Eu3+、Gd3+、Tb3+、Dy3+、Ho3+、Er3+、Tm3+、Yb3+、Lu3+、およびそれらの混合物からなる群より選択される希土類ドーパントをさらに含む、請求項1に記載の方法。
  11. 前記混合物は、Nd3+、Er3+、およびそれらの混合物からなる群より選択される希土類ドーパントをさらに含む、請求項1に記載の方法。
  12. 前記焼結助剤はテトラエトキシシランであり、前記分散剤は酸化メンハーデン魚油であり、前記有機結合剤はポリビニルブチラールであり、前記可塑剤はフタル酸ブチルベンジルであり、前記有機溶媒は変性エタノールおよびキシレンを含み、前記焼結は真空下で行われる、請求項11に記載の方法。
  13. 透明セラミック酸化材料を形成する方法であって、
    セラミック酸化物、分散剤および有機溶媒の混合物を形成する工程と、
    前記混合物を粉砕して、第1のスラリーを生成する工程と、
    前記第1のスラリーと、有機結合剤および可塑剤とを混合して、処理されたスラリーを形成する工程と、
    前記処理されたスラリーを粉砕して、粉砕されたスラリーを生成する工程と、
    前記粉砕されたスラリーをテープキャスティングして、成形テープを生成する工程と、
    前記成形テープを乾燥して、乾燥テープを生成する工程と、
    前記乾燥テープの一部を積み重ねて、アセンブリを形成する工程と、
    前記アセンブリを圧縮して、プレフォームを生成する工程と、
    前記プレフォームを加熱して、緑色のプレフォームを生成する工程と、
    前記緑色のプレフォームを焼結して、透明セラミック酸化材料を生成する工程と、を含む方法。
  14. 前記セラミック酸化物は、Al、酸化インジウム、酸化タリウム、ケイ素アルミニウム酸窒化物、イットリウムアルミニウムガーネット、酸化セリウム、酸化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化ルテチウム、マグネシウムアルミニウムスピネル、酸化ジルコニウム、およびそれらの混合物からなる群より選択される、請求項13に記載の方法。
  15. 透明セラミックセグメント化テープを形成する方法であって、
    異なる組成の複数の粉砕されたスラリーを形成する工程であって、前記粉砕されたスラリーのうちの少なくとも1つは、セラミック酸化物、分散剤および溶媒の混合物を形成することにより作製される工程と、
    前記混合物を粉砕して、第1のスラリーを生成する工程と、
    前記第1のスラリーと、結合剤および可塑剤とを混合して、処理されたスラリーを形成する工程と、
    前記処理されたスラリーを粉砕して、粉砕されたスラリーを形成する工程と、
    前記粉砕されたスラリーを、キャリア上で前記粉砕されたスラリーの各々を同時成形するのに適したドクターブレード装置内付近のリザーバーに堆積させて、セグメント間に接触面を有する複数のテープキャストのセグメントを形成して、セグメント化成形テープを生成する工程と、
    前記成形テープを乾燥して、乾燥テープを生成する工程と、
    前記乾燥テープの一部を積み重ねて、アセンブリを形成する工程と、
    前記アセンブリを圧縮して、プレフォームを生成する工程と、
    前記プレフォームを加熱して、緑色のプレフォームを生成する工程と、
    前記緑色のプレフォームを焼結して、透明セラミックセグメント化テープを生成する工程と、を含む方法。
  16. 前記粉砕されたスラリーのうちの少なくとも1つは、YおよびAlの混合物を含む、請求項15に記載の方法。
  17. 前記粉砕されたスラリーのうちの少なくとも1つは、Y、Alおよびドーパントの混合物を含む、請求項15に記載の方法。
  18. 生成物の厚さの一部にわたるドーパント勾配を有する透明セラミック生成物を形成する方法であって、
    異なる組成の複数の粉砕されたスラリーを形成する工程であって、前記粉砕されたスラリーのうちの少なくとも1つは、セラミック酸化物、ドーパント、分散剤および溶媒の混合物を形成することにより作製される工程と、
    前記混合物を粉砕して、複数の第1のスラリーを生成する工程と、
    前記第1のスラリーのうちの少なくとも1つと、結合剤および可塑剤とを混合して、処理されたスラリーを形成する工程と、
    前記処理されたスラリーを粉砕して、粉砕されたスラリーを形成する工程と、
    前記粉砕されたスラリーをテープキャスティングして、異なる組成の複数の成形テープを生成する工程と、
    前記成形テープを乾燥して、異なる組成の乾燥テープを生成する工程と、
    前記乾燥テープの一部を積み重ねて、前記乾燥テープの複数のアセンブリの厚さを形成する工程と、
    前記アセンブリを圧縮して、プレフォームを生成する工程と、
    前記プレフォームを加熱して、緑色のプレフォームを生成する工程と、
    前記緑色のプレフォームを焼結して、厚さおよび前記セラミック生成物の前記厚さの一部にわたってドーパント勾配を有する透明セラミック生成物を生成する工程と、を含む方法。
  19. 前記ドーパントは、Nd3+、Er3+、およびそれらの混合物からなる群より選択される希土類ドーパントである、請求項18に記載の方法。
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