JP2010272796A - 基板処理システム、基板検出装置および基板検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理システム1は、処理前の状態のウエハWの検出を行う第1の検出部40と、処理後の状態のウエハWの検出を行う第2の検出部50とを備えている。第1の検出部40は、収納容器80の各収納部分82にそれぞれ処理前の状態のウエハWが収納されているか否かを検出するとともに各収納部分82に収納された処理前の状態の各ウエハWの収納状態を検出するようになっている。第2の検出部50は、収納容器80の各収納部分82にそれぞれ処理後の状態のウエハWが収納されているか否かを一括して検出するようになっている。
【選択図】図2
Description
2 収納容器搬入出部
3 インターフェース部
4 洗浄処理部
5 収納容器搬入出ステージ
6 収納容器ストック部
7 洗浄処理ユニット
8 乾燥ユニット
9 パーキングエリア
12 収納容器搬送装置
12a 支持アーム
13 収納容器保持部材
14 シャッター
15 ウエハ出し入れステージ
16 壁部
16a、16b、16c 開口
17 蓋体開閉機構
19 ウエハ移載装置
19a ウエハ保持アーム
20 ウエハ搬入出部
20a ロード位置
20b アンロード位置
21 配列部
21a 第1配列機構
21b 第2配列機構
22 ウエハ搬送装置
23 ガイドレール
24 水洗槽
25 搬送装置
26 チャック洗浄機構
31 第1の薬液槽
32 第1の水洗槽
33 第2の薬液槽
34 第2の水洗槽
35 第3の薬液槽
36 第3の水洗槽
37 第1の搬送装置
38 第2の搬送装置
39 第3の搬送装置
40 第1の検出部
41 ロータリーアクチュエータ
42 支柱
43 モータ
44 アーム
45 センサ部分
45a 発光素子
45b 受光素子
46 センサ支持部材
50 第2の検出部
51 ロータリーアクチュエータ
52 支柱
53 アーム
54 マッピングセンサ
55 センサ部分
55a 発光素子
55b 受光素子
56 センサ支持部材
70 上側扉
72 下側扉
74 扉
80 収納容器
82 収納部分
Claims (15)
- 各々が1枚の基板を収納するような収納部分が上下方向に沿って複数設けられた収納容器から基板を取り出して処理を行うとともに処理された基板を前記収納容器に戻すような基板処理システムであって、
基板を処理する処理部と、
前記処理部により処理される前に前記収納容器の各収納部分にそれぞれ基板が収納されているか否かを検出するとともに前記各収納部分に収納された各基板の収納状態を検出する第1の検出部と、
前記処理部により処理された後に前記収納容器の各収納部分にそれぞれ基板が収納されているか否かを一括して検出する第2の検出部と、
を備えたことを特徴とする基板処理システム。 - 前記第1の検出部は、前記収納容器の各収納部分に収納された各基板のスキャンを行い、スキャン結果に基づいて前記収納容器の各収納部分にそれぞれ基板が収納されているか否かを検出するとともに前記各収納部分に収納された各基板の収納状態を検出することを特徴とする請求項1記載の基板処理システム。
- 前記第1の検出部は、上下方向に沿って互いに間隔を空けて設けられた複数の検出部分と、前記各検出部分を同期して上下方向に移動させる駆動機構とを有し、
前記第1の検出部の各検出部分は、前記駆動機構により上下方向に移動させられている間に前記収納容器の各収納部分に収納された各基板の検出を行うことを特徴とする請求項2記載の基板処理システム。 - 前記第1の検出部の各検出部分は、前記各収納部分に収納された各基板を水平方向に沿って挟むよう設けられた発光素子および受光素子を有し、当該各検出部分は、前記駆動機構により上下方向に移動させられている間に前記発光素子から発せられ前記受光素子により受けられる光の受光状態に基づいて各基板の検出を行うことを特徴とする請求項3記載の基板処理システム。
- 前記第2の検出部は、前記収納容器の各収納部分に対応して設けられた複数の検出部分を有し、
前記第2の検出部の各検出部分は、それぞれ、対応する各収納部分に基板が収納されているか否かを検出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記第2の検出部の各検出部分は、それぞれ、対応する各収納部分に収納された基板を挟むよう設けられた発光素子および受光素子を有していることを特徴とする請求項5記載の基板処理システム。
- 前記収納容器内にアクセスするための開口を選択的に塞ぐ扉が設けられており、
前記第1の検出部および前記第2の検出部は、それぞれ、前記扉が前記開口を開いているときに前記収納容器に収納された各基板の検出を行うことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記扉は前記開口に対して進退するようになっており、前記第1の検出部および前記第2の検出部はそれぞれ前記開口に対して進退するようになっていることを特徴とする請求項7記載の基板処理システム。
- 前記収納容器をそれぞれ載置するための2つの収納容器載置台を更に備え、
第1の収納容器載置台に載置される収納容器は、前記処理部により処理される前の状態の基板を収納するようになっており、前記第1の収納容器載置台に載置される収納容器内にアクセスするための第1の開口を選択的に塞ぐ第1の扉が設けられているとともに、前記第1の検出部が前記第1の開口の近傍に設けられており、
第2の収納容器載置台に載置される収納容器は、前記処理部により処理された後の状態の基板を収納するようになっており、前記第2の収納容器載置台に載置される収納容器内にアクセスするための第2の開口を選択的に塞ぐ第2の扉が設けられているとともに、前記第2の検出部が前記第2の開口の近傍に設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記第1の検出部は、前記第1の開口に対して前記第1の扉の開く方向とは反対側に設けられていることを特徴とする請求項9記載の基板処理システム。
- 前記第1の検出部は前記第1の開口に対して進退するようになっており、
前記第1の開口を前記第1の扉が開きながら前記第1の検出部が前記第1の開口に進出することを特徴とする請求項10記載の基板処理システム。 - 前記収納容器と前記処理部との間で基板を搬送する搬送部を更に備え、
前記搬送部は、前記処理部により処理される前の状態の基板を前記収納容器から前記処理部に搬送するとともに、前記処理部により処理された後の状態の基板を前記処理部から前記収納容器に搬送することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記処理部により処理される前の状態の基板を前記収納容器から前記処理部に一括して搬送する第1の搬送部と、
前記処理部により処理された後の状態の基板を前記処理部から前記収納容器に一括して搬送する第2の搬送部と、
を備えたことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 各々が1枚の基板を収納するような収納部分が上下方向に沿って複数設けられた収納容器に収納される、処理前および処理後の状態の基板の検出をそれぞれ行う基板検出装置であって、
前記収納容器の各収納部分にそれぞれ処理前の状態の基板が収納されているか否かを検出するとともに前記各収納部分に収納された処理前の状態の各基板の収納状態を検出する第1の検出部と、
前記収納容器の各収納部分にそれぞれ処理後の状態の基板が収納されているか否かを一括して検出する第2の検出部と、
を備えたことを特徴とする基板検出装置。 - 各々が1枚の基板を収納するような収納部分が上下方向に沿って複数設けられた収納容器に収納される、処理前および処理後の状態の基板の検出をそれぞれ行う基板検出装置による基板検出方法であって、
前記収納容器に収納された、処理前の状態の基板の検出を第1の検出部により行い、この際に、前記収納容器の各収納部分にそれぞれ基板が収納されているか否かを検出するとともに前記各収納部分に収納された各基板の収納状態を検出する工程と、
前記収納容器に収納された、処理後の基板の検出を第2の検出部により行い、この際に、前記収納容器の各収納部分にそれぞれ基板が収納されているか否かを一括して検出する工程と、
を備えたことを特徴とする基板検出方法。
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