JP2014096420A - 処理方法及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被処理体を収納する複数の容器と、内部にて被処理体に所望の処理が施される複数の処理室と、被処理体を一時的に保管する一時保管室と、被処理体を搬送する搬送装置とを有する処理装置を用いて被処理体を処理する方法であって、前記複数の容器から前記複数の処理室に未処理の被処理体を搬送する第1の工程と、前記複数の処理室から前記一時保管室に処理済の被処理体を搬送する第2の工程と、いずれかの容器の最終の被処理体に対する処理のタイミングに応じて、前記一時保管室から処理済の被処理体の回収を開始した容器に、他の容器に優先して順に処理済の被処理体を回収し、前記容器への回収を終了させる第3の工程と、を含むことを特徴とする処理方法が提供される。
【選択図】図7
Description
被処理体を収納する複数の容器と、内部にて被処理体に所望の処理が施される複数の処理室と、被処理体を一時的に保管する一時保管室と、被処理体を搬送する搬送装置とを有する処理装置を用いて被処理体を処理する方法であって、
前記複数の容器から前記複数の処理室に未処理の被処理体を搬送する第1の工程と、
前記複数の処理室から前記一時保管室に処理済の被処理体を搬送する第2の工程と、
いずれかの容器の最終の被処理体に対する処理のタイミングに応じて、前記一時保管室から処理済の被処理体の回収を開始した容器に、他の容器に優先して順に処理済の被処理体を回収し、前記容器への回収を終了させる第3の工程と、
を含むことを特徴とする処理方法が提供される。
前記いずれかの容器から最終の被処理体を搬出したタイミング、前記最終の被処理体をいずれかの処理室に搬入したタイミング、前記最終の被処理体をいずれかの処理室から搬出したタイミング、又は前記最終の被処理体を前記一時保管室に搬入したタイミングのいずれかであってもよい。
被処理体を収納する複数の容器と、
内部にて被処理体に所望の処理が施される複数の処理室と、
被処理体を一時的に保管する一時保管室と、
被処理体を搬送する搬送装置と、
前記複数の容器から前記複数の処理室に未処理の被処理体を搬送し、
前記複数の処理室から前記一時保管室に処理済の被処理体を搬送し、
いずれかの容器の最終の被処理体に対する処理のタイミングに応じて、前記一時保管室から処理済の被処理体の回収を開始した容器に、他の容器に優先して順に処理済の被処理体を回収し、前記容器への回収を終了させるように制御する制御部と、
を有する処理装置が提供される。
まず、本発明の一実施形態に係る処理装置の全体構成について、図1を参照しながら説明する。図1は、一実施形態に係る処理装置の全体構成図である。処理装置10は、ウェハWを搬送する搬送側システムHとウェハWに成膜やエッチング等の処理を行う処理側システムSとを有している。搬送側システムHと処理側システムSとは、2つのロードロックモジュールLLMを介して連結されている。本実施形態では、ロードロックモジュールLLMは2つであるが、これに限らず3以上設置されてもよい。
(装置コンピュータ)
ここで、装置コンピュータEC等の構成について説明する。装置コンピュータECは、複数のマシンコンピュータMCに接続され、複数のマシンコンピュータMCを統括し、処理装置10全体の動作を制御する。装置コンピュータECはマスタ制御部、マシンコンピュータMCはスレーブ制御部として機能する。装置コンピュータECは、複数のマシンコンピュータMCに制御信号を送信することで、各マシンコンピュータMCに処理装置10の各部の制御を指示する。
図2は、一実施形態に係る処理装置10におけるロードポートLP1〜LP4に載置されたフープFからストレージSTまでの搬送ルート例を示す。図3は、一実施形態に係る処理装置10における搬送ルートを説明するための図である。なお、以下の説明において、ロードポートLP上には既にフープFが載置されている状態とし、「ロードポートLPからウェハWを搬出」という記載は、ロードポートLPに載置されたフープFからウェハWを搬出の意味とする。また、「ロードポートLPにウェハWを回収」という記載は、ロードポートLPに載置されたフープFにウェハWを回収の意味とする。
さらに、本実施形態では、いずれかのフープFの最終の未処理のウェハWに対する処理のタイミングに応じて、ストレージSTから処理済のウェハWの回収を開始したフープFに、他のフープFに優先して順に処理済のウェハWを回収し、前記フープFへの回収を先に終了させる回収方法を採用する(第3の工程)。つまり、第3の工程では、いずれかのフープFに処理済のウェハWを回収している間、そのフープFの回収が終わるまで、ロードポートLPに載置された他のフープに処理済のウェハWを回収しない。
(1)ボックスSTAの1番目のウェハ101をロードポートLP1へ回収
(2)ボックスSTBの2番目のウェハ201をロードポートLP2へ回収
(3)ボックスSTCの3番目のウェハ301をロードポートLP3へ回収
(4)ボックスSTDの4番目のウェハ401をロードポートLP4へ回収
(5)ボックスSTAの5番目のウェハ102をロードポートLP1へ回収
・・・・
以上のように処理済のウェハWの回収をロードポートLP1〜LP4で平均的に行う方法では、すべてのロードポートLPに処理済のウェハWの全てが回収されるまで、いずれのロードポートLPへの回収も終了しない。例えば、ロードポートLP1〜LP4に載置されたフープF1〜F4に25枚ずつのウェハWが収納されている場合、図5(b)に示したように、各ロードポートLP1〜LP4にそれぞれ24枚、合計で96枚のウェハWが回収された後、ロードポートLP1に25枚目(合計で97枚目)のウェハWが回収される。このときようやくロードポートLP1に載置されたフープF1への回収が終了し、フープF1をロードポートLP1から搬出でき、次ロットをロードポートLP1に搬入して、ウェハW処理を始めることができる。このため、現ロットのウェハWの回収から次ロットのウェハWの処理開始まで長時間を要する。これにより、スループットが低下するとともに、プロセスモジュールPMが長時間アイドル状態になる。その間にプロセスモジュールPM内のコンディションが変わり、新たなウェハWを処理する前にプロセスモジュールPM内のコンディションを整えるためのダミー処理が必要になり、生産性が低下する。
(1)ロードポートLP1へのウェハ回収
ストレージSTのボックスSTAの1番目のウェハ101をロードポートLP1へ回収→ボックスSTAの2番目のウェハ102をロードポートLP1へ回収、・・・・、ボックスSTAの25番目のウェハ125をロードポートLP1へ回収、の順番でロードポートLP1に載置された同一フープF1内にウェハWを回収する。
(2)ロードポートLP2へのウェハ回収
ボックスSTBの1番目のウェハ201をロードポートLP2へ回収→ボックスSTBの2番目のウェハ202をロードポートLP2へ回収→・・・・→ボックスSTBの25番目のウェハ225をロードポートLP2へ回収、というようにロードポートLP2に載置されたフープF2への回収を、他のフープF3,F4に優先して行い、そのフープF2への回収を終了させてから、他のフープF3,F4への回収を順に開始する。つまり、(3)ロードポートLP3へのウェハWの回収を終了後、更に(4)ロードポートLP4へのウェハWの回収を行う。このようにして、一のフープFへの回収を終了させてから、次のフープFへの回収を開始する。
Claims (6)
- 被処理体を収納する複数の容器と、内部にて被処理体に所望の処理が施される複数の処理室と、被処理体を一時的に保管する一時保管室と、被処理体を搬送する搬送装置と、を有する処理装置を用いて被処理体を処理する方法であって、
前記複数の容器から前記複数の処理室に未処理の被処理体を搬送する第1の工程と、
前記複数の処理室から前記一時保管室に処理済の被処理体を搬送する第2の工程と、
いずれかの容器の最終の被処理体に対する処理のタイミングに応じて、前記一時保管室から処理済の被処理体の回収を開始した容器に、他の容器に優先して順に処理済の被処理体を回収し、前記容器への回収を終了させる第3の工程と、
を含むことを特徴とする処理方法。 - 前記いずれかの容器の最終の被処理体に対する処理のタイミングは、
前記いずれかの容器から最終の被処理体を搬出したタイミング、前記最終の被処理体をいずれかの処理室に搬入したタイミング、前記最終の被処理体をいずれかの処理室から搬出したタイミング、又は前記最終の被処理体を前記一時保管室に搬入したタイミングのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。 - 前記第1の工程では、前記複数の容器と前記複数の処理室とを一対一に対応させて被処理体を搬送することを特徴とする請求項1又は2に記載の処理方法。
- 前記第1の工程では、前記複数の容器から被処理体の処理が可能な前記処理室に被処理体を搬送することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の処理方法。
- 前記第3の工程では、前記いずれかの容器に処理済の被処理体を回収している間、他の容器に処理済の被処理体を回収しないことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の処理方法。
- 被処理体を収納する複数の容器と、
内部にて被処理体に所望の処理が施される複数の処理室と、
被処理体を一時的に保管する一時保管室と、
被処理体を搬送する搬送装置と、
前記複数の容器から前記複数の処理室に未処理の被処理体を搬送し、
前記複数の処理室から前記一時保管室に処理済の被処理体を搬送し、
いずれかの容器の最終の被処理体に対する処理のタイミングに応じて、前記一時保管室から処理済の被処理体の回収を開始した容器に、他の容器に優先して順に処理済の被処理体を回収し、前記容器への回収を終了させるように制御する制御部と、
を有する処理装置。
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