JP2010267963A - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法におけるアライメントの改良 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置において基板が像に対し走査されるときに、基板に露光されるべき像の精密パターンに比べて走査機構は粗い精度を持つ。像と基板とがある時点で位置合わせされることを保証するために、基板テーブル、または例えばマスクテーブル等の像を位置合わせするデバイスに振動が与えられる。位置合わせ誤差の最大値に応じて振動周波数が選択される。放射パルスの周波数は像と基板とが最も正確に位置合わせされるよう調整される。像の放射パルスのタイミングは、振動が与えられていない場合に正確な位置合わせを実現するよう調整されていてもよい。
【選択図】図2
Description
−放射ビームB(例えばUV放射またはEUV放射)を調整するよう構成されている照明系(イルミネータ)ILと、
−パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するよう構成され、いくつかのパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするよう構成されている第1の位置決め装置PMに接続されている支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
−基板(例えばレジストでコーティングされたウエーハ)Wを保持するよう構成され、いくつかのパラメータに従って基板を正確に位置決めするよう構成されている第2の位置決め装置PWに接続されている基板テーブル(例えばウエーハテーブル)WTと、
−パターニングデバイスMAにより放射ビームBに付与されたパターンを基板Wの(例えば1つまたは複数のダイからなる)目標部分Cに投影するよう構成されている投影系(例えば屈折投影レンズ系)PSと、を備える。
1.ステップモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンの全体が1回の照射(すなわち単一静的露光)で目標部分Cに投影される間、マスクテーブルMT及び基板テーブルWTは実質的に静止状態とされる。そして基板テーブルがX方向及び/またはY方向に移動されて、異なる目標部分Cが露光される。ステップモードでは露光フィールドの最大サイズが単一静的露光で転写される目標部分Cのサイズを制限することになる。
2.スキャンモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間(すなわち単一動的露光の間)、マスクテーブルMT及び基板テーブルWTは同期して走査される。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影系PSの拡大(縮小)特性及び像反転特性により定められる。スキャンモードでは露光フィールドの最大サイズが単一動的露光での目標部分の(非走査方向の)幅を制限し、スキャン移動距離が目標部分の(走査方向の)長さを決定する。
3.別のモードにおいては、マスクテーブルMTがプログラム可能パターニングデバイスを保持して実質的に静止状態とされ、放射ビームPBに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、基板テーブルWTが移動または走査される。このモードではパルス放射源が通常用いられ、プログラム可能パターニングデバイスは、基板テーブルWTの毎回の移動後、または走査中の連続放射パルス間に必要に応じて更新される。この動作モードは、上述のプログラマブルミラーアレイ等のプログラム可能パターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (15)
- 放射ビームを調整する照明系と、
放射ビーム断面にパターンを与えてパターン付きの放射ビームを形成するパターニングデバイスを支持するための支持部と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターンが与えられた放射ビームを基板の目標部分に投影する投影系と、
投影系の光軸に垂直な制御された振動をパターニングデバイスの支持部及び基板テーブルの少なくとも一方に与える振動装置と、を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 制御された振動の周期を基板の目標部分への露光時間よりも短くしたことを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 制御された振動の周期を基板の目標部分への露光時間の半分よりも短くしたことを特徴とする請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 基板テーブルは運動プロファイルに従って移動され、パターン付きの放射ビームはその運動プロファイルに沿って間欠的に基板表面に投影され、
振動装置は、制御された振動を基板テーブルの運動プロファイルに重ね合わせることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 振動装置は基板に対しパターン付きの放射ビームを振動させることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 照明系は放射源を含み、振動装置により与えられる制御された振動に等しい周波数のパルス放射ビームを供給することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 振動装置は、ゼロ軸の両側に等しい振幅をもつとみなされる正弦波状の挙動をもつ振動を与え、照明系は、制御された振動によりゼロ軸に交差しているときに基板に放射ビームが投影されるよう放射ビームパルスのタイミングが調整されていることを特徴とする請求項6に記載のリソグラフィ装置。
- 振動装置は、最大の基板テーブル制御誤差の振幅の2乃至10倍の振幅をもつ制御された振動を与えることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 振動装置は、20nm乃至100nmの振幅をもつ制御された振動を与えることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 振動装置は、パターニングデバイスの支持部及び基板テーブルの少なくとも一方を予め定められた周波数で振動させるアクチュエータを含むことを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- パターン付きの放射ビームと基板との相対位置を検出する相対位置検出器をさらに備えることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 相対位置検出器は、パターニングデバイスの支持部、基板テーブル、及び光学素子の少なくとも1つのための個別の位置検出器と、個別の位置検出器の出力間の相対誤差を計算するためのプロセッサと、を備えることを特徴とする請求項11に記載のリソグラフィ装置。
- 相対位置検出器は、パターン付きの放射ビームと基板との相対位置に関する情報を照明系に送信し、照明系は、パターン付きの放射ビームと基板とが位置合わせされるように放射ビームのパルスタイミングを調整することを特徴とする請求項11または12に記載のリソグラフィ装置。
- 基板テーブルの振動は、正弦波振動の振幅が両側で等しくなる軸として定義されるゼロ軸に該振動が交差する中間のタイミングにおいて放射ビームのパルスが基板に与えられるように調整されていることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 振動装置は、基板面におけるx方向、基板面におけるy方向、またはx方向及びy方向のベクトル結合のいずれかについて制御された振動を与えることを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
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