JP2011097056A - リソグラフィ方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】方法が開示される。基板上に投影されるまたはされるべき放射ビームの伝搬方向と実質的に平行な方向におけるその基板の位置の変化が、そのような位置の変化がその放射ビームを使用したその基板へのパターン付与の際にリソグラフィエラーを生じうる状況において、決定される。リソグラフィエラーを低減するために、基板の位置の変化を使用して、放射ビームが基板上に投影されるときまたはされるにつれて、放射ビームの性質が制御される。
【選択図】図6
Description
結論
Claims (15)
- (a)基板上に投影されるまたはされるべき放射ビームの伝搬方向と実質的に平行な方向におけるその基板の位置の変化を、そのような位置の変化がその放射ビームを使用したその基板へのパターン付与の際にリソグラフィエラーを生じうる状況において、決定することと、
(b)リソグラフィエラーを低減するために、基板の位置の変化を使用して、放射ビームが基板上に投影されるときまたはされるにつれて、放射ビームの性質を制御することと、を含むリソグラフィ方法。 - 放射ビームの伝搬方向と実質的に直交する方向に基板が走査されるにつれて基板の位置の変化が決定される、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- 基板が走査されるにつれて放射ビームの性質が制御される、請求項2に記載のリソグラフィ方法。
- 基板の位置の変化は、実質的に固定された基準に対して決定される、請求項1から3のいずれかに記載のリソグラフィ方法。
- 基板の位置の変化は、リソグラフィ装置の要素であって放射ビームの性質を制御するためにおよび/または放射ビームを基板上に投影するために使用されるべき要素に対して決定される、請求項1から4のいずれかに記載のリソグラフィ方法。
- 制御される放射ビームの性質は、
(a)放射ビームによって提供されるドーズ、および/または
(b)放射ビームの帯域幅、および/または
(c)放射ビームの焦点特性、および/または
(d)放射ビームの波長、および/または
(e)放射ビームの角度または空間強度分布、
のうちのひとつまたは複数である、請求項1から5のいずれかに記載のリソグラフィ方法。 - (a)放射源の構成、および/または
(b)照明システムの構成、および/または
(c)パターニングデバイスの位置または構成、および/または
(d)投影システムの構成または位置、および/または
(e)放射ビームの経路に関して放射源と基板との間に配置された光学要素の位置または構成、
のうちのひとつまたは複数を制御することによって、放射ビームの性質が制御される、請求項1から6のいずれかに記載のリソグラフィ方法。 - 基板の位置の変化を決定することは、
(a)基板自体の位置の変化を決定すること、および/または
(b)基板のホルダの位置の変化を決定すること、および/または
(c)基板のホルダの位置決めデバイスの位置の変化を決定すること、
のうちのひとつまたは複数によって行われる、請求項1から7のいずれかに記載のリソグラフィ方法。 - リソグラフィエラーはパターンフィーチャのひとつまたは複数の寸法の意図せぬ増加または減少からなる、請求項1から8のいずれかに記載のリソグラフィ方法。
- リソグラフィエラーを低減するために、基板の位置の変化を使用して、放射ビームが基板上に投影されるときまたはされるにつれて、放射ビームの性質を制御することは、
(a)放射ビームを構成するひとつまたは複数の放射パルスの長さ、強度、波長または帯域幅を制御すること、
を含む、請求項1から9のいずれかに記載のリソグラフィ方法。 - (a)放射ビームを提供するための照明システムと、
(b)放射ビームの断面にパターンを付与するためのパターニングデバイスと、
(c)基板を保持するための基板ホルダと、
(d)基板のターゲット部分にパターン付与された放射ビームを投影するための投影システムと、
(e)使用中基板上に投影されるまたはされるべきパターン付与された放射ビームの伝搬方向と実質的に平行な方向における基板の位置の変化を、そのような位置の変化がそのパターン付与された放射ビームを使用したその基板へのパターン付与の際にリソグラフィエラーを生じうる状況において、決定する測定構成と、
(f)リソグラフィエラーを低減するために、基板の位置の変化を使用して、使用中放射ビームが基板上に投影されるときまたはされるにつれて、放射ビームの性質を制御するコントローラと、
を備えるリソグラフィ装置。 - 前記コントローラは、
(a)放射ビームによって提供されるドーズ、および/または
(b)放射ビームの帯域幅、および/または
(c)放射ビームの波長、および/または
(d)放射ビームの焦点特性、および/または
(e)放射ビームの角度または空間強度分布、
のうちのひとつまたは複数を制御する、請求項11に記載のリソグラフィ装置。 - 前記コントローラは、
(a)前記リソグラフィ装置の一部を形成するまたは前記リソグラフィ装置と接続されている放射源の構成、および/または
(b)照明システムの構成、および/または
(c)パターニングデバイスの位置または構成、および/または
(d)投影システムの構成または位置、および/または
(e)放射ビームの経路に関して放射源と基板との間に配置された光学要素の位置または構成、
のうちのひとつまたは複数を制御することによって放射の性質を制御する、請求項11または12に記載のリソグラフィ装置。 - 前記測定構成は、
(a)基板自体の位置の変化を決定する、および/または
(b)基板のホルダの位置の変化を決定する、および/または
(c)基板のホルダの位置決めデバイスの位置の変化を決定する、
ことによって基板の位置の変化を決定する、請求項11から13のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 請求項1から14のいずれかに記載の方法または装置を使用して製造されたデバイスの少なくとも一部。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016526697A (ja) * | 2013-06-11 | 2016-09-05 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | ウェーハベースの光源パラメータ制御 |
US9885960B2 (en) | 2013-12-26 | 2018-02-06 | Toshiba Memory Corporation | Pattern shape adjustment method, pattern shape adjustment system, exposure apparatus, and recording medium |
JP2020501347A (ja) * | 2016-12-07 | 2020-01-16 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | Duv光源におけるパルス毎の波長目標追跡用の波長制御システム |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016155935A1 (en) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic Apparatus and Method |
US9835959B1 (en) | 2016-10-17 | 2017-12-05 | Cymer, Llc | Controlling for wafer stage vibration |
US9997888B2 (en) | 2016-10-17 | 2018-06-12 | Cymer, Llc | Control of a spectral feature of a pulsed light beam |
US9989866B2 (en) | 2016-10-17 | 2018-06-05 | Cymer, Llc | Wafer-based light source parameter control |
WO2019079010A1 (en) | 2017-10-19 | 2019-04-25 | Cymer, Llc | FORMATION OF MULTIPLE AERIAL IMAGES IN ONE LITHOGRAPHIC EXPOSURE PASSAGE |
NL2022609A (en) | 2018-03-12 | 2019-09-18 | Asml Netherlands Bv | Control System and Method |
JP7044894B2 (ja) | 2018-03-30 | 2022-03-30 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | パルス光ビームのスペクトル特性選択及びパルスタイミング制御 |
US11803126B2 (en) | 2019-07-23 | 2023-10-31 | Cymer, Llc | Method of compensating wavelength error induced by repetition rate deviation |
WO2023287519A1 (en) * | 2021-07-13 | 2023-01-19 | Cymer, Llc | Prediction apparatus and method for optical source |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01112727A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-01 | Canon Inc | 焦点検出方法 |
JPH0452650A (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-20 | Fujitsu Ltd | 投影露光装置及びその露光方法 |
JPH06260391A (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-16 | Nikon Corp | 露光方法 |
JP2000228344A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-15 | Canon Inc | 走査露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2004259815A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Canon Inc | 露光方法 |
JP2006186287A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Asml Netherlands Bv | レベルセンサ、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2006269669A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Canon Inc | 計測装置及び計測方法、露光装置並びにデバイス製造方法 |
JP2007049165A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Asml Holding Nv | リソグラフィ装置及びメトロロジ・システムを使用するデバイス製造方法 |
JP2008016828A (ja) * | 2006-06-09 | 2008-01-24 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法 |
WO2008038751A1 (fr) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Nikon Corporation | Procédé de mesure de largeur de ligne, procédé de détection de statut de formation d'image, procédé d'ajustement, procédé d'exposition et procédé de fabrication de dispositif |
WO2009060294A2 (en) * | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100300618B1 (ko) | 1992-12-25 | 2001-11-22 | 오노 시게오 | 노광방법,노광장치,및그장치를사용하는디바이스제조방법 |
JP3093528B2 (ja) * | 1993-07-15 | 2000-10-03 | キヤノン株式会社 | 走査型露光装置 |
US5825043A (en) * | 1996-10-07 | 1998-10-20 | Nikon Precision Inc. | Focusing and tilting adjustment system for lithography aligner, manufacturing apparatus or inspection apparatus |
DE102004035595B4 (de) * | 2004-04-09 | 2008-02-07 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Justage eines Projektionsobjektives |
JP2007035783A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Canon Inc | 露光装置及び方法 |
JP2010103437A (ja) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Canon Inc | 走査露光装置およびデバイス製造方法 |
-
2010
- 2010-09-30 NL NL2005424A patent/NL2005424A/en not_active Application Discontinuation
- 2010-10-04 US US12/897,355 patent/US8705004B2/en active Active
- 2010-10-27 JP JP2010240355A patent/JP2011097056A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01112727A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-01 | Canon Inc | 焦点検出方法 |
JPH0452650A (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-20 | Fujitsu Ltd | 投影露光装置及びその露光方法 |
JPH06260391A (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-16 | Nikon Corp | 露光方法 |
JP2000228344A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-15 | Canon Inc | 走査露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2004259815A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Canon Inc | 露光方法 |
JP2006186287A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Asml Netherlands Bv | レベルセンサ、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2006269669A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Canon Inc | 計測装置及び計測方法、露光装置並びにデバイス製造方法 |
JP2007049165A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Asml Holding Nv | リソグラフィ装置及びメトロロジ・システムを使用するデバイス製造方法 |
JP2008016828A (ja) * | 2006-06-09 | 2008-01-24 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法 |
WO2008038751A1 (fr) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Nikon Corporation | Procédé de mesure de largeur de ligne, procédé de détection de statut de formation d'image, procédé d'ajustement, procédé d'exposition et procédé de fabrication de dispositif |
WO2009060294A2 (en) * | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016526697A (ja) * | 2013-06-11 | 2016-09-05 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | ウェーハベースの光源パラメータ制御 |
JP2019091064A (ja) * | 2013-06-11 | 2019-06-13 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | ウェーハベースの光源パラメータ制御 |
JP2022058902A (ja) * | 2013-06-11 | 2022-04-12 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | ウェーハベースの光源パラメータ制御 |
JP7434382B2 (ja) | 2013-06-11 | 2024-02-20 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | ウェーハベースの光源パラメータ制御 |
US9885960B2 (en) | 2013-12-26 | 2018-02-06 | Toshiba Memory Corporation | Pattern shape adjustment method, pattern shape adjustment system, exposure apparatus, and recording medium |
JP2020501347A (ja) * | 2016-12-07 | 2020-01-16 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | Duv光源におけるパルス毎の波長目標追跡用の波長制御システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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