JP2016526697A - ウェーハベースの光源パラメータ制御 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (31)
- 光学源に命令してパルス光ビームを発生させることと、
リソグラフィ露光装置のウェーハを横断して前記パルス光ビームをスキャンし、前記パルス光ビームで前記ウェーハを露光することと、
前記ウェーハを横断する前記パルス光ビームのスキャンの際に前記ウェーハにおける前記パルス光ビームの特性を受信することと、
特定のパルス光ビーム特性についてウェーハの物性の決定値を受信することと、
スキャンの際に受信した前記パルス光ビーム特性と前記物性の前記受信した決定値とに基づいて、前記ウェーハを横断するスキャンの際の前記パルス光ビームの性能パラメータを変更することと、
を含む、フォトリソグラフィ方法。 - 前記物性の前記決定値は、前記ウェーハの前記物性の誤差を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記物性は、前記ウェーハ上に形成されたフィーチャのコントラスト、前記パルス光ビームにさらされるウェーハ領域の臨界寸法、前記パルス光ビームにさらされるウェーハ領域のフォトレジストプロファイル、及び前記パルス光ビームにさらされるウェーハ領域の側壁角度のうち1つ以上である、請求項1に記載の方法。
- 特定の光ビーム特性について前記ウェーハの前記物性の前記決定値を受信することは、前記光学源の前記光ビームによって予め露光されたウェーハにおける一組の光ビーム特性に対する前記予め露光されたウェーハの前記物性の一組の決定値を受信することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ウェーハを横断する前記パルス光ビームのスキャンの際に前記ウェーハにおける前記光ビームの前記特性を受信することは、前記光ビームが前記ウェーハを露光する位置を受信することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ウェーハを横断する前記パルス光ビームのスキャンの際に前記ウェーハにおける前記光ビームの前記特性を受信することは、前記光ビームが前記ウェーハを露光するときに前記光ビームのエネルギを受信することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、前記パルス光ビームの目標性能パラメータを変更することを含み、
前記パルス光ビームの前記性能パラメータの測定を受信することと、
前記測定された性能パラメータが前記変更された目標性能パラメータと一致するかどうかを判定することと、
前記測定された性能パラメータが前記変更された目標性能パラメータと一致しないと判定された場合、前記光学源に信号を送信して前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記ウェーハにおける前記光ビーム特性を受信することは、
前記リソグラフィ露光装置から前記光学源への制御信号を受信することと、
前記受信した制御信号に基づいて前記ウェーハにおける前記光ビーム特性を決定することと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記パルス光ビームの前記性能パラメータへの変更を決定することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記性能パラメータへの前記変更を決定することは、
前記ウェーハにおける光ビーム特性の関数として記憶された性能パラメータの組にアクセスすることと、
前記アクセスされた組内で前記現在のウェーハにおける前記光ビームの前記受信した特性に対応する前記性能パラメータの前記値を選択することと、
前記性能パラメータの前記選択された値を前記パルス光ビームの前記性能パラメータの現在の値と比較することと、
を含む、請求項9に記載の方法。 - 前記性能パラメータの前記選択された値が前記現在の値と一致しない場合、前記現在の性能パラメータが前記選択された値と一致するように調整される必要があると決定することをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記特定の光ビーム特性についての前記ウェーハの前記物性の前記決定値を受信することは、前記光ビームの前記受信した特性に基づいて前記特定の光ビーム特性について前記ウェーハの前記物性の前記値を選択することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記物性の前記決定値を受信することは、前記ウェーハにおける一組の光ビーム特性での前記ウェーハの一組の測定された物性を受信することを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記組の前記ウェーハにおける各光ビーム特性について、前記測定された物性に基づいて前記パルス光ビームの性能パラメータを決定することと、
前記決定された性能パラメータを前記組内の各光ビーム特性で記憶することと、
をさらに含む、請求項13に記載の方法。 - 前記ウェーハを横断して前記パルス光ビームをスキャンすることは、前記ウェーハのフィールドを横断して前記パルス光ビームをスキャンすることを含み、前記フィールドは、露光される前記ウェーハの全領域の一部であり、
前記光ビームの前記特性を受信することは、前記フィールドを横断する前記スキャンの際に前記特性を受信することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、スペクトル特徴、スペクトル特徴の誤差、前記パルス光ビームのエネルギ、前記パルス光ビームの量、前記パルス光ビームの波長の誤差、前記パルス光ビームの帯域幅、及び前記パルス光ビームのスペクトル形状のうち1つ以上を変更することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することに基づいて前記ウェーハにおけるパターニングの誤差を補正することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ウェーハのパターニングの前記誤差は、前記リソグラフィ露光装置を変更することなく補正される、請求項17に記載の方法。
- 前記ウェーハのパターニングの前記誤差は、前記リソグラフィ露光装置内の光学的フィーチャ又は構成要素を変更することなく補正される、請求項17に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、前記パルス光ビームのスペクトル特徴を変更することを含み、
前記光ビーム特性が受信される度にスペクトル特徴の推定を生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記光ビーム特性は前記ウェーハの各フィールドにおいて受信され、
前記フィールドは、露光される前記ウェーハの前記全領域の一部及び露光窓の1回のスキャンにおいて露光される前記ウェーハの領域である、請求項1に記載の方法。 - 前記パルス光ビームを発生することは、前記パルス光ビームのスペクトル形状をパルス間ベースで摂動させることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記スペクトル形状をパルス間ベースで摂動させることは、前記光ビームの各パルスの中心波長をベースライン波長から所定の繰り返しパターンでシフトさせることを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、前記光ビームの各パルスの前記中心波長が前記ベースライン波長からどの程度シフトされるのかを変更することを含む、請求項23に記載の方法。
- 前記ウェーハをスキャンする前に、
1つ以上の予め露光されたウェーハの各露光フィールドにおけるスキャン内の前記物性を測定することと、
前記パルス光ビームで露光されたウェーハ全体を横断して各露光フィールドについて測定された各物性を相関させるテーブルを作成することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記物性の前記決定値を受信することは、前記作成されたテーブルから前記現在の露光フィールドについての前記測定された物性を受信することを含む、請求項25に記載の方法。
- 前記光ビーム特性を受信することは、
前記ウェーハの露光の開始の検出を受信することと、
前記ウェーハの前記露光の終了の検出を受信することと、
を含む、請求項25に記載の方法。 - パルス光ビームを発生させる光学源と、
前記パルス光ビームをフォトリソグラフィ露光装置のウェーハに配向して前記パルス光ビームで前記ウェーハを露光する一組の光学部品と、
前記ウェーハを横断して前記パルス光ビームをスキャンする、前記リソグラフィ露光装置内のスキャン光学系と、
前記ウェーハのスキャンの際に前記ウェーハにおける前記パルス光ビームの特性を出力する、前記リソグラフィ露光装置内の監視モジュールと、
ウェーハにおける一組のパルス光ビーム特性に対する前記ウェーハの物性の一組の測定値を受信し、前記受信した決定値に基づいて前記パルス光ビームの目標性能パラメータと前記ウェーハにおける前記パルス光ビーム特性との相関を出力する、相関モジュールと、
前記監視モジュールに接続されて前記ウェーハにおける前記パルス光ビーム特性の前記出力を受信するとともに、前記相関モジュールに接続されて前記相関レシピを受信し、前記受信した光ビーム特性及び前記相関レシピに基づいて前記性能パラメータの値を出力する、性能パラメータモジュールと、
前記性能パラメータモジュールに接続されて前記性能パラメータの前記出力された値を受信するとともに、前記光学源の1つ以上の物理的フィーチャを作動させる光学源作動系に接続されて、前記受信した出力された値に基づいて前記光学源の1つ以上の性能パラメータを変更する、光源モジュールと、
を備える、フォトリソグラフィシステム。 - 1つ以上のウェーハを保持するウェーハホルダと、
前記ウェーハにおける各光ビーム特性について前記ウェーハの前記物性を測定し、前記ウェーハにおける各光ビーム特性について前記測定した物性を出力する、検出系と、
を含む計測モジュールをさらに備える、請求項28に記載のフォトリソグラフィシステム。 - 前記相関モジュールは、前記計測モジュールからの前記出力を受信し前記計測モジュールからの前記出力に基づいて前記相関レシピを作成するように接続されている、請求項29に記載のフォトリソグラフィシステム。
- 前記ウェーハにおける前記光ビーム特性は、前記ウェーハを露光するときの前記パルス光ビームの位置を含む、請求項28に記載のフォトリソグラフィシステム。
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