JP7044894B2 - パルス光ビームのスペクトル特性選択及びパルスタイミング制御 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2018年3月30日に出願された「Spectral Feature Selection and Pulse Timing Control of a Pulsed Light Beam」と題するUS出願第62/650,896号、及び、2018年4月27日に出願された「Spectral Feature Selection and Pulse Timing Control of a Pulsed Light Beam」と題するUS出願第62/663,308号に対する優先権を主張する。これらの特許出願は双方とも援用により全体が本願に含まれる。
駆動信号1317の位相φは初期位相であり、上記の方程式ではラジアンで与えられ、最初の時点での波形Dの位置に対応する。これは、位相オフセット、位相シフト、又は位相ファクタと呼ぶことができる。波形Dの瞬時位相はωt+φで与えられる。
A1.パルス繰り返し率で増幅光ビームのパルスのバーストを生成し、パルスをリソグラフィ露光装置に送出することと、
パルスバーストの生成中に、パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することであって、各離散状態は増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中のスペクトル特性の離散値に対応し、バースト内のパルスが生成されるたびに、スペクトル特性アジャスタは離散状態のうち1つになり、増幅光ビームパルスはその離散状態に対応するスペクトル特性を有する、スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方でスペクトル特性アジャスタを駆動することと、
次のバースト内のパルスの生成時に、スペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証することと、
を含む方法。
A2.リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方でスペクトル特性アジャスタを駆動することは、パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、条項A1に記載の方法。
A3.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態であることを保証することは、パルス繰り返し率におけるパルス間の時間間隔の整数倍となるようにバースト間時間間隔を調整することを含む、条項A2に記載の方法。
A4.バースト間時間間隔は、バースト内の最後のパルスと次のバースト内の最初のパルスとの間の時間間隔である、条項A3に記載の方法。
A5.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態であることを保証することは、
リソグラフィ露光装置から、次のバーストの生成を要求する時に関する指示を受信することと、
受信した指示が、次のバースト内の最初のパルスの生成とスペクトル特性アジャスタが離散状態にある時点との間の時間のずれを示す場合、受信した指示に基づいて、スペクトル特性アジャスタの駆動に関連付けられた1つ以上のパラメータを修正することと、
を含む、条項A2に記載の方法。
A6.スペクトル特性アジャスタの駆動に関連付けられた1つ以上のパラメータを修正することは、スペクトル特性アジャスタに関連付けられた駆動信号の周波数及び位相のうち1つ以上を修正することを含む、条項A5に記載の方法。
A7.スペクトル特性アジャスタが駆動される周波数がずれのために修正された場合、次のバーストの開始時に、スペクトル特性アジャスタが駆動される周波数をパルス繰り返し率と相関するように変更することを更に含む、条項A6に記載の方法。
A8.増幅光ビームのパルスのスペクトル特性は増幅光ビームのパルスの波長である、条項A1に記載の方法。
A9.増幅光ビームのパルスの波長は深紫外線範囲内である、条項A8に記載の方法。
A10.パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することは、増幅光ビームの各パルスごとに増幅光ビームの波長が2つの別個の波長間で変化するようにスペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、条項A8に記載の方法。
A11.パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することは、増幅光ビームの1つおきのパルスごとに増幅光ビームの波長が2つの別個の波長間で変化するようにスペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、条項A8に記載の方法。
A12.離散状態セット間でスペクトル特性アジャスタを駆動することは、正弦波駆動信号に従ってスペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、条項A1に記載の方法。
A13.スペクトル特性アジャスタを駆動することは、前駆光ビームと相互作用する光学系を離散位置間で移動させることを含み、光学系の各離散位置は離散状態に対応し、増幅光ビームは前駆光ビームから生成される、条項A1に記載の方法。
A14.光ビームと相互作用する光学系を移動させることは、前駆光ビームが通過するプリズムを回転させることを含む、条項A13に記載の方法。
A15.スペクトル特性アジャスタが駆動される周波数はパルス繰り返し率の2分の1である、条項A1に記載の方法。
A16.スペクトル特性アジャスタが駆動される周波数はパルス繰り返し率の4分の1である、条項A1に記載の方法。
A17.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つであることを保証することは、次のバースト内の最初のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つであることを保証することを含む、条項A1に記載の方法。
A18.リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方でスペクトル特性アジャスタを駆動することは、1つ以上の固定パラメータに従ってスペクトル特性アジャスタを駆動することと、次のパルスバーストを生成するためのリソグラフィ露光装置からの要求を受信することと、を含み、
次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態であることを保証することは、次のパルスバーストを生成するためのリソグラフィ露光装置からの要求の受信に対して次のパルスバーストの生成をゼロよりも大きい時間期間だけ遅延させることを含む、条項A1に記載の方法。
A19.次のパルスバーストの生成を時間期間だけ遅延させることは、次のパルスバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタを増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つに駆動することができるまで次のパルスバーストを遅延させることを含む、条項A18に記載の方法。
A20.パルスバーストの生成と生成との間のパルスバーストが生成されていない時にスペクトル特性アジャスタが駆動されるやり方に関連するリソグラフィ露光装置からの情報は、バーストが終了する前に受信される、条項A1に記載の方法。
A21.パルスバーストの生成と生成との間のパルスバーストが生成されていない時にスペクトル特性アジャスタが駆動されるやり方に関連するリソグラフィ露光装置からの情報は、パルスバーストの生成と生成との間に受信される、条項A1に記載の方法。
A22.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つであることを保証することは、パルスバーストの生成と生成との間のパルスが生成されていない時にどのようにスペクトル特性アジャスタが駆動されるかに関する情報を含む信号を、リソグラフィ露光装置に送信することを含む、条項A1に記載の方法。
A23.リソグラフィ露光装置と通信し、リソグラフィ露光装置から情報を受信するように構成されたインタフェースと、
スペクトル特性アジャスタと、
インタフェース及びスペクトル特性アジャスタと通信している光学装置であって、
基板をパターニングするためにリソグラフィ露光装置が使用する増幅光ビームのパルスのバーストをパルス繰り返し率で生成し、
パルスバーストの生成中に、パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動し、各離散状態は増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中のスペクトル特性の離散値に対応し、バースト内のパルスが生成されるたびに、スペクトル特性アジャスタは離散状態のうち1つになり、増幅光ビームパルスはその離散状態に対応するスペクトル特性を有し、
パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、インタフェースにおいてリソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方でスペクトル特性アジャスタを駆動し、
次のバースト内のパルスの生成時に、スペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証する、
ように構成された光学装置と、
を備える装置。
A24.増幅光ビームのスペクトル特性は増幅光ビームの波長である、条項A23に記載の装置。
A25.スペクトル特性アジャスタは、光学装置と通信していると共にスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動するように構成されたドライブアクチュエータを含む、条項A23に記載の装置。
A26.光学装置は、インタフェース及びドライブアクチュエータと通信している制御装置を含み、制御装置は、
リソグラフィ露光装置からのパルス繰り返し率を含むリソグラフィ露光装置からの要求に関する指示をインタフェースから受信し、
リソグラフィ露光装置から受信した情報に基づく駆動信号をドライブアクチュエータに送信する、
ように構成されている、条項A25に記載の装置。
A27.ドライブアクチュエータに送信される駆動信号は正弦波駆動信号である、条項A26に記載の装置。
A28.スペクトル特性アジャスタは前駆光ビームと光学的に相互作用する光学デバイスを含み、光学デバイスの各離散状態はスペクトル特性アジャスタの離散状態に対応する、条項A23に記載の装置。
A29.光学デバイスの離散状態は、光学デバイスが前駆光ビームと相互作用する離散位置である、条項A28に記載の装置。
A30.光学デバイスは、前駆光ビームが通過するプリズムを含む、条項A29に記載の装置。
A31.光学デバイスはドライブアクチュエータに物理的に結合されている、条項A28に記載の装置。
A32.光学装置は、
第1のパルス光ビームを発生するように構成された第1のガス放電段と、
第1のパルス光ビームを受け、第1のパルス光ビームを増幅することにより光学装置から増幅光ビームを生成するように構成された第2のガス放電段と、
を含む、条項A23に記載の装置。
A33.第1のガス放電段は第1のガス放電チャンバを含み、第1のガス放電チャンバは、エネルギ源を収容すると共に、第1の利得媒体を含むガス混合物を包含し、
第2のガス放電段は第2のガス放電チャンバを含み、第2のガス放電チャンバは、エネルギ源を収容すると共に、第2の利得媒体を含むガス混合物を包含する、条項A32に記載の装置。
A34.光学装置は、パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを駆動することによって、インタフェースでリソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方でスペクトル特性アジャスタを駆動するように構成されている、条項A23に記載の装置。
A35.光学装置は、パルス繰り返し率におけるパルス間の時間間隔の整数倍となるようにバースト間時間間隔を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態であることを保証するように構成されており、バースト間時間間隔は最後のパルスと次のバースト内のパルスとの間の時間間隔である、条項A34に記載の装置。
A36.光学装置は、
インタフェースから、リソグラフィ露光装置が次のバーストの生成を要求する時に関する指示を受信し、
受信した指示が、次のバースト内のパルスの生成とスペクトル特性アジャスタが離散状態にある時点との間の時間のずれを示す場合、受信した指示に基づいて、スペクトル特性アジャスタに送信される駆動信号に関連付けられた1つ以上のパラメータを修正する、
ことによって、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態であることを保証するように構成されている、条項A34に記載の装置。
A37.修正される1つ以上のパラメータは、スペクトル特性アジャスタのドライブアクチュエータに供給される駆動信号の周波数及び/又は位相のうち1つ以上を含む、条項A36に記載の装置。
A38.光学装置は、周波数がずれのために修正された場合、次のバーストの開始時に、駆動信号の周波数をパルス繰り返し率と相関するように変更するよう構成されている、条項A37に記載の装置。
A39.光学装置は、1つ以上の固定パラメータに従ってスペクトル特性アジャスタを駆動し、次のパルスバーストを生成するためのリソグラフィ露光装置からの要求を受信することによって、インタフェースでリソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方でスペクトル特性アジャスタを駆動するように構成され、
光学装置は、次のパルスバーストを生成するためのリソグラフィ露光装置からインタフェースで受信される要求の受信に対して次のパルスバーストの生成をゼロよりも大きい時間期間だけ遅延させることによって、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態であることを保証するように構成されている、条項A23に記載の装置。
A40.光学装置は、次のパルスバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタを増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つに駆動することができるまで次のパルスバーストを遅延させることによって、次のパルスバーストの生成を遅延させるように構成されている、条項A39に記載の装置。
A41.光学装置は、増幅光ビームを出力するように構成された少なくとも1つの増幅段を有する光源を含む、条項A23に記載の装置。
A42.スペクトル特性アジャスタはスペクトル特性選択装置の一部であり、スペクトル特性選択装置は、光源から前駆光ビームを受けると共に、
前駆光ビームと相互作用するように配置された分散光学素子と、
分散光学素子と光源との間の前駆光ビームの経路に配置された複数のプリズムと、
を含む、条項A41に記載の装置。
A43.スペクトル特性アジャスタは複数のプリズムのうちのプリズムの1つであり、スペクトル特性アジャスタの離散状態セットは、前駆光ビームがプリズムと相互作用するプリズムの離散位置セットである、条項A42に記載の装置。
A44.プリズムは、プリズム軸を中心として離散角度セットに回転させることによって離散位置セット間で駆動される、条項A43に記載の装置。
B1.パルス繰り返し率で増幅光ビームのパルスのバーストを生成するよう光源に命令することと、
生成したパルスをリソグラフィ露光装置に送出することと、
パルスバーストの生成中に、パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することであって、各離散状態は増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中のスペクトル特性の離散値に対応する、スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、パラメータセットによって規定される駆動信号に従ってスペクトル特性アジャスタを駆動することと、
リソグラフィ露光装置に対する命令、スペクトル特性アジャスタに対する駆動信号、及び/又は光源に対する命令のうち1つ以上を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証することと、
を含む方法。
B2.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証することは、スペクトル特性アジャスタに対する駆動信号を調整することを含む、条項B1に記載の方法。
B3.リソグラフィ露光装置から、次のバーストの生成を要求する時に関する指示を受信することを更に含み、
スペクトル特性アジャスタに対する駆動信号を調整することは、リソグラフィ露光装置からの受信した指示に基づいて、スペクトル特性アジャスタに送信される駆動信号のパラメータのうち1つ以上を修正することを含む、条項B2に記載の方法。
B4.スペクトル特性アジャスタに送信される駆動信号の1つ以上のパラメータを修正することは、スペクトル特性アジャスタに送信される駆動信号の周波数及び位相のうち1つ以上を修正することを含む、条項B3に記載の方法。
B5.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つであるように1つ以上のパラメータの修正を可能とするため、次のパルスバーストを生成するためのリソグラフィ露光装置から受信される要求は、リソグラフィ露光装置から受信される指示から充分な時間だけ遅延される、条項B3に記載の方法。
B6.遅延は約25から35ミリ秒(ms)である、条項B5に記載の方法。
B7.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証することは、光源に対する命令を調整することを含む、条項B1に記載の方法。
B8.光源に対する命令を調整することは、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つであるように、次のパルスバーストを生成するためのリソグラフィ露光装置からの要求の受信に対して次のパルスバーストの生成をゼロよりも大きい時間期間だけ遅延させることを含む、条項B7に記載の方法。
B9.次のパルスバーストの生成を時間期間だけ遅延させることは、次のパルスバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタを増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つに駆動することができるまで次のパルスバーストを遅延させることを含む、条項B8に記載の方法。
B10.スペクトル特性アジャスタは、パラメータセットによって規定される駆動信号に従って駆動され続ける、条項B7に記載の方法。
B11.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証することは、リソグラフィ露光装置に対する命令を調整することを含む、条項B1に記載の方法。
B12.リソグラフィ露光装置に対する命令を調整することは、パルスバーストの生成と生成との間のパルスが生成されていない時にどのようにスペクトル特性アジャスタが駆動されるかに関する情報を含む信号を、リソグラフィ露光装置に送信することを含む、条項B11に記載の方法。
B13.リソグラフィ露光装置から次のバーストを生成するためのトリガ要求を受信することを更に含み、トリガ要求は、リソグラフィ露光装置に対する調整された命令に基づき、次のパルスバースト内のパルスが生成される時が、スペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つに達する瞬間と同期されることを保証する、条項B11に記載の方法。
B14.トリガ要求は、光源に対する命令内の電気パルスを遅延させるように調整されている、条項B13に記載の方法。
B15.増幅光ビームのスペクトル特性は増幅光ビームの波長である、条項B1に記載の方法。
B16.バースト内のパルスが生成されるたびに、スペクトル特性アジャスタは離散状態のうち1つになり、増幅光ビームパルスはその離散状態に対応するスペクトル特性を有する、条項B1に記載の方法。
B17.パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することは、増幅光ビームの各パルスごとに増幅光ビームの波長が2つの別個の波長間で変化するようにスペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、条項B1に記載の方法。
B18.パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することは、増幅光ビームの1つおきのパルスごとに増幅光ビームの波長が2つの別個の波長間で変化するようにスペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、条項B1に記載の方法。
B19.離散状態セット間でスペクトル特性アジャスタを駆動することは、正弦波駆動信号に従ってスペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、条項B1に記載の方法。
B20.スペクトル特性アジャスタを駆動することは、前駆光ビームと相互作用する光学系を離散位置間で移動させることを含み、光学系の各離散位置は離散状態に対応し、増幅光ビームは前駆光ビームから生成される、条項B1に記載の方法。
B21.次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つであることを保証することは、次のバースト内の最初のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つであることを保証することを含む、条項B1に記載の方法。
B22.リソグラフィ露光装置と通信するように構成されたインタフェースと、
スペクトル特性アジャスタと、
光源と、
インタフェース、スペクトル特性アジャスタ、及び光源と通信している制御装置であって、
基板をパターニングするためにリソグラフィ露光装置が使用する増幅光ビームのパルスのバーストをパルス繰り返し率で生成するよう光源に命令し、
パルスバースト中に、パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動し、各離散状態は増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中のスペクトル特性の離散値に対応し、
パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、パラメータセットによって規定される駆動信号に従ってスペクトル特性アジャスタを駆動し、
リソグラフィ露光装置に対する命令、スペクトル特性アジャスタに対する駆動信号、及び/又は光源に対する命令のうち1つ以上を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証する、
ように構成された制御装置と、
を備える装置。
B23.制御装置は、スペクトル特性アジャスタに対する駆動信号を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証するように構成されている、条項B22に記載の装置。
B24.制御装置は、リソグラフィ露光装置から、インタフェースを経由して、次のバーストの生成を要求する時に関する指示を受信するように構成され、
制御装置は、リソグラフィ露光装置からの受信した指示に基づいて、スペクトル特性アジャスタに送信される駆動信号のパラメータのうち1つ以上を修正することにより、スペクトル特性アジャスタに対する駆動信号を調整する、条項B23に記載の装置。
B25.制御装置は、スペクトル特性アジャスタに送信される駆動信号の周波数及び位相のうち1つ以上を修正することによって、スペクトル特性アジャスタに送信される駆動信号の1つ以上のパラメータを修正するように構成されている、条項B24に記載の方法。
B26.制御装置は、光源に対する命令を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証するように構成されている、条項B22に記載の装置。
B27.制御装置は、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つであるように、次のパルスバーストを生成するためのリソグラフィ露光装置からの要求の受信に対して次のパルスバーストの生成をゼロよりも大きい時間期間だけ遅延させることによって、光源に対する命令を調整する、条項B26に記載の装置。
B28.制御装置は、次のパルスバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタを増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つに駆動することができるまで次のパルスバーストを遅延させることによって、次のパルスバーストの生成を時間期間だけ遅延させる、条項B27に記載の装置。
B29.制御装置は、パラメータセットによって規定される駆動信号に従ってスペクトル特性アジャスタを駆動し続ける、条項B27に記載の装置。
B30.制御装置は、リソグラフィ露光装置に対する命令を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時にスペクトル特性アジャスタが増幅光ビームのスペクトル特性の離散値に対応する離散状態のうち1つであることを保証するように構成されている、条項B22に記載の装置。
B31.制御装置は、パルスバーストの生成と生成との間のパルスが生成されていない時にどのようにスペクトル特性アジャスタが駆動されるかに関する情報を含む信号を、リソグラフィ露光装置に送信することによって、リソグラフィ露光装置に対する命令を調整する、条項B30に記載の装置。
B32.制御装置は、リソグラフィ露光装置から次のバーストを生成するためのトリガ要求を受信するように構成され、トリガ要求は、リソグラフィ露光装置に対する調整された命令に基づき、次のパルスバースト内のパルスが生成される時が、スペクトル特性アジャスタが離散状態のうち1つに達する瞬間と同期されることを保証する、条項B30に記載の装置。
B33.増幅光ビームのパルスのスペクトル特性は増幅光ビームの波長である、条項B22に記載の装置。
B34.スペクトル特性アジャスタは、制御装置と通信していると共にスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動するように構成されたドライブアクチュエータを含む、条項B22に記載の装置。
B35.スペクトル特性アジャスタは前駆光ビームと光学的に相互作用する光学デバイスを含み、光学デバイスの各離散状態はスペクトル特性アジャスタの離散状態に対応する、条項B34に記載の装置。
B36.光学デバイスの離散状態は、光学デバイスが前駆光ビームと相互作用する離散位置である、条項B35に記載の装置。
B37.光学デバイスは、前駆光ビームが通過するプリズムを含む、条項B35に記載の装置。
B38.光学デバイスはドライブアクチュエータに物理的に結合されている、条項B35に記載の装置。
B39.光源は、
第1のパルス光ビームを発生するように構成された第1のガス放電段と、
第1のパルス光ビームを受け、第1のパルス光ビームを増幅することにより光学装置から増幅光ビームを生成するように構成された第2のガス放電段と、
を含む、条項B35に記載の装置。
B40.光源は、増幅光ビームを出力するように構成された少なくとも1つの増幅段を含む、条項B22に記載の装置。
B41.スペクトル特性アジャスタはスペクトル特性選択装置の一部であり、スペクトル特性選択装置は、光源から前駆光ビームを受けると共に、
前駆光ビームと相互作用するように配置された分散光学素子と、
分散光学素子と光源との間の前駆光ビームの経路に配置された複数のプリズムと、
を含む、条項B22に記載の装置。
B42.スペクトル特性アジャスタは複数のプリズムのうちのプリズムの1つであり、スペクトル特性アジャスタの離散状態セットは、前駆光ビームがプリズムと相互作用するプリズムの離散位置セットである、条項B41に記載の装置。
B43.プリズムは、プリズム軸を中心として離散角度セットに回転させることによって離散位置セット間で駆動される、条項B42に記載の装置。
Claims (23)
- パルス繰り返し率で増幅光ビームのパルスのバーストを生成し、前記パルスをリソグラフィ露光装置に送出することと、
前記パルスバーストの生成中に、前記パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することであって、各離散状態は前記増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中の前記スペクトル特性の離散値に対応し、前記バースト内のパルスが生成されるたびに、前記スペクトル特性アジャスタは前記離散状態のうち1つになり、前記増幅光ビームパルスはその離散状態に対応するスペクトル特性を有する、スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
前記パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、前記リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方で前記スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
次のバースト内のパルスの生成時に、前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の離散値に対応する前記離散状態のうち1つであることを保証することと、
を含む方法。 - 前記リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方で前記スペクトル特性アジャスタを駆動することは、前記パルス繰り返し率と相関する周波数で前記スペクトル特性アジャスタを駆動することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態であることを保証することは、前記パルス繰り返し率におけるパルス間の時間間隔の整数倍となるようにバースト間時間間隔を調整することを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態であることを保証することは、
前記リソグラフィ露光装置から、前記次のバーストの生成を要求する時に関する指示を受信することと、
前記受信した指示が、前記次のバースト内の最初のパルスの生成の時点と前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態にある時点との間の時間のずれを示す場合、前記受信した指示に基づいて、前記スペクトル特性アジャスタの駆動に関連付けられた駆動信号の周波数及び位相のうち1つ以上を修正することと、
を含む、請求項2に記載の方法。 - 前記リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方で前記スペクトル特性アジャスタを駆動することは、1つ以上の固定パラメータに従って前記スペクトル特性アジャスタを駆動することと、前記次のパルスバーストを生成するための前記リソグラフィ露光装置からの要求を受信することと、を含み、
前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが離散状態であることを保証することは、前記次のパルスバーストを生成するための前記リソグラフィ露光装置からの前記要求の受信に対して前記次のパルスバーストの生成をゼロよりも大きい時間期間だけ遅延させることを含む、請求項1に記載の方法。 - リソグラフィ露光装置と通信し、前記リソグラフィ露光装置から情報を受信するように構成されたインタフェースと、
スペクトル特性アジャスタと、
前記インタフェース及び前記スペクトル特性アジャスタと通信している光学装置であって、
基板をパターニングするために前記リソグラフィ露光装置が使用する増幅光ビームのパルスのバーストをパルス繰り返し率で生成し、
前記パルスバーストの生成中に、前記パルス繰り返し率と相関する周波数で前記スペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動し、各離散状態は前記増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中の前記スペクトル特性の離散値に対応し、前記バースト内のパルスが生成されるたびに、前記スペクトル特性アジャスタは前記離散状態のうち1つになり、前記増幅光ビームパルスはその離散状態に対応するスペクトル特性を有し、
前記パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、前記インタフェースにおいて前記リソグラフィ露光装置から受信される情報に関連したやり方で前記スペクトル特性アジャスタを駆動し、
次のバースト内のパルスの生成時に、前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の離散値に対応する前記離散状態のうち1つであることを保証する、
ように構成された光学装置と、
を備える装置。 - 前記増幅光ビームの前記スペクトル特性は前記増幅光ビームの波長である、請求項6に記載の装置。
- 前記光学装置は、前記インタフェース及びドライブアクチュエータと通信している制御装置を含み、前記制御装置は、
前記リソグラフィ露光装置からの前記パルス繰り返し率を含む前記リソグラフィ露光装置からの要求に関する指示を前記インタフェースから受信し、
前記リソグラフィ露光装置から受信した情報に基づく駆動信号を前記ドライブアクチュエータに送信する、
ように構成されている、請求項6に記載の装置。 - 前記スペクトル特性アジャスタは前駆光ビームと光学的に相互作用する光学デバイスを含み、前記光学デバイスの各離散状態は前記スペクトル特性アジャスタの離散状態に対応する、請求項6に記載の装置。
- 前記光学装置は、
第1のパルス光ビームを発生するように構成された第1のガス放電段であって、第1のガス放電チャンバを含み、前記第1のガス放電チャンバは、エネルギ源を収容すると共に、第1の利得媒体を含むガス混合物を包含している、第1のガス放電段と、
前記第1のパルス光ビームを受け、前記第1のパルス光ビームを増幅することにより前記光学装置から前記増幅光ビームを生成するように構成された第2のガス放電段であって、第2のガス放電チャンバを含み、前記第2のガス放電チャンバは、エネルギ源を収容すると共に、第2の利得媒体を含むガス混合物を包含している、第2のガス放電段と、
を含む、請求項6に記載の装置。 - パルス繰り返し率で増幅光ビームのパルスのバーストを生成するよう光源に命令することと、
前記生成したパルスをリソグラフィ露光装置に送出することと、
前記パルスバーストの生成中に、前記パルス繰り返し率と相関する周波数でスペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動することであって、各離散状態は前記増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中の前記スペクトル特性の離散値に対応する、スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
前記パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、パラメータセットによって規定される駆動信号に従って前記スペクトル特性アジャスタを駆動することと、
前記リソグラフィ露光装置に対する命令、前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号、及び/又は前記光源に対する前記命令のうち1つ以上を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の離散値に対応する前記離散状態のうち1つであることを保証することと、
を含む方法。 - 前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の前記離散値に対応する前記離散状態のうち1つであることを保証することは、前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号を調整することを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記リソグラフィ露光装置から、前記次のバーストの生成を要求する時に関する指示を受信することを更に含み、
前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号を調整することは、前記リソグラフィ露光装置からの前記受信した指示に基づいて、前記スペクトル特性アジャスタに送信される前記駆動信号の周波数及び位相のうち1つ以上を修正することを含む、請求項12に記載の方法。 - 前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の前記離散値に対応する前記離散状態のうち1つであることを保証することは、前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態のうち1つであるように、前記次のパルスバーストを生成するための前記リソグラフィ露光装置からの要求の受信に対して前記次のパルスバーストの生成をゼロよりも大きい時間期間だけ遅延させることを含む、前記光源に対する前記命令を調整することを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記パルス繰り返し率と相関する前記周波数で前記スペクトル特性アジャスタを前記離散状態セット間で駆動することは、
前記増幅光ビームの各パルスごとに前記増幅光ビームの波長が2つの別個の波長間で変化するように前記スペクトル特性アジャスタを駆動すること、又は
前記増幅光ビームの1つおきのパルスごとに前記増幅光ビームの前記波長が2つの別個の波長間で変化するように前記スペクトル特性アジャスタを駆動すること、
を含む、請求項11に記載の方法。 - 前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態のうち1つであることを保証することは、前記次のバースト内の最初のパルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記離散状態のうち1つであることを保証することを含む、請求項11に記載の方法。
- リソグラフィ露光装置と通信するように構成されたインタフェースと、
スペクトル特性アジャスタと、
光源と、
前記インタフェース、前記スペクトル特性アジャスタ、及び前記光源と通信している制御装置であって、
基板をパターニングするために前記リソグラフィ露光装置が使用する増幅光ビームのパルスのバーストをパルス繰り返し率で生成するよう前記光源に命令し、
前記パルスバースト中に、前記パルス繰り返し率と相関する周波数で前記スペクトル特性アジャスタを離散状態セット間で駆動し、各離散状態は前記増幅光ビームのスペクトル特性の予め設定された複数の離散値の中の前記スペクトル特性の離散値に対応し、
前記パルスバーストの生成と生成との間の、パルスが生成されていない時、パラメータセットによって規定される駆動信号に従って前記スペクトル特性アジャスタを駆動し、
前記リソグラフィ露光装置に対する命令、前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号、及び/又は前記光源に対する前記命令のうち1つ以上を調整することによって、次のバースト内のパルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の離散値に対応する前記離散状態のうち1つであることを保証する、
ように構成された制御装置と、
を備える装置。 - 前記制御装置は、前記スペクトル特性アジャスタに対する前記駆動信号を調整することによって、前記次のバースト内の前記パルスの生成時に前記スペクトル特性アジャスタが前記増幅光ビームの前記スペクトル特性の前記離散値に対応する前記離散状態のうち1つであることを保証するように構成されている、請求項17に記載の装置。
- 前記スペクトル特性アジャスタは、前記光学装置と通信していると共に前記スペクトル特性アジャスタを前記離散状態セット間で駆動するように構成されたドライブアクチュエータを含む、請求項17に記載の装置。
- 前記スペクトル特性アジャスタは前駆光ビームと光学的に相互作用する光学デバイスを含み、前記光学デバイスの各離散状態は前記スペクトル特性アジャスタの離散状態に対応する、請求項19に記載の装置。
- 前記光学デバイスの離散状態は、前記光学デバイスが前記前駆光ビームと相互作用する離散位置である、請求項20に記載の装置。
- 前記光学デバイスは、前記前駆光ビームが通過するプリズムを含む、請求項20に記載の装置。
- 前記光源は、前記増幅光ビームを出力するように構成された少なくとも1つの増幅段を含む、請求項17に記載の装置。
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