TW202004353A - 脈衝光束之光譜特徵選擇及脈衝時序控制 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種方法，該方法包括：在以一脈衝重複率產生一脈衝叢發時，以與該脈衝重複率相關之一頻率在一組離散狀態中驅動一光譜特徵調整器；及在該等脈衝叢發之該產生之間(在無脈衝產生時)，根據由一組參數定義之一驅動信號驅動該光譜特徵調整器。每一離散狀態對應於一光譜特徵之一離散值。該方法包括藉由調整以下各者中之一或多者確保當下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中：至微影曝光設備之一指令、至該光譜特徵調整器之該驅動信號，及/或至光學源之該指令。

Description

脈衝光束之光譜特徵選擇及脈衝時序控制
所揭示標的物係關於控制自供應光至一微影曝光設備之一光學源輸出的一光束之一光譜特徵(諸如頻寬或波長)。
在半導體微影(或光微影)中，製造積體電路(IC)需要對半導體(例如，矽)基板(其亦被稱為晶圓)執行的多種物理及化學程序。微影曝光設備(其亦稱作掃描器)為將所要圖案施加至基板之目標區上的機器。晶圓經固定至載物台，使得晶圓大體上沿著由掃描器之正交XL 方向及YL 方向定義之影像平面延伸。晶圓係藉由一光束輻照，該光束具有在紫外光範圍中(在可見光與x射線之間的某處)之波長，且因此具有在約10奈米(nm)至約400 nm之間的波長。因此，光束可具有在深紫外線(DUV)範圍中之波長(例如，具有可自約100 nm降至約400 nm之波長)，或在極遠紫外(EUV)範圍中之波長(具有在約10 nm與約100 nm之間的波長)。此等波長範圍並不準確，且可存在光被視為DUV抑或EUV之間的重疊。
光束沿著一軸向方向行進，該軸向方向與掃描器之ZL 方向對應。掃描器之ZL 方向正交於影像平面(XL -YL )。光束穿過光束遞送單元，經由光罩(或遮罩)過濾，且隨後投射至所製備之晶圓上。晶圓與光束之間的相對位置係在影像平面中移動且程序在晶圓之每一目標區處重複。以此方式，晶片設計被圖案化至光阻上，該光阻隨後進行蝕刻及清洗，且接著重複該程序。
對自諸如雷射器之光學源輸出的光束之光譜特徵或特性(例如頻寬或波長)的準確知識在許多科學及工業應用中係重要的。舉例而言，光學源頻寬之準確知識用於使得能夠控制深紫外線(DUV)光學微影中之最小特徵尺寸或臨界尺寸(CD)。臨界尺寸為印刷在半導體基板(亦被稱作晶圓)上之特徵大小且因此CD可能需要精細大小控制。
在一些一般態樣中，一種方法包括：以一脈衝重複率產生經放大光束之脈衝叢發及將該等脈衝導引至微影曝光設備。該方法包括在產生該脈衝叢發時，以與該脈衝重複率相關之頻率在一組離散狀態中驅動光譜特徵調整器。每一離散狀態對應於光譜特徵之複數個預設離散值中的經放大光束之光譜特徵之離散值，使得每當產生叢發中之脈衝時，光譜特徵調整器係在離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝具有對應於彼離散狀態的光譜特徵。該方法包括在脈衝之叢發的產生之間及在無脈衝產生時，以與自微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動光譜特徵調整器。此外，該方法包括確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵的離散值的離散狀態中之一者中。
實施方案可包括以下特徵中之一或多者。舉例而言，光譜特徵調整器可藉由以與脈衝重複率相關的頻率驅動光譜特徵調整器以與自微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動。該方法可藉由調整叢發間時間間隔使得叢發間時間間隔為針對脈衝重複率之脈衝之間的時間間隔的整數倍確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中。叢發間時間間隔可為叢發中之最後脈衝與下一叢發中之第一脈衝之間的時間間隔。
該方法可藉由以下各者確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中：自微影曝光設備接收關於其將請求下一叢發之產生的時間之指示；且若所接收指示指示下一叢發中之第一脈衝的產生與光譜特徵調整器在離散狀態中的時間之間的時間失配，則基於所接收指示修改與驅動光譜特徵調整器相關聯的一或多個參數。與驅動光譜特徵調整器相關聯的一或多個參數可藉由修改與光譜特徵調整器相關聯的驅動信號之頻率及相位中之一或多者而修改。該方法亦可包括若驅動光譜特徵調整器所藉以之頻率歸因於失配而經修改，則將在下一叢發開始時驅動光譜特徵調整器之頻率改變為與脈衝重複率相關。
經放大光束之光譜特徵可為該經放大光束之波長。經放大光束之波長可在深紫外線範圍中。光譜特徵調整器可以與脈衝重複率相關的頻率在該組離散狀態中藉由驅動光譜特徵調整器使得對於經放大光束之每一脈衝，經放大光束之波長在兩個相異波長之間改變來驅動。
光譜特徵調整器可以與脈衝重複率相關的頻率在該組離散狀態中藉由驅動光譜特徵調整器使得對於經放大光束之每隔一個脈衝，經放大光束之波長在兩個相異波長之間改變來驅動。
光譜特徵調整器可在該組離散狀態中藉由根據正弦驅動信號驅動光譜特徵調整器來驅動。
光譜特徵調整器可藉由在離散位置之間移動與前導光束(pre-cursor light beam)相互作用的光學件來驅動。光學件之每一離散位置對應於離散狀態，且經放大光束由前導光束形成。與光束相互作用的光學件可藉由旋轉前導光束行進穿過的稜鏡而移動。
驅動光譜特徵調整器之頻率可為脈衝重複率之二分之一。驅動光譜特徵調整器之頻率可為脈衝重複率之四分之一。
該方法可藉由確保當下一叢發中之初始脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中而確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中。
光譜特徵調整器可藉由根據一或多個固定參數驅動光譜特徵調整器及自微影曝光設備接收產生下一脈衝叢發的請求以與自微影曝光設備接收到之資訊有關的方式來驅動。該方法可藉由將下一脈衝叢發的產生相對於產生下一脈衝叢發之請求自微影曝光設備的接收延遲大於零的時間段而確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中。可藉由延遲下一脈衝叢發直至當產生下一脈衝叢發中之脈衝時光譜特徵調整器可經驅動至對應於經放大光束的光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者為止而將下一脈衝叢發之產生延遲該時間段。
來自微影曝光設備之與在脈衝叢發之產生之間及當無脈衝叢發產生時驅動光譜特徵調整器之方式有關的資訊可在叢發結束之前接收。來自微影曝光設備之與在脈衝叢發之產生之間及當無脈衝叢發產生時驅動光譜特徵調整器之方式有關的資訊可在脈衝叢發的產生之間接收。
該方法可藉由發送信號至微影曝光設備確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中。該信號包括與在脈衝叢發之產生之間及在無脈衝產生時如何驅動光譜特徵調整器有關的資訊。
在其他一般態樣中，一種設備包括：一介面，其經組態以與微影曝光設備通信，並自微影曝光設備接收資訊；一光譜特徵調整器；及一光學設備，其與介面及光譜特徵調整器通信。光學設備經組態以：以一脈衝重複率產生經放大光束之脈衝叢發以供微影曝光設備用於圖案化基板；在產生脈衝叢發時，以與脈衝重複率相關之頻率在一組離散狀態中驅動光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的經放大光束的光譜特徵之離散值，使得每當產生叢發中之脈衝時，光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝具有對應於彼離散狀態的光譜特徵；在脈衝叢發之產生之間及在無脈衝產生時，以與在介面處自微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動光譜特徵調整器；及確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中。
實施方案可包括以下特徵中之一或多者。舉例而言，經放大光束之光譜特徵可為經放大光束之波長。
光譜特徵調整器可包括與光學設備通信且經組態以在該組離散狀態中驅動光譜特徵調整器的驅動致動器。光學設備可包括與介面及驅動致動器通信的控制設備。控制設備可經組態以：自介面接收關於來自微影曝光設備之請求的指示，該等請求包括來自微影曝光設備之脈衝重複率；及發送一驅動信號至驅動致動器，其中該驅動信號係基於自微影曝光設備接收到之資訊。經發送至驅動致動器的驅動信號可為正弦驅動信號。
光譜特徵調整器可包括與前導光束以光學方式相互作用的光學裝置，且光學裝置之每一離散狀態可對應於光譜特徵調整器之離散狀態。光學裝置之離散狀態可為光學裝置與前導光束相互作用的離散位置。光學裝置可包括前導光束穿過之稜鏡。光學裝置可實體耦接至驅動致動器。
光學設備可包括：第一氣體放電載物台，其經組態以產生第一脈衝光束；及第二氣體放電載物台，其經組態以接收第一脈衝光束並放大第一脈衝光束以藉此自光學設備產生經放大光束。
第一氣體放電載物台可包括一第一氣體放電腔室，其容納一能量源且含有包括一第一增益介質之一氣體混合物；且第二氣體放電載物台可包括一第二氣體放電腔室，其容納一能量源且含有包括一第二增益介質之氣體混合物。
光學設備可經組態以藉由以與脈衝重複率相關的頻率驅動光譜特徵調整器以與在介面處自微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動光譜特徵調整器。光學設備可經組態以藉由調整叢發間時間間隔使得叢發間時間間隔為針對脈衝重複率的脈衝之間的時間間隔之整數倍確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中，其中叢發間時間間隔為在最後脈衝與下一叢發中之脈衝之間的時間間隔。
光學設備可經組態以藉由以下各者確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中：自介面接收關於微影曝光設備將請求下一叢發之產生的時間的指示；及若所接收指示指示下一叢發中之脈衝的產生與光譜特徵調整器在離散狀態中的時間之間的時間失配，則基於所接收指示修改與發送至光譜特徵調整器的驅動信號相關聯之一或多個參數。經修改的一或多個參數可包括被供應至光譜特徵調整器之驅動致動器的驅動信號之頻率及/或相位中之一或多者。光學設備可經組態以若歸因於失配修改頻率，則在下一叢發開始時將驅動信號之頻率改變為與脈衝重複率相關。
光學設備可經組態以藉由根據一或多個固定參數驅動光譜特徵調整器及自微影曝光設備接收產生下一脈衝叢發的請求以與在介面處自微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動光譜特徵調整器。光學設備可經組態以藉由將下一脈衝叢發的產生相對於在介面處自微影曝光設備接收的請求之接收延遲大於零之時間段確保當下一脈衝叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在一離散狀態中。
光學設備可經組態以藉由延遲下一脈衝叢發之產生直至當產生下一脈衝叢發中之脈衝時光譜特徵調整器可經驅動至對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者為止而延遲下一脈衝叢發的產生。
光學設備可包括具有經組態以輸出經放大光束的至少一個放大級之光學源。光譜特徵調整器可為光譜特徵選擇設備之一部分，光譜特徵選擇設備自光學源接收前導光束。光譜特徵選擇設備包括：色散光學元件，其經配置以與前導光束相互作用；及複數個稜鏡，其在前導光束之路徑中配置於色散光學元件與光學源之間。光譜特徵調整器可為複數個稜鏡中之稜鏡中的一者且光譜特徵調整器之該組離散狀態為前導光束與稜鏡相互作用的稜鏡之一組離散位置。稜鏡可在該組離散位置中藉由圍繞稜鏡軸旋轉至一組離散角而驅動。
在一些一般態樣中，一種方法包括：指示光學源以脈衝重複率產生經放大光束之脈衝叢發，及導引經產生脈衝至微影曝光設備。該方法包括在產生脈衝叢發時，以與脈衝重複率相關之頻率在一組離散狀態中驅動光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的經放大光束之光譜特徵的離散值。該方法包括在產生脈衝叢發之間及在無脈衝產生時，根據由一組參數定義之驅動信號驅動光譜特徵調整器。該方法亦包括藉由調整以下各者中之一或多者確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中：至微影曝光設備之指令、至光譜特徵調整器之驅動信號，及/或至光學源的指令。
實施方案可包括以下特徵中之一或多者。舉例而言，方法可藉由調整至光譜特徵調整器之驅動信號確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中。該方法可包括自微影曝光設備接收關於其將請求下一叢發之產生的時間的指示。至光譜特徵調整器之驅動信號可藉由基於自微影曝光設備該接收之指示修改經發送至光譜特徵調整器的驅動信號之參數中之一或多者而調整。經發送至光譜特徵調整器的驅動信號之一或多個參數可藉由修改經發送至光譜特徵調整器的驅動信號之頻率及相位中之一或多者而修改。自微影曝光設備接收的對於下一叢發之產生的請求可自自微影曝光設備接收到之指示延遲足夠時間以便實現一或多個參數的修改使得當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中。延遲可為約25至35毫秒(ms)。
該方法可藉由調整至光學源之指令確保當下一叢發中之初始脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中。至光學源之指令可藉由將下一脈衝叢發之產生相對於產生下一脈衝叢發的請求自微影曝光設備的接收延遲大於零之時間段使得當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中而調整。可藉由延遲下一脈衝叢發直至當下一脈衝叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器可經驅動至對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者為止而延遲下一脈衝叢發之產生。該方法包括當調整至光學源之指令時繼續根據由該組參數定義之驅動信號驅動光譜特徵調整器。
該方法可藉由調整至微影曝光設備的指令確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中。至微影曝光設備之指令可藉由發送一信號至微影曝光設備而調整，該信號包括與在脈衝叢發之產生之間並在無脈衝產生時如何驅動光譜特徵調整器相關的資訊。該方法可包括自微影曝光設備接收對於下一叢發之產生的觸發請求。觸發請求係基於至微影曝光設備的經調整指令且確保產生下一脈衝叢發中之脈衝的時間與光譜特徵調整器達到離散狀態中之一者的時刻同步。觸發請求可經調整以藉此延遲至光學源之指令中的電脈衝。
經放大光束之光譜特徵可為該經放大光束之波長。
每當產生叢發中之脈衝時，光譜特徵調整器可在離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝可具有對應於彼離散狀態的光譜特徵。
光譜特徵調整器可以與脈衝重複率相關的頻率在該組離散狀態中藉由驅動光譜特徵調整器使得對於經放大光束之每一脈衝，經放大光束之波長在兩個相異波長之間改變來驅動。光譜特徵調整器可以與脈衝重複率相關的頻率在該組離散狀態中藉由驅動光譜特徵調整器使得對於經放大光束之每隔一個脈衝，經放大光束之波長在兩個相異波長之間改變來驅動。
光譜特徵調整器可在該組離散狀態中藉由根據正弦驅動信號驅動光譜特徵調整器來驅動。
光譜特徵調整器可藉由在離散位置之間移動與前導光束相互作用的光學件驅動，光學件之每一離散位置對應於離散狀態，且經放大光束由前導光束形成。
該方法可藉由確保當下一叢發中之初始脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中而確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中。
在其他一般態樣中，一設備包括：一介面，其經組態以與微影曝光設備通信；一光譜特徵調整器；一光學源；及一控制設備，其與該介面、該光譜特徵調整器及該光學源通信。控制設備經組態以：指示該光學源以脈衝重複率產生經放大光束之脈衝叢發以供微影曝光設備用於圖案化基板；在產生脈衝叢發時，以與脈衝重複率相關之頻率在一組離散狀態中驅動光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於光譜特徵之複數個預設離散值中的經放大光束的光譜特徵之離散值；在脈衝叢發之產生之間及在無脈衝產生時，根據由一組參數定義之驅動信號驅動光譜特徵調整器；及藉由調整以下各者中之一或多者確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束的光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中：至微影曝光設備之指令、至光譜特徵調整器之驅動信號，及/或至光學源之指令。
實施方案可包括以下特徵中之一或多者。舉例而言，控制設備可經組態以藉由調整至光譜特徵調整器的驅動信號確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中。控制設備可經組態以自微影曝光設備接收關於其將憑藉介面請求下一叢發之產生的時間的一指示；且控制設備可藉由基於自微影曝光設備接收之指示修改經發送至光譜特徵調整器的驅動信號之參數中之一或多者而調整至光譜特徵調整器之驅動信號。控制設備可經組態以藉由修改經發送至光譜特徵調整器的驅動信號之頻率及相位中之一或多者而修改經發送至光譜特徵調整器的驅動信號之一或多個參數。
控制設備可經組態以藉由調整至光學源之指令確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中。控制設備可藉由將下一脈衝叢發之產生相對於產生下一脈衝叢發的請求之自微影曝光設備的接收延遲大於零之時間段使得當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在離散狀態中之一者中而調整至光學源之指令。該控制設備可藉由延遲下一脈衝叢發直至當產生下一脈衝叢發中之脈衝時光譜特徵調整器可經驅動至對應於經放大光束的光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者為止而將下一脈衝叢發之產生延遲該時間段。控制設備可繼續根據由該組參數定義之驅動信號驅動光譜特徵調整器。
控制設備可經組態以藉由調整至微影曝光設備之指令確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中。控制設備可藉由發送一信號至微影曝光設備而調整至微影曝光設備之指令，該信號包括與在脈衝叢發之產生之間及在無脈衝產生時如何驅動光譜特徵調整器相關的資訊。控制設備可經組態以自微影曝光設備接收對於下一叢發之產生的觸發請求(該觸發請求係基於至微影曝光設備的經調整指令)，且確保產生下一脈衝叢發中之脈衝的時間與光譜特徵調整器達到離散狀態中之一者的時刻同步。
經放大光束之光譜特徵可為該經放大光束之波長。
光譜特徵調整器可包括與控制設備通信且經組態以驅動在該組離散狀態中之光譜特徵調整器的驅動致動器。光譜特徵調整器可包括與前導光束以光學方式相互作用的光學裝置，且光學裝置之每一離散狀態可對應於光譜特徵調整器之離散狀態。光學裝置之離散狀態可為光學裝置與前導光束相互作用的離散位置。光學裝置可包括前導光束穿過之稜鏡。
光學裝置可實體耦接至驅動致動器。
光學源可包括：第一氣體放電載物台，其經組態以產生第一脈衝光束；及第二氣體放電載物台，其經組態以接收第一脈衝光束並放大第一脈衝光束以藉此自光學源產生經放大光束。
光學源可包括經組態以輸出經放大光束之至少一個放大級。
光譜特徵調整器可為光譜特徵選擇設備之一部分，光譜特徵選擇設備自光學源接收前導光束。光譜特徵選擇設備可包括：色散光學元件，其經配置以與前導光束相互作用；及複數個稜鏡，其在前導光束之路徑中配置於色散光學元件與光學源之間。光譜特徵調整器可為複數個稜鏡中之稜鏡中的一者且光譜特徵調整器之該組離散狀態為前導光束與稜鏡相互作用的稜鏡之一組離散位置。稜鏡可在該組離散位置中藉由圍繞稜鏡軸旋轉至一組離散角而驅動。
參看圖1，設備100經設計以確保當經放大光束110之脈衝叢發120中之脈衝115在無脈衝產生的叢發間空隙125之後產生時光譜特徵調整器105在離散狀態中。光譜特徵調整器105為調整經放大光束110之至少一個光譜特徵(諸如，波長或頻寬)的裝置或設備。光譜特徵調整器105可為經組態以控制或調整經放大光束110之一或多個光譜特徵的任何設備。光譜特徵調整器105之離散狀態對應於經放大光束110之光譜特徵的離散值。經放大光束110係藉由光學設備130產生，且經放大光束110被供應至微影曝光設備135，該微影曝光設備使用經放大光束110用於圖案化基板140。光譜特徵之離散值為微影曝光設備135所要的光譜特徵之一組離散值中的一者。有可能存在對應於或產生經放大光束110之光譜特徵之特定值的光譜特徵調整器105之離散狀態的窄範圍。因此，術語「光譜特徵調整器之離散狀態」包括對應於經放大光束110之光譜特徵之特定所要值的光譜特徵調整器105之離散狀態的窄範圍。
微影曝光設備135設定對於經放大光束110之一或多個光譜特徵之值的要求以便在基板140上產生所要圖案化或微影結果。微影曝光設備135取決於基板140之圖案化而需要來自經放大光束110的特定光譜特徵或光譜特徵之集合。
在一個實例中，微影曝光設備135當用以圖案化基板140時需要經放大光束110之每一脈衝具有自複數個離散光譜特徵當中選擇的光譜特徵。可需要經放大光束110之波長在逐脈衝基礎上在一組離散且不同的值中改變。此可意謂波長對於每一相鄰及連續脈衝發生變化。替代地，波長對於每隔一個脈衝發生變化(因此，波長對於兩個連續脈衝保持在一個離散值且對於兩個連續脈衝保持在另一個離散值，等等)。
舉例而言，自微影曝光設備135之觀點來看，改變波長可得到有價值的結果。特定言之，當經放大光束110穿過微影曝光設備135時該經放大光束上的色像差可引起經放大光束110之波長與基板140處經放大光束110之脈衝的焦平面(沿軸向方向，該軸向方向正交於基板140之影像平面XL -YL )之位置之間的相關性。且，可能需要在經放大光束110與基板140相互作用或照射在基板140上時改變經放大光束110之焦平面。因此，藉由改變經放大光束110之波長，可調整經放大光束110之焦平面。在此實例中，微影曝光設備135指示光學設備130以基板140之此圖案化所需要的方式調整波長。
另外，在基板140上圖案化的微電子特徵之大小取決於經放大光束110之波長，其中較低波長導致較小最小特徵大小或臨界尺寸。當經放大光束110之波長為248 nm或193 nm時，微電子特徵之最小大小可為例如50 nm或更小。因為常常需要在基板140上圖案化愈來愈小之特徵，所以經放大光束110之脈衝的波長圍繞在深紫外線(DUV)範圍中的波長居中，例如具有可自約10奈米(nm)降至約400 nm的波長。經放大光束110之波長係自產生經放大光束110之光學設備130內的增益介質的組成判定，如下文所論述。
設備100包括實現微影曝光設備135與光學設備130之間的通信通道(其可為有線或無線) 131之介面145。舉例而言，資訊經由介面145自微影曝光設備135輸送至光學設備130。光學設備130自微影曝光設備135接收的資訊可包括自微影曝光設備135至光學設備130的改變經放大光束110之一或多個特性的請求。介面145可另外自光學設備130提供資訊至微影曝光設備135。光學設備130亦包括產生經放大光束110之光學源150，及與介面145、光學源150及光譜特徵調整器105通信的控制設備180。光學設備130可包括圖1中未展示之其他組件。
為了觀察設備100之操作，參考圖2A中的時序圖200以及圖2B中所示之圖式200的近距視圖2B的實例。時序圖200僅僅展示經放大光束110的脈衝115之兩個叢發120以及一個叢發間空隙125。在此實例中，微影曝光設備135發送觸發信號206至介面145，此觸發信號206經輸送至光學設備130，且作為回應，光學設備130發送驅動信號217至光譜特徵調整器105。光譜特徵調整器105之實際狀態(其基於驅動信號217而變化)係由波形218表示。光譜特徵調整器105自圖式200上的等於0之時間處的休眠狀態驅動至圖式200上的等於t(ss)之時間處的穩定狀態。
在此實例中，時序圖200之區A對應於在時間0處開始並在叢發間空隙125(圖中未示)之後出現的第一叢發120A，第一叢發120A後面是區B中出現的叢發間空隙125B，叢發間空隙125B後面是在時序圖200之區C中出現的第二叢發120C。圖2A及圖2B之實例為意謂展示基本原理且其可並未按比例繪製的示意圖。舉例而言，在圖2A及圖2B中，每一叢發120包括12個脈衝115。然而，有可能脈衝115之叢發120包括自數十至數百或數千脈衝之任何位置且有可能叢發間空隙125B比由時序圖200表示之空隙更長或更短。時序圖200僅作為一個實例提供以展示基本原理。
觸發信號206可呈電脈衝207列之形式，其中相鄰脈衝207時間上分開一間隔(其可為某些時間框之恆定間隔)。觸發信號206之列中的每一電脈衝207指示光學設備130產生待提供至微影曝光設備135的經放大光束110之脈衝115。時序圖200展示觸發信號206、經放大光束110之脈衝115的列211、光學設備130提供至光譜特徵調整器105的驅動信號217及光譜特徵調整器105之實際狀態的波形218之間的關係之一個實例。控制設備180與介面145及亦與光譜特徵調整器105相關聯的驅動致動器(諸如圖5中展示的驅動致動器570)通信。控制設備180經組態以自介面145接收關於來自微影曝光設備135之請求的指示，此等請求包括與脈衝重複率相關的資訊。經發送至驅動致動器570的驅動信號217係基於自微影曝光設備135接收到之此資訊。
在此實例中展示的驅動信號217具有三角形、連續及週期性形式。然而，驅動信號217不限於三角形形式。其他形狀係可能的，諸如正弦驅動信號或正方形形狀驅動信號，如稍後詳細論述。驅動信號217為以經過各種位置或狀態的連續方式驅動或修改光譜特徵調整器105以使光譜特徵調整器105在各種時刻存在於複數個目標離散狀態(例如，在第一狀態218a處及在第二狀態218b處)中之一者中的任何信號形狀。雖然圖2A中僅僅展示兩個目標離散狀態218a及218b，但有可能存在多於兩個目標或所要的離散狀態。舉例而言，有可能中間狀態(諸如狀態218a與218b之間的狀態)為目標或所要狀態。
雖然此未在圖2A及圖2B中展示，但當適當地操作時(例如在穩定狀態期間及當信號(諸如脈衝串211、驅動信號217及波形218)經適當地對準時)，複數個中之每一目標離散狀態218a及218b對應於經放大光束110之光譜特徵的離散及目標值。另外，驅動信號217亦在目標離散狀態218a與218b之間沿著波形218上之全部狀態驅動光譜特徵調整器105。因此，若當光譜特徵調整器105存在於中間狀態(例如在區A中之時刻218c處)中時產生脈衝115，則彼脈衝115將具有並非為藉由微影曝光設備135定目標或需要的光譜特徵中之一者的光譜特徵。參看區C在下文更詳細地論述此情形。
光譜特徵調整器105之實際狀態由波形218表示。光譜特徵調整器105之狀態可為光譜特徵調整器105之位置。此外，因為光譜特徵調整器105之每一位置對應於光譜特徵之特定值，所以當產生脈衝115時在波形218處的值提供脈衝115之實際光譜特徵。
運用在第一狀態218a中之光譜特徵調整器105同時產生的經放大光束110之脈衝115具有第一目標光譜特徵(例如第一波長)。運用在第二狀態218b中之光譜特徵調整器105同時產生的經放大光束110之脈衝115具有第二目標光譜特徵(例如第二波長)。第一及第二光譜特徵為目標或所要光譜特徵以供微影曝光設備135使用。微影曝光設備135需要當產生每一脈衝115時光譜特徵調整器105在對應於經放大光束110的光譜特徵之離散及目標值的離散狀態(218a或218b)中之一者中。
如區A中所示，在叢發120A之開始處，在光學設備130處(經由介面145)接收第一觸發脈衝207_1A。然而，光學設備130在時間延遲t1 (相對於第一觸發脈衝207_1A量測)之後產生經放大光束110之第一脈衝115_1A。此時間延遲t1為光學設備130之設計所固有，此係因為光學設備130需要某一時間量對第一觸發脈衝207_1A作出反應。舉例而言，光學設備130處理(接收並分析)第一觸發脈衝207_1A，且接著提供一信號至光學源150以產生第一脈衝115_1A。在接收第一觸發脈衝207_1A與產生經放大光束110之第一脈衝115_1A之間花費的時間對應於此時間延遲t1。此外，此時間延遲t1傳遞至彼叢發120A中的脈衝115之列211中之每一脈衝115。此意謂列211中之每一脈衝115相對於指示光學設備130產生彼特定脈衝的電觸發脈衝207而延遲。此外，一般而言，此時間延遲t1對於列211中之每一脈衝115係相同的，此係因為自接收到電觸發脈衝207之時刻與產生對應脈衝115的時刻所花費的時間通常不變化。
在區A中(及亦在區B及C中)，經放大光束110之脈衝重複率Rp保持恆定。經放大光束110之脈衝重複率Rp為藉由光學設備130產生經放大光束110之脈衝115之速率。經放大光束110之脈衝重複率Rp為1/τ，其中τ為相鄰脈衝115之產生之間的時間。此外，相鄰脈衝115之產生之間的此時間τ亦為相鄰電觸發脈衝207之產生之間的時間。在一些實施方案中，脈衝重複率Rp數量級為千赫茲(kHz)，諸如6 kHz且在此實例中相鄰脈衝115之產生之間的時間τ為167微秒(µs)。經放大光束110之脈衝重複率Rp藉由微影曝光設備135設定。因此，脈衝重複率Rp為自微影曝光設備135輸送至介面145的資訊之部分。常常，微影曝光設備135需要重複率Rp對於經放大光束110之脈衝115的特定叢發120保持恆定(或在特定範圍內)。
此外，每一脈衝115 (其並未在圖2A及圖2B中輸送)之持續時間比相鄰脈衝之間的時間τ小得多。脈衝115之持續時間可為期間脈衝115之強度超過最小強度的時間。在一些實施方案中，脈衝115之持續時間至少為小於時間τ的數量級。舉例而言，脈衝115之持續時間可為約數十或數百(例如100)奈秒(ns)，且相鄰脈衝115之間的時間τ可為約167 µs。
雖然圖2A及圖2B中未展示，但替代地可能微影曝光設備135請求光學設備130改變經放大光束110之脈衝重複率Rp。此改變可在產生叢發120的時間之外(亦即，在該時間之前)經輸送至光學設備130。或，此改變可藉由接收觸發信號206中之電觸發脈衝207的速率之改變來輸送。在一些實施方案中，作為有助於光學設備130準備光譜特徵調整器105的方式，微影曝光設備135在下一叢發開始之前傳達一所意欲、定目標或規劃的重複率。但此單獨傳達不影響重複率的改變，此係因為實際改變將藉由觸發信號206之改變而輸送。脈衝重複率Rp之改變在時序圖200中作為相鄰觸發器脈衝206之間的時間改變(其導致τ(相鄰脈衝115之產生之間的時間)的改變)出現。
驅動信號217具有由控管驅動信號217之形狀的一組參數定義之形式或形狀。一個參數為頻率ω，或每單位時間驅動信號217之循環之出現的數目。頻率ω與完成一個循環所花費的時間κ(例如，自值217a變成值217b並返回至值217a(一個循環)所花費的時間)成反比。驅動信號217之另一參數為相位，其對應於在特定時間的形式之位置。在一些實施方案中，驅動信號217之頻率ω等於經放大光束110之脈衝重複率Rp或為該脈衝重複率Rp整數倍以便確保每一脈衝之產生與在離散狀態218a或218b中之一者中的光譜特徵調整器105一致。舉例而言，若脈衝重複率Rp為6000 Hz，則頻率ω可為6000 Hz或12,000 Hz。在其他實施方案中，驅動信號217之頻率ω為經放大光束110之脈衝重複率Rp的分數(例如，二分之一或四分之一)。舉例而言，若脈衝重複率Rp為6000 Hz，則頻率ω可為3000 Hz或1500 Hz。
光譜特徵調整器105之波形218係藉由驅動信號217判定。因此，在時間0處驅動信號217的開頭開始光譜特徵調整器105之操作。在此實例中，在時序圖200之區A中，光譜特徵調整器105在時間0處自休眠狀態驅動。亦即，在時間0之前，設備100之狀態可為如此使得無脈衝115產生。舉例而言，設備100可在圖式200中之時間0之前在無脈衝產生的叢發間空隙125中操作。自脈衝產生之觀點，不必要繼續在叢發間空隙125期間驅動光譜特徵調整器105，此係因為此時不需要產生脈衝115。因此，在時序圖200之此特定實例中，驅動信號217在時間0之前中斷，且由於此，光譜特徵調整器105實際上在時間0之前中斷。舉例而言，光譜特徵調整器105內之與經放大光束(其形成經放大光束110)相互作用的光學元件的旋轉或平移係在時間0 (時序圖200的開始)之前及在叢發間空隙125期間中斷。在此情形下，經發送至光譜特徵調整器105的驅動信號217在時間0處(在其接收到觸發信號206之第一脈衝207後)再開始。在叢發120A中的驅動信號217之再開始使得光譜特徵調整器105被再次驅動。舉例而言，驅動信號217開始光譜特徵調整器105內之光學元件的旋轉或平移。然而，如自時序圖200顯而易見，在時間0處自中斷起的此再開始引起可導致脈衝115之時序與光譜特徵調整器105在兩個狀態218a及218b中之一者中時的時刻之間的失配的若干問題。
首先，光譜特徵調整器105為經歷動態定位暫態之實體設備，且其對此再開始的相位回應(亦即，其花費多長時間自中斷或休眠狀態轉變至時間t(ss)處之穩定狀態)隨其對此等暫態的回應而變。暫態為由於系統中電壓或負載之急劇變化而在系統中(且特定言之在光譜特徵調整器105之操作中)出現的暫時振盪或變化(例如，振鈴、方向之過早反向、較高頻率週期)。此係因為光譜特徵調整器105為其相位回應隨驅動其所藉以之頻率而變的動態系統之一部分且包括組件(諸如驅動致動器570，如圖5中所示，及類比電路)。特定言之，光譜特徵調整器105經歷以驅動光譜特徵調整器105之方式且以複雜方式調節或影響正確時序的定位暫態。此等暫態在波形218之形狀中顯而易見，該波形並不規則且此外並不適當地對準狀態218a及218b與每一脈衝115之產生。光譜特徵調整器105不具有對其輸入信號(驅動信號217)之瞬時回應。如自波形218之形狀顯而易見，光譜特徵調整器105在其在時間t(ss)周圍某處安定至穩定狀態操作中之前在相當長一段時間被驅動於暫態或中間狀態中。
此外，光譜特徵調整器105進入其穩定狀態操作的時間t(ss)可或可不出現在當前叢發120A中或甚至下一叢發間空隙125B中。光譜特徵調整器105之穩定狀態操作開始的時刻係藉由特定叢發120A中之脈衝的數目及叢發間空隙125B中之時間量判定，且甚至有可能光譜特徵調整器105可能在其進入其穩定狀態操作之前需要叢發之若干循環。
第二，光學設備130不知曉微影曝光設備135何時將請求脈衝115之另一叢發120。因此，不可能預測光譜特徵調整器105何時應到達穩定狀態，且因此亦不可能預測光譜特徵調整器105何時應存在於兩個狀態218a或218b中之一者中。
在叢發120A之末端(在時序圖200中之區A末端)，微影曝光設備135中斷觸發信號206之產生，此導致來自經放大光束110的脈衝115之列211的停止。在無脈衝產生的此時間(此時間對應於時序圖200之區B及示意性地對應於叢發間空隙125B)期間，微影曝光設備135通常採取直接圖案化基板140以外的其他動作。舉例而言，微影曝光設備135可使用此時間移動基板140至新的位置以用於圖案化基板140之不同區域，如下文更詳細地論述。
在微影曝光設備135準備好恢復執行基板140上之圖案化後，例如，在微影曝光設備135已完成其他全部動作後，微影曝光設備135發送另一觸發脈衝207_1C至介面145以藉此請求光學設備130開始產生經放大光束110的脈衝115之下一叢發120C。區A中之最後觸發脈衝207_12A與區C中之第一觸發脈衝206_1C之間的時間為觸發叢發間時間間隔TL 。光學設備130不能預測微影曝光設備135何時將準備好恢復執行圖案化並請求脈衝115之下一叢發120C。因此，光學設備130預先不知曉觸發叢發間時間間隔TL 。
在觸發叢發間時間間隔TL 期間，產生叢發120A之最後脈衝115_12A且接著叢發間時間間隔T在叢發120A之最後脈衝115_12A與叢發120C之第一脈衝115_1C之間發生。脈衝產生之叢發間時間間隔T在時間上自觸發叢發間時間間隔TL 移位時間t1。此外，叢發間時間間隔T等於觸發叢發間時間間隔TL 。
如上文所論述，自在叢發間時間間隔T期間的脈衝產生之觀點，不必要繼續在叢發間時間間隔T期間驅動光譜特徵調整器105，此係因為此時無脈衝115產生。然而，如上文所論述，光譜特徵調整器105需要大量時間自休眠狀態變成穩定狀態(例如在時間t(ss)處)且在此中間狀態期間，光譜特徵調整器105並非為規則形狀且並不容易預測光譜特徵調整器105何時將在離散狀態218a或218b中之一者中。
解決此等問題之第一步驟係繼續在叢發間時間間隔T期間(亦即，在脈衝115之叢發120A與脈衝115之叢發120C的產生之間)運用驅動信號217驅動光譜特徵調整器105。換言之，在叢發間時間間隔T期間不存在驅動信號217之停止。由於此，光譜特徵調整器105不進入休眠狀態亦確實不需要自休眠狀態轉變至穩定操作狀態且因此避免中間狀態(諸如在時間0與t(ss)之間)，如圖2A中所示。
在叢發間時間間隔T期間以與光學設備130已自微影曝光設備135接收之資訊有關的方式驅動光譜特徵調整器105。自微影曝光設備135接收到之此資訊可在脈衝115之叢發120A結束之前接收。或，自微影曝光設備135接收到之資訊可在叢發間時間間隔T期間接收。
然而，即使光譜特徵調整器105繼續在沒有任何其他變化情況下在叢發間時間間隔T期間被驅動，仍不可能預測微影曝光設備135何時將請求脈衝115之下一叢發120C。脈衝的下一叢發120C中之第一脈衝115_1C將相對於在觸發叢發間時間間隔TL 之後的第一觸發脈衝207_1C延遲時間t1。此時間t1大體已知。然而，在第一脈衝115_1C之產生與光譜特徵調整器105在第一狀態218a中時的時刻之間存在時序失配err_κ。
設備100經設計並操作以確保當叢發120C中之脈衝115_iC (其可或可不為第一或初始脈衝115_1C)產生時光譜特徵調整器105在狀態218a或218b中之一者中。在論述與確保當在其中無脈衝產生的叢發間空隙125之後產生經放大光束110之脈衝的叢發120中之脈衝115時光譜特徵調整器105在離散狀態218a或218b中有關的設備100之結構及操作之前提供設備100之結構及操作的一般描述。
參看圖3，經放大光束110之光譜特徵為經放大光束110之光譜300的任何態樣或表示。光譜300可被稱作發射光譜。光譜300含有關於光能、光譜強度或功率如何在不同波長上分佈之資訊。經放大光束110之光譜300係以其中根據波長(或光學頻率，其與波長成反比) 302標繪光譜強度301 (未必具有絕對校準)之圖或圖表的形式來描繪。
光譜特徵之一個實例為頻寬，其為光譜300之寬度303的量測值。此寬度可依據雷射光之波長或頻率給出。與光譜300之細節有關的任何合適之數學構造(即，度量值)可用以估計表徵經放大光束110之頻寬的值。舉例而言，在光譜300之最大峰值強度的分數(X)處的光譜之全寬(被稱作FWXM)可用以表徵經放大光束110之頻寬。作為另一實例，含有積分光譜強度(被稱作EY)之分數(Y)的光譜300之寬度可用以表徵經放大光束110之頻寬。
光譜特徵之另一實例為波長，其可為在特定(諸如最大)光譜強度下的光譜300之波長值304。
參看圖4，經放大光束110的脈衝115之叢發120可對應於正在微影曝光設備135中圖案化的基板140上之曝光場400。曝光場400為在曝光窗405之一個掃描中曝光的基板140之區域，且曝光窗405為在一個照明劑量中曝光的基板140之照明區域。在微影期間，經放大光束110之複數個脈衝115照明基板140之相同區域以形成照明劑量。照明曝光窗405的經放大光束110之脈衝115的數目N及曝光窗405之大小可藉由在微影曝光設備135內之遮罩415之前置放的曝光狹縫410控制。在一些實施方案中，N之值為幾十，例如自10至100個脈衝。在其他實施方案中，N之值大於100脈衝，例如自100至1000脈衝。叢發120中之脈衝的數目可等於形成照明劑量的脈衝115之數目N。
微影曝光設備135包括一或多個聚光器鏡頭及物鏡配置430以及其他特徵。遮罩415沿著一或多個方向，諸如沿著ZL 方向(其大體上對應於光束110之軸向方向)或在垂直於ZL 方向之XL -YL 平面中，可移動。物鏡配置430包括投影透鏡且使得影像傳送能夠自遮罩415進行至基板140上之光阻。微影曝光設備135亦可包括經組態以均勻化(使)光束110在遮罩415上之強度分佈(均勻)的光束均勻器(圖中未示)。微影曝光設備135可包括微影控制器、空氣調節裝置，及用於各種電氣組件之電力供應器。微影控制器控制層如何經列印於基板140上且亦與介面145通信。
在一些實施方案中，浸沒介質可經供應以覆蓋基板140。該浸沒介質可為用於液體浸沒微影之液體(諸如水)。在微影係乾式系統之其他實施方案中，該浸沒介質可為氣體，諸如乾氮氣、乾空氣或乾淨空氣。在其他實施方案中，基板140可在壓控式環境(諸如真空或部分真空)內曝光。
亦參看圖5，展示光學設備130之實施方案。在此實施方案中，光譜特徵調整器105包括與來自光學源150之前導光束595以光學方式相互作用的至少一個光學裝置551。前導光束595可為最終形成經放大光束110之光束。舉例而言，前導光束595可為尚未被放大的光束。
光譜特徵調整器105包括具有實體耦接至光學裝置551的機械或電磁特徵之驅動致動器570。驅動致動器570憑藉通信通道571與控制設備180通信，該通信通道571可為有線或無線。舉例而言，驅動信號憑藉通信通道571自光學設備130(經由控制設備180)提供至驅動致動器570。驅動致動器570引起光學裝置551被驅動(亦即，被修改、移動或改變)使得光學裝置551在一組離散狀態中改變。舉例而言，光學裝置551可經驅動以沿一路徑連續地移動，且當沿該路徑移動時，光學裝置551可在一組離散位置或部位處休眠或穿過一組離散位置或部位。每一離散位置對應於光譜特徵調整器105之離散狀態。在每一離散位置處，光學裝置551與前導光束595相互作用使得光學裝置551選擇在每一離散位置處的前導光束595之特定預設、定目標或所要的光譜特徵。
控制設備180憑藉通信通道582與光學源150通信，通信通道582可為有線或無線。控制信號可沿通信通道582自控制設備180提供至光學源150以控制藉由光學源150產生的經放大光束110之脈衝的產生。
參看圖6A，展示包括至少一個光學裝置之光譜特徵調整器605之實施方案。在此實施方案中，光譜特徵調整器605包括一組折射光學元件或稜鏡650、651、652、653及繞射光學元件或光柵655。稜鏡及光柵中之任何一或多者可用以調整前導光束595之波長且稜鏡及光柵中之任何一或多者可用以調整前導光束595的頻寬。稜鏡及光柵可經組態以提供對於一或多個光譜特徵之粗略控制，此意味著光譜特徵之變化具有相對較大步長並在相對較慢時間框中發生。稜鏡及光柵可經組態以提供對於一或多個光譜特徵之精細控制，此意味著光譜特徵之變化具有相對較小步長並在相對較快時間框中發生。
稜鏡中之每一者為透射性稜鏡，其用以在前導光束595穿過稜鏡之主體時分散及重新引導前導光束595。稜鏡中之每一者可由准許具有前導光束595之波長的光透射的材料(諸如氟化鈣)製成。此外，儘管展示四個稜鏡，但有可能少於四個或大於四個稜鏡用於光譜特徵調整器605。
光柵655可為經設計以分散及反射前導光束595之反射性光柵；因此，光柵655係由適合於與波長在DUV範圍中之前導光束595相互作用的材料製成。光柵655可為高炫耀角中階梯光柵，且以滿足光柵方程之任何入射角入射於光柵655上的光束595將被反射(繞射)。光柵方程提供光柵655之光譜級、繞射光束之波長、前導光束至光柵655上的入射角、前導光束繞射離開光柵655的射出角、入射至光柵655上的前導光束之垂直發散度及光柵655之繞射表面的凹槽間距之間的關係。此外，若使用光柵655使得前導光束595至光柵655上的入射角等於前導光束595自光柵655的射出角，則光柵655及稜鏡650、651、652、653之集合係以利特羅組態配置且來自光柵655的前導光束595之波長為利特羅波長。
可藉由改變前導光束595照射於光柵655之繞射表面656上之入射角來調整前導光束595之波長。前導光束595之頻寬可藉由改變前導光束595之光學放大率而調整。稜鏡650、651、652、653中的任一者之旋轉影響此入射角及光學放大率中之一或多者。特定言之，參看圖6B，特定稜鏡P (其可為650、651、652、653中之任一者)之旋轉改變前導光束595照射在彼旋轉稜鏡P之入射表面H(P)上的入射角。此外，在彼旋轉稜鏡P局部的兩個光學品質為前導光束595照射在彼旋轉稜鏡P之入射表面上的入射角之函數。此等兩個局部光學品質為局部光學放大率OM(P)及局部光束折射角d(P)。穿過稜鏡P之前導光束595的光學放大率OM(P)為退出彼稜鏡P之前導光束595的橫向寬度Wo(P)與進入彼稜鏡P之前導光束595的橫向寬度Wi(P)之比率。在稜鏡650、651、652、653中之一或多者處的前導光束595之局部光學放大率OM(P)的變化引起前導光束595之光學放大率的總體變化，此引起前導光束595之頻寬的變化。且，穿過稜鏡650、651、652、653中之一或多者的局部光束折射角d(P)的變化引起光柵655之表面656上的前導光束595之入射角的總體變化。
因為特定稜鏡P之旋轉引起彼稜鏡P處之局部光束折射角δ(P)及局部光學放大率OM(P)兩者的變化，所以波長之控制及頻寬之控制在此設計中係聯繫的。然而，相較於另一稜鏡之旋轉，特定稜鏡之旋轉可對特定光譜特徵之控制有較大影響。
舉例而言，在一個實施中，稜鏡651圍繞其稜鏡軸(其與Z軸平行)旋轉以改變前導光束595之波長。在此實施方案中，稜鏡651可被視為與前導光束595相互作用的光學裝置551。驅動致動器670實體耦接至稜鏡651且亦與光學設備130內之控制設備180通信。
驅動致動器670為用於移動(例如平移或旋轉)及控制稜鏡651之位置及/或定向的機械裝置。驅動致動器670接收來自控制設備180之能量並將彼能量轉換成賦予至稜鏡651之某種運動。舉例而言，驅動致動器670可為力裝置或旋轉台。驅動致動器670可例如包括諸如步進器馬達之馬達、閥、控壓式器件、壓電裝置、線性馬達、液壓致動器或話音線圈。
參考圖7A及7B之實例，稜鏡651係由在一組離散位置中的驅動致動器670藉由圍繞其稜鏡軸PA(其沿圖6A、圖6B、圖7A及圖7B中之Z方向)旋轉至一組離散角而驅動。在此特定實例中，在圖7A中，稜鏡651位於第一局部光束折射角d(1)。在第一局部光束折射角d(1)處，前導光束595以第一入射角θ(1)照射在光柵655之表面656上。在圖7A中，為了清楚起見僅僅展示前導光束595之中心線。在此第一入射角θ(1)處，光柵655繞射並反射前導光束595之第一波長。在圖7B中，稜鏡651已圍繞稜鏡軸PA旋轉至第二局部光束折射角d(2)。在第二局部光束折射角d(2)處，前導光束595以第二入射角θ(2)照射在光柵655之表面656上。在圖7B中，為了清楚起見僅僅展示前導光束595之中心線。在此第二入射角θ(2)處，光柵655繞射並反射前導光束595之第二波長。如上文所提及，稜鏡651之旋轉亦可影響前導光束595之頻寬。若此發生，則有可能頻寬受無關緊要的量影響，或另一稜鏡(諸如稜鏡650、652、653)經旋轉以使頻寬之變化偏移。
參看圖8，在一些實施方案中，光學源150為產生作為經放大光束110之脈衝雷射光束的脈衝雷射器光學源850。光學源850為包括第一氣體放電載物台及第二氣體放電載物台之雙載物台系統。第一放電載物台包括容納一能量源並含有包括第一增益介質之氣體混合物的一第一氣體放電腔室。第二氣體放電載物台包括容納一能量源並含有包括第二增益介質之一氣體混合物的一第二氣體放電腔室。
第一氣體放電載物台包括主控振盪器(MO) 800且第二氣體放電載物台包括功率放大器(PA) 810。MO 800提供種子光束895至PA 810。主控振盪器800通常包括增益介質(其中出現放大)及光學回饋機構(諸如，光學諧振器)。功率放大器810通常包括增益介質，其中當運用來自主控振盪器800之種子雷射光束撒佈時發生擴增。若功率放大器810經設計為再生環諧振器，則將其描述為功率環放大器(PRA)，且在此情況下，可由環設計提供足夠光學回饋。光譜特徵調整器105自主控振盪器800接收前導光束595以實現在相對低輸出脈衝能量下的頻譜參數(諸如光束895之中心波長及頻寬)之精細調整。功率放大器810自主控振盪器800接收光束895並放大此輸出以實現必要輸出功率以供微影曝光設備135用於光微影中。
主控振盪器800包括具有兩個細長電極之放電腔室、充當增益介質之雷射氣體及使氣體在電極之間循環的風扇。雷射諧振器形成於放電腔室之一側的光譜特徵調整器105與放電腔室之第二側的輸出耦合器815之間以輸出種子光束895至功率放大器810。
光學源850亦可包括自輸出耦合器815接收輸出之線中心分析模組(LAM) 820，及按需要修改光束之大小及/或形狀之一或多個光束修改光學系統825。線中心分析模組820為可用以量測種子光束895之波長(例如，中心波長)之一種類型量測系統的實例。可包括於光學源850中的另一量測系統為頻寬分析模組(圖8中未展示)，其經組態以量測或估計經放大光束110之頻寬。
功率放大器810包括功率放大器放電腔室，且若其為再生環放大器，則功率放大器亦包括光束反射器或光束轉向裝置830，其將光束反射回至放電腔室中以形成循環路徑。功率放大器放電腔室包括一對細長電極、充當增益介質之雷射氣體及用於循環電極之間的氣體的風扇。種子光束895係藉由反覆地穿過功率放大器810而放大。光束修改光學系統825提供內耦合種子光束895且外耦合來自功率放大器之經放大輻射之一部分以形成輸出光束110的方式(例如，部分反射鏡面)。
主控振盪器800及功率放大器810之放電腔室中所使用之雷射氣體可為用於產生約所需波長及頻寬之雷射束的任何合適氣體。舉例而言，雷射氣體可為發射約193 nm之波長之光的氟化氬(ArF)，或發射約248 nm之波長之光的氟化氪(KrF)。
線中心分析模組820監測主控振盪器800之輸出(種子光束895)之波長。線中心分析模組820可置放於光學源850內之其他位置處，或其可置放於光學源850之輸出端處。
一般而言，控制設備180包括數位電子電路、電腦硬體、韌體及軟體中之一或多者。控制設備180包括記憶體，記憶體可為唯讀記憶體及/或隨機存取記憶體。適合於有形地體現電腦程式指令及資料之儲存裝置包括所有形式之非揮發性記憶體，包括(憑藉實例)：半導體記憶體裝置，諸如EPROM、EEPROM及快閃記憶體裝置；磁碟，諸如內部硬碟及抽取式磁碟；磁光碟；及CD-ROM磁碟。該控制設備180亦可包括一或多個輸入裝置(諸如鍵盤、觸控螢幕、麥克風、滑鼠、手持型輸入裝置等)及一或多個輸出裝置(諸如揚聲器或監視器)。
控制設備180包括一或多個可程式化處理器，及有形地體現於機器可讀儲存裝置中以供一或多個可程式化處理器執行的一或多個電腦程式產品。一或多個可程式化處理器可各自執行指令程式以藉由對輸入資料進行操作且產生適當輸出來執行所要功能。一般而言，處理器自記憶體接收指令及資料。前述任一者可由經特殊設計之特殊應用積體電路(ASIC)補充或併入於經特殊設計之特殊應用積體電路(ASIC)中。
控制設備180包括一組模組，其中每一模組包括由諸如處理器之一或多個處理器執行的一組電腦程式產品。此外，該等模組中之任一者可存取存儲於記憶體內的資料。每一模組可與設備100之專用其他組件(例如光學源150、介面145、光譜特徵調整器105或微影曝光設備135)通信。每一模組可接收來自其他組件之資料且接著根據需要分析此資料。每一模組可與一個或多個其他模組通信。
儘管控制設備180表示為框(其中其全部組件可共置)，但有可能控制設備180由彼此實體遠離的組件組成。舉例而言，特定模組可與光學源150實體地共置或特定模組可與光譜特徵調整器105實體地共置。
一般而言，控制設備180可執行本文未論述之功能。舉例而言，控制設備180可自光學設備130中之量測系統(圖中未示)接收關於經放大光束110的至少一些資訊，且內部光譜特徵分析模組對資訊執行分析以判定如何調整被供應至微影曝光設備135的經放大光束110之一或多個光譜特徵(例如頻寬)。基於此判定，控制設備180發送信號至光譜特徵調整器105及/或光學源150，以控制光學源150之操作。
參看圖9，時序圖900A展示設備100在脈衝115之叢發120之產生期間如何操作的一個實施方案且結合時序圖900A的論述展示設備100之方塊圖。時序圖900A僅僅展示經放大光束110之16個脈衝915。然而，叢發120可包括少於或大於16個脈衝且圖9中展示的信號可在超出圖9中所展示內容的時間中延伸。在此實施方案中，自微影曝光設備135提供至介面145 (並輸送至控制設備180)的資訊H包括觸發信號906。觸發信號906呈電脈衝907之列形式，其中相鄰電脈衝907以與經放大光束110之所要脈衝重複率Rp成反比的大體上恆定間隔按時間tp分開。每一電脈衝907指示光學設備130 (經由控制設備180)產生經放大光束110之一個脈衝915且脈衝串911中之相鄰脈衝915之間的時間間隔為τ (其與間隔時間tp相關，或等於間隔時間tp)。以此方式，以由1/τ定義之脈衝重複率Rp產生經放大光束110。
在圖9之實施方案中，驅動信號917憑藉通信通道971自光學設備130 (經由控制設備180)提供至光譜特徵調整器105。光譜特徵調整器105之實際狀態(其基於驅動信號917而改變)係由波形918表示。驅動信號917之形狀係由一組參數定義。在此實施方案中，驅動信號917具有在其兩個離散狀態918a與918b之間驅動光譜特徵調整器105的連續正弦(及因此週期性)形狀，兩個離散狀態918a與918b係由微影曝光設備135定目標或需要。此外，在此實施方案中，每當產生叢發中之脈衝915時，光譜特徵調整器105在其離散狀態918a或918b中之一者中。在圖9中，存在光譜特徵調整器105已經達到穩定狀態且光譜特徵調整器105與脈衝915之產生之間的時序經同步的假設。因此，在離散狀態918a處，光譜特徵調整器105選擇在彼時間產生的脈衝915之光譜特徵(例如波長λa)的離散值。且，在離散狀態918b處，光譜特徵調整器105選擇在彼時間產生的脈衝915之光譜特徵(例如波長λb)的離散值。舉例而言，若光譜特徵調整器105如圖6A至圖7B中所展示而設計，則光譜特徵調整器605包括可圍繞其稜鏡軸PA在兩個不同(及在此實例中極端)狀態之間旋轉的稜鏡651。且，當在第一狀態(諸如圖7A中展示)中時，稜鏡651位於第一局部光束折射角d(1)，當在第二狀態(諸如圖7B中展示)中時，稜鏡651位於第二局部光束折射角d(2)。
參看圖10，時序圖900B展示設備100如何在脈衝115之叢發120的產生之間操作的一個實施方案。另外，結合時序圖900B之論述展示設備100之方塊圖。時序圖900B僅僅展示在區B (叢發間間隔)之任一側的經放大光束110之兩個脈衝915。叢發間間隔可比圖10中所展示內容持續更長或更短，且展示之信號可在超出圖10中所展示內容的時間中延伸。在此實施方案中，在叢發間間隔期間，藉由微影曝光設備135提供至介面145的觸發信號906之電脈衝907被中斷(或停止)以便中斷來自光學設備130之脈衝115的產生。
然而，即使不存在經提供至介面145之電脈衝907，光學設備130(經由控制設備180)仍繼續根據由該組參數定義之驅動信號917驅動光譜特徵調整器105。藉由在叢發間間隔期間驅動光譜特徵調整器105，光譜特徵調整器105繼續以穩態模式驅動。不存在期間光譜特徵調整器105必須自休眠模式(其中光譜特徵調整器105諸如在圖2A中之時間0處係休眠或固定的)轉變至穩態模式(諸如在圖2A中之時間t(ss)處)的時間。如上文參考圖2A所論述，自休眠模式至穩態模式的轉變導致包括光譜特徵調整器105及控制設備180的整個系統上之電壓或負載的急劇變化，且此使得不需要的暫態發生。
藉由在叢發間間隔期間驅動光譜特徵調整器105，不存在期間光譜特徵調整器105必須自休眠模式(其中光譜特徵調整器105係休眠或固定的)轉變至穩態模式的時間，且因此避免此等不需要的暫態。實際上，光譜特徵調整器105始終經控制或操作在穩定狀態。
雖然本文中並未詳細論述，但每當微影曝光設備135請求脈衝重複率Rp之改變時，暫態仍可發生，此係因為在此情形下，至光譜特徵調整器105之驅動信號917的頻率可需要被改變。
在一些實施方案中，在叢發間間隔期間，光學設備130 (經由控制設備180)繼續以與自微影曝光設備135接收到之資訊H有關的方式驅動光譜特徵調整器105。
此外，不同於圖2A中所展示內容，圖10之實施方案確保當下一叢發中之脈衝915產生時光譜特徵調整器105在對應於經放大光束110之光譜特徵之離散值的離散狀態918a或918b中之一者中。換言之，設備100確保在叢發間間隔之後激發的脈衝915具有由微影曝光設備135所要的光譜特徵(例如波長)。存在該設備100可確保在叢發間間隔之後激發的脈衝915具有由微影曝光設備135所要的光譜特徵(例如，波長)之不同方式。接下來論述此等不同方式。有可能設備100在任一時刻或在叢發間間隔內實施該等方式之兩者或大於兩者以便確保在叢發間間隔之後激發的脈衝915具有由微影曝光設備135所要的光譜特徵(例如，波長)。因此，有可能下文論述的方式中之一者並不足以確保此情況發生但該等方式中之兩者之組合係足夠的。
參看圖11，在一個實施方案中，以與藉由微影曝光設備135所要並藉由微影曝光設備135設定的脈衝重複率Rp相關的頻率ω在叢發間間隔期間(在脈衝915之叢發的產生之間)驅動光譜特徵調整器105。圖11展示表示設備100在脈衝115之叢發120的產生之間如何操作的實施方案之時序圖1100B及亦與時序圖1100B有關的設備100之對應方塊圖。脈衝重複率Rp為經提供至介面145的資訊H之部分並等於1/τ (其為脈衝915之間的時間)。因此，正弦驅動信號1117之頻率ω使得在頻率ω與脈衝重複率Rp之間存在相關性：corr(ω,Rp)。舉例而言，如圖11中所示，正弦驅動信號1117之頻率ω為脈衝重複率Rp之二分之一。頻率ω為1/κ，其中κ為正弦驅動信號1117之週期。在此實例中，正弦驅動信號1117之週期κ為脈衝915之間的時間τ之兩倍。
即使光譜特徵調整器105係以與脈衝重複率Rp相關的頻率ω驅動，仍可能存在在叢發間時間間隔T之後的下一脈衝叢發中之脈衝915的產生與光譜特徵調整器105達到離散狀態918a或918b中之一者的時刻之間的時間失配。此失配在圖11中展示。此失配仍可能的原因係光學設備130可不能夠預測或不知曉微影曝光設備135何時將發送觸發信號906中之另一電脈衝907至介面145。換言之，光學設備130不知曉觸發叢發間時間間隔TL 之持續時間。由於此，所以光學設備130將不能適當地同步光譜特徵調整器105達到離散狀態918a或918b中之一者的時刻與產生下一叢發中之脈衝915的時刻。
參看圖12，展示時序圖1200B之實施方案以及對應於時序圖1200B之設備100的方塊圖。在此實施方案中，在叢發間時間間隔T之後的下一脈衝叢發中之脈衝915與光譜特徵調整器105達到離散狀態918a或918b中之一者的時刻之間的時間失配被移除。在此實施方案中，觸發叢發間時間間隔TL 及因此叢發間時間間隔T經調整使得叢發間時間間隔T為在當前脈衝重複率Rp下脈衝915之間的時間間隔τ的整數倍。亦即，T=τ×i，其中i為整數。
在圖11之實施方案中，需要控制設備180之操作的改變以便改變在叢發間間隔期間驅動光譜特徵調整器105的方式。相比之下，在圖12之實施方案中，需要微影曝光設備135之操作的改變以便改變觸發叢發間時間間隔TL 。
雖然圖12將叢發間時間間隔T展示為對應於最後叢發中之最後脈衝與下一叢發中之第一脈衝的產生之間的時間間隔，但有可能叢發間時間間隔對應於基於各別最後叢發及下一叢發中之其他脈衝的時間間隔。舉例而言，叢發間時間間隔T可對應於雷射脈衝(諸如圖2A中的叢發120A之脈衝115_12A)與在下一叢發之第一脈衝之後的脈衝(諸如在圖2A中的叢發120C之脈衝115_1C之後的脈衝)之產生之間的時間間隔。
參看圖13，展示時序圖1300B之實施方案以及對應於時序圖1300B之設備100的方塊圖。在叢發間時間間隔T之後的下一脈衝叢發中之脈衝915與光譜特徵調整器105達到離散狀態918a或918b中之一者的時刻之間的時間失配被移除。
在此實施方案中，來自微影曝光設備135之資訊H包括關於微影曝光設備135將發送下一脈衝叢發之第一電觸發脈衝907_1C至介面145的時間的指示1309。在第一電脈衝907_1C之前藉由控制設備180接收指示1309。運用此額外資訊(指示1309)，且假定在指示1309與第一電觸發脈衝907_1C之間存在足夠時間，控制設備180可在經提供至光譜特徵調整器105之驅動信號1317未經修改的情況下判定在下一脈衝叢發中之脈衝915_1C的產生與光譜特徵調整器105在離散狀態918a或918b中之一者中的時間之間是否將存在時間失配。若控制設備180判定(基於指示1309之接收)在下一脈衝叢發中之脈衝915_1C的產生與光譜特徵調整器105在離散狀態918a或918b中之一者中的時間之間將存在時間失配，則控制設備180可調整至光譜特徵調整器105之驅動信號1317。舉例而言，控制設備180可藉由修改與驅動信號1317相關聯的參數P中之一或多者調整驅動信號1317，且此修改可考慮藉由微影曝光設備135提供的資訊。舉例而言，若驅動信號1317為正弦波形D，則其大體上藉由一組參數(諸如驅動信號1317之相位(ϕ)及頻率ω)控管如下： D = A sin(2πωt+ϕ)，其中t為時間。 驅動信號1317之相位ϕ為初始相位，其在上述等式中係以弧度給出且對應於波形D在時間起始點處的位置。其可被稱作相位偏移、相移或相位因數。波形D之瞬時相位藉由ωt+ϕ給出。
因此，控制設備180可修改驅動信號1317之頻率ω、驅動信號1317之相位ϕ或驅動信號1317之頻率ω及相位ϕ兩者。在圖13中展示的實施方案中，驅動信號1317之參數(諸如頻率ω)係在區dR中修改。另外，若在區dR中頻率ω經修改，則在下一叢發開始時改變頻率ω返回與脈衝重複率Rp相關使得驅動信號1317可保持與脈衝915之產生同步將係必要的。驅動信號1317之修改如所示藉由改變波形918之頻率及/或相位而改變驅動光譜特徵調整器105的方式。
接收指示1309與接收電觸發脈衝907_1C之間的時間延遲1329大的足使得控制設備180能夠具有足夠時間來修改驅動信號1317之一或多個參數使得當產生叢發中之脈衝915時光譜特徵調整器105在離散狀態中之一者中。舉例而言，時間延遲1329可為約25至35毫秒(ms)。
參看圖14，展示時序圖1400B之另一實施方案以及對應於時序圖1400B之設備100的方塊圖。在叢發間時間間隔T之後的下一脈衝叢發中之脈衝1415與光譜特徵調整器105達到離散狀態918a或918b中之一者的時刻之間的時間失配係藉由調整經提供至光學源150之控制信號1481之態樣以控制脈衝串1411中之脈衝1415的產生而移除。在此實施方案中，控制設備180根據一或多個固定參數P驅動光譜特徵調整器105且此等固定參數P在此實施方案中不需要被修改。
控制設備180自微影曝光設備135 (經由介面145，其接收資訊H)接收產生脈衝1415之下一叢發的請求。該請求呈在觸發叢發間時間間隔TL 之後的第一觸發脈衝1407_1的形式。如上文所論述，在正常操作中，光學設備130在繼接收觸發脈衝1407_1之後的時間延遲t1之後產生脈衝1415_1。此時間延遲t1為光學設備130之設計所固有，此係因為光學設備130需要某一時間量來對觸發脈衝1407_1作出反應。舉例而言，控制設備180處理(接收及分析)觸發脈衝1407_1，且接著提供信號至光學源150以產生脈衝1415_1。在接收觸發脈衝1407_1與產生經放大光束110之脈衝1415_1之間花費的時間對應於此時間延遲t1。
然而，在此實施方案中，控制設備180在控制信號1481中提供指令以將脈衝1415之下一叢發中之脈衝1415_1的產生相對於請求(觸發脈衝1407_1)自微影曝光設備135之接收延遲大於零之時間段dτ，而非一旦控制設備180接收到觸發脈衝1407_1，控制設備180便在控制信號1481中提供指令至光學源150以產生在下一脈衝叢發中的脈衝1415_1(如其將正常執行)。控制設備180判定將確保當下一脈衝叢發中之脈衝1415產生時光譜特徵調整器105可經驅動至離散狀態918a或918b中之一者的延遲dτ之值。觸發脈衝1407_1之接收與脈衝1415_1之產生之間的總時間因此為t1+dτ。
參看圖15，展示時序圖1500B之實施方案以及對應於時序圖1500B之設備100的方塊圖。在叢發間時間間隔T之後的下一脈衝叢發中之脈衝915與光譜特徵調整器105達到離散狀態918a或918b中之一者的時刻之間的時間失配被移除。在此實施方案中，光學設備130經由控制設備180及介面145發送信號1508至微影曝光設備135。經發送至微影曝光設備135的信號1508包括與在叢發間時間間隔期間如何驅動光譜特徵調整器105有關的資訊。以此方式，微影曝光設備135可以確保產生在叢發間時間間隔之後的下一脈衝叢發中之脈衝915的時間與光譜特徵調整器105達到離散狀態918a或918b中之一者的時刻同步的方式調整觸發信號1506。舉例而言，如所示，觸發信號1506經調整以將在觸發叢發間時間間隔TL 之後的下一叢發中之第一電脈衝延遲數量dt，且此延遲dt傳播至產生下一脈衝叢發中之第一脈衝的時間。因此，叢發間時間間隔T增加dt。
如上文參考圖9所論述，正弦驅動信號917之頻率ω為脈衝重複率Rp的二分之一，如時序圖900A中所示。參看圖16，在其他實施方案中，正弦驅動信號1617之頻率ω為脈衝重複率Rp之四分之一，如時序圖1600A中所示。頻率ω為1/κ，其中κ為正弦驅動信號1617之週期，且因此正弦驅動信號1617之週期κ為脈衝915之間的時間τ之四倍。光譜特徵調整器105在其行進於兩個極端狀態之間時穿過兩個中間但不同且所要的狀態1618a及1618b。此等中間狀態1618a、1618b中之每一者對應於各別相異波長λa’及λb’。在此實施方案中，相鄰及連續脈衝915具有波長λa’且接下來兩個相鄰及連續脈衝915具有波長λb’且此圖案重複直至下一叢發間時間間隔為止或直至控制設備180改變驅動信號1617為止。
如上文所提及，驅動信號217、917之波形可不同於三角形或正弦形狀且其他波形係可能的。驅動信號217、917之波形的形狀影響光譜特徵調整器105的波形(諸如218或918)之形狀。舉例而言，在圖17A、圖17B、圖17C及圖17D中分別展示被供應至光譜特徵調整器105的驅動信號之波形1717A、1717B、1717C及1717D的其他可能實施方案。
參看圖18，程序1800藉由設備100執行以用於確保經導引至微影曝光設備135並在叢發間空隙125之後產生的每一脈衝115具有一組離散及所要光譜特徵當中的所要光譜特徵(波長)。當論述程序1800之步驟時亦參看圖1至圖16。
程序1800包括以一脈衝重複率Rp產生經放大光束之脈衝叢發(1805)及導引脈衝至微影曝光設備(1810)。舉例而言，叢發120之脈衝115經產生並導引至微影曝光設備135，如圖1中所示。
當產生脈衝叢發120時，以與脈衝重複率Rp相關的頻率在該組離散狀態中驅動光譜特徵調整器105 (1815)。舉例而言，控制設備180發送驅動信號217至光譜特徵調整器105以在離散狀態218a與218b之間驅動光譜特徵，如圖2A及圖2B中所示，且驅動信號217之頻率ω與脈衝串211之脈衝重複率Rp相關。每一離散狀態(諸如離散狀態218a及218b)對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的經放大光束110的光譜特徵(例如波長)之離散值。以此方式，每當產生叢發120中之脈衝115時，光譜特徵調整器105存在於離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝115具有對應於彼離散狀態之光譜特徵。舉例而言，當光譜特徵調整器105在狀態918a中時，脈衝915之波長為λa且當光譜特徵調整器105在狀態918b中時，脈衝915之波長為λb，如圖9中所示。
在脈衝叢發的產生之間及在無脈衝產生時，以與自微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動光譜特徵調整器105 (1820)。舉例而言，如圖2A及圖2B中所示，控制設備180甚至在叢發間時間間隔T期間(亦即，在叢發120A與叢發120C的產生之間)繼續運用驅動信號217驅動光譜特徵調整器105。驅動信號217具有基於自微影曝光設備135接收到之資訊H而判定的特性。
程序1800確保當下一叢發(在此叢發間時間間隔T之後)中之脈衝產生時光譜特徵調整器105在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中(1825)。舉例而言，設備100確保當下一叢發120C中之脈衝115_iC中之一者產生時光譜特徵調整器105在狀態218a或218b中之一者中。如上文及參看圖9至圖16所論述，存在確保當下一叢發120 (在此叢發間時間間隔T之後)中之脈衝115產生時光譜特徵調整器105在對應於經放大光束110之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中的不同實施方案(1825)。可利用此等實施方案中之任何一或多者。
參看圖19A至圖19D，一組各別圖表經展示用於模擬設備100及程序1800的操作。圖19A至圖19D各展示光譜特徵調整器105之操作(以任意單位)對在六個脈衝叢發(及五個叢發間空隙)內之時間的圖表。此外，圖表在光譜特徵調整器105處於休眠狀態的時間處開始。因此，光譜特徵調整器105在其遭受暫態之過渡或中間操作中開始每一模擬。
每一圖表中之灰色波形表示光譜特徵調整器105之實際位置或狀態，且此係依據實際光譜特徵表示(此係由於每一狀態對應於當光譜特徵調整器105在彼狀態中時與光譜特徵調整器105相互作用的光束之特定光譜特徵)。灰色波形因此對應於波形218或918。光譜特徵調整器105之每一目標離散狀態由狀態1918a及1918b表示。每一圖表上之點指示脈衝115經產生並導引朝向微影曝光設備135所在的例項。此等模擬經執行用於圖9至圖12中描述之實施方案，且其中正弦驅動信號917之頻率ω為脈衝重複率Rp的二分之一。在叢發間時間間隔T之後的叢發開始時及在執行程序1800開始時執行模擬。
沿垂直軸線(光譜特徵軸)之點的位置指示在彼時間(沿水平或時間軸)處之脈衝取樣光譜特徵的位置。此位置對應於經發送至微影曝光設備135之所產生脈衝的光譜特徵之值。
在圖19A中，在執行程序1800之僅僅步驟1805至步驟1815但不執行步驟1820及步驟1825之後模擬設備100之操作。如顯而易見，脈衝115很少與所要光譜特徵1918a及1918b一致，且因此導引至微影曝光設備135之脈衝115將不具有用於圖案化基板之所要光譜特徵。
在圖19B中，在設備100如圖11中所示操作時模擬設備100之操作。在此情況下，被供應至光譜特徵調整器105之驅動信號1117具有與脈衝重複率Rp相關的頻率ω。可見存在對結果之某一改良，但其並不與圖19D一樣好。
在圖19C中，當設備100如圖12中所示操作但其不如圖11中所示操作時模擬設備100之操作。在此情況下，被供應至光譜特徵調整器105之驅動信號1117具有不必與脈衝重複率Rp相關的頻率ω。然而，叢發間時間間隔T經設定為脈衝915之間的時間間隔τ的整數倍。可見存在對結果之某一改良，但其並不與圖19D一樣好。
在圖19D中，在執行圖18之全部步驟之後模擬設備100之操作。在此情況下，確保當下一叢發中之脈衝產生時光譜特徵調整器105在離散狀態1918a或1918b中之一者中。設備100如圖9及圖10中所示操作，且其亦使用圖11及圖12中描述的兩種技術操作。
圖20A至圖20D展示圖19A至圖19D之圖表的各別部分20A、20B、20C及20D。波形之細節在圖20A至圖20D中更顯而易見。
參看圖21，在另一實施方案中，程序2100係藉由設備100執行(例如在控制設備180之控制下)以用於確保經導引至微影曝光設備135並在叢發間空隙125之後產生的每一脈衝115具有在一組離散及所要光譜特徵當中的所要光譜特徵(波長)。當論述程序2100之步驟時亦參看圖1至圖16。
程序2100包括控制設備180指示光學源150以脈衝重複率Rp產生經放大光束110之脈衝叢發(2105)。該等脈衝經導引至微影曝光設備(2110)。舉例而言，叢發120之脈衝115經產生並導引至微影曝光設備135，如圖1中所示。
當產生脈衝叢發120時，以與脈衝重複率Rp相關的頻率在該組離散狀態中驅動光譜特徵調整器105 (2115)。舉例而言，控制設備180發送驅動信號217至光譜特徵調整器105以在離散狀態218a與218b之間驅動光譜特徵，如圖2A及圖2B中所示，且驅動信號217之頻率ω與脈衝串211之脈衝重複率Rp相關。每一離散狀態(諸如離散狀態218a及218b)對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的經放大光束110的光譜特徵(例如波長)之離散值。以此方式，每當產生叢發120中之脈衝115時，光譜特徵調整器105存在於離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝115具有對應於彼離散狀態之光譜特徵。舉例而言，當光譜特徵調整器105在狀態918a中時，脈衝915之波長為λa且當光譜特徵調整器105在狀態918b中時，脈衝915之波長為λb，如圖9中所示。
在脈衝叢發的產生之間及在無脈衝產生時，根據驅動信號之參數驅動光譜特徵調整器105 (2120)。舉例而言，如圖2A及圖2B中所示，控制設備180甚至在叢發間時間間隔T期間(亦即，在叢發120A與叢發120C的產生之間)繼續運用驅動信號217驅動光譜特徵調整器105。驅動信號217之參數可基於自微影曝光設備135接收到之資訊H而判定。
程序2100確保當下一叢發(在此叢發間時間間隔T之後)中之脈衝產生時光譜特徵調整器105在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中(2125)。舉例而言，設備100確保當下一叢發120C中之脈衝115_iC中之一者產生時光譜特徵調整器105在狀態218a或218b中之一者中。控制設備180可調整至微影曝光設備135之指令(諸如參看圖15所描述)以確保當下一叢發(在此叢發間時間間隔T之後)中之脈衝產生時光譜特徵調整器105在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中(2125)。控制設備180可調整至光譜特徵調整器105之驅動信號(諸如參看圖13所描述)以確保當下一叢發(在此叢發間時間間隔T之後)中之脈衝產生時光譜特徵調整器105在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中(2125)。控制設備180可調整至光學源150之指令(諸如參看圖14所描述)以確保當下一叢發(在此叢發間時間間隔T之後)中之脈衝產生時光譜特徵調整器105在對應於經放大光束之光譜特徵之離散值的離散狀態中之一者中(2125)。
可以使用以下條項進一步描述實施例： A1.一種方法，其包含： 以一脈衝重複率產生一經放大光束之一脈衝叢發及導引該等脈衝至一微影曝光設備； 在產生該脈衝叢發時，以與該脈衝重複率相關之一頻率在一組離散狀態中驅動一光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的該經放大光束之該光譜特徵的一離散值，使得每當該叢發中之一脈衝產生時，該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝具有對應於彼離散狀態的一光譜特徵；在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時，以與自該微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動該光譜特徵調整器；及 確保當下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中。 A2.如條項A1之方法，其中以與自該微影曝光設備接收到之資訊有關的該方式驅動該光譜特徵調整器包含以與該脈衝重複率相關的一頻率驅動該光譜特徵調整器。 A3.如條項A2之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該離散狀態中包含調整一叢發間時間間隔使得該叢發間時間間隔為針對該脈衝重複率之脈衝之間的時間間隔之一整數倍。 A4.如條項A3之方法，其中該叢發間時間間隔為該叢發中之該最後脈衝與該下一叢發中之該第一脈衝之間的該時間間隔。 A5.如條項A2之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該離散狀態中包含： 自該微影曝光設備接收關於其將請求該下一叢發之該產生的該時間之一指示；及 若該所接收指示指示該下一叢發中之該第一脈衝的該產生與該光譜特徵調整器在該離散狀態中的該時間之間的一時間失配，則基於該接收之指示修改與驅動該光譜特徵調整器相關聯的一或多個參數。 A6.如條項A5之方法，其中修改與驅動該光譜特徵調整器相關聯的該一或多個參數包含修改與該光譜特徵調整器相關聯的一驅動信號之一頻率及一相位中之一或多者。 A7.如條項A6之方法，其進一步包含，若驅動該光譜特徵調整器所藉以之頻率歸因於一失配而經修改，則將在該下一叢發開始時驅動該光譜特徵調整器之該頻率改變為與該脈衝重複率相關。 A8.如條項A1之方法，其中該經放大光束之該光譜特徵為該經放大光束之一波長。 A9.如條項A8之方法，其中該經放大光束之該波長係在深紫外線範圍中。 A10.如條項A8之方法，其中以與該脈衝重複率相關之該頻率在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含驅動該光譜特徵調整器使得對於該經放大光束之每一脈衝，該經放大光束之該波長在兩個相異波長之間改變。 A11.如條項A8之方法，其中以與該脈衝重複率相關的該頻率在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含驅動該光譜特徵調整器使得對於該經放大光束之每隔一個脈衝，該經放大光束之該波長在兩個相異波長之間改變。 A12.如條項A1之方法，其中在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含根據一正弦驅動信號驅動該光譜特徵調整器。 A13.如條項A1之方法，其中驅動該光譜特徵調整器包含在離散位置之間移動與一前導光束相互作用的一光學件，該光學件之每一離散位置對應於一離散狀態，且該經放大光束由該前導光束形成。 A14.如條項A13之方法，其中移動與該光束相互作用的該光學件包含旋轉該前導光束行進穿過之一稜鏡。 A15.如條項A1之方法，其中驅動該光譜特徵調整器之該頻率為該脈衝重複率之二分之一。 A16.如條項A1之方法，其中驅動該光譜特徵調整器之該頻率為該脈衝重複率之四分之一。 A17.如條項A1之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中包含確保當該下一叢發中之該初始脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中。 A18.如條項A1之方法，其中： 以與自該微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動該光譜特徵調整器包含根據一或多個固定參數驅動該光譜特徵調整器及自該微影曝光設備接收產生該下一脈衝叢發的一請求；及 確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在一離散狀態中包含將該下一脈衝叢發之該產生相對於自該微影曝光設備接收產生該下一脈衝叢發之該請求延遲大於零的一時間段。 A19.如條項A18之方法，其中將該下一脈衝叢發的該產生延遲該時間段包含延遲該下一脈衝叢發直至當產生該下一脈衝叢發中之一脈衝時該光譜特徵調整器可經驅動至對應於該經放大光束的該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者為止。 A20.如條項A1之方法，其中來自該微影曝光設備之與在該等脈衝叢發之該產生之間及當無脈衝叢發產生時驅動該光譜特徵調整器之方式有關的資訊係在該叢發之該結束之前接收。 A21.如條項A1之方法，其中來自該微影曝光設備之與在該等脈衝叢發之該產生之間及當無脈衝叢發產生時驅動該光譜特徵調整器之方式有關的資訊係在該等脈衝叢發之該產生之間接收。 A22.如條項A1之方法，其中確保當該下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中包含發送一信號至該微影曝光設備，該信號包括與在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時如何驅動該光譜特徵調整器有關的資訊。 A23.一種設備，其包含： 一介面，其經組態以與一微影曝光設備通信且自該微影曝光設備接收資訊； 一光譜特徵調整器；及 一光學設備，其與該介面及該光譜特徵調整器通信，且經組態以： 以一脈衝重複率產生經放大光束之一脈衝叢發以供該微影曝光設備用於圖案化一基板； 在產生該脈衝叢發時，以與該脈衝重複率相關之一頻率在一組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的該經放大光束之該光譜特徵的一離散值，使得每當該叢發中之一脈衝產生時，該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝具有對應於彼離散狀態的一光譜特徵； 在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時，以與在該介面處自該微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動該光譜特徵調整器；及 確保當下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中。 A24.如條項A23之方法，其中該經放大光束之該光譜特徵為該經放大光束之一波長。 A25.如條項A23之設備，其中該光譜特徵調整器包括與該光學設備通信並經組態以在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器的一驅動致動器。 A26.如條項A25之設備，其中該光學設備包括一控制設備，該控制設備與該介面及該驅動致動器通信且經組態以： 自該介面接收關於來自該微影曝光設備之請求的指示，該等請求包括來自該微影曝光設備之該脈衝重複率；及 發送一驅動信號至該驅動致動器，其中該驅動信號係基於自該微影曝光設備接收到之資訊。 A27.如條項A26之設備，其中經發送至該驅動致動器的該驅動信號為一正弦驅動信號。 A28.如條項A23之設備，其中該光譜特徵調整器包含與一前導光束以光學方式相互作用之一光學裝置，且該光學裝置之每一離散狀態對應於該光譜特徵調整器之一離散狀態。 A29.如條項A28之設備，其中該光學裝置之一離散狀態為該光學裝置與該前導光束相互作用之一離散位置。 A30.如條項A29之設備，其中該光學裝置包括該前導光束穿過之一稜鏡。 A31.如條項A28之設備，其中該光學裝置實體耦接至該驅動致動器。 A32.如條項A23之設備，其中該光學設備包含： 一第一氣體放電載物台，其經組態以產生一第一脈衝光束；及 一第二氣體放電載物台，其經組態以接收該第一脈衝光束且放大該第一脈衝光束以藉此自該光學設備產生該經放大光束。 A33.如條項A32之設備，其中： 該第一氣體放電載物台包括容納一能量源並含有包括一第一增益介質之一氣體混合物的一第一氣體放電腔室；且 該第二氣體放電載物台包括容納一能量源並含有包括一第二增益介質之一氣體混合物的一第二氣體放電腔室。 A34.如條項A23之設備，其中該光學設備經組態以藉由以與該脈衝重複率相關的該頻率驅動該光譜特徵調整器以與在該介面處自該微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動該光譜特徵調整器。 A35.如條項A34之設備，其中該光學設備經組態以藉由調整一叢發間時間間隔使得該叢發間時間間隔為針對該脈衝重複率之脈衝之間的時間間隔的一整數倍確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在一離散狀態中，其中該叢發間時間間隔為該最後脈衝與該下一叢發中之該脈衝之間的該時間間隔。 A36.如條項A34之設備，其中該光學設備經組態以藉由以下操作確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在一離散狀態中： 自該介面接收關於該微影曝光設備將請求該下一叢發之該產生的該時間之一指示；及 若所接收指示指示該下一叢發中之該脈衝的該產生與該光譜特徵調整器在該離散狀態中的該時間之間的一時間失配，則基於該所接收指示修改與發送至該光譜特徵調整器的一驅動信號相關聯之一或多個參數。 A37.如條項A36之設備，其中經修改之一或多個參數包括被供應至該光譜特徵調整器之一驅動致動器的該驅動信號的一頻率及/或一相位中之一或多者。 A38.如條項A37之設備，其中該光學設備經組態以若該頻率歸因於一失配而修改，則將在該下一叢發之開始時的該驅動信號之該頻率改變為與該脈衝重複率相關。 A39.如條項A23之設備，其中： 該光學設備經組態以藉由根據一或多個固定參數驅動該光譜特徵調整器及自該微影曝光設備接收產生該下一脈衝叢發的一請求以與在該介面處自該微影曝光設備接收到之資訊有關的方式驅動該光譜特徵調整器；及 該光學設備經組態以藉由將該下一脈衝叢發的該產生相對於在該介面處自該微影曝光設備接收的一請求之一接收延遲大於零之一時間段確保當該下一脈衝叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在一離散狀態中。 A40.如條項A39之設備，其中該光學設備經組態以藉由延遲該下一脈衝叢發之該產生直至當產生該下一脈衝叢發中之一脈衝時該光譜特徵調整器可經驅動至對應於該經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者為止而延遲該下一脈衝叢發的該產生。 A41.如條項A23之設備，其中該光學設備包括具有經組態以輸出該經放大光束之至少一個放大級的一光學源。 A42.如條項A41之設備，其中該光譜特徵調整器為一光譜特徵選擇設備之一部分，該光譜特徵選擇設備自該光學源接收一前導光束且包含： 一色散光學元件，其經配置以與該前導光束相互作用，及 複數個稜鏡，其在該前導光束之路徑中配置於該色散光學元件與該光學源之間。 A43.如條項A42之設備，其中該光譜特徵調整器為該複數個稜鏡中之該等稜鏡中之一者且該光譜特徵調整器之該組離散狀態為該前導光束與該稜鏡相互作用的該稜鏡之一組離散位置。 A44.如條項A43之設備，其中該稜鏡在該組離散位置中藉由圍繞一稜鏡軸旋轉至一組離散角而驅動。 B1.一種方法，其包含： 指示一光學源以一脈衝重複率產生一經放大光束之一脈衝叢發； 導引產生之脈衝至一微影曝光設備； 在產生該脈衝叢發時，以與該脈衝重複率相關之一頻率在一組離散狀態中驅動一光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的該經放大光束之該光譜特徵的一離散值； 在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時，根據由一組參數定義之一驅動信號驅動該光譜特徵調整器； 藉由調整以下各者中之一或多者確保當該下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器係在對應於經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中：至該微影曝光設備之一指令、至該光譜特徵調整器之該驅動信號，及/或至該光學源之該指令。 B2.如條項B1之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中包含調整至該光譜特徵調整器之該驅動信號。 B3.如條項B2之方法，其進一步包含自該微影曝光設備接收關於其將請求該下一叢發之該產生的該時間的一指示； 其中，調整至該光譜特徵調整器之該驅動信號包含基於自該微影曝光設備接收之該指示修改經發送至該光譜特徵調整器的該驅動信號之該等參數中之一或多者。 B4.如條項B3之方法，其中修改經發送至該光譜特徵調整器的該驅動信號之該一或多個參數包含修改經發送至該光譜特徵調整器之該驅動信號的一頻率及一相位中之一或多者。 B5.如條項B3之方法，其中自該微影曝光設備接收的對於該下一叢發之該產生的該請求係自自該微影曝光設備接收到之該指示延遲足夠時間以便實現該一或多個參數的該修改使得當產生該下一叢發中之該脈衝時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中。 B6.如條項B5之方法，其中該延遲為約25至35毫秒(ms)。 B7.如條項B1之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中包含調整至該光學源之該指令。 B8.如條項B7之方法，其中調整至該光學源之該指令包含將該下一脈衝叢發之該產生相對於自該微影曝光設備接收產生該下一脈衝叢發之該請求延遲大於零之一時間段使得當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中。 B9.如條項B8之方法，其中將該下一脈衝叢發的該產生延遲該時間段包含延遲該下一脈衝叢發直至在產生該下一脈衝叢發中之一脈衝時該光譜特徵調整器可經驅動至對應於該經放大光束的該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者為止。 B10.如條項B7之方法，其中該光譜特徵調整器繼續根據由該組參數定義之該驅動信號來驅動。 B11.如條項B1之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中包含調整至該微影曝光設備之一指令。 B12.如條項B11之方法，其中調整至該微影曝光設備之該指令包含發送一信號至該微影曝光設備，該信號包括與在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時如何驅動該光譜特徵調整器有關的資訊。 B13.如條項B11之方法，其進一步包含自該微影曝光設備接收針對該下一叢發之該產生的一觸發請求，其中該觸發請求係基於至該微影曝光設備的該經調整指令並確保產生該下一脈衝叢發中之該脈衝的時間與該光譜特徵調整器達到該等離散狀態中之一者的時刻同步。 B14.如條項B13之方法，其中該觸發請求經調整以藉此延遲至該光學源之該指令中的一電脈衝。 B15.如條項B1之方法，其中該經放大光束之該光譜特徵為該經放大光束之一波長。 B16.如條項B1之方法，其中每當產生該叢發中之一脈衝時，該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝具有對應於彼離散狀態之一光譜特徵。 B17.如條項B1之方法，其中以與該脈衝重複率相關之該頻率在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含驅動該光譜特徵調整器使得對於該經放大光束之每一脈衝，該經放大光束之該波長在兩個相異波長之間改變。 B18.如條項B1之方法，其中以與該脈衝重複率相關的該頻率在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含驅動該光譜特徵調整器使得對於該經放大光束之每隔一個脈衝，該經放大光束之該波長在兩個相異波長之間改變。 B19.如條項B1之方法，其中在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含根據一正弦驅動信號驅動該光譜特徵調整器。 B20.如條項B1之方法，其中驅動該光譜特徵調整器包含在離散位置之間移動與一前導光束相互作用的一光學件，該光學件之每一離散位置對應於一離散狀態，且該經放大光束係由該前導光束形成。 B21.如條項B1之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中包含確保當該下一叢發中之該初始脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中。 B22.一種設備，其包含： 一介面，其經組態以與一微影曝光設備通信； 一光譜特徵調整器； 一光學源；及 一控制設備，其與該介面、該光譜特徵調整器及該光學源通信且經組態以： 指示該光學源以一脈衝重複率產生經放大光束之一脈衝叢發以供該微影曝光設備用於圖案化一基板； 在該脈衝叢發期間，以與該脈衝重複率相關的一頻率在一組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的該經放大光束之該光譜特徵的一離散值； 在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時，根據由一組參數定義之一驅動信號驅動該光譜特徵調整器；及 藉由調整以下各者中之一或多者確保當該下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中：至該微影曝光設備之一指令、至該光譜特徵調整器之該驅動信號，及/或至該光學源之該指令。 B23.如條項B22之設備，其中該控制設備經組態以藉由調整至該光譜特徵調整器的該驅動信號確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中。 B24.如條項B23之設備，其中： 該控制設備經組態以憑藉該介面自該微影曝光設備接收關於其將請求該下一叢發之該產生的該時間的一指示；及 該控制設備藉由基於自該微影曝光設備接收之該指示修改經發送至該光譜特徵調整器的該驅動信號的該等參數中之一或多者來調整至該光譜特徵調整器之該驅動信號。 B25.如條項B24之設備，其中該控制設備經組態以藉由修改經發送至該光譜特徵調整器之該驅動信號的一頻率及一相位中之一或多者而修改經發送至該光譜特徵調整器的該驅動信號之該一或多個參數。 B26.如條項B22之設備，其中該控制設備經組態以藉由調整至該光學源的該指令確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中。 B27.如條項B26之設備，其中該控制設備藉由將該下一脈衝叢發之該產生相對於產生該下一脈衝叢發的該請求自該微影曝光設備的該接收延遲大於零之一時間段使得當產生該下一叢發中之該脈衝時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中而調整至該光學源之該指令。 B28.如條項B27之設備，其中該控制設備藉由延遲該下一脈衝叢發直至在產生該下一脈衝叢發中之一脈衝時該光譜特徵調整器可經驅動至對應於該經放大光束的該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者為止而將該下一脈衝叢發的該產生延遲該時間段。 B29.如條項B27之設備，其中該控制設備繼續根據由該組參數定義之該驅動信號驅動該光譜特徵調整器。 B30.如條項B22之設備，其中該控制設備經組態以藉由調整至該微影曝光設備的一指令確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中。 B31.如條項B30之設備，其中該控制設備藉由發送一信號至該微影曝光設備而調整至該微影曝光設備之該指令，該信號包括與在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時如何驅動該光譜特徵調整器有關的資訊。 B32.如條項B30之設備，其中該控制設備經組態以自該微影曝光設備接收對於該下一叢發之該產生的一觸發請求，該觸發請求係基於至該微影曝光設備之該經調整指令並確保產生該下一脈衝叢發中之該脈衝的時間與該光譜特徵調整器達到該等離散狀態中之一者的時刻同步。 B33.如條項B22之設備，其中該經放大光束之該光譜特徵為該經放大光束之該波長。 B34.如條項B22之設備，其中該光譜特徵調整器包括與該控制設備通信並經組態以在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器的一驅動致動器。 B35.如條項B34之設備，其中該光譜特徵調整器包含與一前導光束以光學方式相互作用之一光學裝置，且該光學裝置之每一離散狀態對應於該光譜特徵調整器之一離散狀態。 B36.如條項B35之設備，其中該光學裝置之一離散狀態為該光學裝置與該前導光束相互作用之一離散位置。 B37.如條項B35之設備，其中該光學裝置包括該前導光束穿過之一稜鏡。 B38.如條項B35之設備，其中該光學裝置實體耦接至該驅動致動器。 B39.如條項B35之設備，其中該光學源包含： 一第一氣體放電載物台，其經組態以產生一第一脈衝光束；及 一第二氣體放電載物台，其經組態以接收該第一脈衝光束且放大該第一脈衝光束以藉此自該光學源產生該經放大光束。 B40.如條項B22之設備，其中該光學源包括經組態以輸出該經放大光束之至少一個放大級。 B41.如條項B22之設備，其中該光譜特徵調整器為一光譜特徵選擇設備之一部分，該光譜特徵選擇設備自該光學源接收一前導光束且包含： 一色散光學元件，其經配置以與該前導光束相互作用，及 複數個稜鏡，其在該前導光束之路徑中配置於該色散光學元件與該光學源之間。 B42.如條項B41之設備，其中該光譜特徵調整器為該複數個稜鏡中之該等稜鏡中之一者且該光譜特徵調整器之該組離散狀態為該前導光束與該稜鏡相互作用的該稜鏡之一組離散位置。 B43.如條項B42之設備，其中該稜鏡在該組離散位置中藉由圍繞一稜鏡軸旋轉至一組離散角而驅動。
其他實施方案係在以下申請專利範圍之範疇內。
20A‧‧‧部分 20B‧‧‧部分 20C‧‧‧部分 20D‧‧‧部分 100‧‧‧設備 105‧‧‧光譜特徵調整器 110‧‧‧經放大光束 115‧‧‧脈衝 115_1A‧‧‧第一脈衝 115_1C‧‧‧第一或初始脈衝 115_12A‧‧‧最後脈衝 120‧‧‧脈衝從發 120A‧‧‧第一叢發 120C‧‧‧第二叢發 125‧‧‧叢發間空隙 125B‧‧‧叢發間空隙 130‧‧‧光學設備 131‧‧‧通信通道 135‧‧‧微影曝光設備 140‧‧‧基板 145‧‧‧介面 150‧‧‧光學源 180‧‧‧控制設備 200‧‧‧時序圖 206‧‧‧觸發信號 207‧‧‧電觸發脈衝/第一脈衝 207_1A‧‧‧第一觸發脈衝 207_1C‧‧‧第一觸發脈衝 207_12A‧‧‧最後觸發脈衝 211‧‧‧脈衝串 217‧‧‧驅動信號 217a‧‧‧值 217b‧‧‧值 218‧‧‧波形 218a‧‧‧第一狀態/離散狀態 218b‧‧‧第二狀態/離散狀態 218c‧‧‧時刻 300‧‧‧光譜 301‧‧‧光譜強度 302‧‧‧波長 303‧‧‧寬度 304‧‧‧波長值 400‧‧‧曝光場 405‧‧‧曝光窗 410‧‧‧曝光狹縫 415‧‧‧光罩 430‧‧‧物鏡配置 551‧‧‧光學裝置 570‧‧‧驅動致動器 571‧‧‧通信通道 582‧‧‧通信通道 595‧‧‧前導光束 605‧‧‧光譜特徵調整器 650‧‧‧稜鏡 651‧‧‧稜鏡 652‧‧‧稜鏡 653‧‧‧稜鏡 655‧‧‧光柵 656‧‧‧繞射表面 670‧‧‧驅動致動器 800‧‧‧主控振盪器(MO) 810‧‧‧功率放大器(PA) 815‧‧‧輸出耦合器 820‧‧‧線中心分析模組(LAM) 825‧‧‧光束修改光學系統 830‧‧‧光束轉向裝置 850‧‧‧光學源 895‧‧‧種子光束 900A‧‧‧時序圖 900B‧‧‧時序圖 906‧‧‧觸發信號 907‧‧‧電脈衝 907_1C‧‧‧第一電觸發脈衝 911‧‧‧脈衝串 915‧‧‧脈衝 917‧‧‧驅動信號 918‧‧‧波形 918a‧‧‧離散狀態 918b‧‧‧離散狀態 1100B‧‧‧時序圖 1117‧‧‧正弦驅動信號 1200B‧‧‧時序圖 1300B‧‧‧時序圖 1309‧‧‧指示 1317‧‧‧驅動信號 1329‧‧‧時間延遲 1400B‧‧‧時序圖 1407_1‧‧‧第一觸發脈衝 1411‧‧‧脈衝串 1415‧‧‧脈衝 1415_1‧‧‧脈衝 1481‧‧‧控制信號 1500B‧‧‧時序圖 1506‧‧‧觸發信號 1508‧‧‧信號 1600A‧‧‧時序圖 1617‧‧‧驅動信號 1618‧‧‧正弦驅動信號 1618a‧‧‧中間狀態 1618b‧‧‧中間狀態 1717A‧‧‧波形 1717B‧‧‧波形 1717C‧‧‧波形 1717D‧‧‧波形 1800‧‧‧程序 1805‧‧‧步驟 1810‧‧‧步驟 1815‧‧‧步驟 1820‧‧‧步驟 1825‧‧‧步驟 1918a‧‧‧離散狀態 1918b‧‧‧離散狀態 2100‧‧‧程序 2105‧‧‧步驟 2110‧‧‧步驟 2115‧‧‧步驟 2120‧‧‧步驟 2125‧‧‧步驟 t‧‧‧時間 d(1)‧‧‧第一局部光束折射角 d(2)‧‧‧第二局部光束折射角 d(P)‧‧‧局部光束折射角 2B‧‧‧近距視圖 A‧‧‧區 B‧‧‧區 C‧‧‧區 dR‧‧‧區 dt‧‧‧量/延遲 err_κ‧‧‧時序失配 H‧‧‧資訊 H(P)‧‧‧入射表面 P‧‧‧稜鏡 PA‧‧‧稜鏡軸線 T‧‧‧叢發間時間間隔 t(ss)‧‧‧時間 t1‧‧‧時間延遲 TL‧‧‧觸發叢發間時間間隔 tp‧‧‧間隔時間 Wi(P)‧‧‧橫向寬度 Wo(P)‧‧‧橫向寬度 XL‧‧‧方向 YL‧‧‧方向 ZL‧‧‧方向 θ(1)‧‧‧第一入射角 θ(2)‧‧‧第二入射角 κ‧‧‧時間 λa‧‧‧波長 λa’‧‧‧波長 λb‧‧‧波長 λb’‧‧‧波長 ω‧‧‧頻率
圖1為包括用於供應脈衝之經放大光束至微影曝光設備的光學設備及調整經放大光束之光譜特徵的光譜特徵調整器的設備之方塊圖；
圖2A為展示在經放大光束之兩個脈衝叢發及一個叢發間空隙中圖1之光學設備及光譜特徵調整器之操作的時序圖；
圖2B為圖2A之時序圖的近距視圖；
圖3為經放大光束之光譜的圖表；
圖4為圖1之微影曝光設備的實施方案之方塊圖；
圖5為圖1之設備的實施方案之方塊圖；
圖6A為包括至少一個光學裝置的光譜特徵調整器之實施方案的示意圖；
圖6B為展示圖6A之稜鏡中之一者的操作之實施方案的示意圖；
圖7A為展示在對應於經放大光束之第一光譜特徵的第一狀態或位置中之圖6A之稜鏡的示意圖；
圖7B為展示在對應於經放大光束之第二光譜特徵的第二狀態或位置中之圖7A之稜鏡的示意圖；
圖8為圖1之光學設備的光學源之實施方案的方塊圖；
圖9為在產生脈衝叢發期間操作的圖1之設備的實施方案之時序圖，且結合時序圖之論述展示設備之方塊圖；
圖10為在產生脈衝叢發期間操作的圖1之設備的實施方案之時序圖，且結合時序圖之論述展示設備之方塊圖；
圖11為以在產生脈衝叢發之間以與脈衝重複率相關的頻率驅動光譜特徵調整器之方式操作的圖1之設備的實施方案之時序圖，及亦與時序圖有關的設備之對應方塊圖；
圖12為以移除在叢發間時間間隔之後的下一脈衝叢發中之脈衝與光譜特徵調整器達到離散狀態中之一者的時刻之間的時間失配的方式操作的圖1之設備的實施方案之時序圖，及亦對應於時序圖的設備之對應方塊圖；
圖13為以移除在叢發間時間間隔之後的下一脈衝叢發中之脈衝與光譜特徵調整器達到離散狀態中之一者的時刻之間的時間失配的方式操作的圖1之設備的實施方案之時序圖，及亦對應於時序圖的設備之對應方塊圖；
圖14為以移除在叢發間時間間隔之後的下一脈衝叢發中之脈衝與光譜特徵調整器達到離散狀態中之一者的時刻之間的時間失配的方式操作的圖1之設備的實施方案之時序圖，及亦對應於時序圖的設備之對應方塊圖；
圖15為以移除在叢發間時間間隔之後的下一脈衝叢發中之脈衝與光譜特徵調整器達到離散狀態中之一者的時刻之間的時間失配的方式操作的圖1之設備的實施方案之時序圖，及亦對應於時序圖的設備之對應方塊圖；
圖16為以其中經提供至光譜特徵調整器的正弦驅動信號之頻率為脈衝重複率之四分之一的方式操作的圖1之設備的實施方案之時序圖；
圖17A至圖17D為設備可提供至光譜特徵調整器的驅動信號之其他實施方案之圖表；
圖18為藉由圖1之設備執行以用於確保導引至微影曝光設備並在叢發間空隙之後產生之每一脈衝具有一組離散及所要光譜特徵當中的所要光譜特徵(波長)的程序；
圖19A至圖19D為展示在其中來自設備之脈衝的產生疊加於光譜特徵調整器之波形上的六個脈衝叢發中設備的四個不同操作模式之模擬的圖表；
圖20A至圖20D為在第二脈衝叢發中圖19A至圖19D之各別圖表的近距視圖；且
圖21為藉由圖1之設備執行以用於確保導引至微影曝光設備並在叢發間空隙之後產生之每一脈衝具有一組離散及所要光譜特徵當中的所要光譜特徵(波長)的程序。
100‧‧‧設備
105‧‧‧光譜特徵調整器
110‧‧‧經放大光束
115‧‧‧脈衝
120‧‧‧脈衝從發
125‧‧‧叢發間空隙
130‧‧‧光學設備
131‧‧‧通信通道
135‧‧‧微影曝光設備
140‧‧‧基板
145‧‧‧介面
150‧‧‧光學源
180‧‧‧控制設備
XL‧‧‧方向
YL‧‧‧方向
ZL‧‧‧方向

Claims (40)

  1. 一種方法，其包含： 以一脈衝重複率產生一經放大光束之一脈衝叢發及導引該等脈衝至一微影曝光設備； 在產生該脈衝叢發時，以與該脈衝重複率相關之一頻率在一組離散狀態中驅動一光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的該經放大光束之該光譜特徵的一離散值，使得每當該叢發中之一脈衝產生時，該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝具有對應於彼離散狀態之一光譜特徵； 在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時，以與自該微影曝光設備接收到之資訊有關的一方式驅動該光譜特徵調整器；及 確保當下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中。
  2. 如請求項1之方法，其中以與自該微影曝光設備接收到之資訊有關的該方式驅動該光譜特徵調整器包含：以與該脈衝重複率相關的一頻率驅動該光譜特徵調整器。
  3. 如請求項2之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該離散狀態中包含：調整一叢發間時間間隔，使得該叢發間時間間隔為針對該脈衝重複率之脈衝之間的時間間隔之一整數倍。
  4. 如請求項2之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該離散狀態中包含： 自該微影曝光設備接收關於其將請求該下一叢發之該產生的時間之一指示；及 若該接收之指示指示該下一叢發中之第一脈衝的該產生與該光譜特徵調整器在該離散狀態中的時間之間的一時間失配，則基於該接收之指示修改與驅動該光譜特徵調整器相關聯之一驅動信號的一頻率及一相位中之一或多者。
  5. 如請求項1之方法，其中： 該經放大光束之該光譜特徵為該經放大光束之一波長，且 以與該脈衝重複率相關之該頻率在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含 驅動該光譜特徵調整器使得對於該經放大光束之每一脈衝，該經放大光束之該波長在兩個相異波長之間改變；或 驅動該光譜特徵調整器使得對於該經放大光束之每隔一個脈衝，該經放大光束之該波長在兩個相異波長之間改變。
  6. 如請求項1之方法，其中在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含：根據一正弦驅動信號驅動該光譜特徵調整器。
  7. 如請求項1之方法，其中驅動該光譜特徵調整器之該頻率為該脈衝重複率之二分之一或該脈衝重複率之四分之一。
  8. 如請求項1之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中包含： 確保當該下一叢發中之初始脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中；或 發送一信號至該微影曝光設備，該信號包括與在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時如何驅動該光譜特徵調整器有關的資訊。
  9. 如請求項1之方法，其中： 以與自該微影曝光設備接收到之資訊有關的該方式驅動該光譜特徵調整器包含根據一或多個固定參數驅動該光譜特徵調整器及自該微影曝光設備接收產生該下一脈衝叢發的一請求；且 確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在一離散狀態中包含將該下一脈衝叢發之該產生相對於自該微影曝光設備接收產生該下一脈衝叢發之該請求延遲大於零的一時間段。
  10. 如請求項1之方法，其中來自該微影曝光設備之與在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝叢發產生時驅動該光譜特徵調整器之該方式有關的該資訊係在該叢發結束之前或在該等脈衝叢發之該產生之間接收。
  11. 一種設備，其包含： 一介面，其經組態以與一微影曝光設備通信且自該微影曝光設備接收資訊； 一光譜特徵調整器；及 一光學設備，其與該介面及該光譜特徵調整器通信，且經組態以： 以一脈衝重複率產生經放大光束之一脈衝叢發以供該微影曝光設備用於圖案化一基板； 在產生該脈衝叢發時，以與該脈衝重複率相關之一頻率在一組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的該經放大光束之該光譜特徵的一離散值，使得每當該叢發中之一脈衝產生時，該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝具有對應於彼離散狀態之一光譜特徵； 在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時，以與在該介面處自該微影曝光設備接收到之資訊有關的一方式驅動該光譜特徵調整器；及 確保當下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中。
  12. 如請求項11之設備，其中該經放大光束之該光譜特徵為該經放大光束之一波長。
  13. 如請求項11之設備，其中該光譜特徵調整器包括與該光學設備通信並經組態以在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器之一驅動致動器。
  14. 如請求項13之設備，其中該光學設備包括一控制設備，該控制設備與該介面及該驅動致動器通信且經組態以： 自該介面接收關於來自該微影曝光設備之請求的指示，該等請求包括來自該微影曝光設備之該脈衝重複率；及 發送一驅動信號至該驅動致動器，其中該驅動信號係基於自該微影曝光設備接收到之資訊。
  15. 如請求項14之設備，其中經發送至該驅動致動器之該驅動信號為一正弦驅動信號。
  16. 如請求項11之設備，其中該光譜特徵調整器包含與一前導光束以光學方式相互作用之一光學裝置，且該光學裝置之每一離散狀態對應於該光譜特徵調整器之一離散狀態。
  17. 如請求項16之設備，其中該光學裝置之一離散狀態為該光學裝置與該前導光束相互作用之一離散位置。
  18. 如請求項17之設備，其中該光學裝置包括該前導光束穿過之一稜鏡。
  19. 如請求項11之設備，其中該光學設備包含： 一第一氣體放電載物台，其經組態以產生一第一脈衝光束，該第一氣體放電載物台包括容納一能量源並含有包括一第一增益介質之一氣體混合物的一第一氣體放電腔室；及 一第二氣體放電載物台，其經組態以接收該第一脈衝光束並放大該第一脈衝光束以藉此自該光學設備產生該經放大光束，該第二氣體放電載物台包括容納一能量源且含有包括一第二增益介質之一氣體混合物的一第二氣體放電腔室。
  20. 如請求項19之設備，其中經修改之一或多個參數包括被供應至該光譜特徵調整器之一驅動致動器的驅動信號之一頻率及/或一相位中之一或多者。
  21. 一種方法，其包含： 指示一光學源以一脈衝重複率產生一經放大光束之一脈衝叢發； 導引產生之脈衝至一微影曝光設備； 在產生該脈衝叢發時，以與該脈衝重複率相關之一頻率在一組離散狀態中驅動一光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的該經放大光束之該光譜特徵的一離散值； 在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時，根據由一組參數定義之一驅動信號驅動該光譜特徵調整器；及 藉由調整以下各者中之一或多者確保當下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中：至該微影曝光設備之一指令、至該光譜特徵調整器之該驅動信號，及/或至該光學源之該指令。
  22. 如請求項21之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中包含：調整至該光譜特徵調整器之該驅動信號。
  23. 如請求項22之方法，其進一步包含自該微影曝光設備接收關於其將請求該下一叢發之該產生之時間的一指示； 其中，調整至該光譜特徵調整器之該驅動信號包含基於自該微影曝光設備接收之該指示修改經發送至該光譜特徵調整器之該驅動信號的一頻率及一相位中之一或多者。
  24. 如請求項21之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中包含調整至該光學源之該指令，包括將該下一脈衝叢發之該產生相對於產生該下一脈衝叢發之請求自該微影曝光設備的接收延遲大於零之一時間段使得當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中。
  25. 如請求項21之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中包含調整至該微影曝光設備之一指令，該指令與在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時如何驅動該光譜特徵調整器有關。
  26. 如請求項25之方法，其進一步包含自該微影曝光設備接收對於該下一叢發之該產生的一觸發請求，其中該觸發請求係基於至該微影曝光設備之經調整指令且確保該下一脈衝叢發中之該脈衝產生的時間與該光譜特徵調整器達到該等離散狀態中之一者的時刻同步。
  27. 如請求項21之方法，其中每當該叢發中之一脈衝產生時，該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中且經放大光束脈衝具有對應於彼離散狀態之一光譜特徵。
  28. 如請求項21之方法，其中以與該脈衝重複率相關之該頻率在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含： 驅動該光譜特徵調整器使得對於該經放大光束之每一脈衝，該經放大光束之波長在兩個相異波長之間改變；或 驅動該光譜特徵調整器使得對於該經放大光束之每隔一個脈衝，該經放大光束之該波長在兩個相異波長之間改變。
  29. 如請求項21之方法，其中在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器包含根據一正弦驅動信號驅動該光譜特徵調整器。
  30. 如請求項21之方法，其中確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中包含：確保當該下一叢發中之初始脈衝產生時該光譜特徵調整器在該等離散狀態中之一者中。
  31. 一種設備，其包含： 一介面，其經組態以與一微影曝光設備通信； 一光譜特徵調整器； 一光學源；及 一控制設備，其與該介面、該光譜特徵調整器及該光學源通信且經組態以： 指示該光學源以一脈衝重複率產生經放大光束之一脈衝叢發以供該微影曝光設備用於圖案化一基板； 在該脈衝叢發期間，以與該脈衝重複率相關之一頻率在一組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器，其中每一離散狀態對應於在光譜特徵之複數個預設離散值中的該經放大光束之該光譜特徵的一離散值； 在該等脈衝叢發之該產生之間及在無脈衝產生時，根據由一組參數定義之一驅動信號驅動該光譜特徵調整器；及 藉由調整以下各者中之一或多者確保當下一叢發中之一脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之一離散值的該等離散狀態中之一者中：至該微影曝光設備之一指令、至該光譜特徵調整器之該驅動信號，及/或至該光學源之該指令。
  32. 如請求項31之設備，其中該控制設備經組態以藉由調整至該光譜特徵調整器之該驅動信號確保當該下一叢發中之該脈衝產生時該光譜特徵調整器在對應於該經放大光束之該光譜特徵之該離散值的該等離散狀態中之一者中。
  33. 如請求項32之設備，其中： 該控制設備經組態以憑藉該介面自該微影曝光設備接收關於其將請求該下一叢發之該產生之時間的一指示；且 該控制設備藉由基於自該微影曝光設備接收之該指示修改經發送至該光譜特徵調整器之該驅動信號的一頻率及一相位中之一或多者來調整至該光譜特徵調整器之該驅動信號。
  34. 如請求項31之設備，其中該經放大光束之該光譜特徵為該經放大光束之波長。
  35. 如請求項31之設備，其中該光譜特徵調整器包括與該控制設備通信並經組態以在該組離散狀態中驅動該光譜特徵調整器之一驅動致動器。
  36. 如請求項35之設備，其中該光譜特徵調整器包含與一前導光束以光學方式相互作用之一光學裝置，且該光學裝置之每一離散狀態對應於該光譜特徵調整器之一離散狀態。
  37. 如請求項36之設備，其中該光學裝置之一離散狀態為該光學裝置與該前導光束相互作用之一離散位置。
  38. 如請求項36之設備，其中該光學裝置包括該前導光束穿過之一稜鏡。
  39. 如請求項31之設備，其中該光學源包括經組態以輸出該經放大光束之至少一個放大級。
  40. 如請求項31之設備，其中該光譜特徵調整器為一光譜特徵選擇設備之一部分，該光譜特徵選擇設備自該光學源接收一前導光束且包含： 一色散光學元件，其經配置以與該前導光束相互作用，及 複數個稜鏡，其在該前導光束之路徑中配置於該色散光學元件與該光學源之間。
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