JP2022532488A - 光源波長を変調するための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2019年5月14日に出願された「APPARATUS FOR AND METHOD OF MODULATING A LIGHT SOURCE WAVELENGTH」と題する米国特許出願第62/847,464号に対する優先権を主張する。これは参照により全体が本願に含まれる。
x(k+1)=Ax(k)+Bu(k)
y(k+1)=Cx(k+1)
ここで、A、B、Cは、それぞれPZTダイナミクスを記述する状態行列、入力行列、及び出力行列であり、xは状態ベクトルであり、uは入力ベクトルであり、yはPZTからの出力である。
H=PTQP
f=-PTQR
X=U
L=D
b=l
PはPZT入出力ダイナミクスを記述し、Qは重み関数であり、Rは所望の制御波形を示し、Dはアクチュエータ制約を表し、lはアクチュエータ制約の閾値である。
Uk=Uk-1+LEk-1
ここで、Ukはk番目の反復で用いられるフィードフォワード制御信号であり、LはILCアルゴリズムの収束を決定する学習関数であり、Ekはk番目の反復における誤差である。
Ek=(l-PL)Ek-1
1.レーザシステムであって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストをレーザシステムに発生させる第1の状態と、第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストをレーザシステムに発生させる第2の状態と、を有するアクチュエータと、
アクチェータを第1の状態と第2の状態の中間であるバースト間の第3の状態にするため、アクチュエータに信号を供給するよう構成されたアクチュエータコントローラと、
を備えるレーザシステム。
2.第1の状態は第1の位置であり、第2の状態は第2の位置であり、第3の状態は第1の位置と第2の位置との間の第3の位置である、条項1に記載のレーザシステム。
3.レーザシステムであって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストをレーザシステムに発生させる第1の状態と、第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストをレーザシステムに発生させる第2の状態と、を有するアクチュエータと、
アクチェータを第1の状態から第2の状態へ移行させるため、アクチュエータに信号を供給するよう構成されたアクチュエータコントローラであって、アクチュエータが第1の状態から第2の状態へ移行するための信号に対する最適制御波形を計算するよう構成されたモジュールを備え、最適制御波形の制御のもとで軌道に沿って第1の状態から第2の状態へアクチュエータを移行させる、アクチュエータコントローラと、
を備えるレーザシステム。
4.モジュールは制約付き二次計画を用いて最適制御波形を計算するように適合されている、条項3に記載のレーザシステム。
5.モジュールは動的プログラミングを用いて最適制御波形を計算するように適合されている、条項3に記載のレーザシステム。
6.モジュールはモデル反転フィードフォワード制御を用いて最適制御波形を計算するように適合されている、条項3に記載のレーザシステム。
7.モジュールは反復学習制御を用いて最適制御波形を計算するように適合されている、条項3に記載のレーザシステム。
8.モジュールは、複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶するための手段を更に備える、条項3から7のいずれか1項に記載のレーザシステム。
9.複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶するための手段は予めポピュレートされたルックアップテーブルを含む、条項8に記載のレーザシステム。
10.複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶するための手段はフィールドプログラマブルゲートアレイを含む、条項8に記載のレーザシステム。
11.レーザシステムを制御する方法であって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストをレーザシステムに発生させる第1の状態にアクチュエータを置くステップと、
第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストをレーザシステムに発生させる第2の状態にアクチュエータを置くステップと、を含み、
更に、第1の状態にアクチュエータを置くステップと第2の状態にアクチュエータを置くステップとの間に、第1の状態と第2の状態の中間である第3の状態にアクチュエータを置く第3のステップを含む、方法。
12.第1の状態は第1の位置であり、第2の状態は第2の位置であり、第3の状態は第1の位置と第2の位置との間の第3の位置である、条項11に記載のレーザシステムを制御する方法。
13.レーザシステムを制御する方法であって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストをレーザシステムに発生させる第1の状態にアクチュエータを置くステップと、
第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストをレーザシステムに発生させる第2の状態にアクチュエータを置くステップと、を含み、
第2の状態にアクチュエータを置くステップは、アクチェータが第1の状態から第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することと、最適制御波形の制御のもとで軌道に沿って第1の状態から第2の状態へアクチュエータを移行させることと、を含む、方法。
14.アクチェータが第1の状態から第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することは制約付き二次計画を用いることを含む、条項13に記載のレーザシステムを制御する方法。
15.アクチェータが第1の状態から第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することは動的プログラミングを用いることを含む、条項13に記載のレーザシステムを制御する方法。
16.アクチェータが第1の状態から第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することはモデル反転フィードフォワード制御を用いることを含む、条項13に記載のレーザシステムを制御する方法。
17.アクチェータが第1の状態から第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することは反復学習制御を用いることを含む、条項13に記載のレーザシステムを制御する方法。
18.アクチェータが第1の状態から第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することは、複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶するための手段を記憶することを含む、条項13から17のいずれか1項に記載のレーザシステムを制御する方法。
19.複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶することは、予めポピュレートされたルックアップテーブルを用いて実行される、条項18に記載のレーザシステムを制御する方法。
20.複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶することは、フィールドプログラマブルゲートアレイを用いることを含む、条項18に記載のレーザシステムを制御する方法。
21.レーザシステムを制御する方法であって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストをレーザシステムに発生させる第1の状態にアクチュエータを置くステップと、
第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストをレーザシステムに発生させる第2の状態にアクチュエータを置くステップと、を含み、
更に、第1の状態にアクチュエータを置くステップと第2の状態にアクチュエータを置くステップとの間に、第1の状態と第2の状態の中間である第3の状態にアクチュエータを置く第3のステップを含み、
第2の状態にアクチュエータを置くステップは、アクチェータを第1の状態から第2の状態へ最適な軌道に沿って移行させるための最適制御波形を計算することを含む、方法。
Claims (21)
- レーザシステムであって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストを前記レーザシステムに発生させる第1の状態と、前記第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストを前記レーザシステムに発生させる第2の状態と、を有するアクチュエータと、
前記アクチェータを前記第1の状態と前記第2の状態の中間であるバースト間の第3の状態にするため、前記アクチュエータに信号を供給するよう構成されたアクチュエータコントローラと、
を備えるレーザシステム。 - 前記第1の状態は第1の位置であり、前記第2の状態は第2の位置であり、前記第3の状態は前記第1の位置と前記第2の位置との間の第3の位置である、請求項1に記載のレーザシステム。
- レーザシステムであって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストを前記レーザシステムに発生させる第1の状態と、前記第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストを前記レーザシステムに発生させる第2の状態と、を有するアクチュエータと、
前記アクチェータを前記第1の状態から前記第2の状態へ移行させるため、前記アクチュエータに信号を供給するよう構成されたアクチュエータコントローラであって、前記アクチュエータが前記第1の状態から前記第2の状態へ移行するための前記信号に対する最適制御波形を計算するよう構成されたモジュールを備え、前記最適制御波形の制御のもとで軌道に沿って前記第1の状態から前記第2の状態へ前記アクチュエータを移行させる、アクチュエータコントローラと、
を備えるレーザシステム。 - 前記モジュールは制約付き二次計画を用いて前記最適制御波形を計算するように適合されている、請求項3に記載のレーザシステム。
- 前記モジュールは動的プログラミングを用いて前記最適制御波形を計算するように適合されている、請求項3に記載のレーザシステム。
- 前記モジュールはモデル反転フィードフォワード制御を用いて前記最適制御波形を計算するように適合されている、請求項3に記載のレーザシステム。
- 前記モジュールは反復学習制御を用いて前記最適制御波形を計算するように適合されている、請求項3に記載のレーザシステム。
- 前記モジュールは、複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶するための手段を更に備える、請求項4に記載のレーザシステム。
- 複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶するための前記手段は予めポピュレートされたルックアップテーブルを含む、請求項8に記載のレーザシステム。
- 複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶するための前記手段はフィールドプログラマブルゲートアレイを含む、請求項8に記載のレーザシステム。
- レーザシステムを制御する方法であって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストを前記レーザシステムに発生させる第1の状態にアクチュエータを置くステップと、
前記第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストを前記レーザシステムに発生させる第2の状態に前記アクチュエータを置くステップと、を含み、
更に、前記第1の状態に前記アクチュエータを置く前記ステップと前記第2の状態に前記アクチュエータを置く前記ステップとの間に、前記第1の状態と前記第2の状態の中間である第3の状態に前記アクチュエータを置く第3のステップを含む、方法。 - 前記第1の状態は第1の位置であり、前記第2の状態は第2の位置であり、前記第3の状態は前記第1の位置と前記第2の位置との間の第3の位置である、請求項11に記載のレーザシステムを制御する方法。
- レーザシステムを制御する方法であって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストを前記レーザシステムに発生させる第1の状態にアクチュエータを置くステップと、
前記第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストを前記レーザシステムに発生させる第2の状態に前記アクチュエータを置くステップと、を含み、
前記第2の状態に前記アクチュエータを置く前記ステップは、前記アクチェータが前記第1の状態から前記第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することと、前記最適制御波形の制御のもとで軌道に沿って前記第1の状態から前記第2の状態へ前記アクチュエータを移行させることと、を含む、方法。 - 前記アクチェータが前記第1の状態から前記第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することは制約付き二次計画を用いることを含む、請求項13に記載のレーザシステムを制御する方法。
- 前記アクチェータが前記第1の状態から前記第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することは動的プログラミングを用いることを含む、請求項13に記載のレーザシステムを制御する方法。
- 前記アクチェータが前記第1の状態から前記第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することはモデル反転フィードフォワード制御を用いることを含む、請求項13に記載のレーザシステムを制御する方法。
- 前記アクチェータが前記第1の状態から前記第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することは反復学習制御を用いることを含む、請求項13に記載のレーザシステムを制御する方法。
- 前記アクチェータが前記第1の状態から前記第2の状態へ移行するための最適制御波形を計算することは、複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶するための手段を記憶することを含む、請求項14に記載のレーザシステムを制御する方法。
- 複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶することは、予めポピュレートされたルックアップテーブルを用いて実行される、請求項18に記載のレーザシステムを制御する方法。
- 複数の繰り返し率の各々に対する少なくとも1つの最適制御パラメータを記憶することは、フィールドプログラマブルゲートアレイを用いることを含む、請求項18に記載のレーザシステムを制御する方法。
- レーザシステムを制御する方法であって、
第1の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第1のバーストを前記レーザシステムに発生させる第1の状態にアクチュエータを置くステップと、
前記第1の波長とは異なる第2の波長を有するレーザ放射の1つ以上のパルスの第2のバーストを前記レーザシステムに発生させる第2の状態に前記アクチュエータを置くステップと、を含み、
更に、前記第1の状態に前記アクチュエータを置く前記ステップと前記第2の状態に前記アクチュエータを置く前記ステップとの間に、前記第1の状態と前記第2の状態の中間である第3の状態に前記アクチュエータを置く第3のステップを含み、
前記第2の状態に前記アクチュエータを置く前記ステップは、前記アクチェータを前記第1の状態から前記第2の状態へ最適な軌道に沿って移行させるための最適制御波形を計算することを含む、方法。
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