JP2010155386A - 圧電アクチュエータ及び液体移送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに接合された振動板40及び圧電層41〜43が、流路ユニットの上面に接合されている。圧電層42と圧電層43との間には、圧力室10の略中央部と対向する対向部45aと、流路ユニットとの接合部と対向する部分において対向部45a同士を接続する接続部45b、45cとからなる中間電極45が形成されている。圧電層41と圧電層42との間には、圧力室10の上記略中央部よりも外側の部分と対向する部分を含む、中間電極45と対向しない部分の全域にわたって延びた下部電極44が配置されている。圧電層43の上面には、圧力室10のほぼ全域と対向するように上部電極46が配置されている。振動板40と圧電層41との間には、その全域にわたって遮蔽用電極が配置されている。
【選択図】図4
Description
これら複数の変形部とそれぞれ対向する複数の対向部と、前記接合部と対向しており、前記複数の対向部同士を互いに接続する接続部とを備えており、前記第1駆動電極が、前記接続部と対向しないように配置されていることを特徴とするものである。
10 圧力室
31 流路ユニット
32 圧電アクチュエータ
40 振動板
41〜43 圧電層
41a スルーホール
44 下部電極
45 中間電極
45a 対向部
45b、45c 接続部
46 上部電極
47 遮蔽用電極
51 ドライバIC
60 駆動回路
61 電源
62 制御回路
144 下部電極
145 中間電極
145a 対向部
145b 接続部
154 下部電極
164 下部電極
175 中間電極
203 下部電極
204 中間電極
205 上部電極
211〜213 電極
Claims (10)
- 所定の接合部において接合対象に接合されているとともに、前記接合部とは異なる部分に変形可能な変形部を有する振動板と、
前記振動板の一表面側に配置された下部圧電層と、
前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層と、
前記下部圧電層及び前記上部圧電層の互いに異なる面に、少なくとも変形部と対向するように配置された3種類の駆動電極とを備えており、
前記3種類の駆動電極が、
所定の第1電位に保持される第1駆動電極と、
前記第1電位とは異なる所定の第2電位に保持される第2駆動電極と、
前記変形部と対向する部分において前記第1駆動電極及び前記第2駆動電極と対向しており、前記第1電位及び前記第2電位のいずれかが選択的に付与される第3駆動電極とからなり、
前記下部圧電層及び前記上部圧電層のいずれも、前記接合部と対向する部分において、前記第1駆動電極と前記第2駆動電極とに挟まれていないことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第2駆動電極が、前記下部圧電層と前記上部圧電層との間に、前記変形部の一部と対向するように配置されており、
前記第1駆動電極が、前記下部圧電層の前記振動板側の面に、前記変形部のうち少なくとも前記一部とは異なる部分と対向するように配置されており、
前記第3駆動電極が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面に、前記第2駆動電極と対向するとともに、間に前記第2駆動電極を介さずに前記第1駆動電極と対向するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第2駆動電極が、前記変形部の中央部と対向するように配置されており、
前記第1駆動電極が、前記変形部の少なくとも前記第2駆動電極と対向する部分よりも外側の部分と対向するように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第1駆動電極が、前記変形部と対向する部分において前記第2駆動電極と対向しないように配置されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第1電位がグランド電位であって、
前記下部圧電層と前記振動板との間に配置された絶縁層と、
前記絶縁層の前記下部圧電層と反対側の面における、少なくとも前記第2駆動電極と対向し且つ前記第1電極とは対向していない部分に配置されており、前記第1電位に保持される遮蔽用電極とをさらに備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。 - 前記遮蔽用電極が、前記絶縁層の前記下部圧電層と反対側の面の全域に形成されていることを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記振動板が前記変形部を複数備えており、
前記第2駆動電極が、
これら複数の変形部とそれぞれ対向する複数の対向部と、
前記接合部と対向しており、前記複数の対向部同士を互いに接続する接続部とを備えており、
前記第1駆動電極が、前記接続部と対向しないように配置されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。 - 前記複数の変形部が所定の一方向に沿って配列されており、
前記接続部が、前記複数の対向部の前記所定の一方向と直交する方向に関する両端部をそれぞれ接続しており、
前記第1駆動電極が、前記下部圧電層の前記振動板側の面における、前記複数の対向部と前記接続部とに囲まれた、互いに連続しない複数の領域とそれぞれ対向するように配置されていることを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第1駆動電極と前記遮蔽用電極とが、前記絶縁層に形成されたスルーホールを介して接続されていることを特徴とする請求項8に記載の圧電アクチュエータ。
- 圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータに駆動電圧を付与する駆動手段と、を備えており、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室と対向する部分以外の接合部において、前記流路ユニットに接合された振動板と、
前記振動板の前記流路ユニットと反対側に配置された下部圧電層と、
前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層と、
前記下部圧電層及び前記上部圧電層の互いに異なる面に、少なくとも変形部と対向するように配置された第1駆動電極、第2駆動電極、および第3駆動電極を備えており、
前記駆動手段は、
前記第1駆動電極に所定の第1電位を付与し、
前記第2駆動電極に前記第1電位とは異なる所定の第2電位を付与し、
前記第3駆動電極に前記第1電位及び前記第2電位のいずれかを選択的に付与し、
前記第1駆動電極は、前記接合部と前記変形部にともに対向し、
前記第3駆動電極は、少なくとも前記変形部と対向する部分に形成されるとともに、その部分において前記第1駆動電極及び前記第2駆動電極と対向しており、
前記下部圧電層及び前記上部圧電層のいずれも、前記接合部と対向する部分において、前記第1駆動電極と前記第2駆動電極とに挟まれていないことを特徴とする液体移送装置。
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