WO2021132571A1 - 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド及び記録装置 - Google Patents

圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド及び記録装置 Download PDF

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WO2021132571A1
WO2021132571A1 PCT/JP2020/048750 JP2020048750W WO2021132571A1 WO 2021132571 A1 WO2021132571 A1 WO 2021132571A1 JP 2020048750 W JP2020048750 W JP 2020048750W WO 2021132571 A1 WO2021132571 A1 WO 2021132571A1
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piezoelectric
individual electrodes
layer
individual
piezoelectric actuator
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PCT/JP2020/048750
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周平 田畑
東別府 誠
武 平山
幸弘 長谷川
元 志村
崇 宮原
篤志 石原
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京セラ株式会社
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Definitions

  • the present disclosure relates to a piezoelectric actuator, a liquid discharge head having the piezoelectric actuator, and a recording device having the liquid discharge head.
  • the piezoelectric actuator includes a piezoelectric layer, a common electrode that overlaps one of the front and back surfaces of the piezoelectric layer, a plurality of individual electrodes that overlap the other of the front and back surfaces of the piezoelectric layer, and a piezoelectric layer of the common electrode.
  • the common electrode overlaps a plurality of individual electrodes, for example, a reference potential is applied.
  • a potential (drive signal) different from the reference potential is individually applied to the plurality of individual electrodes.
  • Patent Document 1 proposes to provide an electrode for returning the polarization of the diaphragm to the initial state by applying a voltage to the diaphragm formed of the piezoelectric body.
  • the electrode extends over a plurality of individual electrodes and overlaps the diaphragm on the opposite side of the common electrode.
  • the piezoelectric actuator has a first surface and a second surface on the back surface thereof, and also has a plurality of piezoelectric elements at a plurality of positions in a direction along the first surface.
  • the piezoelectric actuator has a piezoelectric layer, a common electrode, a plurality of first individual electrodes, a first insulating layer, and a plurality of second individual electrodes.
  • the piezoelectric layer extends along the first surface.
  • the common electrode overlaps the first surface side with respect to the piezoelectric layer, and extends over the plurality of piezoelectric elements.
  • the plurality of first individual electrodes overlap the second surface side with respect to the piezoelectric layer, are individually located on the plurality of piezoelectric elements, and are electrically disconnected from each other.
  • the first insulating layer overlaps the first surface side with respect to the common electrode, and extends over the plurality of piezoelectric elements.
  • the plurality of second individual electrodes overlap the first surface side with respect to the first insulating layer, are individually located on the plurality of piezoelectric elements, and are individually located on the plurality of piezoelectric elements, and the plurality of first individual electrodes are viewed in plan view. They are individually overlapped in the center of the and are electrically connected to each other.
  • the liquid discharge head includes the above-mentioned piezoelectric actuator and a flow path member.
  • the flow path member has a pressure surface, a discharge surface, a plurality of pressure chambers, and a plurality of discharge holes.
  • the pressure surface overlaps the first surface or the second surface.
  • the discharge surface is the back surface of the pressure surface.
  • the plurality of pressurizing chambers individually overlap the plurality of piezoelectric elements in a plan view of the pressurizing surface.
  • the plurality of discharge holes individually communicate with the plurality of pressurizing chambers and are opened at the discharge surface.
  • the recording device includes the above liquid discharge head and a control unit.
  • the control unit is electrically connected to the liquid discharge head, a reference potential is applied to the common electrode and the plurality of second individual electrodes, and a drive signal is individually sent to the plurality of first individual electrodes. Control the input.
  • FIG. 3 is a plan view of a part of the liquid discharge head included in the recording device of FIG. 1A.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG.
  • It is an exploded perspective view of the piezoelectric actuator included in the liquid discharge head of FIG. It is a partially enlarged view of FIG.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. It is a schematic diagram explaining the planar shape of the pressurizing chamber of the liquid discharge head of FIG.
  • Similarity in this disclosure includes, but is not limited to, similarity in mathematics. Similarity in mathematics means that when one shape is enlarged or reduced (or without such scale conversion), it becomes congruent with another shape. However, if a relationship close to the similarity of this mathematics is established in light of common general technical knowledge, it may be regarded as similar. For example, an ellipse and an ellipse having an outer edge located inside (or outside) at a constant and relatively short distance (for example, a distance of 1/4 or less of the minimum diameter of the smaller figure) from the outer edge of the ellipse. Is not similar in mathematics because the ratio of major axis to minor axis is different between them. However, such relationships may also be included in the similarity in the present disclosure.
  • the terms indicating various shapes include, but are not limited to, the shapes indicated by these terms in mathematics.
  • the ellipse may be composed of only curves that are convex outward, and may have a shape that can specify the longitudinal direction and the lateral direction that are substantially orthogonal to each other. Further, for example, the corners of the rectangle may be chamfered.
  • FIG. 1A is an outline of a color inkjet printer 1 (an example of a recording device; hereinafter simply referred to as a printer) including a liquid ejection head 2 (hereinafter, may be simply referred to as a head) according to an embodiment of the present disclosure. It is a side view of.
  • FIG. 1B is a schematic plan view of the printer 1.
  • the head 2 or the printer 1 can have an arbitrary direction as the vertical direction, but for convenience, the term “upper surface” or “lower surface” may be used with the vertical direction of the paper surface in FIG. 1A as the vertical direction. Further, the terms plane view and plane perspective shall mean viewing in the vertical direction of the paper surface of FIG. 1A unless otherwise specified.
  • the printer 1 moves the printing paper P relative to the head 2 by transporting the printing paper P (an example of a recording medium) from the paper feed roller 80A to the collection roller 80B.
  • the paper feed roller 80A, the collection roller 80B, and various rollers described later form a moving unit 85 that relatively moves the printing paper P and the head 2.
  • the control unit 88 controls the head 2 based on print data or the like which is data such as an image or characters to discharge liquid toward the printing paper P, land droplets on the printing paper P, and print. Recording such as printing is performed on paper P.
  • the head 2 is fixed to the printer 1, and the printer 1 is a so-called line printer.
  • the printer 1 is a so-called line printer.
  • an operation of ejecting droplets while moving the head 2 in a direction intersecting the conveying direction of the printing paper P (for example, a direction substantially orthogonal to each other) and the conveying of the printing paper P are alternated. This is a so-called serial printer.
  • Each frame 70 is provided with five holes (not shown), and five heads 2 are mounted in the respective holes.
  • the five heads 2 mounted on one frame 70 form one head group 72.
  • the printer 1 has four head groups 72, and a total of 20 heads 2 are mounted.
  • the head 2 mounted on the frame 70 has a portion for discharging the liquid facing the printing paper P.
  • the distance between the head 2 and the printing paper P is, for example, about 0.5 to 20 mm.
  • the 20 heads 2 may be directly connected to the control unit 88, or may be connected to the control unit 88 via a distribution unit that distributes print data.
  • the control unit 88 may transmit the print data to one distribution unit, and one distribution unit may distribute the print data to the 20 heads 2. Further, for example, the control unit 88 distributes the print data to the four distribution units corresponding to the four head groups 72, and each distribution unit distributes the print data to the five heads 2 in the corresponding head group 72. May be good.
  • the head 2 has an elongated long shape in the direction from the front to the back of FIG. 1A and in the vertical direction of FIG. 1B.
  • the three heads 2 are arranged along a direction intersecting the conveying direction of the printing paper P (for example, a direction substantially orthogonal to each other), and the other two heads 2 are arranged along the conveying direction. At offset positions, one is lined up between the three heads 2.
  • the heads 2 are arranged in a staggered pattern.
  • the heads 2 are arranged so that the printable range of each head 2 is connected in the width direction of the printing paper P, that is, in the direction intersecting the conveying direction of the printing paper P, or the edges overlap. Printing without gaps in the width direction of the printing paper P is possible.
  • the four head groups 72 are arranged along the transport direction of the printing paper P.
  • a liquid for example, ink
  • Inks of the same color are supplied to the heads 2 belonging to one head group 72, and four colors of ink can be printed by the four head groups 72.
  • the colors of the inks ejected from each head group 72 are, for example, magenta (M), yellow (Y), cyan (C), and black (K). By landing such ink on the printing paper P, a color image can be printed.
  • the number of heads 2 mounted on the printer 1 may be one as long as it is a single color and prints a printable range with one head 2.
  • the number of heads 2 included in the head group 72 and the number of head groups 72 can be appropriately changed depending on the printing target and printing conditions. For example, the number of head groups 72 may be increased in order to print more colors. Further, if a plurality of head groups 72 for printing in the same color are arranged and printed alternately in the transport direction, the transport speed can be increased even if the heads 2 having the same performance are used. As a result, the printing area per hour can be increased. Further, a plurality of head groups 72 for printing in the same color may be prepared and arranged so as to be offset in the direction intersecting the transport direction to increase the resolution in the width direction of the printing paper P.
  • a liquid such as a coating agent may be uniformly or patterned on the head 2 for surface treatment of the printing paper P.
  • a coating agent for example, when a recording medium in which the liquid does not easily permeate is used, a coating agent that forms a liquid receiving layer can be used so that the liquid can be easily fixed.
  • the coating agent when a recording medium that is easily penetrated by a liquid is used as the coating agent, the liquid penetration is suppressed so that the liquid does not bleed too much or mix with another liquid that has landed next to it. Those that form a layer can be used.
  • the coating agent may be uniformly applied by the coating machine 76 controlled by the control unit 88.
  • the printer 1 prints on the printing paper P which is a recording medium.
  • the printing paper P is in a state of being wound around the paper feed roller 80A, and the printing paper P sent out from the paper feed roller 80A passes under the head 2 mounted on the frame 70, and then 2 It passes between the two transport rollers 82C and is finally collected by the collection roller 80B.
  • the printing paper P is conveyed at a constant speed by rotating the conveying roller 82C, and is printed by the head 2.
  • the printing paper P sent out from the paper feed roller 80A passes between the two guide rollers 82A and then passes under the coating machine 76.
  • the coating machine 76 applies the above-mentioned coating agent to the printing paper P.
  • the printing paper P subsequently enters the head chamber 74 in which the frame 70 on which the head 2 is mounted is stored.
  • the head chamber 74 is a space that is roughly isolated from the outside, although it is connected to the outside in a part such as a portion where the printing paper P enters and exits.
  • control factors such as temperature, humidity, and atmospheric pressure are controlled by the control unit 88 and the like, if necessary.
  • the influence of disturbance can be reduced as compared with the outside where the printer 1 is installed, so that the fluctuation range of the above-mentioned control factor can be narrower than that of the outside.
  • Five guide rollers 82B are arranged in the head chamber 74, and the printing paper P is conveyed on the guide rollers 82B.
  • the five guide rollers 82B are arranged so that the center is convex toward the direction in which the frame 70 is arranged when viewed from the side surface.
  • the printing paper P conveyed on the five guide rollers 82B has an arc shape when viewed from the side surface, and by applying tension to the printing paper P, the printing paper P between the guide rollers 82B is formed. Is stretched so that it becomes flat.
  • One frame 70 is arranged between the two guide rollers 82B. The angle at which the frame 70 is installed is gradually changed so as to be parallel to the printing paper P conveyed under the frame 70.
  • the printing paper P that has come out of the head chamber 74 passes between the two transport rollers 82C, passes through the dryer 78, passes between the two guide rollers 82D, and is collected by the collection roller 80B.
  • the transport speed of the printing paper P is, for example, 100 m / min.
  • Each roller may be controlled by the control unit 88 or may be manually operated by a person.
  • the dryer 78 may be dried in order by a plurality of drying methods, or may be dried by using a plurality of drying methods in combination. Examples of the drying method used in such a case include blowing warm air, irradiating infrared rays, and contacting a heated roller. When irradiating infrared rays, infrared rays in a specific frequency range may be applied so that the printing paper P can be dried quickly while reducing damage to the printing paper P.
  • the heat transfer time may be lengthened by transporting the printing paper P along the cylindrical surface of the roller.
  • the range of transportation along the cylindrical surface of the roller is preferably 1/4 or more of the cylindrical surface of the roller, and more preferably 1/2 or more of the cylindrical surface of the roller.
  • a UV irradiation light source may be arranged in place of the dryer 78 or in addition to the dryer 78.
  • the UV irradiation light source may be arranged between each frame 70.
  • the printer 1 may include a cleaning unit for cleaning the head 2.
  • the cleaning unit is cleaned by, for example, wiping and / or capping.
  • a flexible wiper is used to rub the surface of the portion where the liquid is discharged, for example, the discharge surface 11a (described later) to remove the liquid adhering to the surface.
  • Cleaning by capping is performed, for example, as follows. First, by covering a portion where the liquid is discharged, for example, a cap so as to cover the discharge surface 11a (this is called capping), the discharge surface 11a and the cap are substantially sealed to form a space.
  • the liquid, the foreign matter, and the like that are clogged in the discharge hole 3 (described later) and have a viscosity higher than that in the standard state are removed.
  • the liquid being washed is less likely to be scattered on the printer 1, and the liquid is less likely to adhere to the transport mechanism such as the printing paper P or the roller.
  • the discharged surface 11a after cleaning may be further wiped. Cleaning by wiping and / or capping may be performed by manually operating the wiper and / or cap attached to the printer 1 or automatically by the control unit 88.
  • the recording medium may be a roll-shaped cloth or the like in addition to the printing paper P. Further, instead of directly transporting the printing paper P, the printer 1 may transport the transport belt and place the recording medium on the transport belt for transport. In that way, sheet paper, cut cloth, wood, tiles, etc. can be used as recording media. Further, the wiring pattern of the electronic device or the like may be printed by discharging the liquid containing the conductive particles from the head 2. Further, a chemical agent may be produced by discharging a predetermined amount of liquid chemical agent or a liquid containing the chemical agent from the head 2 toward the reaction vessel or the like and causing the reaction.
  • a position sensor, a speed sensor, and / or a temperature sensor and the like are attached to the printer 1, and the control unit 88 controls each part of the printer 1 according to the state of each part of the printer 1 which can be understood from the information from each sensor. May be good.
  • the temperature of the head 2, the temperature of the liquid in the liquid supply tank that supplies the liquid to the head 2, and / or the pressure that the liquid in the liquid supply tank applies to the head 2 are the discharge characteristics of the discharged liquid (for example, When the discharge amount and / or the discharge speed is affected, the drive signal for discharging the liquid may be changed according to the information.
  • FIG. 2 is a plan view showing a part of the surface (discharge surface 11a) of the head 2 facing the printing paper P.
  • an orthogonal coordinate system including the D1 axis, the D2 axis, and the D3 axis is attached.
  • the D1 axis is defined to be parallel to the direction of relative movement between the head 2 and the printing paper P.
  • the relationship between the positive / negative of the D1 axis and the traveling direction of the printing paper P with respect to the head 2 is not particularly limited in the description of the present embodiment.
  • the D2 axis is defined to be parallel to the ejection surface 11a and the printing paper P and orthogonal to the D1 axis.
  • the positive or negative of the D2 axis does not matter.
  • the D3 axis is defined to be orthogonal to the ejection surface 11a and the printing paper P.
  • the D3 side (the front side of the paper surface in FIG. 2) is the direction from the head 2 to the printing paper P.
  • the head 2 has a shape in which the D2 direction is the longitudinal direction, and here, one end side portion in the longitudinal direction is shown.
  • the discharge surface 11a is, for example, a flat surface forming most of the surface of the head 2 facing the printing paper P. Further, the discharge surface 11a has, for example, a substantially rectangular shape with the D2 direction as the longitudinal direction.
  • a plurality of ejection holes 3 for ejecting ink droplets are opened on the ejection surface 11a.
  • the plurality of ejection holes 3 are arranged so that the positions in the direction (D2 direction) orthogonal to the relative movement direction (D1 direction) between the head 2 and the printing paper P are different from each other. Therefore, an arbitrary two-dimensional image is formed by ejecting ink droplets from the plurality of ejection holes 3 while relatively moving the head 2 and the printing paper P by the moving portion 85.
  • the plurality of discharge holes 3 are arranged in a plurality of rows (16 rows in the illustrated example). That is, a plurality of discharge hole rows 5 are formed by the plurality of discharge holes 3. In the plurality of discharge hole rows 5, the positions of the plurality of discharge holes 3 in the D2 direction are different from each other. As a result, it is possible to form a plurality of dots arranged in the D2 direction on the printing paper P at a pitch narrower than the pitch of the ejection holes 3 in each ejection hole row 5.
  • the head 2 may have a configuration in which only one row has a discharge hole row 5.
  • the plurality of discharge hole rows 5 are, for example, substantially parallel to each other and have the same length as each other.
  • the discharge hole line 5 is parallel to the direction (D2 direction) orthogonal to the direction of relative movement between the head 2 and the printing paper P.
  • the discharge hole row 5 may be inclined with respect to the D2 direction.
  • the size of the gap (spacing in the D1 direction) between the plurality of discharge hole rows 5 is not uniform. This is due to, for example, the convenience of arranging the flow path inside the head 2. Of course, the size of the gap between the discharge hole rows 5 may be made uniform.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG.
  • the lower part of the paper surface in FIG. 3 is the printing paper P side.
  • the configuration relating to one discharge hole 3 is mainly shown.
  • the head main body 7 including the discharge surface 11a that is, only a part of the discharge surface 11a side
  • the head body 7 may be regarded as a liquid discharge head.
  • the head body 7 is a roughly plate-shaped member, and one of the front and back surfaces of the plate-shaped member is the discharge surface 11a described above.
  • the thickness of the head body 7 is, for example, 0.5 mm or more and 2 mm or less.
  • the head body 7 is a piezo type head that applies pressure to a liquid by mechanical strain of a piezoelectric element to discharge droplets.
  • Each of the head main body 7 has a plurality of discharge elements 9 including a discharge hole 3.
  • the configurations related to the plurality of discharge elements 9 and the plurality of discharge elements 9 may be basically the same configurations as each other.
  • the plurality of discharge elements 9 are arranged two-dimensionally along the discharge surface 11a.
  • the head body 7 has a substantially plate-shaped flow path member 11 in which a flow path through which a liquid (ink) flows is formed, and a piezoelectric material for applying pressure to the liquid in the flow path member 11. It has an actuator 13.
  • the plurality of discharge elements 9 are composed of a flow path member 11 and a piezoelectric actuator 13.
  • the discharge surface 11a is composed of a flow path member 11.
  • the surface of the flow path member 11 opposite to the discharge surface 11a is referred to as a pressure surface 11b.
  • the flow path member 11 has a common flow path 15 and a plurality of individual flow paths 17 (one is shown in FIG. 3) connected to the common flow path 15.
  • Each individual flow path 17 has the discharge hole 3 described above, and also has a connection flow path 19, a pressurizing chamber 21, and a partial flow path 23 in this order from the common flow path 15 to the discharge hole 3. There is.
  • the plurality of individual flow paths 17 and the common flow path 15 are filled with a liquid.
  • the liquid is sent from the plurality of pressurizing chambers 21 to the plurality of partial flow paths 23, and the plurality of liquids are sent from the plurality of discharge holes 3 to the plurality of liquids. Drops are ejected. Further, the plurality of pressurizing chambers 21 are replenished with liquid from the common flow path 15 via the plurality of connection flow paths 19.
  • the flow path member 11 is configured by, for example, stacking a plurality of plates 25A to 25J (hereinafter, A to J may be omitted).
  • the plate 25 is formed with a plurality of holes (mainly through holes, which may be recessed) forming the plurality of individual flow paths 17 and the common flow path 15.
  • the thickness and the number of layers of the plurality of plates 25 may be appropriately set according to the shapes of the plurality of individual flow paths 17 and the common flow paths 15.
  • the plurality of plates 25 may be formed of an appropriate material.
  • the plurality of plates 25 are made of metal or resin.
  • the thickness of the plate 25 is, for example, 10 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less.
  • the plates 25 are fixed to each other by, for example, an adhesive (not shown) interposed between the plates 25.
  • each flow path in the flow path member 11 may be appropriately set. In the illustrated example, it is as follows.
  • the common flow path 15 extends in the longitudinal direction of the head 2 (the direction through which the paper surface is seen in FIG. 3). Only one common flow path 15 may be provided, but for example, a plurality of common flow paths 15 are provided in parallel with each other.
  • the shape of the cross section of the common flow path 15 is rectangular.
  • a plurality of individual flow paths 17 are arranged in the length direction of each common flow path 15.
  • a plurality of discharge holes 3 individually included in the plurality of individual flow paths 17 are also arranged along the common flow path 15.
  • two rows of discharge holes 3 may be arranged on each side of one common flow path 15.
  • a total of 16 rows of discharge holes 3 may be arranged in the four common flow paths 15.
  • the pressurizing chamber 21 is opened to the pressurizing surface 11b, for example, and is closed by the piezoelectric actuator 13.
  • the pressurizing chamber 21 may be closed by the plate 25.
  • this can also be considered as a problem of whether the plate 25 that closes the pressurizing chamber 21 is regarded as a part of the flow path member 11 or a part of the piezoelectric actuator 13.
  • the pressurizing chamber 21 is biased toward the pressurizing surface 11b of the discharge surface 11a and the pressurizing surface 11b.
  • the shapes of the plurality of pressure chambers 21 are, for example, the same as each other.
  • the shape of each pressurizing chamber 21 may be appropriately set.
  • the pressurizing chamber 21 is formed in a thin shape that spreads with a constant thickness along the pressurizing surface 11b.
  • the pressurizing chamber 21 may have parts having different thicknesses.
  • the thin shape is, for example, a shape having a thickness smaller than any diameter in a plan view.
  • the planar shape of the pressurizing chamber 21 may be a shape having a longitudinal direction and a lateral direction orthogonal to each other (for example, a rhombus or an ellipse) (illustrated example), and such a direction is conceptualized. It may have a shape that cannot be formed (for example, a circular shape). Further, the relationship between the longitudinal direction and the lateral direction and the arrangement mode of the plurality of pressurizing chambers 21 is also arbitrary.
  • a shape obtained by adding a circular shape and an elliptical shape is taken as an example. From another point of view, take as an example a shape in which the longitudinal direction and the lateral direction can be conceptualized.
  • the left-right direction of the paper surface in FIG. 3 is the longitudinal direction of the pressurizing chamber 21.
  • the direction is, for example, a direction in which the common flow path 15 intersects (for example, orthogonally) in a direction in which the common flow path 15 extends, and from another viewpoint, is a lateral direction of the head body 7.
  • the partial flow path 23 extends from the pressurizing chamber 21 toward the discharge surface 11a.
  • the shape of the partial flow path 23 is generally columnar.
  • the partial flow path 23 may extend from the pressurizing chamber 21 toward the discharge surface 11a by inclining in the vertical direction (illustration), or may extend without inclining. Further, the partial flow path 23 may have a different cross-sectional area depending on the vertical position.
  • the partial flow path 23 is connected to, for example, the end portion of the pressurizing chamber 21 in a predetermined direction (for example, the longitudinal direction of the pressurizing chamber 21 in the plan view).
  • the discharge hole 3 is open to a part of the bottom surface (the surface opposite to the pressurizing chamber 21) of the partial flow path 23.
  • the discharge hole 3 is located, for example, substantially in the center of the bottom surface of the partial flow path 23.
  • the discharge hole 3 may be provided eccentrically with respect to the center of the bottom surface of the partial flow path 23.
  • the shape of the vertical cross section of the discharge hole 3 is tapered so that the diameter becomes smaller toward the discharge surface 11a side.
  • the discharge hole 3 may be partially or wholly tapered.
  • connection flow path 19 is connected to, for example, a portion extending upward from the upper surface of the common flow path 15, a portion extending upward from the portion along the plate 25, and a portion extending upward from the portion and connecting to the lower surface of the pressurizing chamber 21. It has a part that is The portion along the plate 25 has a small cross-sectional area orthogonal to the flow direction, and functions as a so-called squeeze.
  • the connection position of the connection flow path 19 with respect to the pressurizing chamber 21 is, for example, an end portion of the lower surface of the pressurizing chamber 21 opposite to the partial flow path 23 with respect to the center of the lower surface. There is.
  • the description of the mode of arrangement of the plurality of discharge holes 3 described with reference to FIG. 2 may be incorporated.
  • the arrangement of the plurality of pressurizing chambers 21 and the arrangement of the plurality of discharge holes 3 may be different.
  • the arrangement of the plurality of pressurizing chambers 21 may be different from the arrangement of the plurality of discharge holes 3 by making the shapes of the plurality of partial flow paths 23 different from each other.
  • the plurality of pressurizing chambers 21 are uniformly distributed in both the D1 direction and the D2 direction (the pitch between the rows of the pressurizing chamber 21 is different). It may be fixed), or it may be arranged in a number of rows smaller than the number of discharge hole rows 5.
  • the piezoelectric actuator 13 has, for example, a substantially plate shape having an area extending over a plurality of pressurizing chambers 21.
  • the piezoelectric actuator 13 has a first surface 13a and a second surface 13b as a plate-shaped front surface and a back surface.
  • the first surface 13a is a surface that is overlapped with the pressure surface 11b of the flow path member 11.
  • the piezoelectric actuator 13 has a piezoelectric element 27 that applies pressure to the pressurizing chamber 21 for each discharge element 9 (for each pressurizing chamber 21). That is, the piezoelectric actuator 13 has a plurality of piezoelectric elements 27 at a plurality of positions in the direction along the first surface 13a.
  • the region regarded as the piezoelectric element 27 may be appropriately defined.
  • the region may be defined by a region provided with the U individual electrode 51 described later, or may be defined by a region overlapping the pressurizing chamber 21 in planar fluoroscopy.
  • the piezoelectric actuator 13 is configured by laminating a plurality of layered members extending along the first surface 13a. Specifically, for example, in the piezoelectric actuator 13, the DD insulating layer 29, the DD conductor layer 31, the D insulating layer 33, the D conductor layer 35, and the piezoelectric layer are arranged in this order from the first surface 13a side (flow path member 11 side). It has 37, a U conductor layer 39, a U piezoelectric layer 41, and a UU conductor layer 43.
  • the piezoelectric actuator 13 alternately has an insulating layer and a conductor layer, and a total of four layers of insulation are provided. It has a layer and four conductor layers.
  • the piezoelectric actuator 13 may have an insulating layer (for example, a solder resist) that covers the UU conductor layer 43.
  • the "DD”, “D”, “U”, and “UU” attached to the insulating layer and the conductor layer are “D” and the first surface 13a side (Down Side) with reference to the piezoelectric layer 37.
  • the side 13b (Up side) of the two sides is defined as “U”, and the characters “D” and "U” are increased as the distance from the piezoelectric layer 37 increases. This character may also be attached to the part included in each layer.
  • the piezoelectric layer 37 when a voltage is applied to the piezoelectric layer 37 by the D conductor layer 35 and the U conductor layer 39, the piezoelectric layer 37 extends and / or extends in the plane direction (direction along the front surface and the back surface) thereof. Or it contracts (expands and contracts). This expansion and contraction is regulated by any of the other insulating layers. As a result, the piezoelectric element 27 bends and deforms toward the first surface 13a side and / or the second surface 13b side like a bimetal. Due to the bending deformation of the piezoelectric element 27, the volume of the pressurizing chamber 21 is reduced and / or expanded, and pressure is applied to the liquid in the pressurizing chamber 21.
  • the D insulating layer 33 and / or the DD insulating layer 29 regulates the expansion and contraction of the piezoelectric layer 37.
  • the piezoelectric layer 37 contracts, the piezoelectric element 27 bends and deforms on the first surface 13a side (the first surface 13a side becomes convex).
  • the piezoelectric element 27 bends and deforms on the second surface 13b side (the first surface 13a side becomes concave).
  • the U piezoelectric layer 41 expands and contracts in the plane direction when a voltage is applied by the U conductor layer 39 and the UU conductor layer 43. More specifically, when the piezoelectric layer 37 expands in the plane direction by applying a voltage, the U piezoelectric layer 41 also expands by applying a voltage, and when the piezoelectric layer 37 contracts in the plane direction by applying a voltage, U The piezoelectric layer 41 also shrinks when a voltage is applied.
  • the expansion and contraction of the U piezoelectric layer 41 is regulated by the D insulating layer 33 and / or the DD insulating layer 29, similarly to the piezoelectric layer 37, and the U piezoelectric layer 37 bends and deforms in the same direction as the bending deformation of the piezoelectric layer 37. ..
  • piezoelectric As a result, compared with the embodiment in which there is one piezoelectric layer having a thickness equal to the total thickness of the piezoelectric layer 37 and the U piezoelectric layer 41 (the embodiment may also be included in the technique according to the present disclosure), piezoelectric. By halving the distance between the electrodes sandwiching the body layer, the strength of the electric field applied to the piezoelectric layer becomes stronger, and the amount of displacement of the piezoelectric element 27 can be increased. Further, as compared with the embodiment in which the U piezoelectric layer 41 is not provided and only the piezoelectric layer 37 is present (the embodiment may also be included in the technique according to the present disclosure), the thickness of the displaced piezoelectric layer is increased. As a result, the force for bending the laminate composed of the piezoelectric layer and the insulating layer can be increased.
  • the DD conductor layer 31 which was not mentioned in the above description of the deflection deformation, contributes to the reduction of unintended stress and / or strain in the piezoelectric actuator 13, for example.
  • Examples of such stress and / or strain include those caused by temperature changes during manufacturing and / or use. More specifically, for example, when focusing on the expansion and contraction of the piezoelectric actuator 13 in the plane direction due to the temperature change, the DD conductor layer 31 expands and contracts on one side in the thickness direction (D3 direction) and expands and contracts on the other side. Contributes to balancing.
  • the expansion and contraction of the piezoelectric layer (37 and 41) is regulated on the first surface 13a side of the piezoelectric layer to realize bending deformation. Therefore, the material and thickness of the layers other than the piezoelectric layer are set so that the stress received by the piezoelectric layer from the first surface 13a side when the piezoelectric layer expands and contracts is larger than the stress received from the second surface 13b side. Will be done. There are various combinations of such materials and thicknesses, which may be appropriately set.
  • each conductor layer may be made thinner than the thickness of the insulating layer, and thus the influence on the expansion and contraction of the piezoelectric layers (37 and 41) may be reduced.
  • the DD insulating layer 29 and the D insulating layer 33 are made of the same piezoelectric material (for example, the same material as the material of the piezoelectric layer 37 and / or the U piezoelectric layer 41. From another viewpoint, a material having a relatively large Young's modulus). It may be configured.
  • the total thickness of the insulating layers (29 and 33) located on the first surface 13a side with respect to the piezoelectric layer (37 and 41) is the second surface 13b side with respect to the piezoelectric layer (37 and 41).
  • the stress received from the first surface 13a side is made larger than the stress received from the second surface 13b side.
  • the thickness of the insulating layer may be set appropriately.
  • the total thickness of the insulating layers (29 and 33) located on the first surface 13a side with respect to the piezoelectric layers (37 and 41) is relative to the total thickness of the piezoelectric layers (37 and 41). It may be 1/2 or more and 3/2 or less.
  • the DD insulating layer 29, the D insulating layer 33, the piezoelectric layer 37, and the U piezoelectric layer 41 have substantially the same thickness.
  • the total thickness of the insulating layers (29 and 33) located on the first surface 13a side with respect to the piezoelectric layers (37 and 41) is approximately equal to the total thickness of the piezoelectric layers (37 and 41). It is said that. From another viewpoint, the total thickness of the insulating layers (29 and 33) located on the first surface 13a side with respect to the D conductor layer 35 and the insulating layer (29 and 33) located on the second surface 13b side with respect to the D conductor layer 35. The total thickness of 37 and 41) is almost the same.
  • the thickness of the DD insulating layer 29, the D insulating layer 33, the piezoelectric layer 37, and the U piezoelectric layer 41 may be 10 ⁇ m or more and 40 ⁇ m or less, respectively.
  • the thickness of the DD conductor layer 31, the D conductor layer 35, the U conductor layer 39, and the UU conductor layer 43 may be 0.5 ⁇ m or more and 3 ⁇ m or less, respectively.
  • the thickness of the D conductor layer 35 may be increased by a difference of 0.5 ⁇ m or more and 2 ⁇ m or less with respect to the thickness of another conductor layer (for example, the U conductor layer 39).
  • FIG. 4 shows a part of the piezoelectric actuator 13 and a region including a plurality of piezoelectric elements 27.
  • FIG. 5 shows a region including one piezoelectric element 27.
  • the surfaces of the conductor layers 31, 35, 39 and 43 are hatched for convenience.
  • a plate-like member in which two layers of an insulating layer or a piezoelectric layer and a conductive layer overlapping the upper surface (+ D3 side surface) thereof are combined is shown. That is, four plate-shaped members are shown. However, this is for convenience of illustration, and does not mean that such four plate-shaped members are produced in the manufacturing process.
  • each conductor layer may be provided on the lower surface (-D3 side surface) of the insulating layer or the piezoelectric layer.
  • the piezoelectric layer (37 and 41) when the piezoelectric layer (37 and 41) is also regarded as a kind of insulating layer, the four insulating layers (29, 33, 37 and 41) are formed on the plurality of piezoelectric elements 27. It spreads virtually without gaps.
  • the term "substantially” is used because, for example, a penetrating conductor (described later) for connecting conductor layers may penetrate the insulating layer (hereinafter, the same applies).
  • the D conductor layer 35 also extends substantially without gaps over the plurality of piezoelectric elements 27.
  • the other conductor layers (31, 39 and 43) have a plurality of portions (45, 51 and 53) individually (in other words, one-to-one) located on the plurality of piezoelectric elements 27.
  • the various layers (29, 31, 33, 35, 37, 39, 41 and 43) of the piezoelectric actuator 13 are generally layered with a constant thickness when the non-arranged region of the conductor layer is ignored.
  • the size of the layers (29, 33, 35, 37 and 41) extending over the plurality of piezoelectric elements 27 may be, for example, the same size as each other. From another point of view, the size of these layers may be similar to the size of the piezoelectric actuator 13. However, one of the layers may be narrower than the other.
  • the D conductor layer 35 may be narrower than the D insulating layer 33 and the piezoelectric layer 37 that overlap the D conductor layer 35 so that the outer edge is not exposed to the outside of the piezoelectric actuator 13.
  • Each layer may be integrally composed of one kind of material, or may be composed of laminated materials different from each other.
  • the material of each layer is the same at different positions in the plane direction. However, the material in some areas may be different from the material in other areas.
  • the polarization axis (also referred to as an electric axis or an X axis in a single crystal) is generally in the thickness direction (D3 direction). It is parallel. Further, the piezoelectric layer 37 and the U piezoelectric layer 41 are polarized in opposite directions (whether they are on the + D3 side or the ⁇ D3 side). Each of the piezoelectric layers (37 and 41) contracts in the plane direction when a voltage is applied in the same direction as the polarization direction in the thickness direction.
  • each of the piezoelectric layers (37 and 41) extends in the plane direction by applying a voltage in the direction opposite to the direction of polarization in the thickness direction.
  • the region of the piezoelectric layer (37 and / or 41) other than the region constituting the piezoelectric element 27 may or may not be polarized. In the former case, the direction of polarization may be the same as or different from the direction of polarization in the region constituting the piezoelectric element 27.
  • the material of the piezoelectric layer 37 and the U piezoelectric layer 41 may be, for example, a ceramic material having ferroelectricity.
  • the ceramic material may be, for example, lead zirconate titanate (PZT), NaNbO 3 system, BaTiO 3 system, those (BiNa) TiO 3 system, the BiNaNb 5 O 15 system.
  • the material of the piezoelectric layer (37 and 41) may be other than the ceramic material.
  • the material of the piezoelectric layers (37 and 41) may be a single crystal, a polycrystalline material, an inorganic material, an organic material, or a ferroelectric substance. It may or may not be a body, and it may or may not be a pyroelectric body.
  • the materials of the piezoelectric layer 37 and the U piezoelectric layer 41 may be the same as each other or may be different from each other.
  • the thicknesses of the DD insulating layer 29 and the D insulating layer 33 may be appropriately set.
  • the thickness of these layers may be the same or different from each other.
  • the thickness of each layer may be thinner, equal to, or thicker than the thickness of the piezoelectric layer 37 and / or the U piezoelectric layer 41.
  • the materials of the DD insulating layer 29 and the D insulating layer 33 may be appropriate.
  • the material of at least one insulating layer may be the same as or different from the material of the piezoelectric layer 37 and / or the U piezoelectric layer 41.
  • the material of at least one insulating layer may or may not be a piezoelectric material.
  • the material of the insulating layer is a piezoelectric material that is the same as or different from the material of the piezoelectric layer
  • the material exemplified in the description of the piezoelectric layer may be used as the material of the insulating layer.
  • the insulating layer may or may not be polarized when it is composed of polycrystals.
  • the material of at least one insulating layer does not have to be a piezoelectric material.
  • the thicknesses of the DD conductor layer 31, the D conductor layer 35, the U conductor layer 39, and the UU conductor layer 43 may be appropriately set.
  • the thickness of these layers may be the same or different from each other.
  • the thickness of each layer is made thinner than the thickness of the piezoelectric layer 37, for example.
  • the materials of the DD conductor layer 31, the D conductor layer 35, the U conductor layer 39, and the UU conductor layer 43 may be the same as each other or may be different from each other. Further, the material of each conductor layer may be, for example, a metal material. As the metal material, for example, an Ag—Pd-based alloy and an Au-based alloy may be used.
  • the D conductor layer 35 contributes to applying a voltage to the piezoelectric layer 37 as described above, for example.
  • the D conductor layer 35 includes only the common electrode 49 in the illustrated example (or in the range shown).
  • the common electrode 49 extends substantially without gaps over the plurality of piezoelectric elements 27.
  • a constant potential a potential that does not fluctuate with the passage of time
  • the constant potential is, for example, a reference potential (ground potential).
  • the U conductor layer 39 contributes to applying a voltage to the piezoelectric layer 37 and the U piezoelectric layer 41 as described above.
  • the U conductor layer 39 includes, for example, a plurality of U individual electrodes 51 that directly contribute to voltage application, and a plurality of U wirings 53 for individually applying potentials (drive signals) to the plurality of U individual electrodes 51. Have.
  • the plurality of U individual electrodes 51 and the plurality of U wirings 53 are individually provided for the plurality of piezoelectric elements 27 (from another viewpoint, the plurality of pressurizing chambers 21).
  • the U conductor layer 39 may have a portion other than the above.
  • the U conductor layer 39 may have a reinforcing portion extending along the outer edge of the piezoelectric layer 37 and / or the U piezoelectric layer 41.
  • a constant potential for example, a reference potential
  • a drive signal whose potential changes with the elapsed time is input to the U individual electrode 51.
  • a voltage is applied to the piezoelectric layer 37, and the piezoelectric element 27 is displaced.
  • drive signals are individually input to the plurality of U individual electrodes 51.
  • the plurality of piezoelectric elements 27 are driven individually (in other words, independently).
  • the total area (or volume) of the plurality of U individual electrodes 51 and the plurality of U wiring 53 and the total area (or volume) of the U conductor layer 39 may be appropriately set.
  • the sum of the above two is the same.
  • the above two sums will be described without distinction, and the word of one sum may be replaced with the word of the other sum.
  • the plurality of U individual electrodes 51 individually face the plurality of pressurizing chambers 21.
  • the planar shape of the U individual electrode 51 may or may not be similar to, for example, the planar shape of the pressurizing chamber 21 (illustrated example). In any case, the description regarding the planar shape of the pressurizing chamber 21 may be incorporated into the planar shape of the U individual electrode 51.
  • the planar shape of the U individual electrode 51 may be a shape having a longitudinal direction and a lateral direction orthogonal to each other (example in the figure), or a shape in which such a direction cannot be conceptualized. Further, the relationship between the longitudinal direction and the lateral direction and the arrangement mode of the plurality of U individual electrodes 51 is also arbitrary.
  • the size of the U individual electrode 51 may be appropriately set.
  • the outer edge of the U individual electrode 51 is entirely located inside the outer edge of the pressurizing chamber 21 (more specifically, for example, the opening surface on the pressurizing surface 11b side of the pressurizing chamber 21). It may be, the whole may be approximately the same, the whole may be located on the outside, or only a part may be located on the inside or the inside.
  • planar shape of the U individual electrode 51 is similar to the planar shape of the pressurizing chamber 21.
  • the details of this planar shape will be described later, but it is a shape that allows the concept of a longitudinal direction and a lateral direction that are orthogonal to each other.
  • planar fluoroscopy an example is taken in which the centers of the U individual electrode 51 and the pressurizing chamber 21 (in the planar shape thereof) are substantially aligned with each other, and the directions of the two are substantially aligned with each other.
  • the longitudinal direction of the U individual electrode 51 is the D1 direction (that is, the lateral direction of the piezoelectric actuator 13).
  • the longitudinal direction of the U individual electrode 51 may be another direction (for example, the longitudinal direction of the piezoelectric actuator 13).
  • the center when the plane figure is referred to as the center (or the center, etc.) (or the center in the plan view or the cross-sectional view), the center may be, for example, the center of gravity unless otherwise specified. ..
  • the center of gravity is the center of gravity of the plane figure, and is the point at which the primary cross-sectional moment with respect to an arbitrary axis passing through the point becomes zero.
  • the plurality of U individual electrodes 51 are arranged in the longitudinal direction of the piezoelectric actuator 13 (D2 direction; from another viewpoint, the lateral direction of the U individual electrodes 51), and a plurality of rows (may be one row) are arranged. I'm doing it.
  • the rows adjacent to each other are offset by half a pitch from each other in the direction parallel to the rows (here, the D2 direction). In an aspect of being half-pitch-shifted, when viewed in a direction parallel to the rows, the rows adjacent to each other may or may not partially overlap each other.
  • the U wiring 53 has a shape extending from the U individual electrode 51, and is a so-called extraction electrode.
  • the U wiring 53 is connected to, for example, a through conductor 61 (FIG. 3) penetrating the U piezoelectric layer 41. Therefore, when the drive signal is input to the through conductor 61, the drive signal is input to the U individual electrode 51 via the U wiring 53.
  • the specific shape, dimensions, position, etc. of the U wiring 53 may be appropriately set.
  • the U wiring 53 extends linearly from one end of the U individual electrode 51 in a predetermined direction (D1 direction in the illustrated example) to the one side in the predetermined direction.
  • the predetermined direction may be any direction, but is, for example, the longitudinal direction of the U individual electrode 51 and / or the lateral direction of the piezoelectric actuator 13.
  • the width of the U wiring 53 is, for example, substantially constant.
  • the U wiring 53 may have a bent or curved portion. Further, the end portion of the U wiring 53 on the side opposite to the U individual electrode 51 may be widened as compared with other portions.
  • the DD conductor layer 31 contributes to the reduction of unintended stress and / or strain in the piezoelectric actuator 13, for example, as described above.
  • the DD conductor layer 31 is provided with a constant potential (a potential that does not fluctuate with the passage of time), as in the case of the common electrode 49, for example.
  • the constant potential may be, for example, the same potential as the potential of the common electrode 49, or may be a reference potential (ground potential).
  • the DD conductor layer 31 may be electrically suspended without being applied with a potential when the piezoelectric element 27 is driven.
  • the DD conductor layer 31 has, for example, a plurality of DD individual electrodes 45 individually located on the plurality of piezoelectric elements 27, and a plurality of DD wirings 47 connecting the plurality of DD individual electrodes 45 to each other.
  • the DD conductor layer 31 may have a portion other than the above.
  • the DD conductor layer 31 may have a reinforcing portion extending along the outer edge of the DD insulating layer 29 and / or the D insulating layer 33.
  • the DD conductor layer 31 does not have to have the DD wiring 47 for connecting the DD individual electrodes 45 to each other.
  • the plurality of DD individual electrodes 45 may be disconnected from each other.
  • the plurality of DD individual electrodes 45 are electrically connected to each other via the common electrode 49 by providing wiring and a through conductor penetrating the D insulating layer 33 for each DD individual electrode 45. May be good.
  • the total area (or volume) of the plurality of DD individual electrodes 45 and the plurality of DD wirings 47 and the total area (or volume) of the DD conductor layer 31 may be appropriately set. In the illustrated example, the sum of the above two is the same. In the following description, for convenience, the above two sums will be described without distinction, and the word of one sum may be replaced with the word of the other sum.
  • the total area (or volume) may be smaller, equal to, or larger than the total area (or volume) of the U conductor layer 39.
  • the total area (or volume) of the DD conductor layer 31 may be 1 ⁇ 2 or more and twice or less the total area (or volume) of the U conductor layer 39.
  • the difference is, for example, the area (or volume) of the U conductor layer 39.
  • the difference is, for example, the area (or volume) of the U conductor layer 39.
  • DD individual electrode A plurality of (for example, all) DD individual electrodes 45 are connected to each other by a plurality of DD wirings 47 as described above. Therefore, the plurality of DD individual electrodes 45 have the same potential as each other.
  • the "individual electrode” means that a plurality of electrodes have shapes separated from each other, and it is not necessary that potentials different from each other can be applied. Further, the separation referred to here is not limited to complete separation.
  • the plurality of individual electrodes may be spaced apart from each other. In other words, the plurality of individual electrodes may sandwich a non-arranged region of the conductor layer (DD conductor layer 31 in the case of the DD individual electrode 45) between them.
  • the DD individual electrodes 45 adjacent to each other in the D2 direction are connected by the DD wiring 47 between them, but sandwich the gap S2.
  • the plurality of DD individual electrodes 45 are separated from each other in a direction other than the D2 direction.
  • the plurality of DD individual electrodes 45 individually face the plurality of U individual electrodes 51 (from another viewpoint, the plurality of pressurizing chambers 21). More specifically, in planar fluoroscopy, each DD individual electrode 45 overlaps the center of the corresponding U individual electrode 51. In the DD individual electrode 45, an arbitrary region may overlap the center of the U individual electrode 51. For example, the central region of the DD individual electrode 45 (for example, the central region when the DD individual electrode 45 is divided into three equal parts in an arbitrary direction) or the center may overlap the center of the U individual electrode 51.
  • the shape of the DD individual electrode 45 may be any shape.
  • the planar shape of the DD individual electrode 45 may or may not be similar to the planar shape of the U individual electrode 51 (illustrated example).
  • the description regarding the planar shape of the U individual electrode 51 may be incorporated into the planar shape of the DD individual electrode 45.
  • the planar shape of the DD individual electrode 45 may be a shape having a longitudinal direction and a lateral direction orthogonal to each other (example in the figure), or a shape in which such a direction cannot be conceptualized.
  • the relationship between the longitudinal direction and the lateral direction and the arrangement mode of the plurality of DD individual electrodes 45 is also arbitrary.
  • the size of the DD individual electrode 45 may be appropriately set.
  • the outer edge of the DD individual electrode 45 may be entirely located inside the outer edge of the U individual electrode 51 (illustrated example), and the entire edge is substantially the same. It may be entirely located on the outside, or only part of it may be located on the same or inside.
  • the area (or volume) of the DD individual electrode 45 may be, for example, smaller (illustrated example), equivalent, or larger than the area (or volume) of the U individual electrode 51. You may.
  • the area (or volume) of the DD individual electrode 45 may be 1 ⁇ 2 or more and twice or less the area (or volume) of the U individual electrode 51.
  • the difference is, for example, 5% of the area (or volume) of the U individual electrode 51. It may be more than or equal to 20% or more.
  • planar shape of the DD individual electrode 45 is similar to the planar shape of the U individual electrode 51, and the centers of both are substantially aligned with each other in planar fluoroscopy.
  • planar fluoroscopy an embodiment in which the centers of the DD individual electrode 45 and the U individual electrode 51 are substantially aligned with each other and the directions of both are substantially aligned with each other is taken as an example.
  • the arrangement position of the DD individual electrode 45 the description of the arrangement position of the U individual electrode 51 may be incorporated.
  • an embodiment in which the entire DD individual electrode 45 is located inside the outer edge of the U individual electrode 51 (in another viewpoint, the area of the DD individual electrode 45 is smaller than the area of the U individual electrode 51) is an example. Take to.
  • the number, position, shape, dimensions, and the like of the plurality of DD wirings 47 may be appropriately set.
  • the DD wiring 47 may connect the DD individual electrodes 45 adjacent to each other in the D2 direction (in the illustrated example), or may be adjacent to each other in a direction other than the D2 direction (a direction inclined in the D1 direction or the D1 direction).
  • the DD individual electrodes 45 may be connected to each other, or a connection in which two or more of these connections are combined may be realized.
  • the DD wiring 47 may extend linearly (example in the figure), or may be bent or curved.
  • the DD wiring 47 may have a substantially constant width over the length direction thereof, or may have a different width depending on the position in the length direction.
  • the width of the DD wiring 47 is smaller than the maximum diameter of the DD individual electrodes 45 in the width direction of the DD wiring 47 so that a gap (for example, a gap S2) is formed between the DD individual electrodes 45.
  • the former may be 1/2 or less, 1/3 or less, or 1/4 or less of the latter.
  • the DD wiring 47 connects the DD individual electrodes 45 adjacent to each other in the D2 direction.
  • the shape of the DD wiring 47 is roughly a shape extending linearly in the D2 direction with a constant width.
  • the direction in which the DD wiring 47 extends (D2 direction) is a direction that intersects (more specifically, orthogonally) in the direction in which the U wiring 53 extends, and is also a longitudinal direction of the DD individual electrode 45 (separately). From the viewpoint of the above, the direction intersects (more specifically, orthogonal) with the longitudinal direction of the pressurizing chamber 21.
  • the UU conductor layer 43 contributes to applying a voltage to the U piezoelectric layer 41, for example, as described above.
  • the UU conductor layer 43 basically (excluding, for example, the pad 59 described later) has a constant potential (a potential that does not fluctuate with the passage of time) like the common electrode 49. Is given.
  • the constant potential may be, for example, the same potential as the potential of the common electrode 49 and / or the DD conductor layer 31, or may be, for example, a reference potential (ground potential).
  • the UU conductor layer 43 includes, for example, a plurality of UU individual electrodes 55 individually located on the plurality of piezoelectric elements 27, a plurality of UU wirings 57 connecting the plurality of UU individual electrodes 55 to each other, and a U piezoelectric body. It has a plurality of pads 59 that contribute to the application of electric potential to the conductor layer (39, 35 and / or 31) below the layer 41.
  • the UU conductor layer 43 may have a portion other than the above.
  • the UU conductor layer 43 may have a reinforcing portion extending along the outer edge of the U piezoelectric layer 41.
  • the UU conductor layer 43 does not have to have the UU wiring 57 that connects the UU individual electrodes 55 to each other.
  • the plurality of UU individual electrodes 55 may be disconnected from each other.
  • the plurality of UU individual electrodes 55 are electrically connected to each other via the common electrode 49 by providing wiring and a through conductor penetrating the U piezoelectric layer 41 and the piezoelectric layer 37 for each UU individual electrode 55. May be connected.
  • the plurality of UU individual electrodes 55 may be connected to each other via FPCs (Flexible printed circuits) (not shown) facing the second surface 13b of the piezoelectric actuator 13.
  • the total area (or volume) of the plurality of UU individual electrodes 55 and the plurality of UU wirings 57 may be referred to as the area (or volume) of the main part of the UU conductor layer 43), and the area of the UU conductor layer 43.
  • the total (or volume) may be set as appropriate.
  • the sum of these areas (or volumes) may be smaller or equivalent to at least one of the sum of the areas (or volumes) of the U conductor layer 39 and the sum of the areas (or volumes) of the DD conductor layers 31. It may be large or large.
  • the total area (or volume) of the main part of the UU conductor layer 43 and the total area (or volume) of the UU conductor layer 43 is 1 with respect to the total area (or volume) of the U conductor layer 39. It may be 2 or more and 2 times or less. If the total area (or volume) of the main part of the UU conductor layer 43 or the total area (or volume) of the UU conductor layer 43 is larger or smaller than the total area (or volume) of the U conductor layer 39, the total is the same. The difference may be, for example, 1% or more or 50% or more of the total area (or volume) of the U conductor layer 39.
  • the positions, shapes and dimensions of the plurality of UU individual electrodes 55, except for the position in the D3 direction, are such that the plurality of DD individual electrodes 45 (in another aspect).
  • the positions, shapes, and dimensions of the plurality of U individual electrodes 51) are similar to or similar to each other. Therefore, for example, the description of the DD individual electrode 45 (or the U individual electrode 51) described above may basically be applied to the UU individual electrode 55.
  • the planar shape of the UU individual electrode 55 may be similar to the planar shape of the U individual electrode 51. Further, in planar fluoroscopy, the UU individual electrode 55 may overlap the center of the U individual electrode 51. More specifically, in planar fluoroscopy, the UU individual electrodes 55 and the U individual electrodes 51 may be substantially aligned in center with each other and may be oriented in the same direction. Further, the area (or volume) of the UU individual electrode 55 may be smaller, equal to, or larger than the area (or volume) of the U individual electrode 51. Specific examples of the difference are also as described above.
  • the area (or volume) of the UU individual electrode 55 is larger than the area (or volume) of the U individual electrode 51.
  • the area (or volume) of the DD individual electrode 45 is smaller than the area (or volume) of the U individual electrode 51, so that the area (or volume) of the UU individual electrode 55 ( Or volume) is also large with respect to the area (or volume) of the DD individual electrode 45.
  • the positions, shapes, and dimensions of the plurality of UU wirings 57 are the plurality of DD wirings 47 (a plurality of DD wirings 47 from another viewpoint). It is similar to or similar to the position, shape and dimensions of the U individual electrode 51). Therefore, for example, the description of the DD wiring 47 described above may be basically incorporated into the UU wiring 57.
  • the UU wiring 57 may connect UU individual electrodes 55 adjacent to each other in the D2 direction. Further, for example, the UU wiring 57 may extend linearly in the D2 direction with a substantially constant width. The width of the UU wiring 57 is smaller than the maximum diameter of the UU individual electrode 55 in the width direction of the UU wiring 57 so that a gap is formed between the UU individual electrodes 55.
  • the positions, shapes and dimensions of the plurality of UU wirings 57 may not be the same or similar to the positions, shapes and dimensions of the plurality of DD wirings 47.
  • the direction in which the UU wiring 57 extends may be a direction intersecting the direction in which the DD wiring 47 extends (for example, a direction orthogonal to each other). Regardless of whether they are the same or similar, the description of the DD wiring 47 may be incorporated into the UU wiring 57 in any part.
  • the plurality of pads 59 are provided at positions overlapping the ends of the plurality of U wirings 53. Then, as shown in FIG. 3, the plurality of pads 59 are individually connected to the plurality of U wirings 53 by the plurality of through conductors 61 penetrating the U piezoelectric layer 41. As a result, a drive signal can be input to the U individual electrode 51 from the outside of the piezoelectric actuator 13 via the pad 59.
  • the material in a part of the region may be different from the material in the other region.
  • the material of all or a part of the pad 59 on the upper surface side may be different from the material of the UU individual electrode 55.
  • FIG. 6 is an enlarged plan view of a part of the UU conductor layer 43. In this figure, only two rows are shown in which a plurality of UU individual electrodes 55 are arranged in the D2 direction. Further, in this figure, for convenience of explanation, it is assumed that the number of the plurality of UU individual electrodes 55 included in one row is four. Further, the illustration of the pad 59 is omitted.
  • a plurality of rows formed by the plurality of UU individual electrodes 55 are connected to each other, for example.
  • the connection method may be appropriate.
  • UU wiring 57 extending to the outside of the row (-D2 side or + D2 side) is provided at both ends of each row.
  • the UU wirings 57 at both ends are connected to common wirings 63 extending in a direction (D1 direction) intersecting a plurality of rows. As a result, the plurality of rows are connected to each other.
  • the common wiring 63 is a part of the UU conductor layer 43.
  • the common wiring 63 is distinguished from the UU wiring 57, but the common wiring 63 may be regarded as a kind of wiring for connecting the UU individual electrodes 55 to each other like the UU wiring 57. Good.
  • the material of the common wiring 63 may be the same as or different from the material of other regions of the UU conductor layer 43 (for example, the UU individual electrode 55 and the UU wiring 57), and is different in FIG. 7 described later. Is illustrated.
  • the plurality of UU individual electrodes 55 are connected to each other by a plurality of UU wirings 57 extending in the D1 direction or the direction inclined in the D1 direction. You may be. Further, such UU wiring 57 may be provided for all UU individual electrodes 55, or only for some UU individual electrodes 55 in each row (for example, UU individual electrodes 55 at both ends). It may be provided. Further, as will be understood from the description below, the rows may be connected to each other via another conductor layer (for example, the D conductor layer 35).
  • connection between the rows of the UU individual electrodes 55 has been described, the same may be applied to the connection between the rows of the DD individual electrodes 45.
  • the U individual electrode 51 is connected to the pad 59 via the U wiring 53 and the through conductor 61, so that the piezoelectric actuator 13 can be connected to the outside.
  • the other electrodes (common electrode 49 and DD individual electrode 45) may be connected to the outside of the piezoelectric actuator 13 via a through conductor penetrating the insulating layer (including the piezoelectric layer).
  • the through conductors may be provided separately for different conductor layers, or may be shared by conductor layers having the same potential.
  • the electrodes having the same potential as each other (for example, the common electrode 49, the DD individual electrode 45 and the UU individual electrode 55) may be connected to each other via a through conductor. Below, an example is shown for the latter case.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG.
  • a through conductor 65 penetrating the insulating layer is provided directly below the common wiring 63.
  • the through conductor 65 penetrates the U piezoelectric layer 41, the piezoelectric layer 37, and the D insulating layer 33, and penetrates the common wiring 63, the common electrode 49, and the DD conductor. It is connected to layer 31 (more specifically, the same common wiring as the common wiring 63).
  • the plurality of UU individual electrodes 55, the common electrode 49, and the plurality of DD individual electrodes 45 are electrically connected to each other.
  • a through conductor 65 that electrically connects the 55 and the common electrode 49 may be provided.
  • a through conductor 65 may be provided that penetrates only the D insulating layer 33 and electrically connects the common electrode 49 and the plurality of DD individual electrodes 45.
  • a plurality of through conductors 65 may be provided along the common wiring 63, for example. As a result, the potentials of the electrodes having the same potential are stabilized. Of course, the through conductor 65 may be provided at only one place.
  • FIG. 8 is a plan view of the pressurizing chamber 21.
  • a region of the circle C1 and a region R2 protruding from the region of the circle C1 on both sides in a predetermined direction (vertical direction on the paper surface) are added. It is a combined shape.
  • the outer edge of the region R2 opposite to the circular C1 is a curve that bulges outward.
  • the curvature of this curve (mean value if not constant) is, for example, greater than the curvature of the circle C1.
  • the planar shape of the pressurizing chamber 21 is the sum of the circular C1 and elliptical C2 regions that overlap each other (region surrounded by a dotted line) and regions that do not overlap each other (region surrounded by a solid line and a dotted line). It can be regarded as a combined shape. That is, when each of the circular C1 and the elliptical C2 is regarded as a closed curve in the Venn diagram, the planar shape of the pressurizing chamber 21 corresponds to a union (logical sum from another viewpoint).
  • the center of the circular C1 and the center of the elliptical C2 coincide with each other (see center O1).
  • the major axis rL of the ellipse C2 is longer than the radius r1 of the circle C1, and the minor axis rS of the ellipse C2 is shorter than the radius r1 of the circle C1.
  • the regions R2 on both ends of the elliptical shape C2 in the longitudinal direction are located outside the circular shape C1.
  • the curvature of the outer edge of the region R2 opposite to the circular C1 may be constant. That is, the region R2 may not have a shape conceptualized as both ends of an ellipse, but may have a shape conceptualized as a part of a circle whose radius is smaller than the radius of the circle C1.
  • Various dimensions of such a shape may be appropriately set.
  • An example is given below.
  • the major axis rL may be 1.2 times or more and 1.8 times or less the radius r1.
  • the radius of curvature obtained from the average curvature of the outer edge of the region R2 opposite to the circle C1 may be 0.3 times or more and 0.6 times or less the radius r1.
  • planar shapes of the pressurizing chamber 21, the U individual electrode 51, the DD individual electrode 45, and the UU individual electrode 55 may be similar to each other. Therefore, the above description of the planar shape of the pressurizing chamber 21 may be incorporated into the planar shape of the U individual electrode 51, the DD individual electrode 45, and the UU individual electrode 55.
  • the head 2 may include a housing, a driver IC, a wiring board, and the like in addition to the head main body 7.
  • the driver IC supplies electric power to the head body 7 via an FPC (not shown) based on a control signal from the control unit 88, for example.
  • a control signal from the control unit 88, a reference potential is applied to the common electrode 49, the DD individual electrode 45, and the UU individual electrode 55, and a drive signal whose potential fluctuates with respect to the reference potential is individually input to the plurality of U individual electrodes 51.
  • the driver IC (head 2) is controlled so as to.
  • the head body 7 may include another flow path member that supplies the liquid to the flow path member 11. Such other flow path members may support the other members or contribute to the fixation of the head 2 to the frame 70.
  • the method for manufacturing the piezoelectric actuator 13 may be a method in which a known method is appropriately applied. For example, four ceramic green sheets to be four insulating layers (29, 33, 37 and 41) are prepared. A conductive paste serving as four conductor layers (31, 35, 39 and 43) is applied to the upper surface or the lower surface of the ceramic green sheet. Further, a through hole is formed in the ceramic green sheet, and a conductive paste serving as a through conductor (61 and 65) is arranged in the through hole. Then, the four ceramic green sheets are laminated and fired.
  • the UU conductor layer 43 is U piezoelectric after firing a ceramic green sheet to be an insulating layer (29, 33, 37 and 41) and a conductive paste to be another conductor (31, 35, 39, 61 and 65). It may be formed on the upper surface of the body layer 41 by vapor deposition or sputtering.
  • the piezoelectric actuator 13 has a first surface 13a and a second surface 13b on the back surface thereof, and a plurality of piezoelectric elements 27 at a plurality of positions in a direction along the first surface 13a. have. Further, the piezoelectric actuator 13 includes a piezoelectric layer 37, a common electrode 49, a plurality of first individual electrodes (U individual electrodes 51), a first insulating layer (D insulating layer 33), and a plurality of second individual electrodes. It has (DD individual electrode 45). The piezoelectric layer 37 extends along the first surface 13a.
  • the common electrode 49 overlaps the first surface 13a side with respect to the piezoelectric layer 37, and extends over the plurality of piezoelectric elements 27.
  • the plurality of U individual electrodes 51 overlap the second surface 13b side with respect to the piezoelectric layer 37, are individually located on the plurality of piezoelectric elements 27, and are electrically disconnected from each other.
  • the D insulating layer 33 overlaps the first surface 13a side with respect to the common electrode 49, and extends over the plurality of piezoelectric elements 27.
  • the plurality of DD individual electrodes 45 overlap the first surface 13a side with respect to the D insulating layer 33, are individually located on the plurality of piezoelectric elements 27, and are individually located in the center of the plurality of U individual electrodes in plan perspective. It overlaps with. Further, the plurality of DD individual electrodes 45 are electrically connected to each other.
  • a diaphragm in the present embodiment, the D insulating layer 33 and / / is used to regulate the expansion and contraction of the piezoelectric layer 37 in the plane direction when a voltage is applied to the piezoelectric layer 37 and to realize bending deformation.
  • a DD insulating layer 29 is provided.
  • This diaphragm has, for example, the same material (similar Young's modulus from another point of view) and the same thickness as the piezoelectric layer 37 (and the layer above it (U piezoelectric layer 41 in this embodiment)). May be considered.
  • the reason for this is, for example, the purpose of setting the strength for regulating the expansion and contraction of the piezoelectric layer 37 in the plane direction to an appropriate magnitude. Further, for example, there is an object of reducing the possibility that an expansion difference occurs in the plane direction between the piezoelectric layer 37 and the diaphragm due to a temperature change, and an unintended bending deformation occurs due to this.
  • the common electrode 49 is often arranged between the piezoelectric layer 37 and the diaphragm. The reason for this is to simplify the wiring configuration of the piezoelectric actuator 13 (for example, to reduce the number of through conductors).
  • the common electrode 49 is arranged near the center of the thickness of the piezoelectric actuator 13. From another point of view, the common electrode 49 will be arranged near the neutral surface of the piezoelectric actuator 13.
  • the neutral surface is a region on which compressive stress is generated on the surface side (one of the first surface 13a side and the second surface 13b side) that becomes concave when the piezoelectric actuator 13 is flexed and deformed, and the surface side (first surface side) that becomes convex. It is a boundary surface with a region where tensile stress is generated on the surface 13a side and the other side of the second surface 13b side).
  • the neutral plane passes through the center of gravity of the cross section.
  • the vicinity of the center or the vicinity of the neutral surface is, for example, a range in which the distance from the center or the neutral surface is less than 1/4 or less than 1/8 of the thickness of the piezoelectric actuator 13.
  • a piezoelectric actuator having only a common electrode 49 and a U conductor layer 39 is considered as a conductor layer.
  • each layer expands and contracts due to a temperature change in this piezoelectric actuator.
  • the material and thickness of the insulating layer on the first surface 13a side with respect to the common electrode 49 and the insulating layer on the second surface 13b side with respect to the common electrode 49 are the same or similar. Therefore, the expansion and contraction of both are easy to balance.
  • the conductor layer only the U conductor layer 39 exists on the second surface 13b side with respect to the common electrode 49.
  • the piezoelectric actuator 13 is manufactured by firing a ceramic green sheet.
  • the U conductor layer 39 contracts in the plane direction, and the insulating layer having a smaller linear expansion coefficient than the U conductor layer 39 (for example, the piezoelectric layer 37 and the D insulating layer).
  • a compressive force in the plane direction is applied to 33).
  • the piezoelectric actuator 13 is more likely to bend and deform with the U conductor layer 39 side as a recess.
  • an unintended stress may occur in the direction in which such the deflection deformation occurs. Due to such deflection deformation and / or stress, for example, the amount of deflection (displacement) of the piezoelectric element 27 when a voltage is applied to the piezoelectric element 27 deviates from the intended magnitude.
  • the plurality of DD individual electrodes 45 are provided on the opposite sides of the common electrode 49 from the plurality of U individual electrodes 51, the U individual electrode 51 side of the common electrode 49 and its side thereof. It is easy to reduce the difference in expansion and contraction from the opposite side. As a result, for example, the accuracy of the amount of deflection of the piezoelectric element 27 when a voltage is applied to the piezoelectric element 27 can be improved.
  • the DD conductor layer 31 provided on the side opposite to the U individual electrode 51 with respect to the common electrode 49 includes a plurality of DD individual electrodes 45 individually overlapping in the center of the plurality of U individual electrodes 51. Therefore, for example, it is easy to make the areas of the conductor layers on both the upper and lower sides of the common electrode 49 equal to each other, as compared with the embodiment in which the DD conductor layer 31 spreads over the plurality of piezoelectric elements 27 without gaps. is there. Further, as compared with the embodiment in which the DD individual electrode 45 does not overlap the center of the U individual electrode 51, it is easy to make the expansion and contraction in the plane direction equal in the vertical direction in the individual piezoelectric elements 27 (locally from another viewpoint). Is. As a result, the effect of improving the accuracy of the amount of deflection of the piezoelectric element 27 is improved.
  • the effect is illustrated on the premise that the common electrode 49 is located near the neutral surface, but the common electrode 49 does not have to be in such a position.
  • the effect can be grasped in the opposite direction to the above.
  • the insulating layer for example, the piezoelectric layer 37
  • the piezoelectric layer 37 is formed by balancing the expansion and contraction of the conductor layer in the plane direction between the first surface 13a side and the second surface 13b side with reference to the common electrode 49.
  • the selection of the material and the design of the thickness of the D insulating layer 33) are facilitated, and the design when providing another layer (for example, a conductor layer for returning the polarization to the initial state) is facilitated.
  • the piezoelectric actuator 13 has a plurality of first wirings (U wiring 53) and a plurality of second wirings (DD wiring 47).
  • the plurality of U wirings 53 overlap the piezoelectric layer 37 on the second surface 13b side, and are individually connected to the plurality of first individual electrodes (U individual electrodes 51).
  • the plurality of DD wirings 47 overlap with the first insulating layer (DD insulating layer 29) on the first surface 13a side, and a plurality of second individual electrodes (DD individual electrodes 45) are connected to each other.
  • the direction in which the plurality of U wirings 53 individually extend from the plurality of U individual electrodes 51 and the direction in which the plurality of DD wirings 47 individually extend from the plurality of DD individual electrodes 45 intersect with each other.
  • the U conductor in the direction in which the U wiring 53 extends The amount of expansion and contraction of the layer 39 can be brought close to the amount of expansion and contraction of the DD conductor layer 31 in the direction in which the DD wiring 47 extends.
  • the amount of expansion and contraction in one direction in which they intersect each other and the amount of expansion and contraction in the other direction tend to be close to each other.
  • the probability that the piezoelectric actuator 13 will be distorted in a specific direction in a plan view is reduced.
  • the bending moment of the piezoelectric element 27 increases in a specific direction (direction in which the wiring extends).
  • the U wiring 53 and the DD wiring 47 are parallel to each other, for example, the expansion and contraction in the plane direction described above can be easily balanced between the upper and lower sides.
  • each of the plurality of second individual electrodes (DD individual electrodes 45) has a shape long in the longitudinal direction in a plan view.
  • the plurality of second wirings (DD wiring 47) extend from the plurality of DD individual electrodes 45 in a direction intersecting the longitudinal direction of the DD individual electrodes 45.
  • the DD individual electrode 45 and the DD wiring are compared with a mode in which the DD wiring 47 extends in the longitudinal direction of the DD individual electrode 45 (this mode may also be included in the technique according to the present disclosure).
  • this mode may also be included in the technique according to the present disclosure.
  • the expansion / contraction amount of the entire 47 With respect to the expansion / contraction amount of the entire 47, the expansion / contraction amount of the DD individual electrode 45 in the longitudinal direction and the expansion / contraction amount of the DD individual electrode 45 in the lateral direction can be brought close to each other. As a result, for example, distortion in the plan view of each piezoelectric element 27 can be reduced.
  • the piezoelectric actuator 13 further has a second insulating layer (U piezoelectric layer 41) and a plurality of third individual electrodes (UU individual electrodes 55).
  • the U piezoelectric layer 41 overlaps the piezoelectric layer 37 from above a plurality of first individual electrodes (U individual electrodes 51).
  • the UU individual electrodes 55 overlap with the U piezoelectric layer 41 on the second surface 13b side, are individually located on the plurality of piezoelectric elements 27, and are electrically connected to each other.
  • the sum of the areas of the plurality of second individual electrodes (DD individual electrodes 45) and the plurality of second wirings (DD wiring 47) is the sum of the areas of the plurality of U individual electrodes 51 and the plurality of first wirings (U wiring 53). Greater than.
  • the first surface 13a side and the second surface 13b are based on the common electrode 49. It is easy to secure the area of the DD conductor layer 31 while maintaining the balance between the upper and lower sides of the expansion and contraction in the plane direction. As a result, for example, the degree of freedom in design is improved. For example, since the DD wiring 47 tends to be longer than the U wiring 53, if the areas of the U conductor layer 39 and the DD conductor layer 31 are brought close to each other, the DD individual electrode 45 may be smaller than the U individual electrode 51. The DD wiring 47 becomes thin.
  • the UU individual electrodes 55 it is possible to secure a sufficient width of the DD wiring 47 and stabilize the potentials of the plurality of DD individual electrodes 45 while maintaining the balance between the upper and lower sides of the expansion and contraction in the plane direction. .. Further, since the UU individual electrode 55 is provided for each piezoelectric element 27, it is easy to calculate the balance of expansion and contraction between the U individual electrode 51 and the DD individual electrode 45.
  • the second insulating layer is a piezoelectric layer (U piezoelectric layer 41) different from the piezoelectric layer 37.
  • the force for bending the piezoelectric actuator 13 can be increased.
  • the conductor layer is biased toward the second surface 13b with respect to the common electrode 49, and the above-mentioned unintended bending is performed.
  • the probability of deformation increases. Therefore, the above-mentioned effect due to the provision of the DD individual electrode 45 can be effectively achieved.
  • the area of each of the plurality of second individual electrodes is smaller than the area of each of the plurality of first individual electrodes (U individual electrodes 51).
  • a voltage is applied to the piezoelectric element 27 as compared with a mode in which the area of the DD individual electrode 45 is larger than the area of the U individual electrode 51 (the mode may also be included in the technique according to the present disclosure).
  • the probability that the amount of deflection of the piezoelectric element 27 will be reduced by the DD individual electrodes 45 will be reduced.
  • the shapes of the plurality of second individual electrodes are similar to the shapes of the plurality of first individual electrodes (U individual electrodes 51). is there.
  • each piezoelectric element 27 the difference or ratio between the amount of expansion and contraction in the plane direction on the upper surface side and the amount of expansion and contraction in the plane direction on the lower surface side is likely to be equalized in various directions in the plan view. That is, the influence of providing the DD individual electrode 45 is likely to be equalized. As a result, for example, the possibility that the shape of the bending deformation of the piezoelectric element 27 when a voltage is applied to the piezoelectric element 27 deviates from the intended shape is reduced.
  • the shapes of the plurality of first individual electrodes project from the circular C1 region and the circular C1 region to both sides in a predetermined direction in the plan view of the first surface 13a. It is a shape obtained by adding the existing regions R2.
  • the area of the U individual electrode 51 can be increased as compared with the embodiment in which the shape of the U individual electrode 51 is circular C1 (the embodiment may also be included in the technique according to the present disclosure). ..
  • the amount of displacement of the piezoelectric element 27 can be increased.
  • the density of the plurality of U individual electrodes 51 in the lateral direction can be made equivalent to the embodiment in which the shape of the U individual electrodes 51 is circular C. From another viewpoint, it is possible to reduce the probability that the U individual electrodes 51 will be short-circuited due to the misalignment of the U individual electrodes 51.
  • the liquid discharge head 2 has the piezoelectric actuator 13 according to the present embodiment and the flow path member 11.
  • the flow path member 11 includes a pressure surface 11b that overlaps the first surface 13a side or the second surface 13b side (the first surface 13a side in this embodiment) with respect to the piezoelectric actuator 13, and a discharge surface 11a on the back surface thereof. have.
  • the flow path member 11 has a plurality of pressurizing chambers 21 and a plurality of discharge holes 3.
  • the plurality of pressurizing chambers 21 individually overlap the plurality of piezoelectric elements 27 in the plan view of the pressurizing surface 11b.
  • the plurality of discharge holes 3 individually communicate with the plurality of pressurizing chambers 21 and are opened at the discharge surface 11a.
  • the pressure applied to the pressurizing chamber 21 is stabilized by reducing the unintended stress and / strain of the piezoelectric actuator 13 as described above. As a result, the accuracy of the droplets discharged from the discharge hole 3 is improved.
  • the shapes of the plurality of second individual electrodes are similar to the shapes of the plurality of pressure chambers 21 in the plan perspective of the first surface 13a.
  • the piezoelectric element 27 is supported by the outer circumference of the pressurizing chamber 21.
  • the diameter of the DD individual electrode 45 is added in a plan view. It is highly probable that the difference or ratio with the diameter of the pressure chamber 21 will differ depending on the direction. As a result, there is a high probability that the bending deformation of the piezoelectric element 27 will deviate from the intended shape. In this embodiment, such a probability is reduced. Since the DD individual electrode 45 is an electrode closer to the pressurizing chamber 21 than any other electrode, the effect of being similar to the pressurizing chamber 21 is high.
  • the U individual electrode 51 is an example of the first individual electrode.
  • the D insulating layer 33 is an example of the first insulating layer.
  • the DD individual electrode 45 is an example of the second individual electrode.
  • the U wiring 53 is an example of the first wiring.
  • the DD wiring 47 is an example of the second wiring.
  • the U piezoelectric layer 41 is an example of the second insulating layer.
  • the UU individual electrode 55 is an example of the third individual electrode.
  • the piezoelectric actuator may be used for applications other than the liquid discharge head such as a device for generating ultrasonic waves.
  • the combination of the U piezoelectric layer 41 and the UU conductor layer 43 may not be provided, and the DD insulating layer 29 may not be provided.
  • the piezoelectric actuator 13 is used for applying pressure to the first surface 13a side, but may be used for applying pressure to the second surface 13b side.
  • 1 Printer (recording device), 2 ... Liquid discharge head, 7 ... Head body (liquid discharge head), 13 ... Piezoelectric actuator, 13a ... First surface, 13b ... Second surface, 27 ... Piezoelectric element, 33 ... D insulation Layer (first insulating layer), 37 ... Piezoelectric layer, 45 ... DD individual electrode (second individual electrode), 49 ... common electrode, 51 ... U individual electrode (first individual electrode).

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

圧電アクチュエータにおいて、共通電極は、圧電体層に対して第1面側に重なっており、複数の圧電素子に亘って広がっている。複数の第1個別電極は、圧電体層に対して第2面側に重なっており、複数の圧電素子に個別に位置しており、互いに電気的に非接続とされている。第1絶縁層は、共通電極に対して第1面側に重なっており、複数の圧電素子に亘って広がっている。複数の第2個別電極は、第1絶縁層に対して第1面側に重なっており、複数の圧電素子に個別に位置しており、平面透視において複数の第1個別電極の中央に個別に重なっている。また、複数の第2個別電極は、互いに電気的に接続されている。

Description

圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド及び記録装置
 本開示は、圧電アクチュエータ、当該圧電アクチュエータを有する液体吐出ヘッド、及び当該液体吐出ヘッドを有する記録装置に関する。
 インクジェットヘッド等に用いられる圧電アクチュエータが知られている。例えば特許文献1では、圧電アクチュエータは、圧電体層と、圧電体層の表裏の一方に重なる共通電極と、圧電体層の表裏の他方に重なる複数の個別電極と、共通電極の圧電体層とは反対側に重なる振動板とを有している。平面透視において、共通電極は、複数の個別電極に重なっており、例えば、基準電位が付与される。複数の個別電極には、個別に基準電位とは異なる電位(駆動信号)が付与される。これにより、圧電体層のうち個別電極と共通電極との間の領域が圧電体層に沿う方向に伸長又は収縮する。この伸長又は収縮が振動板によって規制され、圧電アクチュエータは、撓み変形を生じる。また、特許文献1では、圧電体によって形成された振動板に電圧を印加して振動板の分極を初期状態に復帰させる電極を設けることを提案している。当該電極は、複数の個別電極に亘る広さで、振動板に対して共通電極とは反対側に重なっている。
特開2006-158127号公報
 本開示の一態様に係る圧電アクチュエータは、第1面及びその背面の第2面を有しているとともに、前記第1面に沿う方向の複数位置に複数の圧電素子を有している。前記圧電アクチュエータは、圧電体層と、共通電極と、複数の第1個別電極と、第1絶縁層と、複数の第2個別電極と、を有している。前記圧電体層は、前記第1面に沿って広がっている。前記共通電極は、前記圧電体層に対して前記第1面側に重なっており、前記複数の圧電素子に亘って広がっている。前記複数の第1個別電極は、前記圧電体層に対して前記第2面側に重なっており、前記複数の圧電素子に個別に位置しており、互いに電気的に非接続とされている。前記第1絶縁層は、前記共通電極に対して前記第1面側に重なっており、前記複数の圧電素子に亘って広がっている。前記複数の第2個別電極は、前記第1絶縁層に対して前記第1面側に重なっており、前記複数の圧電素子に個別に位置しており、平面透視において前記複数の第1個別電極の中央に個別に重なっており、互いに電気的に接続されている。
 本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、上記圧電アクチュエータと、流路部材と、を有している。前記流路部材は、加圧面と、吐出面と、複数の加圧室と、複数の吐出孔と、を有している。前記加圧面は、前記第1面又は前記第2面に重なっている。前記吐出面は、前記加圧面の背面である。前記複数の加圧室は、前記加圧面の平面透視において前記複数の圧電素子に個別に重なっている。前記複数の吐出孔は、前記複数の加圧室に個別に通じており、前記吐出面にて開口している。
 本開示の一態様に係る記録装置は、上記液体吐出ヘッドと、制御部と、を有している。前記制御部は、前記液体吐出ヘッドと電気的に接続されており、前記共通電極及び前記複数の第2個別電極に基準電位が付与されるとともに前記複数の第1個別電極に個別に駆動信号が入力される制御を行う。
本開示の一実施形態に係る記録装置の側面図である。 図1Aの記録装置の平面図である。 図1Aの記録装置が含む液体吐出ヘッドの一部の平面図である。 図2のIII-III線における断面図である。 図2の液体吐出ヘッドが含む圧電アクチュエータの分解斜視図である。 図4の一部拡大図である。 図4の圧電アクチュエータの上面の一部を簡略化して示す平面図である。 図6のVII-VII線における断面図である。 図2の液体吐出ヘッドの加圧室の平面形状を説明する模式図である。
 以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の図面は、模式的なものである。従って、細部は省略されることがある。また、寸法比率は現実のものと必ずしも一致しない。複数の図面相互の寸法比率も必ずしも一致しない。特定の寸法が実際よりも大きく示され、特定の形状が誇張されることもある。
 本開示における「相似」は、数学でいう相似を含むが、これに限定されない。数学でいう相似は、一の形状を拡大若しくは縮小したときに(又はそのようなスケール変換をしないときに)、他の形状と合同になることをいう。しかし、技術常識等に照らして合理的に考えて、この数学の相似に近い関係が成り立てば、相似であるとみなされてよい。例えば、楕円形と、当該楕円形の外縁から一定かつ比較的短い距離(例えば小さい方の図形の最小径の1/4以下の距離)で内側(又は外側)に位置する外縁を有する楕円形とは、長径と短径との比が両者の間で異なるから、数学でいう相似ではない。しかし、このような関係も本開示における相似に含まれてよい。
 また、本開示における種々の形状を示す用語(例えば、「円」、「楕円」又は「長方形」)は、これらの用語が数学において示す形状を含むが、これに限定されない。例えば、楕円は、外側に凸となる曲線のみによって構成されており、互いに概ね直交する長手方向と短手方向とを特定できる形状であればよい。また、例えば、長方形は、角部が面取りされていてもよい。
(プリンタの全体構成)
 図1Aは、本開示の一実施形態に係る液体吐出ヘッド2(以下で単にヘッドということがある。)を含むカラーインクジェットプリンタ1(記録装置の一例。以下で単にプリンタということがある)の概略の側面図である。図1Bは、プリンタ1の概略の平面図である。
 なお、ヘッド2又はプリンタ1は、任意の方向を鉛直方向とすることが可能であるが、便宜上、図1Aの紙面上下方向を鉛直方向として、上面又は下面等の語を用いることがある。また、平面視又は平面透視の語は、特に断りがない限り、図1Aの紙面上下方向に見ることをいうものとする。
 プリンタ1は、印刷用紙P(記録媒体の一例)を給紙ローラ80Aから回収ローラ80Bへと搬送することにより、印刷用紙Pをヘッド2に対して相対的に移動させる。なお、給紙ローラ80A及び回収ローラ80B並びに後述する各種のローラは、印刷用紙Pとヘッド2とを相対移動させる移動部85を構成している。制御部88は、画像や文字等のデータである印刷データ等に基づいて、ヘッド2を制御して、印刷用紙Pに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Pに液滴を着弾させて、印刷用紙Pに印刷などの記録を行なう。
 本実施形態では、ヘッド2はプリンタ1に対して固定されており、プリンタ1はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、ヘッド2を印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向(例えば略直交する方向)に移動させつつ液滴を吐出する動作と、印刷用紙Pの搬送とを交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
 プリンタ1には、印刷用紙Pと略平行となるように、4つの平板状のヘッド搭載フレーム70(以下で単にフレームと言うことがある)が固定されている。各フレーム70には図示しない5個の孔が設けられており、5個のヘッド2がそれぞれの孔の部分に搭載されている。1つのフレーム70に搭載されている5つのヘッド2は、1つのヘッド群72を構成している。プリンタ1は、4つのヘッド群72を有しており、合計20個のヘッド2が搭載されている。
 フレーム70に搭載されたヘッド2は、液体を吐出する部位が印刷用紙Pに面するようになっている。ヘッド2と印刷用紙Pとの間の距離は、例えば0.5~20mm程度とされる。
 20個のヘッド2は、制御部88と直接接続されていてもよいし、印刷データを分配する分配部を介して制御部88と接続されていてもよい。例えば、制御部88が印刷データを1つの分配部へ送信し、1つの分配部が印刷データを20個のヘッド2に分配してもよい。また、例えば、4つのヘッド群72に対応する4つの分配部へ制御部88が印刷データを分配し、各分配部は、対応するヘッド群72内の5つのヘッド2に印刷データを分配してもよい。
 ヘッド2は、図1Aの手前から奥へ向かう方向、図1Bの上下方向に細長い長尺形状を有している。1つのヘッド群72内において、3つのヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向(例えば略直交する方向)に沿って並んでおり、他の2つのヘッド2は搬送方向に沿ってずれた位置で、3つのヘッド2の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。別の表現をすれば、1つのヘッド群72において、ヘッド2は、千鳥状に配置されている。ヘッド2は、各ヘッド2で印刷可能な範囲が、印刷用紙Pの幅方向、すなわち、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Pの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
 4つのヘッド群72は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って配置されている。各ヘッド2には、図示しない液体供給タンクから液体(例えばインク)が供給される。1つのヘッド群72に属するヘッド2には、同じ色のインクが供給されるようになっており、4つのヘッド群72で4色のインクが印刷できる。各ヘッド群72から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、シアン(C)及びブラック(K)である。このようなインクを印刷用紙Pに着弾させることにより、カラー画像を印刷できる。
 プリンタ1に搭載されているヘッド2の個数は、単色で、1つのヘッド2で印刷可能な範囲を印刷するのであれば、1つでもよい。ヘッド群72に含まれるヘッド2の個数や、ヘッド群72の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群72の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群72を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能のヘッド2を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群72を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Pの幅方向の解像度を高くしてもよい。
 さらに、色のあるインクを印刷する以外に、印刷用紙Pの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を、ヘッド2で、一様に、あるいはパターンニングして印刷してもよい。コーティング剤としては、例えば、記録媒体として液体が浸み込み難いものを用いる場合において、液体が定着し易いように、液体受容層を形成するものを使用できる。他に、コーティング剤としては、記録媒体として液体が浸み込み易いものを用いる場合において、液体のにじみが大きくなり過ぎたり、隣に着弾した別の液体とあまり混じり合わないように、液体浸透抑制層を形成するものを使用できる。コーティング剤は、ヘッド2で印刷する以外に、制御部88が制御する塗布機76で一様に塗布してもよい。
 プリンタ1は、記録媒体である印刷用紙Pに印刷を行なう。印刷用紙Pは、給紙ローラ80Aに巻き取られた状態になっており、給紙ローラ80Aから送り出された印刷用紙Pは、フレーム70に搭載されているヘッド2の下側を通り、その後2つの搬送ローラ82Cの間を通り、最終的に回収ローラ80Bに回収される。印刷する際には、搬送ローラ82Cを回転させることで印刷用紙Pは、一定速度で搬送され、ヘッド2によって印刷される。
 続いて、プリンタ1の詳細について、印刷用紙Pが搬送される順に説明する。給紙ローラ80Aから送り出された印刷用紙Pは、2つのガイドローラ82Aの間を通った後、塗布機76の下を通る。塗布機76は、印刷用紙Pに、上述のコーティング剤を塗布する。
 印刷用紙Pは、続いて、ヘッド2が搭載されたフレーム70を収納した、ヘッド室74に入る。ヘッド室74は、印刷用紙Pが出入りする部分などの一部において外部と繋がっているが、概略、外部と隔離された空間である。ヘッド室74は、必要に応じて、制御部88等によって、温度、湿度、及び気圧等の制御因子が制御される。ヘッド室74では、プリンタ1が設置されている外部と比較して、外乱の影響を少なくできるので、上述の制御因子の変動範囲を外部よりも狭くできる。
 ヘッド室74には、5個のガイドローラ82Bが配置されており、印刷用紙Pは、ガイドローラ82Bの上を搬送される。5個のガイドローラ82Bは、側面から見て、フレーム70が配置されている方向に向けて、中央が凸になるように配置されている。これにより、5個のガイドローラ82Bの上を搬送される印刷用紙Pは、側面から見て円弧状になっており、印刷用紙Pに張力を加えることで、各ガイドローラ82B間の印刷用紙Pが平面状になるように張られる。2つのガイドローラ82Bの間には、1つのフレーム70が配置されている。フレーム70は、その下を搬送される印刷用紙Pと平行になるように、設置される角度が少しずつ変えられている。
 ヘッド室74から外に出た印刷用紙Pは、2つの搬送ローラ82Cの間を通り、乾燥機78の中を通り、2つのガイドローラ82Dの間を通り、回収ローラ80Bに回収される。印刷用紙Pの搬送速度は、例えば、100m/分とされる。各ローラは、制御部88によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
 乾燥機78で乾燥することにより、回収ローラ80Bにおいて、重なって巻き取られる印刷用紙P同士が接着したり、未乾燥の液体が擦れることが起き難くなる。高速で印刷するためには、乾燥も速く行なう必要がある。乾燥を速くするため、乾燥機78では、複数の乾燥方式により順番に乾燥してもよいし、複数の乾燥方式を併用して乾燥してもよい。そのような際に用いられる乾燥方式としては、例えば、温風の吹き付け、赤外線の照射、加熱したローラへの接触などがある。赤外線を照射する場合は、印刷用紙Pへのダメージを少なくしつつ乾燥を速くできるように、特定の周波数範囲の赤外線を当ててもよい。印刷用紙Pを加熱したローラに接触させる場合は、印刷用紙Pをローラの円筒面に沿って搬送させることで、熱が伝わる時間を長くしてもよい。ローラの円筒面に沿って搬送させる範囲は、ローラの円筒面の1/4周以上がよく、さらにローラの円筒面の1/2周以上にするのがよい。UV硬化インク等を印刷する場合には、乾燥機78の代わりに、あるいは乾燥機78に追加してUV照射光源を配置してもよい。UV照射光源は、各フレーム70の間に配置してもよい。
 プリンタ1は、ヘッド2をクリーニングするクリーニング部を備えていてもよい。クリーニング部は、例えば、ワイピング及び/又はキャッピングによって洗浄を行なう。ワイピングは、例えば、柔軟性のあるワイパーで、液体が吐出される部位の面、例えば吐出面11a(後述)を擦ることで、その面に付着していた液体を取り除く。キャッピングしての洗浄は、例えば、次のように行なう。まず、液体を吐出される部位、例えば吐出面11aを覆うようにキャップを被せる(これをキャッピングと言う)ことで、吐出面11aとキャップとで、略密閉されて空間が作られる。そのような状態で、液体の吐出を繰り返すことで、吐出孔3(後述)に詰まっていた、標準状態よりも粘度が高くなっていた液体や、異物等を取り除く。キャッピングしてあることで、洗浄中の液体がプリンタ1に飛散し難く、液体が、印刷用紙Pやローラ等の搬送機構に付着し難くなる。洗浄を終えた吐出面11aを、さらにワイピングしてもよい。ワイピング及び/又はキャッピングによる洗浄は、プリンタ1に取り付けられているワイパー及び/又はキャップを人が手動で操作して行なってもよいし、制御部88によって自動で行なってもよい。
 記録媒体は、印刷用紙P以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ1は、印刷用紙Pを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙、裁断された布、木材又はタイルなどを記録媒体にできる。さらに、ヘッド2から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、ヘッド2から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤又は化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
 また、プリンタ1に、位置センサ、速度センサ及び/又は温度センサなどを取り付けて、制御部88が、各センサからの情報から分かるプリンタ1各部の状態に応じて、プリンタ1の各部を制御してもよい。例えば、ヘッド2の温度、ヘッド2に液体を供給する液体供給タンクの液体の温度、及び/又は液体供給タンクの液体がヘッド2に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出特性(例えば吐出量及び/又は吐出速度)に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
(吐出面)
 図2は、ヘッド2の印刷用紙Pに対向する面(吐出面11a)の一部を示す平面図である。この図では、便宜上、D1軸、D2軸及びD3軸からなる直交座標系を付している。D1軸は、ヘッド2と印刷用紙Pとの相対移動の方向に平行に定義されている。D1軸の正負と、ヘッド2に対する印刷用紙Pの進行方向との関係は、本実施形態の説明では特に問わない。D2軸は、吐出面11a及び印刷用紙Pに平行で、かつD1軸に直交するように定義されている。D2軸の正負も特に問わない。D3軸は、吐出面11a及び印刷用紙Pに直交するように定義されている。-D3側(図2の紙面手前側)は、ヘッド2から印刷用紙Pへの方向である。既述のように、ヘッド2は、D2方向を長手方向とする形状であり、ここでは、その長手方向の一端側部分が示されている。
 吐出面11aは、例えば、ヘッド2の印刷用紙Pに対向する面の大部分を構成している平面である。また、吐出面11aは、例えば、D2方向を長手方向とする概略矩形状とされている。吐出面11aには、インク滴を吐出する複数の吐出孔3が開口している。複数の吐出孔3は、ヘッド2と印刷用紙Pとの相対移動の方向(D1方向)に直交する方向(D2方向)の位置を互いに異ならせて配置されている。従って、移動部85によってヘッド2と印刷用紙Pとを相対移動させつつ、複数の吐出孔3からインク滴を吐出することにより、任意の2次元画像が形成される。
 より具体的には、複数の吐出孔3は、複数行(図示の例では16行)で配列されている。すなわち、複数の吐出孔3によって、複数の吐出孔行5が構成されている。複数の吐出孔行5同士において、複数の吐出孔3のD2方向における位置は互いに異なっている。これにより、各吐出孔行5における吐出孔3のピッチよりも狭いピッチでD2方向に並ぶ複数のドットを印刷用紙Pに形成することが可能となっている。ただし、ヘッド2は、1行のみ吐出孔行5を有する構成であっても構わない。
 複数の吐出孔行5は、例えば、概略、互いに平行であり、また、互いに同等の長さを有している。図示の例では、吐出孔行5は、ヘッド2と印刷用紙Pとの相対移動の方向に直交する方向(D2方向)に平行になっている。ただし、吐出孔行5は、D2方向に対して傾斜していてもよい。また、図示の例では、複数の吐出孔行5間の隙間の大きさ(D1方向の間隔)は均等ではない。これは、例えば、ヘッド2内部の流路の配置の都合に起因する。もちろん、吐出孔行5間の隙間の大きさは均等とされてもよい。
(ヘッド本体)
 図3は、図2のIII-IIIにおける断面図である。図3の紙面下方は、印刷用紙P側である。ここでは、主として、1つの吐出孔3に係る構成が示されている。また、ここでは、ヘッド2のうち、吐出面11aを含むヘッド本体7(すなわち吐出面11a側の一部のみ)が示されている。なお、ヘッド本体7が液体吐出ヘッドと捉えられてもよい。
 ヘッド本体7は概略板状の部材であり、板状の表裏の一方は既述の吐出面11aとなっている。ヘッド本体7の厚さは、例えば、0.5mm以上2mm以下である。ヘッド本体7は、圧電素子の機械的歪により液体に圧力を付与して液滴を吐出するピエゾ式のヘッドである。ヘッド本体7は、それぞれ吐出孔3を含む複数の吐出素子9を有している。複数の吐出素子9及び複数の吐出素子9に関わる構成(例えば複数の吐出素子9に接続される配線)は、基本的に、互いに同様の構成とされてよい。複数の吐出素子9は、吐出面11aに沿って2次元的に配列されている。
 また、別の観点では、ヘッド本体7は、液体(インク)が流れる流路が形成されている概略板状の流路部材11と、流路部材11内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータ13とを有している。複数の吐出素子9は、流路部材11及び圧電アクチュエータ13により構成されている。吐出面11aは、流路部材11によって構成されている。流路部材11の吐出面11aとは反対側の面を加圧面11bというものとする。
 流路部材11は、共通流路15と、共通流路15にそれぞれ接続されている複数の個別流路17(図3では1つを図示)とを有している。各個別流路17は、既述の吐出孔3を有しており、また、共通流路15から吐出孔3へ順に、接続流路19、加圧室21及び部分流路23を有している。
 複数の個別流路17及び共通流路15には液体が満たされている。複数の加圧室21の容積が変化して液体に圧力が付与されることにより、複数の加圧室21から複数の部分流路23へ液体が送出され、複数の吐出孔3から複数の液滴が吐出される。また、複数の加圧室21へは複数の接続流路19を介して共通流路15から液体が補充される。
 流路部材11は、例えば、複数のプレート25A~25J(以下、A~Jを省略することがある。)が積層されることにより構成されている。プレート25には、複数の個別流路17及び共通流路15を構成する複数の穴(主として貫通孔。凹部にすることも可)が形成されている。複数のプレート25の厚み及び積層数は、複数の個別流路17及び共通流路15の形状等に応じて適宜に設定されてよい。複数のプレート25は、適宜な材料により形成されてよい。例えば、複数のプレート25は、金属又は樹脂によって形成されている。プレート25の厚さは、例えば、10μm以上300μm以下である。プレート25同士は、例えば、プレート25間に介在する不図示の接着剤によって互いに固定されている。
(流路形状)
 流路部材11内の各流路の具体的な形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、以下のとおりである。
 共通流路15は、ヘッド2の長手方向(図3では紙面貫通方向)に延びている。共通流路15は、1本のみ設けられてもよいが、例えば、互いに並列に複数本で設けられている。共通流路15の横断面の形状は、矩形状とされている。
 複数の個別流路17(別の観点では吐出素子9)は、各共通流路15の長さ方向に配列されている。ひいては、複数の個別流路17に個別に含まれている複数の吐出孔3も共通流路15に沿って配列されている。図2に示したような吐出孔3の配列においては、例えば、1本の共通流路15の両側それぞれに2行ずつ吐出孔3が配列されてよい。そして、4本の共通流路15に合計で16行の吐出孔3が配列されてよい。
 加圧室21は、例えば、加圧面11bに開口しており、圧電アクチュエータ13によって塞がれている。なお、加圧室21は、プレート25によって塞がれていてもよい。ただし、これは、加圧室21を塞ぐプレート25を流路部材11の一部として捉えるか、圧電アクチュエータ13の一部として捉えるかの問題と考えることもできる。いずれにせよ、加圧室21は、吐出面11a及び加圧面11bのうち加圧面11bの側に偏って位置している。
 複数の加圧室21の形状は、例えば、互いに同一である。各加圧室21の形状は適宜に設定されてよい。例えば、加圧室21は、加圧面11bに沿って一定の厚さで広がる薄型形状に形成されている。ただし、加圧室21は、厚さが異なる部位を有していてもよい。薄型形状は、例えば、平面視のいずれの径よりも厚さが小さい形状である。
 また、例えば、加圧室21の平面形状は、互いに直交する長手方向及び短手方向を有する形状(例えば菱形又は楕円形)であってもよいし(図示の例)、そのような方向を概念できない形状(例えば円形)であってもよい。また、長手方向及び短手方向と複数の加圧室21の配列態様との関係も任意である。
 本実施形態の説明では、後述するように、円形と楕円形とを足し合わせた形状を例に取る。別の観点では、長手方向と短手方向とを概念できる形状を例に取る。図示の例では、図3の紙面左右方向が加圧室21の長手方向である。当該方向は、例えば、共通流路15が延びる方向に交差(例えば直交)する方向であり、また、別の観点では、ヘッド本体7の短手方向である。
 部分流路23は、加圧室21から吐出面11aに向かって延びている。部分流路23の形状は、概略、円柱状である。なお、部分流路23は、加圧室21から吐出面11aに向かって上下方向に傾斜して延びていてもよいし(図示の例)、傾斜せずに延びていてもよい。また、部分流路23は、その横断面の面積が上下の位置によって異なっていてもよい。平面視において、部分流路23は、例えば、加圧室21の所定方向(例えば平面視における加圧室21の長手方向)の端部に繋がっている。
 吐出孔3は、部分流路23の底面(加圧室21とは反対側の面)の一部に開口している。吐出孔3は、例えば、部分流路23の底面の概ね中央に位置している。ただし、吐出孔3は、部分流路23の底面の中央に対して偏心して設けられていてもよい。吐出孔3の縦断面の形状は、吐出面11a側ほど径が小さくなるテーパ状とされている。ただし、吐出孔3は、一部又は全部が逆テーパであってもよい。
 接続流路19は、例えば、共通流路15の上面から上方へ延びる部位と、当該部位からプレート25に沿う方向に延びる部位と、当該部位から上方に延びて加圧室21の下面に接続されている部位とを有している。プレート25に沿う部位は、流れ方向に直交する断面積が小さくされており、いわゆるしぼりとして機能する。平面視において、接続流路19の加圧室21に対する接続位置は、例えば、加圧室21の下面のうちの当該下面の中央に対して部分流路23とは反対側の端部とされている。
 複数の加圧室21の配列の態様については、概略、図2を参照して説明した複数の吐出孔3の配列の態様の説明が援用されてよい。ただし、複数の加圧室21の配列の態様と、複数の吐出孔3の配列の態様とは異なっていても構わない。例えば、複数の部分流路23の形状を互いに異ならせることなどによって、複数の加圧室21の配列の態様と、複数の吐出孔3の配列の態様とが異なっていてもよい。そして、例えば、複数の加圧室21は、図2に示した複数の吐出孔3とは異なり、D1方向及びD2方向の双方において一様に分布したり(加圧室21の行間のピッチが一定とされたり)、吐出孔行5の数よりも少ない行数で配列されたりしてよい。
(圧電アクチュエータ)
 圧電アクチュエータ13は、例えば、複数の加圧室21に亘る広さを有する概略板状である。圧電アクチュエータ13は、板形状の表面及び裏面として第1面13a及び第2面13bを有している。本実施形態では、第1面13aは、流路部材11の加圧面11bに重ねられる面である。圧電アクチュエータ13は、吐出素子9毎に(加圧室21毎に)加圧室21に圧力を付与する圧電素子27を有している。すなわち、圧電アクチュエータ13は、第1面13aに沿う方向の複数の位置に複数の圧電素子27を有している。
 なお、圧電アクチュエータ13において、圧電素子27と捉えられる領域は、適宜に定義されてよい。例えば、当該領域は、後述するU個別電極51が設けられている領域によって定義されてもよいし、平面透視において加圧室21と重なっている領域によって定義されてもよい。
 圧電アクチュエータ13は、第1面13aに沿って広がる複数の層状部材が積層されて構成されている。具体的には、例えば、圧電アクチュエータ13は、第1面13a側(流路部材11側)から順に、DD絶縁層29、DD導体層31、D絶縁層33、D導体層35、圧電体層37、U導体層39、U圧電体層41及びUU導体層43を有している。すなわち、圧電体層37及びU圧電体層41も絶縁層の一種として捉えた場合に、圧電アクチュエータ13は、絶縁層と導体層とを交互に有しており、また、合計で4層の絶縁層と4層の導体層とを有している。特に図示しないが、圧電アクチュエータ13は、UU導体層43を覆う絶縁層(例えばソルダーレジスト)を有していてもよい。
 なお、絶縁層及び導体層に付した「DD」、「D」、「U」、「UU」は、圧電体層37を基準として、第1面13a側(Down Side)を「D」、第2面13b側(Up side)を「U」とし、圧電体層37から離れるほど「D」及び「U」の文字を多くしている。各層が含む部位にもこの文字を付すことがある。
 圧電素子27においては、D導体層35とU導体層39とによって圧電体層37に電圧が印加されることによって、圧電体層37がその平面方向(表面及び裏面に沿う方向)において伸長及び/又は収縮(伸縮)する。この伸縮は、他の絶縁層のいずれかによって規制される。これにより、圧電素子27は、バイメタルのように第1面13a側及び/又は第2面13b側へ撓み変形を生じる。このような圧電素子27の撓み変形によって、加圧室21の容積が縮小及び/又は拡大され、加圧室21の液体に圧力が付与される。
 より詳細には、例えば、本実施形態の説明ではD絶縁層33及び/又はDD絶縁層29が圧電体層37の伸縮を規制する。この場合、圧電体層37が収縮するときは、圧電素子27は、第1面13a側に撓み変形を生じる(第1面13a側が凸となる。)。また、圧電体層37が伸長するときは、圧電素子27は、第2面13b側に撓み変形を生じる(第1面13a側が凹となる。)。
 U圧電体層41は、U導体層39とUU導体層43とによって電圧が印加されることによって、その平面方向に伸縮する。より詳細には、電圧印加によって圧電体層37が平面方向に伸長するときは、U圧電体層41も電圧印加によって伸長し、電圧印加によって圧電体層37が平面方向に収縮するときは、U圧電体層41も電圧印加によって収縮する。従って、U圧電体層41は、圧電体層37と同様に、伸縮がD絶縁層33及び/又はDD絶縁層29によって規制され、圧電体層37の撓み変形と同一の方向に撓み変形を生じる。
 これにより、圧電体層37及びU圧電体層41の合計厚みと等しい厚みの1層の圧電体層がある態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)と比較すると、圧電体層を挟む電極間距離が半分になることにより、圧電体層に印加される電界の強度が強くなり、ひいては、圧電素子27の変位量を大きくすることができる。また、U圧電体層41を有さず圧電体層37のみがある態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)と比較すると、変位する圧電体層の厚さが厚くなることにより、圧電体層と絶縁層とからなる積層体を撓ませる力を強くすることができる。
 上記の撓み変形の説明で言及しなかったDD導体層31は、例えば、圧電アクチュエータ13における意図されていない応力及び/又は歪の低減に寄与する。このような応力及び/又は歪としては、例えば、製造時及び/又は使用時における温度変化に起因するものを挙げることができる。より詳細には、例えば、温度変化に起因する圧電アクチュエータ13のその平面方向における伸縮に着目したときに、DD導体層31は、厚み方向(D3方向)の一方側における伸縮と他方側における伸縮とを釣り合せることに寄与する。
 本実施形態では、上記のように圧電体層(37及び41)の伸縮を圧電体層よりも第1面13a側において規制して撓み変形を実現する。従って、圧電体層以外の層の材料及び厚さは、圧電体層の伸縮時に圧電体層が第1面13a側から受ける応力が、第2面13b側から受ける応力よりも大きくなるように設定される。このような材料及び厚さの組み合わせは種々存在し、適宜に設定されてよい。
 一例を挙げる。各導体層の厚さは絶縁層の厚さに比較して薄くされ、ひいては、圧電体層(37及び41)の伸縮に及ぼす影響が低減されてよい。DD絶縁層29及びD絶縁層33は、互いに同一の圧電体(例えば圧電体層37及び/又はU圧電体層41の材料と同じ材料。別の観点ではヤング率が比較的大きい材料。)によって構成されてよい。そして、圧電体層(37及び41)に対して第1面13a側に位置する絶縁層(29及び33)の合計厚さは、圧電体層(37及び41)に対して第2面13b側に位置する絶縁層(本実施形態ではそのような絶縁層は存在しない。)の合計厚さよりも厚くされてよい。このような構成によって、圧電体層(37及び41)においては、第1面13a側から受ける応力が第2面13b側から受ける応力よりも大きくされる。
 上記のような構成において、絶縁層の厚さは適宜に設定されてよい。例えば、圧電体層(37及び41)に対して第1面13a側に位置する絶縁層(29及び33)の合計厚さは、圧電体層(37及び41)の合計厚さに対して、1/2以上3/2以下とされてよい。
 図示の例では、DD絶縁層29、D絶縁層33、圧電体層37及びU圧電体層41は、互いに概ね同等の厚さとされている。換言すれば、圧電体層(37及び41)に対して第1面13a側に位置する絶縁層(29及び33)の合計厚さは、圧電体層(37及び41)の合計厚さと概ね同等とされている。別の観点では、D導体層35に対して第1面13a側に位置する絶縁層(29及び33)の合計厚さと、D導体層35に対して第2面13b側に位置する絶縁層(37及び41)の合計厚さとは、概ね同等とされている。
 上記のような構成における寸法の一例を挙げる。DD絶縁層29、D絶縁層33、圧電体層37及びU圧電体層41の厚さは、それぞれ10μm以上40μm以下とされてよい。DD導体層31、D導体層35、U導体層39及びUU導体層43の厚さは、それぞれ0.5μm以上3μm以下とされてよい。また、D導体層35の厚さは、他の導体層(例えばU導体層39)の厚さに対して、0.5μm以上2μm以下の差で厚くされていてもよい。
(圧電アクチュエータの各層の詳細)
 図4及び図5は、圧電アクチュエータ13の分解斜視図である。図4では、圧電アクチュエータ13の一部の領域であって、複数の圧電素子27が含まれる領域について示されている。図5では、1つの圧電素子27が含まれる領域について示されている。これらの図では、便宜上、導体層(31、35、39及び43)の表面にハッチングを付している。
 これらの図では、絶縁層又は圧電体層と、その上面(+D3側の面)に重なる導電層との2層が組み合わされた板状部材が示されている。すなわち、4つの板状部材が示されている。ただし、これは、図示の便宜上のものであり、製造過程において、このような4つの板状部材がそれぞれ作製されることを意味していない。例えば、製造過程において、各導体層は、絶縁層又は圧電体層の下面(-D3側の面)に設けられてもよい。
 図3~図5に示すように、圧電体層(37及び41)も絶縁層の一種として捉えた場合に、4つの絶縁層(29、33、37及び41)は、複数の圧電素子27に亘って実質的に隙間無く広がっている。「実質的に」としているのは、例えば、導体層同士を接続するための貫通導体(後述)が絶縁層を貫通していてもよいことなどからである(以下、同様。)。また、D導体層35も、複数の圧電素子27に亘って実質的に隙間無く広がっている。一方、他の導体層(31、39及び43)は、複数の圧電素子27に個別に(換言すれば1対1で)位置する複数の部位(45、51及び53)を有している。
 圧電アクチュエータ13の種々の層(29、31、33、35、37、39、41及び43)は、導体層の非配置領域を無視したときに、概略、一定の厚さの層状である。複数の圧電素子27に亘って広がっている層(29、33、35、37及び41)の広さは、例えば、互いに同等の広さとされてよい。別の観点では、これらの層の広さは、圧電アクチュエータ13の広さと同様とされてよい。ただし、いずれかの層が他の層よりも狭くされていても構わない。例えば、D導体層35は、当該D導体層35に重なるD絶縁層33及び圧電体層37よりも狭くされて、外縁が圧電アクチュエータ13の外部に露出しないようにされていてもよい。
 各層は、1種類の材料によって一体的に構成されていてもよいし、互いに異なる材料が積層されて構成されていてもよい。各層の材料は、平面方向の互いに異なる位置同士で同一である。ただし、一部の領域の材料が他の領域の材料と異なっていてもよい。
(圧電体層)
 圧電体層37及びU圧電体層41は、例えば、少なくとも圧電素子27を構成している領域において、分極軸(単結晶では電気軸又はX軸ともいう。)が厚み方向(D3方向)に概ね平行になっている。また、圧電体層37とU圧電体層41とは、分極の向き(+D3側及び-D3側のいずれであるか)が互いに逆とされている。圧電体層(37及び41)それぞれは、厚み方向において分極の向きと同じ向きで電圧が印加されることによって平面方向に収縮する。また、圧電体層(37及び41)それぞれは、厚み方向において分極の向きと逆の向きで電圧が印加されることによって平面方向に伸長する。なお、圧電体層(37及び/又は41)のうち、圧電素子27を構成している領域以外の領域は、分極されていてもよいし、分極されていなくてもよい。前者の場合において、分極の方向は、圧電素子27を構成している領域における分極の方向と同様であってもよいし、異なっていてもよい。
 圧電体層37及びU圧電体層41の材料は、例えば、強誘電性を有するセラミックス材料とされてよい。セラミック材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系、NaNbO系、BaTiO系、(BiNa)TiO系、BiNaNb15系のものを挙げることができる。ただし、圧電体層(37及び41)の材料は、セラミック材料以外とされても構わない。圧電体層(37及び41)の材料は、単結晶であってもよいし、多結晶であってもよいし、無機材料であってもよいし、有機材料であってもよいし、強誘電体であってもなくてもよいし、焦電体であってもなくてもよい。圧電体層37及びU圧電体層41の材料は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。
(絶縁層)
 DD絶縁層29及びD絶縁層33の厚さは、既に言及したように、適宜に設定されてよい。例えば、これらの層の厚さは、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。また、各層の厚さは、圧電体層37及び/又はU圧電体層41の厚さに対して、薄くてもよいし、同等でもよいし、厚くてもよい。
 DD絶縁層29及びD絶縁層33の材料は、既に言及したように、適宜なものとされてよい。例えば、少なくとも1つの絶縁層の材料は、圧電体層37及び/又はU圧電体層41の材料と同一であってもよいし、異なっていてもよい。換言すれば、少なくとも1つの絶縁層の材料は、圧電体であってもよいし、圧電体でなくてもよい。絶縁層の材料が圧電体層の材料と同一又は異なる圧電体である場合において、圧電体層の説明で例示した材料は、絶縁層の材料に援用されてよい。絶縁層は、多結晶からなる場合において、分極されていてもよいし、分極されていなくてもよい。もちろん、少なくとも1つの絶縁層の材料は、圧電体でなくてもよい。
(導体層)
 DD導体層31、D導体層35、U導体層39及びUU導体層43の厚さは、適宜に設定されてよい。例えば、これらの層の厚さは、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。各層の厚さは、例えば、圧電体層37の厚さよりも薄くされている。
 DD導体層31、D導体層35、U導体層39及びUU導体層43の材料は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。また、各導体層の材料は、例えば、金属材料とされてよい。金属材料としては、例えば、Ag-Pd系の合金及びAu系の合金が用いられてよい。
(D導体層)
 D導体層35は、例えば、既述のように圧電体層37に電圧を印加することに寄与する。D導体層35は、図示の例では(又は図示の範囲では)、共通電極49のみを含んでいる。共通電極49は、複数の圧電素子27に亘って実質的に隙間無く広がっている。圧電素子27の駆動時、共通電極49は、例えば、一定の電位(時間経過に対して変動しない電位)が付与される。当該一定の電位は、例えば、基準電位(グランド電位)である。
(U導体層)
 U導体層39は、例えば、既述のように圧電体層37及びU圧電体層41に電圧を印加することに寄与する。U導体層39は、例えば、電圧印加に直接的に寄与する複数のU個別電極51と、複数のU個別電極51に個別に電位(駆動信号)を付与するための複数のU配線53とを有している。複数のU個別電極51及び複数のU配線53は、複数の圧電素子27(別の観点では複数の加圧室21)に対して個別に設けられている。特に図示しないが、U導体層39は、上記以外の部分を有していてもよい。例えば、U導体層39は、圧電体層37及び/又はU圧電体層41の外縁に沿って延びる補強部を有していてもよい。
 圧電素子27の駆動時において、共通電極49に一定の電位(例えば基準電位)が付与されているのに対して、U個別電極51には経過時間に対して電位が変化する駆動信号が入力される。これにより、圧電体層37に電圧が印加され、圧電素子27が変位する。また、複数のU個別電極51には個別に駆動信号が入力される。これにより、複数の圧電素子27は個別に(換言すれば独立に)駆動される。
 複数のU個別電極51及び複数のU配線53の面積(又は体積)の総和、及びU導体層39の面積(又は体積)の総和は、適宜に設定されてよい。なお、図示の例では、上記2つの総和は同じものである。以下の説明では、便宜上、上記2つの総和を区別せずに説明するものとし、一方の総和の語は、他方の総和の語に置換されてよいものとする。
(U個別電極)
 複数のU個別電極51は、複数の加圧室21に対して個別に対向している。U個別電極51の平面形状は、例えば、加圧室21の平面形状と相似であってもよいし(図示の例)、相似でなくてもよい。いずれにせよ、加圧室21の平面形状に関する説明は、U個別電極51の平面形状に援用されてよい。例えば、U個別電極51の平面形状は、互いに直交する長手方向及び短手方向を有する形状であってもよいし(図示の例)、そのような方向を概念できない形状であってもよい。また、長手方向及び短手方向と複数のU個別電極51の配列態様との関係も任意である。
 また、U個別電極51の大きさは、適宜に設定されてよい。例えば、平面透視において、U個別電極51の外縁は、加圧室21(より詳細には例えば加圧室21の加圧面11b側の開口面)の外縁に対して、その全体が内側に位置していてもよいし、その全体が概ね一致していてもよいし、その全体が外側に位置していてもよいし、一部のみが一致又は内側に位置していてもよい。
 本実施形態では、U個別電極51の平面形状が加圧室21の平面形状と相似である態様を例に取る。この平面形状の詳細については後述するが、互いに直交する長手方向と短手方向とを概念できる形状である。また、本実施形態では、平面透視において、U個別電極51及び加圧室21の(その平面形状の)中心同士が概ね一致し、また、両者の向きが互いに一致する態様を例に取る。図示の例では、U個別電極51の長手方向は、D1方向(すなわち圧電アクチュエータ13の短手方向)とされている。ただし、U個別電極51の長手方向は、他の方向(例えば圧電アクチュエータ13の長手方向)とされてもよい。
 なお、本実施形態の説明において、平面図形について中心(あるいは中央等)という場合(あるいは平面視又は断面視において中心という場合)、特に断りが無い限り、中心は、例えば、図心とされてよい。図心は、平面図形の重心であり、その点を通る任意の軸に対する断面一次モーメントが0になる点である。
 複数のU個別電極51の配列については、既述の複数の加圧室21の配列についての説明が援用されてよい。図示の例では、複数のU個別電極51は、圧電アクチュエータ13の長手方向(D2方向。別の観点ではU個別電極51の短手方向)に配列されて複数の行(1行でもよい)をなしている。互いに隣り合う行は、行に平行な方向(ここではD2方向)において互いに半ピッチずれている。半ピッチずれる態様において、行に平行な方向に見たとき、互いに隣り合う行は、一部同士が互いに重複していてもよいし、重複していなくてもよい。
(U配線)
 U配線53は、U個別電極51から延び出る形状であり、いわゆる引出電極である。U配線53は、例えば、U圧電体層41を貫通している貫通導体61(図3)に接続されている。従って、貫通導体61に駆動信号が入力されることによって、U配線53を介してU個別電極51に駆動信号が入力される。
 U配線53の具体的な形状、寸法及び位置等は適宜に設定されてよい。例えば、U配線53は、U個別電極51の所定方向(図示の例ではD1方向)の一方側の端部から前記所定方向の前記一方側へ直線状に延びている。当該所定方向は、任意の方向とされてよいが、例えば、U個別電極51の長手方向及び/又は圧電アクチュエータ13の短手方向である。また、U配線53の幅は、例えば、概略一定である。もちろん、図示の例とは異なり、U配線53は、屈曲又は湾曲する部分を有していてもよい。また、U配線53のU個別電極51とは反対側の端部は、他の部分に比較して拡幅されていてもよい。
(DD導体層)
 DD導体層31は、例えば、既述のように、圧電アクチュエータ13における意図されていない応力及び/又は歪の低減に寄与する。圧電素子27の駆動時において、DD導体層31は、例えば、共通電極49と同様に、一定の電位(時間経過に対して変動しない電位)が付与される。当該一定の電位は、例えば、共通電極49の電位と同一の電位とされてよく、また、基準電位(グランド電位)とされてよい。なお、DD導体層31は、圧電素子27の駆動時において、電位が付与されずに、電気的に浮遊状態とされてもよい。
 DD導体層31は、例えば、複数の圧電素子27に個別に位置している複数のDD個別電極45と、複数のDD個別電極45を互いに接続している複数のDD配線47とを有している。特に図示しないが、DD導体層31は、上記以外の部分を有していてもよい。例えば、DD導体層31は、DD絶縁層29及び/又はD絶縁層33の外縁に沿って延びる補強部を有していてもよい。また、逆に、DD導体層31は、DD個別電極45同士を接続するDD配線47を有していなくてもよい。この場合、例えば、複数のDD個別電極45は、互いに非接続とされていてもよい。また、例えば、複数のDD個別電極45は、DD個別電極45毎に、配線、及びD絶縁層33を貫通する貫通導体を設けることによって、共通電極49を介して互いに電気的に接続されていてもよい。
 複数のDD個別電極45及び複数のDD配線47の面積(又は体積)の総和、及びDD導体層31の面積(又は体積)の総和は、適宜に設定されてよい。なお、図示の例では、上記2つの総和は同じものである。以下の説明では、便宜上、上記2つの総和を区別せずに説明するものとし、一方の総和の語は、他方の総和の語に置換されてよいものとする。上記の面積(又は体積)の総和は、U導体層39の面積(又は体積)の総和に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。例えば、DD導体層31の面積(又は体積)の総和は、U導体層39の面積(又は体積)の総和に対して、1/2以上2倍以下とされてよい。また、DD導体層31の面積(又は体積)の総和がU導体層39の面積(又は体積)の総和よりも大きい場合又は小さい場合、その差は、例えば、U導体層39の面積(又は体積)の総和の1%以上又は50%以上とされてよい。
(DD個別電極)
 複数(例えば全て)のDD個別電極45は、既述のように、複数のDD配線47によって互いに接続されている。従って、複数のDD個別電極45は、互いに同一の電位とされる。
 上記から理解されるように、本開示において、「個別電極」は、複数の電極が互いに分離した形状とされていることを意味し、互いに別個の電位を付与可能にされている必要は無い。また、ここでいう分離は、完全な分離に限定されない。複数の個別電極は、互いに間隔を空けていればよい。換言すれば、複数の個別電極は、その間に導体層(DD個別電極45の場合においてはDD導体層31)の非配置領域を挟んでいればよい。例えば、本実施形態では、図4に示すように、D2方向において互いに隣り合うDD個別電極45は、その間のDD配線47によって接続されているが、隙間S2を挟んでいる。なお、図示の例において、複数のDD個別電極45がD2方向以外の方向において互いに分離されていることは明らかである。
 複数のDD個別電極45は、複数のU個別電極51(別の観点では複数の加圧室21)に個別に対向している。より詳細には、平面透視において、各DD個別電極45は、自己に対応するU個別電極51の中央(中心)に重なっている。DD個別電極45は、任意の領域がU個別電極51の中央に重なってよい。例えば、DD個別電極45の中央側の領域(例えばDD個別電極45を任意の方向において3等分したときの中央の領域)又は中央がU個別電極51の中央に重なってよい。
 DD個別電極45の形状は、任意の形状とされてよい。例えば、DD個別電極45の平面形状は、U個別電極51の平面形状と相似であってもよいし(図示の例)、相似でなくてもよい。いずれにせよ、U個別電極51の平面形状に関する説明は、DD個別電極45の平面形状に援用されてよい。例えば、DD個別電極45の平面形状は、互いに直交する長手方向及び短手方向を有する形状であってもよいし(図示の例)、そのような方向を概念できない形状であってもよい。また、長手方向及び短手方向と複数のDD個別電極45の配列態様との関係も任意である。
 また、DD個別電極45の大きさは、適宜に設定されてよい。例えば、平面透視において、DD個別電極45の外縁は、U個別電極51の外縁に対して、その全体が内側に位置していてもよいし(図示の例)、その全体が概ね一致していてもよいし、その全体が外側に位置していてもよいし、一部のみが一致又は内側に位置していてもよい。別の観点では、DD個別電極45の面積(又は体積)は、U個別電極51の面積(又は体積)に対して、例えば、小さくてもよいし(図示の例)、同等でもよいし、大きくてもよい。例えば、DD個別電極45の面積(又は体積)は、U個別電極51の面積(又は体積)の1/2以上2倍以下とされてよい。また、DD個別電極45の面積(又は体積)がU個別電極51の面積(又は体積)よりも大きい場合又は小さい場合、その差は、例えば、U個別電極51の面積(又は体積)の5%以上又は20%以上とされてよい。
 本実施形態では、DD個別電極45の平面形状がU個別電極51の平面形状と相似であり、また、平面透視において双方の中心同士が概ね一致する態様を例に取る。また、本実施形態では、平面透視において、DD個別電極45及びU個別電極51の中心同士が概ね一致し、また、両者の向きが互いに一致する態様を例に取る。上記から理解されるように、DD個別電極45の配置位置については、U個別電極51の配置位置の説明が援用されてよい。また、本実施形態では、DD個別電極45の全体がU個別電極51の外縁の内側に位置する(別の観点ではDD個別電極45の面積がU個別電極51の面積よりも小さい)態様を例に取る。
(DD配線)
 複数のDD配線47の数、位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。例えば、DD配線47は、D2方向に隣り合うDD個別電極45同士を接続していてもよいし(図示の例)、D2方向以外の方向(D1方向又はD1方向に傾斜する方向)に隣り合うDD個別電極45同士を接続していてもよいし、これらの接続の2以上を組み合わせた接続を実現していてもよい。また、例えば、DD配線47は、直線状に延びていてもよいし(図示の例)、屈曲又は湾曲していてもよい。また、例えば、DD配線47は、その長さ方向に亘って概略一定の幅であってもよいし、長さ方向の位置によって幅が異なっていてもよい。DD配線47の幅は、DD個別電極45の間に隙間(例えば隙間S2)が形成されるように、DD配線47の幅方向におけるDD個別電極45の最大径よりも小さい。例えば、前者は、後者の1/2以下、1/3以下又は1/4以下とされてよい。
 図示の例では、DD配線47は、D2方向に互いに隣り合うDD個別電極45同士を接続している。また、DD配線47の形状は、概略、一定の幅でD2方向に直線状に延びる形状とされている。DD配線47が延びている方向(D2方向)は、本実施形態では、U配線53が延びる方向に交差(より詳細には直交)する方向であり、また、DD個別電極45の長手方向(別の観点では加圧室21の長手方向)に交差(より詳細には直交)する方向である。
(UU導体層)
 UU導体層43は、例えば、既述のように、U圧電体層41に電圧を印加することに寄与する。圧電素子27の駆動時において、UU導体層43は、例えば、基本的に(例えば後述するパッド59を除いて)、共通電極49と同様に、一定の電位(時間経過に対して変動しない電位)が付与される。当該一定の電位は、例えば、共通電極49及び/又はDD導体層31の電位と同一の電位とされてよく、また、例えば、基準電位(グランド電位)とされてよい。
 共通電極49とUU導体層43とに同一の電位(例えば基準電位)が付与され、U導体層39(U個別電極51)に駆動信号が入力されると、共通電極49とU個別電極51とによって圧電体層37に電界が印加されるとともに、UU導体層43とU個別電極51とによってU圧電体層41に電界が印加される。また、前者の電界と後者の電界とは逆向きとなる。一方、既述のように、圧電体層37とU圧電体層41とは分極の向きが逆である。従って、圧電体層37及びU圧電体層41は、共に伸長し、又は共に収縮することになり、これによって圧電素子27が駆動される。
 UU導体層43は、例えば、複数の圧電素子27に個別に位置している複数のUU個別電極55と、複数のUU個別電極55を互いに接続している複数のUU配線57と、U圧電体層41よりも下層の導体層(39、35及び/又は31)に対する電位の付与に寄与する複数のパッド59とを有している。特に図示しないが、UU導体層43は、上記以外の部分を有していてもよい。例えば、UU導体層43は、U圧電体層41の外縁に沿って延びる補強部を有していてもよい。また、逆に、UU導体層43は、UU個別電極55同士を接続するUU配線57を有していなくてもよい。この場合、例えば、複数のUU個別電極55は、互いに非接続とされていてもよい。また、例えば、複数のUU個別電極55は、UU個別電極55毎に、配線、並びにU圧電体層41及び圧電体層37を貫通する貫通導体を設けることによって、共通電極49を介して互いに電気的に接続されていてもよい。また、例えば、例えば、複数のUU個別電極55は、圧電アクチュエータ13の第2面13bに対向する不図示のFPC(Flexible printed circuits)を介して互いに接続されていてもよい。
 複数のUU個別電極55及び複数のUU配線57の面積(又は体積)の総和(以下、UU導体層43の要部の面積(又は体積)ということがある。)、及びUU導体層43の面積(又は体積)の総和は、適宜に設定されてよい。これらの面積(又は体積)の総和は、U導体層39の面積(又は体積)の総和及びDD導体層31の面積(又は体積)の総和の少なくとも一方に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。例えば、UU導体層43の要部の面積(又は体積)及びUU導体層43の面積(又は体積)の総和の少なくとも一方は、U導体層39の面積(又は体積)の総和に対して、1/2以上2倍以下とされてよい。また、UU導体層43の要部の面積(又は体積)又はUU導体層43の面積(又は体積)の総和がU導体層39の面積(又は体積)の総和よりも大きい場合又は小さい場合、その差は、例えば、U導体層39の面積(又は体積)の総和の1%以上又は50%以上とされてよい。
(UU個別電極)
 図4及び図5から理解されるように、本実施形態では、D3方向における位置を除いて、複数のUU個別電極55の位置、形状及び寸法は、複数のDD個別電極45(別の観点では複数のU個別電極51)の位置、形状及び寸法と同様又は類似とされている。従って、例えば、既述のDD個別電極45(又はU個別電極51)についての説明は、基本的にUU個別電極55に援用されてよい。
 例えば、UU個別電極55の平面形状は、U個別電極51の平面形状と相似とされてよい。また、平面透視において、UU個別電極55は、U個別電極51の中心に重なってよい。より詳細には、平面透視において、UU個別電極55及びU個別電極51は、互いに中心が概ね一致してよく、また、向きも一致してよい。また、UU個別電極55の面積(又は体積)は、U個別電極51の面積(又は体積)に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。その差の具体例も既に述べたとおりである。
 より詳細には、図示の例では、UU個別電極55の面積(又は体積)は、U個別電極51の面積(又は体積)よりも大きくされている。また、既述のように、図示の例では、DD個別電極45の面積(又は体積)は、U個別電極51の面積(又は体積)よりも小さくされているから、UU個別電極55の面積(又は体積)は、DD個別電極45の面積(又は体積)に対しても大きい。
(UU配線)
 図4及び図5から理解されるように、本実施形態では、D3方向における位置を除いて、複数のUU配線57の位置、形状及び寸法は、複数のDD配線47(別の観点では複数のU個別電極51)の位置、形状及び寸法と同様又は類似とされている。従って、例えば、既述のDD配線47についての説明は、基本的にUU配線57に援用されてよい。
 例えば、UU配線57は、D2方向に隣り合うUU個別電極55同士を接続してよい。また、例えば、UU配線57は、概略一定の幅でD2方向に直線状に延びてよい。UU配線57の幅は、UU個別電極55の間に隙間が形成されるように、UU配線57の幅方向におけるUU個別電極55の最大径よりも小さい。
 図示の例とは異なり、複数のUU配線57の位置、形状及び寸法は、複数のDD配線47の位置、形状及び寸法に対して、同一及び類似のいずれでないものとされてもよい。例えは、UU配線57が延びる方向は、DD配線47が延びる方向と交差する方向(例えば直交する方向)とされてもよい。このような同一及び類似のいずれでない場合においても、DD配線47の説明は、任意の部分がUU配線57に援用されてよい。
(パッド)
 複数のパッド59は、図5において点線で示すように、複数のU配線53の端部に重なる位置に設けられている。そして、図3に示すように、複数のパッド59は、U圧電体層41を貫通する複数の貫通導体61によって、複数のU配線53と個別に接続されている。これにより、圧電アクチュエータ13の外部からパッド59を介してU個別電極51に駆動信号を入力可能となっている。
 既述のように、圧電アクチュエータ13を構成する各層は、一部の領域の材料が他の領域の材料と異なっていてもよい。UU導体層43において、パッド59は、その全部又は上面側の一部の材料がUU個別電極55の材料と異なっていてもよい。
(個別電極の行同士の接続)
 図6は、UU導体層43の一部の拡大平面図である。この図では、複数のUU個別電極55がD2方向に並ぶことによって構成されている行が2つだけ示されている。また、この図では、説明の便宜上、1行が含む複数のUU個別電極55の数が4つであるものと仮定している。また、パッド59の図示は省略されている。
 複数のUU個別電極55が成す複数の行同士は、例えば、互いに接続されている。その接続方法は、適宜なものとされてよい。図示の例では、各行の両端には、行の外側(-D2側又は+D2側)へ延びるUU配線57が設けられている。この両端のUU配線57は、複数の行に交差する方向(D1方向)に延びる共通配線63に接続されている。これにより、複数の行は、互いに接続されている。
 共通配線63は、UU導体層43の一部である。本実施形態の説明では、共通配線63をUU配線57と区別しているが、共通配線63は、UU配線57と同様に、UU個別電極55同士を接続する配線の一種であると捉えられてもよい。共通配線63の材料は、UU導体層43の他の領域(例えばUU個別電極55及びUU配線57)の材料と同一であってもよいし、異なっていてもよく、後述する図7では、異なっている態様が例示される。
 なお、これまでの説明から理解されるように、図示の例とは異なり、複数のUU個別電極55は、D1方向又はD1方向に傾斜する方向に延びる複数のUU配線57によって行同士が接続されていてもよい。また、そのようなUU配線57は、全てのUU個別電極55に対して設けられていてもよいし、各行内の一部のUU個別電極55(例えば両端のUU個別電極55)に対してのみ設けられていてもよい。また、後述の説明から理解されるように、行同士の接続は、他の導体層(例えばD導体層35)を介してなされてもよい。
 UU個別電極55の行同士の接続について述べたが、DD個別電極45の行同士の接続についても同様とされてよい。
(外部との接続)
 既述のように、U個別電極51は、U配線53及び貫通導体61を介してパッド59と接続されていることによって、圧電アクチュエータ13の外部との接続が可能となっている。同様に、他の電極(共通電極49及びDD個別電極45)は、絶縁層(圧電体層を含む)を貫通する貫通導体を介して圧電アクチュエータ13の外部と接続されてよい。この場合において、貫通導体は、互いに異なる導体層に対して別個に設けられていてもよいし、互いに同一の電位とされる導体層に共用されていてもよい。後者について換言すれば、互いに同電位とされる電極同士(例えば共通電極49、DD個別電極45及びUU個別電極55)は、貫通導体を介して互いに接続されてよい。以下では、後者の場合について一例を示す。
 図7は、図6のVII-VII線における断面図である。
 図6及び図7に示すように、共通配線63の直下には、絶縁層を貫通する貫通導体65が設けられている。この貫通導体65は、例えば、図7の紙面右側に示されているように、U圧電体層41、圧電体層37及びD絶縁層33を貫通し、共通配線63、共通電極49及びDD導体層31(より詳細には共通配線63と同様の共通配線)に接続されている。これにより、複数のUU個別電極55、共通電極49及び複数のDD個別電極45は互いに電気的に接続されている。
 なお、図7の紙面左側に示されているように、上記のような貫通導体65に加えて、又は代えて、U圧電体層41及び圧電体層37のみを貫通し、複数のUU個別電極55及び共通電極49を電気的に接続する貫通導体65が設けられてもよい。同様に、特に図示しないが、D絶縁層33のみを貫通して共通電極49及び複数のDD個別電極45を電気的に接続する貫通導体65が設けられてもよい。
 図6において点線で示すように、貫通導体65は、例えば、共通配線63に沿って複数設けられてよい。これにより、同電位とされる電極の電位が安定する。もちろん、貫通導体65は、1カ所のみに設けられても構わない。
(加圧室の平面形状)
 図8は、加圧室21の平面図である。
 加圧室21の平面形状は、例えば、円形C1の領域と、円形C1の領域から所定方向(紙面上下方向)の両側に突出した領域R2(一方の領域R2にハッチングを付す。)とを足し合わせた形状である。領域R2の円形C1とは反対側の外縁(実線で示されている外縁)は、外側に膨らむ曲線である。この曲線の曲率(一定でない場合は平均値)は、例えば、円形C1の曲率よりも大きい。
 上記の加圧室21の平面形状は、円形C1と、楕円形C2との、互いに重なる領域(点線で囲まれた領域)及び互いに重ならない領域(実線と点線とで囲まれた領域)を足し合わせた形状と捉えることができる。すなわち、円形C1及び楕円形C2それぞれをベン図における閉曲線とみなしたときに、加圧室21の平面形状は、和集合(別の観点では論理和)に相当している。
 より詳細には、円形C1の中心と、楕円形C2の中心とは一致している(中心O1参照)。楕円形C2の長径rLは、円形C1の半径r1よりも長く、かつ楕円形C2の短径rSは、円形C1の半径r1よりも短い。そして、楕円形C2の長手方向の両端側の領域R2は、円形C1の外側に位置している。
 ただし、領域R2の円形C1とは反対側の外縁(実線で示されている外縁)は、曲率が一定であってもよい。すなわち、領域R2は、楕円の両端として概念される形状ではなく、円形C1の半径よりも半径が小さい円形の一部として概念される形状であってもよい。
 このような形状の各種の寸法(例えば半径r1、長径rL及び短径rSの相対長さ)は適宜に設定されてよい。一例を以下に挙げる。長径rLは、半径r1の1.2倍以上1.8倍以下とされてよい。領域R2の円形C1とは反対側の外縁の曲率の平均から求めた曲率半径は、半径r1の0.3倍以上0.6倍以下とされてよい。
 既述のように、加圧室21、U個別電極51、DD個別電極45及びUU個別電極55の平面形状は互いに相似とされてよい。従って、上記の加圧室21の平面形状の説明は、U個別電極51、DD個別電極45及びUU個別電極55の平面形状に援用されてよい。
(ヘッドにおけるその他の構成)
 特に図示しないが、ヘッド2は、ヘッド本体7以外に、筐体、ドライバIC、配線基板などを含んでいてよい。ドライバICは、例えば、制御部88からの制御信号に基づいて、不図示のFPCを介してヘッド本体7に電力を供給する。例えば、制御部88は、共通電極49、DD個別電極45及びUU個別電極55に基準電位が付与され、基準電位に対して電位が変動する駆動信号が複数のU個別電極51に個別に入力されるようにドライバIC(ヘッド2)を制御する。また、ヘッド本体7は、流路部材11に液体を供給する他の流路部材を含んでいてよい。そのような他の流路部材は、他の部材を支持したり、ヘッド2のフレーム70に対する固定に寄与したりしてもよい。
(圧電アクチュエータの製造方法)
 圧電アクチュエータ13の製造方法は、公知の方法を適宜に応用したものとされてよい。例えば、4つの絶縁層(29、33、37及び41)となる4つのセラミックグリーンシートを準備する。このセラミックグリーンシートの上面又は下面に、4つの導体層(31、35、39及び43)となる導電ペーストを塗布する。また、セラミックグリーンシートに貫通孔を形成し、貫通孔に貫通導体(61及び65)となる導電ペーストを配置する。そして、4つのセラミックグリーンシートを積層して焼成する。
 上記の製造方法の例は、適宜に変更されてよい。例えば、UU導体層43は、絶縁層(29、33、37及び41)となるセラミックグリーンシート及び他の導体(31、35、39、61及び65)となる導電ペーストを焼成した後に、U圧電体層41の上面に蒸着又はスパッタリングによって形成されてもよい。
 以上のとおり、本実施形態では、圧電アクチュエータ13は、第1面13a及びその背面の第2面13bを有しているとともに、第1面13aに沿う方向の複数の位置に複数の圧電素子27を有している。また、圧電アクチュエータ13は、圧電体層37と、共通電極49と、複数の第1個別電極(U個別電極51)と、第1絶縁層(D絶縁層33)と、複数の第2個別電極(DD個別電極45)とを有している。圧電体層37は、第1面13aに沿って広がっている。共通電極49は、圧電体層37に対して第1面13a側に重なっており、複数の圧電素子27に亘って広がっている。複数のU個別電極51は、圧電体層37に対して第2面13b側に重なっており、複数の圧電素子27に個別に位置しており、互いに電気的に非接続とされている。D絶縁層33は、共通電極49に対して第1面13a側に重なっており、複数の圧電素子27に亘って広がっている。複数のDD個別電極45は、D絶縁層33に対して第1面13a側に重なっており、複数の圧電素子27に個別に位置しており、平面透視において複数のU個別電極の中央に個別に重なっている。また、複数のDD個別電極45は、互いに電気的に接続されている。
 従って、例えば、圧電アクチュエータ13において意図されていない応力及び/又は歪を低減することができる。具体的には、例えば、以下のとおりである。なお、以下の説明では、便宜上、本開示に係る技術ではない技術に対しても本実施形態の符号を付すことがある。
 圧電アクチュエータ13においては、圧電体層37に電圧を印加したときの圧電体層37の平面方向の伸縮を規制して撓み変形を実現するために振動板(本実施形態ではD絶縁層33及び/又はDD絶縁層29)が設けられる。この振動板は、例えば、圧電体層37(及びその上の層(本実施形態ではU圧電体層41))と同一の材料(別の観点では同等のヤング率)及び同等の厚さを有するものとされることがある。その理由としては、例えば、圧電体層37の平面方向の伸縮を規制する強度を適切な大きさとする目的が挙げられる。また、例えば、温度変化によって圧電体層37と振動板との間に平面方向における膨張差が生じ、これに起因して意図されていない撓み変形が生じてしまう蓋然性を低減する目的が挙げられる。一方、共通電極49は、圧電体層37と振動板との間に配置されることが多い。その理由としては、圧電アクチュエータ13の配線の構成を簡素化する(例えば貫通導体の数を低減する)目的が挙げられる。
 上記のような構成では、共通電極49は、圧電アクチュエータ13の厚みの中央の付近に配置されることになる。別の観点では、共通電極49は、圧電アクチュエータ13の中立面の付近に配置されることになる。中立面は、圧電アクチュエータ13を撓み変形させたときに凹となる面側(第1面13a側及び第2面13b側の一方)の圧縮応力が生じる領域と凸となる面側(第1面13a側及び第2面13b側の他方)の引張応力が生じる領域との境界面である。圧電アクチュエータ13の横断面において、ヤング率が一様又は上下対称であるならば、中立面は横断面の重心を通る。中央の付近又は中立面の付近は、例えば、中央又は中立面からの距離が圧電アクチュエータ13の厚さの1/4未満又は1/8未満の範囲である。
 ここで、例えば、本実施形態とは異なり、導体層として、共通電極49及びU導体層39のみを有する圧電アクチュエータを考える。また、この圧電アクチュエータにおいて温度変化に起因して各層が伸縮する場合について考える。このとき、上記のように、共通電極49に対して第1面13a側の絶縁層と、共通電極49に対して第2面13b側の絶縁層とは材料及び厚さが同様又は類似とされているから、両者の伸縮は釣り合いやすい。一方、導体層は、共通電極49に対して第2面13b側にU導体層39が存在するだけである。その結果、U導体層39の平面方向の伸縮によって、圧電アクチュエータ13の平面方向における伸縮に関して、共通電極49を基準として第1面13a側と第2面13b側との差が大きくなりやすい。その結果、意図されていない応力及び/又は変形が生じる蓋然性が高くなる。
 例えば、圧電アクチュエータ13がセラミックグリーンシートの焼成によって作製される場合について考える。この場合、焼成後に圧電アクチュエータ13の温度が低下する過程において、U導体層39が平面方向に収縮し、U導体層39よりも線膨張係数が小さい絶縁層(例えば圧電体層37及びD絶縁層33)に平面方向の圧縮力を付与する。その結果、圧電アクチュエータ13は、U導体層39側を凹として撓み変形を生じる蓋然性が高くなる。又は、撓み変形が確認できないまでも、そのような撓み変形を生じさせる向きに意図されていない応力が生じる可能性がある。このような撓み変形及び/又は応力によって、例えば、圧電素子27に電圧を印加したときの圧電素子27の撓み量(変位)が意図された大きさからずれる。
 しかし、本実施形態では、共通電極49を挟んで複数のU個別電極51とは反対側に、複数のDD個別電極45が設けられていることから、共通電極49のU個別電極51側とその反対側との伸縮の差を低減しやすい。その結果、例えば、圧電素子27に電圧を印加したときの圧電素子27の撓み量の精度を向上させることができる。
 ここで、共通電極49に対してU個別電極51とは反対側に設けられるDD導体層31は、複数のU個別電極51の中央に個別に重なる複数のDD個別電極45を含むものである。従って、例えば、DD導体層31が複数の圧電素子27に亘って隙間無く広がる形状である態様に比較して、共通電極49の上下両側での導体層の面積を互いに同等にすることが容易である。また、DD個別電極45がU個別電極51の中央に重ならない態様に比較して、個々の圧電素子27において(別の観点では局所において)、平面方向における伸縮を上下で同等にすることが容易である。その結果、圧電素子27の撓み量の精度向上の効果が向上する。
 なお、上記では、共通電極49が中立面付近に位置することを前提に効果を例示したが、共通電極49は、そのような位置になくてもよい。例えば、上記とは逆に効果を捉えることができる。具体的には、例えば、共通電極49を基準として第1面13a側と第2面13b側とで導体層の平面方向における伸縮の釣り合いが取れていることによって、絶縁層(例えば圧電体層37及びD絶縁層33)の材料の選択及び厚さの設計が容易化されたり、他の層(例えば分極を初期状態に復帰させるための導体層)を設けるときの設計が容易化されたりする。
 本実施形態では、圧電アクチュエータ13は、複数の第1配線(U配線53)と、複数の第2配線(DD配線47)とを有している。複数のU配線53は、圧電体層37に対して第2面13b側に重なっており、複数の第1個別電極(U個別電極51)に個別に接続されている。複数のDD配線47は、第1絶縁層(DD絶縁層29)に対して第1面13a側に重なっており、複数の第2個別電極(DD個別電極45)を互いに接続している。複数のU配線53が複数のU個別電極51から個別に延び出る方向と、複数のDD配線47が複数のDD個別電極45から個別に延び出る方向とが互いに交差している。
 この場合、例えば、U配線53とDD配線47とが平行である態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)に比較して、U配線53が延びている方向におけるU導体層39の伸縮量と、DD配線47が延びている方向におけるDD導体層31の伸縮量とを近づけることができる。その結果、例えば、圧電アクチュエータ13は、互いに交差する方向の一方の方向における伸縮量と、他方における方向における伸縮量が近づきやすい。ひいては、圧電アクチュエータ13が平面視における特定の方向に歪を生じる蓋然性が低減される。また、例えば、圧電素子27が特定の方向(配線が延びる方向)において曲げモーメントが大きくなる蓋然性を低減できる。なお、U配線53とDD配線47とが平行である態様においては、例えば、上述した平面方向における伸縮を上下間で釣り合せやすい。
 また、本実施形態では、複数の第2個別電極(DD個別電極45)それぞれは、平面視において長手方向に長い形状を有している。複数の第2配線(DD配線47)は、複数のDD個別電極45から当該DD個別電極45の長手方向に交差する方向に延び出ている。
 この場合、例えば、DD個別電極45の長手方向にDD配線47が延び出ている態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)に比較して、DD個別電極45及びDD配線47全体の伸縮量に関して、DD個別電極45の長手方向における伸縮量と、DD個別電極45の短手方向における伸縮量とを近づけることができる。その結果、例えば、個々の圧電素子27の平面視における歪を低減することができる。
 また、本実施形態では、圧電アクチュエータ13は、第2絶縁層(U圧電体層41)と、複数の第3個別電極(UU個別電極55)とを更に有している。U圧電体層41は、圧電体層37に対して複数の第1個別電極(U個別電極51)の上から重なっている。UU個別電極55は、U圧電体層41に対して第2面13b側に重なっており、複数の圧電素子27に個別に位置しており、互いに電気的に接続されている。複数の第2個別電極(DD個別電極45)及び複数の第2配線(DD配線47)の面積の総和が、複数のU個別電極51及び複数の第1配線(U配線53)の面積の総和よりも大きい。
 この場合、UU個別電極55が設けられていない態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)に比較して、共通電極49を基準として第1面13a側と第2面13b側とで平面方向における伸縮の上下間の釣り合いを維持しつつ、DD導体層31の面積を確保することが容易化される。その結果、例えば、設計の自由度が向上する。例えば、DD配線47は、U配線53よりも長くなりやすいから、U導体層39とDD導体層31との面積を近づけようとすると、DD個別電極45がU個別電極51よりも小さくなるか、DD配線47が細くなる。しかし、UU個別電極55を設けることによって、平面方向における伸縮の上下間の釣り合いを維持しつつ、DD配線47の幅を十分に確保して複数のDD個別電極45の電位を安定させることができる。また、UU個別電極55は、圧電素子27毎に設けられているから、U個別電極51及びDD個別電極45との伸縮の釣り合いを計算することが容易である。
 また、本実施形態では、前記第2絶縁層が圧電体層37とは別の圧電体層(U圧電体層41)である。
 この場合、例えば、既に述べたように、圧電アクチュエータ13を撓ませる力を強くすることができる。圧電アクチュエータ13を撓ませる力を強くするためにU圧電体層41及びUU導体層43を設けると、共通電極49に対して第2面13b側に導体層が偏り、上述した意図されていない撓み変形が生じる蓋然性が高くなる。従って、DD個別電極45を設けたことによる上述した効果が有効に奏されることになる。
 また、本実施形態では、複数の第2個別電極(DD個別電極45)それぞれの面積が複数の第1個別電極(U個別電極51)それぞれの面積よりも小さい。
 この場合、例えば、DD個別電極45の面積がU個別電極51の面積よりも大きい態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)に比較して、圧電素子27に電圧を印加したときの圧電素子27の撓み量がDD個別電極45によって低減されてしまう蓋然性が低減される。
 また、本実施形態では、第1面13aの平面透視において、複数の第2個別電極(DD個別電極45)それぞれの形状が複数の第1個別電極(U個別電極51)それぞれの形状と相似である。
 この場合、例えば、個々の圧電素子27において、上面側における平面方向における伸縮量と、下面側における平面方向における伸縮量との差又は比率が、平面視における種々の方向において均等化されやすい。すなわち、DD個別電極45を設けた影響が均等化されやすい。その結果、例えば、圧電素子27に電圧を印加したときの圧電素子27の撓み変形の形状が、意図された形状からずれてしまう蓋然性が低減される。
 また、本実施形態では、複数の第1個別電極(U個別電極51)それぞれの形状は、第1面13aの平面視において、円形C1の領域と、円形C1の領域から所定方向の両側へ突出している領域R2とを足し合わせた形状である。
 この場合、例えば、U個別電極51の形状が円形C1である態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)に比較して、U個別電極51の面積を大きくすることができる。その結果、例えば、圧電素子27の変位量を大きくすることができる。一方で、複数のU個別電極51の短手方向における密度をU個別電極51の形状が円形Cである態様と同等にすることができる。別の観点では、U個別電極51の位置ずれによってU個別電極51同士が短絡してしまう蓋然性を低減できる。
 また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド2は、本実施形態に係る圧電アクチュエータ13と、流路部材11とを有している。流路部材11は、圧電アクチュエータ13に対して第1面13a側又は第2面13b側(本実施形態では第1面13a側)に重なっている加圧面11bと、その背面の吐出面11aとを有している。また、流路部材11は、複数の加圧室21と、複数の吐出孔3とを有している。複数の加圧室21は、加圧面11bの平面透視において複数の圧電素子27に個別に重なっている。複数の吐出孔3は、複数の加圧室21に個別に通じており、吐出面11aにて開口している。
 従って、例えば、上述したように圧電アクチュエータ13の意図されていない応力及び/歪が低減されることによって、加圧室21に付与される圧力が安定する。ひいては、吐出孔3から吐出される液滴の精度が向上する。
 また、本実施形態では、第1面13aの平面透視において、複数の第2個別電極(DD個別電極45)それぞれの形状が複数の加圧室21それぞれの形状と相似である。
 ここで、圧電素子27は、加圧室21の外周によって支持される。DD個別電極45の形状と、加圧室21の形状とが相似でない態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)においては、平面視において、DD個別電極45の径と加圧室21の径との差又は比率が方向によって異なる蓋然性が高くなる。その結果、圧電素子27の撓み変形が意図された形状からずれる蓋然性が高くなる。本実施形態では、そのような蓋然性が低減される。DD個別電極45は、他のいずれの電極よりも加圧室21に近い電極であるから、加圧室21と相似であることによる効果が高い。
 以上の実施形態において、U個別電極51は第1個別電極の一例である。D絶縁層33は第1絶縁層の一例である。DD個別電極45は第2個別電極の一例である。U配線53は第1配線の一例である。DD配線47は第2配線の一例である。U圧電体層41は第2絶縁層の一例である。UU個別電極55は第3個別電極の一例である。
 本開示に係る技術は、上述した実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
 例えば、圧電アクチュエータは、超音波を生成する装置などの液体吐出ヘッド以外の用途に用いられてもよい。また、U圧電体層41及びUU導体層43の組み合わせは設けられなくてもよいし、DD絶縁層29は設けられなくてもよい。実施形態では、圧電アクチュエータ13は、第1面13a側に圧力を付与する用途で用いられたが、第2面13b側に圧力を付与する用途で用いられてもよい。
1…プリンタ(記録装置)、2…液体吐出ヘッド、7…ヘッド本体(液体吐出ヘッド)、13…圧電アクチュエータ、13a…第1面、13b…第2面、27…圧電素子、33…D絶縁層(第1絶縁層)、37…圧電体層、45…DD個別電極(第2個別電極)、49…共通電極、51…U個別電極(第1個別電極)。

Claims (11)

  1.  第1面及びその背面の第2面を有しているとともに、前記第1面に沿う方向の複数位置に複数の圧電素子を有している圧電アクチュエータであって、
     前記第1面に沿って広がっている圧電体層と、
     前記圧電体層に対して前記第1面側に重なっており、前記複数の圧電素子に亘って広がっている共通電極と、
     前記圧電体層に対して前記第2面側に重なっており、前記複数の圧電素子に個別に位置しており、互いに電気的に非接続とされている複数の第1個別電極と、
     前記共通電極に対して前記第1面側に重なっており、前記複数の圧電素子に亘って広がっている第1絶縁層と、
     前記第1絶縁層に対して前記第1面側に重なっており、前記複数の圧電素子に個別に位置しており、平面透視において前記複数の第1個別電極の中央に個別に重なっており、互いに電気的に接続されている複数の第2個別電極と、
     を有している圧電アクチュエータ。
  2.  前記圧電体層に対して前記第2面側に重なっており、前記複数の第1個別電極に個別に接続されている複数の第1配線と、
     前記第1絶縁層に対して前記第1面側に重なっており、前記複数の第2個別電極を互いに接続している複数の第2配線と、
     を更に有しており、
     前記複数の第1配線が前記複数の第1個別電極から個別に延び出る方向と、前記複数の第2配線が前記複数の第2個別電極から個別に延び出る方向とが互いに交差している
     請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
  3.  前記複数の第2個別電極それぞれは、平面視において長手方向に長い形状を有しており、
     前記複数の第2配線は、前記複数の第2個別電極から前記長手方向に交差する方向に延び出ている
     請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
  4.  前記圧電体層に対して前記複数の第1個別電極の上から重なっている第2絶縁層と、
     前記第2絶縁層に対して前記第2面側に重なっており、前記複数の圧電素子に個別に位置しており、互いに電気的に接続されている複数の第3個別電極と、
     を更に有しており、
     前記複数の第2個別電極及び前記複数の第2配線の面積の総和が、前記複数の第1個別電極及び前記複数の第1配線の面積の総和よりも大きい
     請求項2又は3に記載の圧電アクチュエータ。
  5.  前記第2絶縁層が前記圧電体層とは別の圧電体層である
     請求項4に記載の圧電アクチュエータ。
  6.  前記複数の第2個別電極それぞれの面積が前記複数の第1個別電極それぞれの面積よりも小さい
     請求項1~5のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
  7.  前記第1面の平面透視において、前記複数の第2個別電極それぞれの形状が前記複数の第1個別電極それぞれの形状と相似である
     請求項1~6のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
  8.  前記複数の第1個別電極それぞれの形状は、平面視において、円形の領域と、前記円形の領域から所定方向の両側へ突出している領域とを足し合わせた形状である
     請求項1~7のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
  9.  請求項1~8のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータと、
     前記第1面又は前記第2面に重なっている加圧面と、その背面の吐出面とを有している流路部材と、
     を有しており、
     前記流路部材は、
      前記加圧面の平面透視において前記複数の圧電素子に個別に重なっている複数の加圧室と、
      前記複数の加圧室に個別に通じており、前記吐出面にて開口している複数の吐出孔と、を有している
     液体吐出ヘッド。
  10.  前記第1面の平面透視において、前記複数の第2個別電極それぞれの形状が前記複数の加圧室それぞれの形状と相似である
     請求項9に記載の液体吐出ヘッド。
  11.  請求項9又は10に記載の液体吐出ヘッドと、
     前記液体吐出ヘッドと電気的に接続されており、前記共通電極及び前記複数の第2個別電極に基準電位が付与されるとともに前記複数の第1個別電極に個別に駆動信号が入力される制御を行う制御部と、
     を有している記録装置。
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