JP2010147666A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電デバイスは、リッド側凹部を有するリッド基板(10)と、音叉型圧電振動片と外枠フレームとを有するチップ基板(20)と、ベース用凹部を有するベース基板(30)とを接合してなり、圧電振動片は、基部(41)と振動腕(42)とを備え、支持腕(44)を介して外枠フレームと接続され、リッド基板のリッド側凹部には、音叉型圧電振動片の短手方向において、基部と対応する位置に、リッド用基部緩衝部(12)が形成され、ベース基板のベース用凹部には、音叉型圧電振動片の短手方向において、基部と対応する位置に、ベース用基部緩衝部(32)が形成され、リッド用基部緩衝部とベース用基部緩衝部との高さは、これらから音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。
【選択図】図6
Description
なお、図7に示したように、緩衝部96は基部の最先端と対応する位置に設置されているので、欠けやすい基部の先端部が緩衝部96と衝突するので、圧電振動片の破損を確実に防止することができない。
特に、欠けやすい基部の先端部が緩衝部と衝突することがなくなるので、圧電振動片の破損を確実に防止することができる。なお、圧電振動片とリッド基板、及び圧電振動片とベース基板との空間に応じて、各緩衝部が設けられるので、衝突を確実に防止することができる。
また、接続点から離れた距離に応じて異なる高さを有する複数の緩衝部を設けることにより、複数の緩衝部で圧電振動片の衝突を防止することができる。更に、複数の緩衝部により、圧電振動片の最先端の衝突力を緩和して、欠けやすい圧電振動片の最先端を確実に保護することができる。
また、接続点から離れた距離に応じて異なる高さを有する複数の緩衝部を設けることにより、複数の緩衝部で圧電振動片の衝突を防止することができる。更に、複数の緩衝部により、圧電振動片の最先端の衝突力を緩和して、欠けやすい圧電振動片の最先端を確実に保護することができる。
音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点は、圧電振動片が振れる支点になる。それに、振動腕の根元部は、当該圧電振動片の支点に隣接しているので、振動腕の根元部で衝撃力による振れの加速度が小さい。従って、衝撃力による振れの加速度が小さい根元部と対応する位置に緩衝部が形成されたので、衝突による圧電振動片の破損を更に防止することができる。
以下、図面に基づいて本発明について詳しく説明する。図1は、本発明の第一圧電振動子100の構造を示す斜視図である。図1に示したように、本実施例に係る第一圧電振動子100は、リッド基板10と、チップ基板20と、ベース基板30とを順序的に接合することにより形成される。この接合方式として、シロキサン結合方式(Si−O−Si)又は陽極接合方式を利用することもできる。
以下、第二圧電振動子200について説明する。第一圧電振動子100と同じ部分について同じ符号を付けその説明を省略する。以下で異なる部分について詳しく説明する。
以下、第三圧電振動子300について説明する。第二圧電振動子200と同じ部分について同じ符号を付けその説明を省略する。以下で異なる部分について詳しく説明する。
11 … リッド側凹部
12 … リッド用基部突起部
13 … リッド用アーム突起部
20 … チップ基板
21 … 外枠フレーム
30 … ベース基板
31 … ベース用凹部
32 … ベース用基部突起部
33 … ベース用アーム突起部
40 … 圧電振動片
41 … 基部
42 … 振動腕
44 … 支持腕
45 … 接続部
49 … 根元部
90 … 従来技術に係る圧電デバイス
100 … 第一圧電デバイス
200 … 第二圧電デバイス
300 … 第三圧電デバイス
Claims (7)
- リッド側凹部を有するリッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲む外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース用凹部を有するベース基板とを接合してなる圧電デバイスであって、
前記音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端から所定方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕とを備え、
前記音叉型圧電振動片は、前記振動腕の外側に形成されている支持腕を介して前記外枠フレームと接続されており、
前記リッド基板のリッド側凹部には、前記音叉型圧電振動片の短手方向において、前記基部と対応する位置に、リッド用基部緩衝部が形成されており、
前記ベース基板のベース用凹部には、前記音叉型圧電振動片の短手方向において、前記基部と対応する位置に、ベース用基部緩衝部が形成されている、
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 前記リッド用基部緩衝部及び前記ベース用基部緩衝部は、前記基部の先端部と衝突しないように、前記基部の先端から所定距離離れた位置に形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記振動腕は、前記振動腕の根元部から先端に向かうアーム部と、前記振動腕の先端に形成されて、前記アーム部より幅が増大されたハンマー部とが含まれ、
前記リッド基板のリッド側凹部には、前記音叉型圧電振動片の短手方向において、前記振動腕のハンマー部と隣接しているアーム部と対応する位置に、リッド用アーム緩衝部が形成されており、
前記ベース基板のベース用凹部には、前記音叉型圧電振動片の短手方向において、前記振動腕のハンマー部と隣接しているアーム部と対応する位置に、ベース用アーム緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電デバイス。 - 前記リッド用基部緩衝部は、前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点から第一距離離れた第一リッド用基部緩衝部と前記接続点から第二距離離れた第二リッド用基部緩衝部とを有し、
前記ベース用基部緩衝部は、前記接続点から第一距離離れた第一ベース用基部緩衝部と前記接続点から第二距離離れた第二ベース用基部緩衝部とを有し、
前記第一リッド用基部緩衝部と前記基部との間隔と前記第二リッド用基部緩衝部と前記基部との間隔とは、前記第一距離と前記第二距離との比例関係にあり、
前記第一ベース用基部緩衝部と前記基部との間隔と前記第二ベース用基部緩衝部と前記基部との間隔とは、前記第一距離と前記第二距離との比例関係にあることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の圧電デバイス。 - 前記リッド用アーム緩衝部は、前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点から第一距離離れた第一リッド用アーム緩衝部と前記接続点から第二距離離れた第二リッド用アーム緩衝部とを有し、
前記ベース用アーム緩衝部は、前記接続点から第一距離離れた第一ベース用アーム緩衝部と前記接続点から第二距離離れた第二ベース用アーム緩衝部とを有し、
前記第一リッド用アーム緩衝部と前記アーム部との間隔と前記第二リッド用アーム緩衝部と前記アーム部との間隔とは、前記第一距離と前記第二距離との比例関係にあり、
前記第一ベース用アーム緩衝部と前記アーム部との間隔と前記第二ベース用アーム緩衝部と前記アーム部とは、前記第一距離と前記第二距離との比例関係にあることを特徴とする請求項3記載の圧電デバイス。
- 前記リッド用基部緩衝部は、前記振動腕の根元部と対応する位置に形成され、
前記ベース用基部緩衝部は、前記振動腕の根元部と対応する位置に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか一項に記載の圧電デバイス。 - 前記リッド用基部緩衝部、前記リッド用アーム緩衝部、前記ベース用基部緩衝部、及び前記ベース用アーム緩衝部は、前記圧電振動片の短手方向において、前記リッド側凹部及び前記ベース用凹部の全面又は一部に形成されていることを特徴とする請求項3記載の圧電デバイス。
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