JP2010147476A - CoWPおよび多孔質誘電体用湿式洗浄組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、CoWPフィーチャーを有する半導体基板から発生するエッチング後残渣および灰化後残渣を除去するための湿式洗浄処方物であって、脱イオン水;有機酸;アミンおよび/または水酸化4級アンモニウム;からなり、前記処方物はCoWPフィーチャーと適合性があり、かつ、(a)アミンおよび/または水酸化4級アンモニウムの有機酸に対するモル比によってpHが7〜14の値をとる;あるいは、(b)前記処方物は腐食防止剤を含む、のいずれかであることを特徴とする。前記処方物を使用した方法についても記載する。
【選択図】なし
Description
本発明は、2008年12月17日に出願の米国仮特許出願第61/138,244号について利益を主張する。
脱イオン水;
有機酸;
アミンおよび/または水酸化4級アンモニウム;
からなり、前記処方物はCoWPフィーチャーと適合性があり、かつ、
(a)アミンおよび/または水酸化4級アンモニウムの有機酸に対するモル比によってpHが7から14の値をとる;あるいは、
(b)前記処方物は腐食防止剤を含む、
のいずれかであることを特徴とする処方物である。
CoWPフィーチャーを有する半導体基板を準備すること;および
前記基板を脱イオン水、有機酸、アミンおよび/または水酸化4級アンモニウムからなる処方と接触させること;
からなり、前記処方物はCoWPフィーチャーと適合性があり、かつ、
(a)アミンおよび/または水酸化4級アンモニウムと有機酸のモル比によってpHが7から14の値をとる;あるいは、
(b)前記処方物は腐食防止剤を含有する、
のいずれかであることを特徴とするプロセスである。
実施例1:AW21028−83H
脱イオン水 46.36重量%
酢酸 0.84重量%
TEA 2.8重量%
グリセロール 50重量%
(TEA=トリエタノールアミン)
脱イオン水 55.45重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
脱イオン水 57.27重量%
酢酸 0.63重量%
TEA 2.1重量%
グリセロール 40重量%
脱イオン水 47.86重量%
酢酸 0.84 重量%
NMEA 1.3重量%
グリセロール 50重量%
(NMEA=N−メチルモノエタノールアミン)
脱イオン水 96.69重量%
酢酸 0.42重量%
TMAH(25%) 3.16重量%
(TMAH(25%)=水酸化テトラメチルアンモニウム25%水溶液)
脱イオン水 65.41重量%
オクタン酸 2重量%
TEA 2.59重量%
グリセロール 30重量%
脱イオン水 55.93重量%
アスコルビン酸 2.52重量%
TEA 1.55重量%
グリセロール 40重量%
脱イオン水 54.89重量%
アスコルビン酸 2.52重量%
TEA 2.59重量%
グリセロール 40重量%
脱イオン水 53.98重量%
アスコルビン酸 2.52重量%
TEA 3.50重量%
グリセロール 40重量%
脱イオン水 7−99.7重量%
有機酸 0.2−5重量%
アミン/水酸化4級アンモニウム 0.5−20重量%
溶媒 0−70重量%
脱イオン水 7−99.7重量%
有機酸 0.5−3重量%
アミンおよび/水酸化4級アンモニウム 1.5−10重量%
溶媒 25−55重量%
以下に有機酸類を例示する:脂肪族/芳香族カルボン酸、アミノカルボン酸、スルホン酸およびアミノスルホン酸。カルボン酸の例としては、以下のものが挙げられるが、それらに限定されることはない:酢酸、プロピオン酸、酪酸、ペンタン酸、3−メチルブタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ドデカン酸、トリデカン酸、テトラデカン酸、ペンタデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、オクタデカン酸、ドデカン二酸、2−メチルヘプタン酸、2−ヘキシルデカン酸、シュウ酸、マロン酸、マレイン酸、フマル酸、コハク酸、イタコン酸、グルタル酸、アジピン酸、リンゴ酸、酒石酸、アクリル酸、メタアクリル酸、クエン酸、乳酸、グリコール酸、アスコルビン酸、アントラニル酸、没食子酸、安息香酸、イソフタル酸、フタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、サリチル酸、2,4−ジヒドロキシ安息香酸など。アミノカルボン酸の例としては、以下のものが挙げられるが、それらに限定されることはない:グリシン、ジヒドロキシエチルグリシン、アラニン、バリン、ロイシン、アスパラギン、グルタミン、アスパラギン酸、グルタル酸、リジン、アルギニン、イミノ二酢酸、ニトリロ三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、1,2−シクロヘキサンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸など。スルホン酸/アミノスルホン酸の例としては、以下のものが挙げられるが、それらに限定されることはない:ベンジルスルホン酸、p−トルエンスルホン酸、2−(N−モルホリノ)エタンスルホン酸、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(エタンスルホン酸)、3−[N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)アミノ]−2−ヒドロキシプロパンスルホン酸、4−(N−モルホリノ)ブタンスルホン酸、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(3−プロパンスルホン酸)、2−(N−シクロヘキシルアミノ)エタンスルホン酸など。
アミン類は、脂肪族/芳香族の1級、2級、3級アミン、ジアミンおよびトリアミン、アルカノールアミン、脂環式アミン、複素環式アミン、ヒドロキシルアミンであってよい。以下にアミン類を例示する:メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、モノエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、2−(2−アミノエトキシ)エタノール、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジブチルアミン、ジエタノールアミン、N−メチルエタノールアミン、N−エチルエタノールアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、N,N−ジメチルエタノールアミン、N,N−ジエチルエタノールアミン、N−メチルジエタノールアミン、N−エチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ピロール、ピロリジン、ピリジン、モルホリン、ピラジン、ピペリジン、ベンジルアミン、ジベンジルアミン、N−メチルベンジルアミン、N−エチルベンジルアミンなど。本願記載の洗浄組成物に使用できるヒドロキシアミンとしては以下のものが例示される:ヒドロキシルアミンあるいはアルキル置換誘導体のヒドロキシルアミンであって、例えば、以下に限定されるものではないが、ヒドロキシルアミン、N−メチルヒドロキシルアミン、N,N−ジメチルヒドロキシルアミン、N,N−ジエチルヒドロキシルアミンなど。
水酸化4級アンモニウム類の例としては[N-R1R2R3R4]+OH-の式を有する化合物であって、式中、R1、R2、R3、及びR4はそれぞれ独立してアルキル基、ヒドロキシアルキル基、およびそれらの組合せを表す。本願中「アルキル」の語は、直鎖あるいは分岐鎖の非置換炭化水素基であって炭素原子が1から20、好ましくは1から8、より好ましくは1から4のものを示す。
本願で開示される処方物は少なくとも1つの有機極性溶媒を含んでいてもよく、前記有機極性溶媒は好ましくは水溶性である。有機極性溶媒としてはアミドおよびスルホキシドが例示できる。有機極性溶媒としては以下のものが例示できるが、それらに限定されるものではない;ジメチルアセトアミド(DMAC)、N−メチルピロリジノン(NMP)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、テトラメチレンスルホン、ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアミド、ホルムアミド、ジメチル−2−ピペリドン(DMPD)および他のアミド、アルコールあるいはスルホキシド、あるいはヒドロキシアミドやアミノアルコールなどの多官能性化合物。
比較例1
DHF(100:1)
脱イオン水 99重量%
HF(49%) 1重量%
DHF(800:1)
脱イオン水 799重量%
HF(49%) 1重量%
実施例10:AW21656−16D
脱イオン水 53.45重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
ベンゾトリアゾール 2重量%
脱イオン水 54.45重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
ベンゾトリアゾール 1重量%
脱イオン水 54.95重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
ベンゾトリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 55.35重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
ベンゾトリアゾール 0.1重量%
脱イオン水 54.95重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
トリルトリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 55.35重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
トリルトリアゾール 0.1重量%
脱イオン水 53.45重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
1,2,4−トリアゾール 2重量%
脱イオン水 54.95重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
1,2,4−トリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 55.35重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
1,2,4−トリアゾール 0.1重量%
脱イオン水 50.45重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
アスコルビン酸 5重量%
脱イオン水 53.45重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
アスコルビン酸 2重量%
脱イオン水 54.95重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
アスコルビン酸 0.5重量%
脱イオン水 53.45重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
カルボヒドラジド 2重量%
脱イオン水 54.95重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
カルボヒドラジド 0.5重量%
脱イオン水 50.45重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 3.5重量%
グリセロール 40重量%
カテコール 5重量%
脱イオン水 64.91重量%
オクタン酸 2重量%
TEA 2.59重量%
グリセロール 30重量%
アスコルビン酸 0.5重量%
脱イオン水 56.9重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 1.55重量%
グリセロール 40重量%
ベンゾトリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 55.86重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 2.59重量%
グリセロール 40重量%
ベンゾトリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 56.9重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 1.55重量%
グリセロール 40重量%
トリルトリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 55.86重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 2.59重量%
グリセロール 40重量%
トリルトリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 56.9重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 1.55重量%
グリセロール 40重量%
1,2,4−トリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 55.86重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 2.59重量%
グリセロール 40重量%
1,2,4−トリアゾール 0.5重量%
脱イオン水 7−99.7重量%
有機酸 0.2−5重量%
アミン/水酸化4級アンモニウム 0.5−20重量%
溶媒 0−70重量%
腐食防止剤および/または脱酸素剤 0.01−10重量%
接触時間間隔 0.1−5分
脱イオン水 7−99.7重量%
有機酸 0.5−3重量%
アミン/水酸化4級アンモニウム 1.5−10重量%
溶媒 25−55重量%
腐食防止剤および/または脱酸素剤 0.1−5重量%
接触時間間隔 0.5−2分
本願で開示する組成物は、銅、コバルト、およびCoWPへの攻撃をさらに減少させるため、約10重量%までの、あるいは約0.1から約5重量%までの腐食阻害剤および/または脱酸素剤を含んでいてもよい。腐食防止剤としては、以下のものが例示される;例えば1,2,4−トリアゾールのようなトリアゾール、あるいは置換トリアゾール類であって、例えばC1−C8アルキル、アミノ、チオール、メルカプト、イミノ、カルボキシ、およびニトロ基などで置換された、ベンゾトリアゾール、5−カルボン酸ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、5−フェニル−ベンゾトリアゾール、5−ニトロ−ベンゾトリアゾール、3−アミノ−5−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、1−アミノ−1,2,4−トリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、2−(5−アミノ−ペンチル)−ベンゾトリアゾール、1−アミノ−1,2,3−トリアゾール、 1−アミノ−5−メチル−1,2,3−トリアゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−イソプロピル−1,2,4−トリアゾール、5−フェニルチオールベンゾトリアゾール、ナフトトリアゾール、およびチアゾール類、テトラゾール類、イミダゾール類、リン酸塩、チオール、およびアジンであって、例えば2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−ベンゾチアゾール、4−メチル−2−フェニルイミダゾール、2−メルカプトチアゾリン、5−アミノテトラゾール、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、2,4−ジアミン−6−メチル−1,3,5−トリアジン、チアゾール、トリアジン、メチルテトラゾール、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、1,5−ペンタメチレンテトラゾール、1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール、ジアミノメチルトリアジン、メルカプトベンゾチアゾール、イミダゾリンチオン、メルカプトベンゾイミダゾール、4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、ベンゾチアゾール、トリトリルホスフェート、インディアゾールなど。適切な腐食防止剤としてはさらに、有機酸、有機酸塩、フェノール、ヒドロキシルアミンあるいはその酸との塩が含まれる。腐食防止剤の具体的な例としては、クエン酸、アントラニル酸、サリチル酸、乳酸、イミノ2酢酸、安息香酸、イソフタル酸、マレイン酸、フマル酸、D,L−リンゴ酸、マロン酸、フタル酸、無水マレイン酸、無水フタル酸、レゾルシノール、ジエチルヒドロキシルアミン、およびその乳酸およびクエン酸塩などがある。さらに他の適切な腐食防止剤の例としては、フルクトース、チオ硫酸アンモニウム、グリシン、テトラメチルグアニジン、ベンゾグアナミン、メラミン、グアニン、アデニン、チオグリセロール、サリチルアミド、およびジメチルアセトアセトアミドがある。腐食防止剤が有機酸である実施態様では、前記有機酸は溶液中で使用されているものと同じであってもよい。
脱イオン水 57.40重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 1.55重量%
グリセロール 40重量%
脱イオン水 56.36重量%
酢酸 1.05重量%
TEA 2.59重量%
グリセロール 40重量%
表7および8には、湿式洗浄処方物に腐食防止剤および/または脱酸素剤を追加した時の金属エッチ速度データをまとめた。腐食防止剤および/または脱酸素剤、および/または、2以上の腐食防止剤および/または脱酸素剤の組合せが、pH>7またはpH<7において前記組成物と金属の適合性を高めるのに有効である。
Claims (29)
- CoWPフィーチャーを有する半導体基板からのエッチ後残渣および灰化後残渣の除去のための非フッ化物湿式洗浄処方物であって、前記処方物は本質的に
脱イオン水;
有機酸;
アミンおよび/または水酸化4級アンモニウム;
任意に、1以上の腐食防止剤;非水性有機極性溶媒および脱酸素剤;
からなり、
前記処方物はCoWPフィーチャーと適合性があり、かつ、
(a)アミンおよび/または水酸化4級アンモニウムの有機酸に対するモル比によってpHが7〜14の値をとる;あるいは、
(b)前記処方物は腐食防止剤を含む、
のいずれかであることを特徴とする、非フッ化物湿式洗浄処方物。 - 前記pHが7〜11の範囲内に保持される、請求項1に記載の処方物。
- 非水性有機極性溶媒を含む、請求項1に記載の処方物。
- 前記有機酸が有機酸塩である、請求項1に記載の処方物。
- 前記有機酸が、脂肪族または芳香族カルボン酸、アミノ酸、スルホン酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、ペンタン酸、3−メチルブタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ドデカン酸、トリデカン酸、テトラデカン酸、ペンタデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、オクタデカン酸、ドデカン二酸、2−メチルヘプタン酸、2−ヘキシルデカン酸、シュウ酸、マロン酸、マレイン酸、フマル酸、コハク酸、イタコン酸、グルタル酸、アジピン酸、リンゴ酸、酒石酸、アクリル酸、メタアクリル酸、クエン酸、乳酸、グリコール酸、アスコルビン酸、アントラニル酸、没食子酸、安息香酸、イソフタル酸、フタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、サリチル酸、2,4−ジヒドロキシ安息香酸、グリシン、ジヒドロキシエチルグリシン、アラニン、バリン、ロイシン、アスパラギン、グルタミン、アスパラギン酸、グルタル酸、リジン、アルギニン、イミノ二酢酸、ニトリロ三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、1,2−シクロヘキサンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、ベンジルスルホン酸、p−トルエンスルホン酸、2−(N−モルホリノ)エタンスルホン酸、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(エタンスルホン酸)、3−[N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)アミノ]−2−ヒドロキシプロパンスルホン酸、4−(N−モルホリノ)ブタンスルホン酸、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(2−ヒドロキシプロパンスルホン酸)、N−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン−N’−(3−プロパンスルホン酸)、2−(N−シクロヘキシルアミノ)エタンスルホン酸、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の処方物。
- 前記アミンが、脂肪族または芳香族の1級、2級、3級アミン、ジアミンおよびトリアミン、アルカノールアミン、脂環式アミン、複素環式アミン、ヒドロキシルアミン、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、モノエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、2−(2−アミノエトキシ)エタノール、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジブチルアミン、ジエタノールアミン、N−メチルエタノールアミン、N−エチルエタノールアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、N,N−ジメチルエタノールアミン、N,N−ジエチルエタノールアミン、N−メチルジエタノールアミン、N−エチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ピロール、ピロリジン、ピリジン、モルホリン、ピラジン、ピペリジン、ベンジルアミン、ジベンジルアミン、N−メチルベンジルアミン、N−エチルベンジルアミン、ヒドロキシルアミン、N−メチルヒドロキシルアミン、N,N−ジメチルヒドロキシルアミン、N,N−ジエチルヒドロキシルアミン、N−メチルモノエタノールアミン、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の処方物。
- 前記水酸化4級アンモニウムが[N-R1R2R3R4]+OH-の式を有し、式中、R1、R2、R3、及びR4はそれぞれ独立してアルキル基、ヒドロキシアルキル基、およびそれらの組合せを表し、ここでアルキルは、炭素数が1〜20の、直鎖あるいは分岐鎖の非置換炭化水素基であり、ヒドロキシアルキルは、炭素数が1〜20の、直鎖あるいは分岐鎖の非置換ヒドロキシル含有炭化水素基である、請求項1に記載の処方物。
- 前記水酸化4級アンモニウムのアルキル基が1〜8の炭素原子を有する、請求項7に記載の処方物。
- 前記水酸化4級アンモニウムのアルキル基が1〜4の炭素原子を有する、請求項7に記載の処方物。
- 前記水酸化4級アンモニウムのヒドロキシアルキル基が1〜8の炭素原子を有する、請求項7に記載の処方物。
- 前記水酸化4級アンモニウムのヒドロキシアルキル基が1〜4の炭素原子を有する、請求項7に記載の処方物。
- 前記水酸化4級アンモニウムのアルキル基がメチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、およびtert−ブチル基、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項7に記載の処方物。
- 前記水酸化4級アンモニウムのヒドロキシアルキル基がヒドロキシエチル、ヒドロキシプロピル、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項7に記載の処方物。
- 前記水酸化4級アンモニウムが、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム(TBAH)、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化トリメチルエチルアンモニウム、水酸化(2−ヒドロキシエチル)トリメチルアンモニウム、水酸化(2−ヒドロキシエチル)トリエチルアンモニウム、水酸化(2−ヒドロキシエチル)トリプロピルアンモニウム、水酸化(1−ヒドロキシプロピル)トリメチルアンモニウム、水酸化エチルトリメチルアンモニウム、水酸化ジエチルジメチルアンモニウム、および水酸化ベンジルトリメチルアンモニウムおよびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項1に記載の処方物。
- 前記非水性有機極性溶媒が、ジメチルアセトアミド(DMAC)、N−メチルピロリジノン(NMP)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、テトラメチレンスルホン、ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアミド、ホルムアミド、ジメチル−2−ピペリドン(DMPD)、テトラヒドロフルフリルアルコール、グリセロール、エチレングリコール、ヒドロキシアミド、アミノアルコール、ジオール、ポリオール、(C2−C20)アルカンジオール、(C3−C20)アルカントリオール、環状アルコール、置換アルコール、プロピレングリコール、ジアセトンアルコールおよび1,4−シクロヘキサンジメタノール、グリコールエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソブチルエーテル、ジエチレングリコールモノベンジルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールジイソプロピルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、1−メトキシ−2−ブタノール、2−メトキシ−1−ブタノール、2−メトキシ−2−メチルブタノール、および2−(2−ブトキシエトキシ)エタノールおよびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項3に記載の処方物。
- トリアゾール、1,2,4−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、5−カルボン酸ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、5−フェニル−ベンゾトリアゾール、5−ニトロ−ベンゾトリアゾール、3−アミノ−5−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、1−アミノ−1,2,4−トリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、2−(5−アミノ−ペンチル)−ベンゾトリアゾール、1−アミノ−1,2,3−トリアゾール、 1−アミノ−5−メチル−1,2,3−トリアゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−イソプロピル−1,2,4−トリアゾール、5−フェニルチオールベンゾトリアゾール、ナフトトリアゾール、チアゾール類、テトラゾール類、イミダゾール類、フォスフェート類、チオール類、アジン類、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−ベンゾチアゾール、4−メチル−2−フェニルイミダゾール、2−メルカプトチアゾリン、5−アミノテトラゾール、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、2,4−ジアミン−6−メチル−1,3,5−トリアジン、チアゾール、トリアジン、メチルテトラゾール、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、1,5−ペンタメチレンテトラゾール、1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール、ジアミノメチルトリアジン、メルカプトベンゾチアゾール、イミダゾリンチオン、メルカプトベンゾイミダゾール、4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、ベンゾチアゾール、トリトリルホスフェート、インディアゾール、有機酸、有機酸塩、フェノール、ヒドロキシルアミン、クエン酸、アントラニル酸、サリチル酸、乳酸、イミノ二酢酸、安息香酸、イソフタル酸、マレイン酸、フマル酸、D,L−リンゴ酸、マロン酸、フタル酸、無水マレイン酸、無水フタル酸、レゾルシノール、ジエチルヒドロキシルアミン、フルクトース、チオ硫酸アンモニウム、グリシン、テトラメチルグアニジン、ベンゾグアナミン、メラミン、グアニン、アデニン、チオグリセロール、サリチルアミド、ジメチルアセトアセトアミド、およびそれらの混合物からなる群から選択される腐食防止剤を含む、請求項1に記載の処方物。
- アスコルビン酸、カテコール、カルボヒドラジド、没食子酸、ハイドロキノン、ピロガロール、シクロヘキサンジオン、ヒドラジン、亜硫酸塩、重硫酸塩、亜硝酸塩、およびそれらの混合物からなる群から選択される脱酸素剤を含む、請求項1に記載の処方物。
- 脱イオン水 7−99.7重量%
有機酸 0.2−5重量%
アミン/水酸化4級アンモニウム 0.5−20重量%
溶媒 0−70重量%。
の組成範囲を有する、請求項1に記載の処方物。 - 脱イオン水 7−99.7重量%
有機酸 0.5−3重量%
アミン/水酸化4級アンモニウム 1.5−10重量%
溶媒 25−55重量%。
の組成範囲を有する、請求項1に記載の処方物。 - 有機酸に対するアミンおよび/または水酸化4級アンモニウムのモル比が1以上である、請求項1に記載の処方物。
- 前記CoWP適合性が、CoWPエッチ速度2.5Å/分以下であることからなる、請求項1に記載の処方物。
- CoWPフィーチャーを有する半導体基板からのエッチ後残渣および灰化後残渣の除去のための非フッ化物湿式洗浄処方物であって、前記処方物は本質的に
脱イオン水;
酢酸;
トリエタノールアミンおよびN−メチルモノエタノールアミンからなる群から選択されるアミン;
グリセロール;
任意に、1以上の腐食防止剤および脱酸素剤;
からなり、
前記処方物はCoWPフィーチャーと適合性があり、かつ、
(a)アミンの有機酸に対するモル比によってpHが7〜14の値をとる;あるいは、
(b)前記処方物は腐食防止剤を含む、
のいずれかであることを特徴とする、非フッ化物湿式洗浄処方物。 - CoWPフィーチャーを有する半導体基板からのエッチ後残渣および灰化後残渣の除去のための非フッ化物湿式洗浄処方物であって、前記処方物は本質的に
脱イオン水;
オクタン酸;
トリエタノールアミン;
グリセロール;
任意に、1以上の腐食防止剤および脱酸素剤;
からなり、
前記処方物はCoWPフィーチャーと適合性があり、かつ、
(a)アミンの有機酸に対するモル比によってpHが7〜14の値をとる;あるいは、
(b)前記処方物は腐食防止剤を含む、
のいずれかであることを特徴とする、非フッ化物湿式洗浄処方物。 - CoWPフィーチャーを有する半導体基板からのエッチ後残渣および灰化後残渣の除去のための非フッ化物湿式洗浄処方物であって、前記処方物は本質的に
脱イオン水;
アスコルビン酸;
トリエタノールアミン;
グリセロール;
からなることを特徴とする、非フッ化物湿式洗浄処方物。 - CoWPフィーチャーを有する半導体基板から発生するエッチング後残渣および灰化後残渣を除去するための湿式洗浄除去方法であって、
CoWPフィーチャーを有する半導体基板を準備すること;および
前記基板を
脱イオン水、
有機酸、
アミンおよび/または水酸化4級アンモニウム
を含む洗浄処方物と接触させること;
からなり、
前記処方物はCoWPフィーチャーと適合性があり、かつ、
(a)アミンおよび/または水酸化4級アンモニウムの有機酸に対するモル比によってpHが7〜14の値をとる;あるいは、
(b)前記処方物は腐食防止剤を含有する、
のいずれかであることを特徴とする、湿式洗浄除去方法。 - 前記CoWPフィーチャーが銅金属フィーチャーに隣接する、請求項25に記載の方法。
- 前記基板が多孔質低誘電体を含む、請求項25に記載の方法。
- 前記接触中の温度が20℃〜45℃の範囲内にある、請求項25に記載の方法。
- 0.1分〜5分の範囲の時間間隔で前記接触が行われる、請求項25に記載の方法。
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