JP2010103443A - 基板処理装置の真空排気方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハWを載置するステージ12を備えたチャンバ11を大気開放後に減圧する基板処理装置の真空排気方法において、ステージ12表面を保護部材25で覆う保護部材被覆ステップと、チャンバ11を密閉する密閉ステップと、密封したチャンバ内を減圧する真空排気ステップとを有する。保護部材25は、パーティクルP及びアウトガスを捕集するガス吸着能を備えたトラップ部38と、基部26とを有する。
【選択図】図1
Description
11 チャンバ
12 ステージ
16 シャワーヘッド
20 排気流路
21 排気プレート
25 保護部材
26 基部
27 トラップ部
28 吸着部
32 帯電吸着部
38 ガス吸着能を備えたトラップ部
73 電熱ヒータ
96 光源
106 ガス噴射ノズル
116 エアロゾル噴射ノズル
Claims (15)
- 被処理基板を載置する載置台を備えた真空処理室を大気開放後に減圧する基板処理装置の真空排気方法において、
前記載置台表面を保護部材で覆う保護部材被覆ステップと、
前記真空処理室を密閉する密閉ステップと、
密封した真空処理室内を減圧する真空排気ステップと、
前記保護部材により異物とアウトガスの少なくとも1つを吸着する吸着ステップと、
を有することを特徴とする基板処理装置の真空排気方法。 - 前記真空排気ステップにおいて、前記保護部材を冷却して、該保護部材に吸着する異物に熱泳動力を作用させることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置の真空排気方法。
- 前記真空排気ステップにおいて、前記保護部材を帯電させ、該保護部材に吸着する異物に静電気力を作用させることを特徴とする請求項1又は2記載の基板処理装置の真空排気方法。
- 前記保護部材は、前記真空排気ステップが終了した後、前記真空処理室外の待機チャンバ内に収納され、前記真空排気ステップを開始する前に、前記待機チャンバから搬出して前記真空処理室内に搬入されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理装置の真空排気方法。
- 前記待機チャンバ内で、使用済みの保護部材を再生する再生ステップを有することを特徴とする請求項4記載の基板処理装置の真空排気方法。
- 前記再生ステップは、前記使用済み保護部材にガス又はエアロゾルを吹き付けて前記保護部材に付着した異物及び/又はアウトガスを剥離又は放散させるステップを有することを特徴とする請求項5記載の基板処理装置の真空排気方法。
- 前記再生ステップは、前記使用済み保護部材を加熱して保護部材に吸着した前記異物に熱泳動力を作用させて剥離する加熱ステップを有することを特徴とする請求項5記載の基板処理装置の真空排気方法。
- 前記加熱ステップにおいて、前記保護部材に超音波を伝達させて前記保護部材表面を振動させる超音波振動ステップを併用することを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置の真空排気方法。
- 前記加熱ステップにおいて、前記保護部材に光を照射して該光の熱振動又はエネルギ振動によって前記基板表面を振動させる光照射ステップを併用することを特徴とする請求項7又は8記載の基板処理装置の真空排気方法。
- 被処理基板を載置する載置台と、
前記載置台を収容する真空処理室と、
前記真空処理室内を減圧する排気部と、
前記載置台表面を覆い、前記真空処理室の排気時に異物及びアウトガスのいずれか1つ又は両方を吸着する吸着層と、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記吸着層は、無機繊維からなるメッシュ構造、又は織布若しくは不織布構造の層であることを特徴とする請求項10記載の基板処理装置。
- 前記吸着層は、メッシュ構造の活性炭又は織布若しくは不織布構造の炭素繊維からなることを特徴とする請求項10記載の基板処理装置。
- 前記吸着層は、裏面に樹脂シート層を有することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 真空処理室と、該真空処理室内に設けられ被処理基板を載置する載置台と、前記真空処理室内を減圧する排気部と、を備えた基板処理装置において、
前記排気部を駆動させて前記真空処理室内を減圧する真空排気時に前記載置台の表面を被覆し、前記排気部の停止時に前記真空処理室外に移動して待機する保護部材と、
該保護部材を、前記真空処理室外で収容する待機チャンバと、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記待機チャンバ内に、使用済み保護部材の再生部を設けたことを特徴とする請求項14記載の基板処理装置。
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