JP2010085405A - ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法 - Google Patents

ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2010085405A
JP2010085405A JP2009221838A JP2009221838A JP2010085405A JP 2010085405 A JP2010085405 A JP 2010085405A JP 2009221838 A JP2009221838 A JP 2009221838A JP 2009221838 A JP2009221838 A JP 2009221838A JP 2010085405 A JP2010085405 A JP 2010085405A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor assembly
electromagnetic field
field sensor
coil
ceramic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009221838A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5561981B2 (ja
Inventor
Richard W Phillips
リチャード,ダブリュ.フィリップス
Chad P Stay
チャド,ピー.ステイ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rosemount Aerospace Inc
Original Assignee
Rosemount Aerospace Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rosemount Aerospace Inc filed Critical Rosemount Aerospace Inc
Publication of JP2010085405A publication Critical patent/JP2010085405A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5561981B2 publication Critical patent/JP5561981B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/14Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01DNON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D11/00Preventing or minimising internal leakage of working-fluid, e.g. between stages
    • F01D11/08Preventing or minimising internal leakage of working-fluid, e.g. between stages for sealing space between rotor blade tips and stator
    • F01D11/14Adjusting or regulating tip-clearance, i.e. distance between rotor-blade tips and stator casing
    • F01D11/20Actively adjusting tip-clearance
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01DNON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D21/00Shutting-down of machines or engines, e.g. in emergency; Regulating, controlling, or safety means not otherwise provided for
    • F01D21/003Arrangements for testing or measuring
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05DINDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2270/00Control
    • F05D2270/30Control parameters, e.g. input parameters
    • F05D2270/305Tolerances

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

【課題】 ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法を提供する。
【解決手段】 ガス・タービン・エンジンにおける翼先端間隙測定用の電磁界センサ・アセンブリ100が開示される。この電磁界センサ・アセンブリ100は、セラミックのセンサ本体140a、140bと、電磁界を作り出すためにセンサ本体140a、140bの末端部分の回りに巻回される多層の導線コイル144a,144bと、センサ本体140a、140bおよびコイルを閉囲するセラミック筺体130と、その筺体130を取り囲みかつ開放末端を有する金属ハウジングとを含む。
【選択図】図10

Description

本発明は、電磁界センサに関し、特に、マージナル発振器回路および耐熱センサ・アセンブリを用いて、ガス・タービン・エンジンのケーシング内にRF電磁界を発生させる翼先端間隙測定装置に関する。この装置においては、回転する翼の先端の列による電磁界の摂動が、回路に影響を及ぼす磁化率の変化を表して、翼の先端およびエンジン・ケーシングの間の間隙測定の指標となる。
軸流ガス・タービン・エンジンにおいては、タービン・ロータの翼の先端と、ロータを取り囲むエンジン・ケーシングとの間の間隙を最小化することが望ましい。これは、翼の先端とエンジン・ケーシングとの間に過度の間隙が存在するとエンジンの効率が低下し、翼の先端およびエンジン・ケーシングが接触するとエンジンが損傷するからである。
先行技術は、ガス・タービン・エンジンにおける翼先端間隙の維持に関する多様な解決策を含んでいる。このような解決策の1つは、エンジン効率を改善するための、ロータ翼を取り囲むケーシングの半径方向位置を調整する機械装置であり、これは、例えば米国特許第5,104,287号明細書に開示されている。別の解決策は、例えば米国特許第5,330,320号明細書に開示されているような、エンジン・ケーシングに対してロータ・ディスクを動かす機械装置である。翼の先端およびエンジン・ケーシングの間の最小設計間隙を維持するために、エンジン・ケーシングに対してロータ翼組立体を動かすアクチュエータを含む能動的間隙制御装置が、米国特許第7,407,369号明細書に開示されており、この開示内容はすべてそのまま参照によって本明細書に組み込まれる。
これらの間隙制御装置は、翼先端の間隙を、タービンのガス径路内部に存在する厳しい環境条件の下において高精度で監視する機構を必要とする。この厳しい条件には、翼先端の高速度、振動モード、高い圧力変動、および、1400℃の高温にも達することがあるタービン・ガスの非常な高温が含まれる。
先行技術の翼先端間隙監視装置の例がHayworthに付与された米国特許第6,678,060号明細書に開示されている。この装置は、検出される画像の形状の変化を検知することによって翼先端の位置を監視する一群の光電セルを用いる。先行技術の翼先端監視装置の別の例がFallyに付与された米国特許第5,739,524号明細書に開示されている。この装置は、反射される放射を測定することによって物体の距離を感知する光学プローブを用いる。
当該技術分野で知られる光学的測定装置は翼先端間隙の測定に有効ではあるが、ガス・タービン・エンジンの厳しい熱的環境には敏感過ぎる場合が多い。この結果、校正が困難になり、次第に不正確な測定がもたらされることになる。
本発明は、電磁界センサ・アセンブリに関し、特に、ガス・タービン・エンジンにおける翼先端間隙を監視し、もしくは測定するセンサ・アセンブリおよび装置に関する。このセンサ・アセンブリは、ガス・タービン・エンジン内部に存在する高温の運転環境に特によく適合している。この場合、センサ・アセンブリは、セラミックのセンサ本体と、そのセンサ本体の末端部分の回りに巻回される導線コイルで電磁界を作り出すための導線コイルと、センサ本体およびコイルを閉囲するセラミック筺体と、そのセラミック筺体の周囲を取り囲みかつ開放末端を有する金属の外側ハウジングとを含む。センサ・アセンブリの外側のハウジングは、翼先端の列に隣接するエンジン・ケーシングに装着し得るように構成される。
センサ本体は、酸化アルミニウムまたは同様の耐火材料から形成することが望ましい。センサ本体の末端部分の回りを包み込む導線コイルは、白金族の金属またはその合金からなる導線から形成することが望ましい。例えば、この導線は、10%のロジウムを含む白金の合金であるPt−10Rhから形成することができる。別の方式として、導線を、酸化物分散強化型の白金族の金属またはその合金から形成することができる。コイルは、セラミック被覆導線から形成することが望ましく、コイル形成導線を酸化アルミニウムで被覆することがさらに望ましい。コイルは複数層に形成することが望ましく、各層は複数の巻き数を有するものとする。センサ本体の末端部分は、多層コイルを収納するための環状の凹部を有することが望ましく、コイルを、この環状の凹部の内部において接合剤でセンサ本体に固定することが望ましい。
セラミック筺体は、シールされた閉止体であり、酸化アルミニウムから形成することが望ましい。また、それは、金属の外側ハウジングへの取り付けを容易にするために金属化の部分を有する。金属の外側ハウジングは、例えばNi−Cr合金600のような、隣接するエンジン・ケーシングの構成材料と適合する耐熱金属から形成することが望ましい。外側ハウジングは、エンジン・ケーシングの外部と連絡する、縦方向に延びる複数の冷却チャンネルを含み得ることが想定される。
セラミック筺体を金属ハウジングに接合すると共に、一方ではセンサ・アセンブリにおける熱応力の緩和に寄与する境界部材を設けることが望ましい。金属ハウジングには、その基端部分に隣接してケーブル・アダプタも接合され、そのケーブル・アダプタに、1対の同軸ケーブル組立品がセンサ本体のコイルとの接続用として繋ぎ込まれる。さらに具体的には、ケーブルリード線が、同軸ケーブルの中心導体をコイルの両反対端に接合する。本発明の1つの実施形態においては、各同軸ケーブルの中心導体が、センサ・アセンブリに近接して配置される第1の耐熱材料と、温度が低い領域においてセンサ・アセンブリから離して配置される第2の材料とを含む2つの異なる材料から形成される。
本発明の別の実施形態においては、センサ・アセンブリが2つのセンサ本体を含み、この2つのセンサ本体は、それぞれ、その末端部分に装着される多層のコイルを有する。この場合、各コイルは、別個のマージナル発振器回路によって駆動されるか、あるいは逆にその一部を形成する。このような例においては、2つのセンサ本体の末端部分は、システム・レベルの自己校正を容易にするために軸方向に互いにずらして配置される。
本発明は、さらに、ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定装置に関する。この装置は、ガス・タービン・エンジンのケーシング内に翼先端の列に隣接して配置される電磁界センサ・アセンブリと、翼先端に関係する電磁界の発生用としてセンサ・アセンブリに操作接続されるマージナル発振器回路と、翼の先端が電磁界を通過することによる電磁界の摂動に反応してセンサ・アセンブリから受け入れられる出力信号を処理する手段とを含む。この場合、この出力信号が、エンジン・ケーシングに対する翼先端の位置の指標である。本質的には、耐熱センサ・アセンブリの内部に配置されるコイル導線は、マージナル発振器回路の遠隔延長部である。
本発明は、またさらに、ガス・タービン・エンジンにおける翼先端間隙の測定方法に関する。この方法は、エンジン・ケーシングと、回転する翼の先端の列との間に電磁界を発生させるステップと、回転する翼の先端が電磁界を通過する際の電磁界の変化を感知するステップと、その電磁界の変化に基づいてエンジン・ケーシングに対する翼先端の位置を決定するステップとを含む。
本発明の翼先端間隙測定装置とセンサ・アセンブリと測定方法とのこれらの特徴および他の特徴は、次の図面に関連付けてなされる本発明についての以下の詳細な説明から、当業者にはさらに容易に明らかになるであろう。
本発明が属する分野の当業者が、本発明の翼先端間隙センサ、感知装置および感知方法を如何に製作しかつ利用するのかを、余分な実験操作なしに容易に理解するようにするため、本発明の好ましい実施形態を、いくつかの図面を参照して以下に詳しく説明する。
本発明の好ましい実施形態に従って構成された、ガス・タービン・エンジンにおける翼先端間隙測定用の電磁センサ・アセンブリの斜視図である。この場合、センサ・アセンブリは、ガス・タービン・エンジンのエンジン・ケーシングに、タービン翼列を担持するロータ・ディスクの外周に隣接して取り付けられ、かつ、RF電磁界を発生させるマージナル発振器回路と、エンジン運転の間の翼先端による電磁界の摂動に反応するセンサ・アセンブリからの出力信号を処理する信号処理回路とに操作接続される。 本発明の電磁センサ・アセンブリの斜視図である。 図2に示す電磁センサ・アセンブリの分解斜視図であり、分かり易くするために部品が分離されている。 図2および図3の電磁センサ・アセンブリのセラミック筺体およびセンサ本体の分解斜視図であり、セラミック本体の末端部分に形成される凹部の中に巻回されるコイルを示す。 図1の線5−5に沿う断面図であり、エンジン運転中の電磁センサ・アセンブリを示す。エンジン・ケーシングおよび翼先端の間の間隙を測定もしくは監視するためにRF電磁界を発生させる。 センサ・アセンブリの末端部分の局所図であり、多層に包み込まれたコイルの巻き数を示す。 本発明のセンサ・アセンブリの基端部分の断面図であり、センサの空洞をセラミック粉末またはフェルトで充填するステップを示す。 図6に続いて、本発明のセンサ・アセンブリの基端部分の断面図であり、ケーブルのリード線の酸化を防止するために空洞内に不活性ガスを導入するステップを示す。 本発明の電磁センサ・アセンブリで、図9に示すように、中心導体を形成する2つの異なる材料を含む同軸の導体を用いる電磁センサ・アセンブリの斜視図である。 2つの異なる材料からなる中心導体を有する同軸ケーブルを示す。 2つのセンサ本体を含む、本発明の電磁センサ・アセンブリの別の実施形態の分解斜視図である。 図10の電磁センサ・アセンブリの断面図であり、センサ・アセンブリの内部に軸方向にずらして配置されるセンサ本体を示す。
図1を参照すると、本発明の好ましい実施形態に従って構成された翼先端間隙測定センサ・アセンブリが示されており、全体として参照符号10が付されている。図のように、センサ・アセンブリ10は、ガス・タービン・エンジンのケーシング12内に、タービン翼16の翼先端14に隣接して取り付けられる。図示されていないが、当業者は、タービン翼16の列がエンジン・ケーシング12内部の回転ディスクに装着されることを容易に認めるであろう。
センサ・アセンブリ10は、翼先端14およびエンジン・ケーシング12の間に存在する間隙を高精度で測定もしくは監視するためにRF電磁界を使用する。以下に詳述するように、センサ・アセンブリ10は、運転温度がしばしば1400℃の高温にも達するような、タービン・ガス径路内部およびそれに接する部分に存在する厳しい環境条件および運転条件に耐え得るように構成される。
図1に模式的に示すように、センサ・アセンブリ10は、マージナル発振器回路20と操作上関連付けられる。マージナル発振器回路20は、翼先端間隙測定用のRF電磁界をほぼリアルタイムで発生するように設計される。このような回路の例が、米国特許第6,984,994号明細書に開示されており、この開示内容は、すべてそのまま参照によって本明細書に組み込まれる。
エンジン運転の間、RF電磁界の中を動く翼先端14によるRF電磁界の摂動が、マージナル発振器回路20に影響を及ぼす磁化率の変化を表し、これが、エンジン・ケーシング12に対する翼の先端14の位置の指標となる信号を提供する。この場合、電磁界がエネルギーを貯蔵すると周波数における変化(FM)がもたらされ、電磁界からエネルギーが失われるとその振幅における変化(AM)がもたらされる。これらのシグナチャは、共に、出力信号のデータ・ストリームの一部である。換言すれば、センサ・アセンブリ10は、発振器の周波数に関係する1つのデータ・ストリームと、発振器の振幅に関係する1つのデータ・ストリームとを含む、翼先端間隙に関連する2つの同時データ・ストリームをサポートしている。
信号処理回路22は、センサ・アセンブリ10および発振器20からの出力信号を条件付けて、当業者には容易に解釈される翼先端間隙の測定出力を提供する。さらに、センサ・アセンブリ10および発振器20からの出力信号は、信号プロセッサ22によって、例えば図5に示すような、回転する翼の先端14とエンジン・ケーシング12との間に存在する間隙距離の指標となるように条件付けられる。
ここで図2を参照すると、本発明のセンサ・アセンブリ10は、図1および図5に示すように、ガス・タービン・エンジンのケーシング12に取り付けるように調整されかつ構成される円筒状の外側ハウジング24を含む。外側ハウジング24は、周囲のエンジン・ケーシングの構成材料と適合する耐熱金属、例えばNi−Cr合金600または同様の材料から形成することが望ましい。センサ・アセンブリ10の外側ハウジング24は、図2に示すよう開放された末端と、エンジン・ケーシング12の外側表面に対して取り付け得るような寸法の基部の取り付けフランジ26とを有する。
図5から明らかなように、外側ハウジング24の開放末端は、エンジン運転中のセンサ・アセンブリ10の損傷を防ぐために、エンジン・ケーシング12の内面から僅かに後退している。この特別な収納方式のために、エンジン・ケーシング12および電磁界感知素子の間の付加的な距離を補正するように、センサ・アセンブリからの出力信号を修正して先端間隙感知装置を校正しなければならない。
外側ハウジング24の外面には、円周方向に間隔をおいて配置される複数の縦方向の冷却チャンネル28が形成される。冷却チャンネル28は、冷却空気を、エンジン・ケーシング内部に位置するセンサの末端ヘッドに向けて導く。これは、フランジ26が配置されるエンジン・ケーシングの外部と、センサ・アセンブリの末端の感知ヘッドが位置するエンジン・ケーシングの内側との間に存在する圧力差の結果として実現されるものである。当業者は、この冷却チャンネルは、エンジン・ケーシングの高温側の圧力がエンジン・ケーシングの低温側の圧力よりも低いようなエンジン構成の場合にのみ有効であることを容易に認めるであろう。この圧力差が存在しないエンジン構成の場合には、外側ハウジングにおける冷却チャンネルは省略できる。
続けて図2を参照すると、センサ・アセンブリ10は円筒状のセラミック筺体30をさらに含み、この円筒状のセラミック筺体30は、図3および図4に関連して以下に詳述するように、内部のセンサ構成要素を包み込むかもしくは閉囲する。センサ・アセンブリ10は、また、外側ハウジング24の基端部において取り付けフランジ26に溶接されるフランジ25を有する金属のケーブル・アダプタ32をも含む。ケーブル・アダプタ32は、1対の金属外装同軸ケーブル34および36とセンサ・アセンブリ10との接続を容易にする。金属外装同軸ケーブル34および36は、ロウ付けまたは同様の機械的接合技法によって金属のケーブル・アダプタ32に装着される。
同軸ケーブル34および36は、それぞれ、センサ・アセンブリ10をマージナル発振器回路20および信号処理回路22に操作接続する。同軸ケーブル34および36は、高周波損失を最小化するように調整された、低損失の金属外装セラミック絶縁RFケーブル(例えば酸化ケイ素絶縁RFケーブルまたは同等品)である。本発明によれば、信号は、同軸ケーブル34および36の中心導体によって、センサ・アセンブリ10に、またセンサ・アセンブリ10から伝送される。外側の導体は、中心導体に対する誘電遮蔽となり、センサ・アセンブリ10を規定する気密シールされた閉止体の一部を形成する。
ここで図3および図4を参照すると、センサ・アセンブリ10のセラミック筺体30が、酸化アルミニウムから形成され、金属の境界リング38によって外側ハウジング24に固定される。特に、セラミック筺体30の基端部分には、参照符号35で表示される金属被覆が施される。適切な金属被覆の1つの例は、ニッケルめっきされたモリブデン・マンガンのフィルムである。境界リング38の内周面の環状の一部分が、セラミック筺体30の金属化された表面35にロウ付けされるかもしくは機械的に接合され、境界リング38の外周面の環状の一部分が、図5から明らかなように、取り付けフランジ26の下部において、金属の外側ハウジング24の内側の環状部分27にロウ付けされるかもしくは機械的に接合される。境界リング38は、Pt−10Rhから形成することが望ましく、セラミック筺体30および金属の外側ハウジング24の間の熱応力を緩和するのに寄与する。
図4から明らかなように、センサ・アセンブリ10は、さらに、セラミック筺体30の内部に支持される円筒状のセンサ本体40または形成体を含む。センサ本体40は、例えば酸化アルミニウムまたは同様の耐火材料のようなセラミック材料から形成される。センサ本体の末端部分には、巻回された導線コイル44を収納するための環状の凹部42が形成される。導線コイル44は、例えば図5に示すように、エンジン・ケーシング12および翼先端14の間の間隙を測定するために、マージナル発振器回路20が発生させるRF電磁界を作り出すことによって、センサ・アセンブリ10の機能的な感知素子としての役割を果たす。本質的には、導線コイル44は、被感知目標物または対象物すなわち翼先端14に隣接して配置される、マージナル発振器回路20の遠隔延長部である。
上述のように、センサ・アセンブリ10の末端部分、従ってコイル導線44は、エンジン運転中にセンサ・アセンブリ10を保護するために、エンジン・ケーシングの壁面内に後退している。コイル44およびエンジン・ケーシング12の間の距離は固定されているので、コイル44からの出力信号を装置校正の一部として補正して、エンジン・ケーシング12および翼先端14の間の必要な間隙距離を得ることができる。
コイル44は、白金族の金属またはその合金、例えば、10%のロジウムを含む白金の合金であるPt−10Rhからなる耐熱導線から形成される。コイル44の導線は、例えば0.076mm(0.003インチ)のような比較的小ゲージのものであり、導線コイル44の高密度集積された多層構造のための電気絶縁を生成するために、セラミック、例えば酸化アルミニウムで被覆することが望ましい。
さらに、図5aから明らかなように、センサ本体40の末端の環状凹部42の中に極力多量の導線を嵌め込むために、コイル44は、それぞれが多重の巻き数を含む複数の巻回層に形成される。センサ・アセンブリ10の1つの実施例においては、半径方向の内側の巻回層は8回の巻き数を有し、中央の巻回層は7回の巻き数を、半径方向の外側の巻回層は6回の巻き数を有する。コイル44は、センサ本体40に導線を固定するために接合剤(例えば酸化アルミニウムおよびコロイドシリカ)で被覆される。
センサ本体40は、また、2つの同軸ケーブル34および36から延びるリード線34aおよび36aをそれぞれ納めるための、直径の反対側に位置する側面溝46および48を含む。リード線34aおよび36aは、同軸ケーブル34および36の中心導体に溶融接合することが望ましい。リード線34aおよび36aは、また、直径の反対側に形成される窪み50内部において、導線コイル44の両反対端にも接続される。窪み50の内の1つは、例えば図4に示される。
この場合、リード線34aおよび36aは、それぞれの側面溝46および48から、セラミックのセンサ本体40の内部に形成される内部通路を通って導かれ、反対側に形成される窪み50のところに出る。リード線34aおよび36aは、この窪み50において、導線コイル44の両反対端を接合する。リード線34aおよび36aは、導線コイル44の両反対端に、機械的圧着または溶融接合または同様の機械的手段によって取り付けられる。このリード線34aおよび36aはPt−10Rhから形成することが望ましい。
別の方式として、リード線34aおよび36aと、導線コイル44とを、センサ・アセンブリ10の高温信頼性を高めるために、酸化物分散強化型の白金族の金属またはその合金から製作することができる。この材料は、高温で用いられる場合の結晶粒の構造の安定化に寄与するジルコニアまたはイットリアのようなセラミックの微細粒子を金属全体に分散させて製造される。温度測定の分野では、この方式によって、センサ構成要素の耐久性が改善されることが知られている。温度感知に用いられる耐熱導線の例が米国特許第7,026,908号明細書に開示されており、この開示内容はすべてそのまま参照によって本明細書に組み込まれる。
図3および図5から明らかなように、ケーブル・アダプタ32のリード線34aおよび36aの基端部分は内部空洞45の中に位置するが、この基端部分は直角に曲げられている。この構造の形状によって、リード線における熱ひずみの緩和手段が提供され、リード線とコイル導線44の両反対端との間の確実な機械的接続が維持される。
図5を参照すると、セラミックのセンサ本体40は、セラミックベースのポッティング材料60によって、センサ・アセンブリ10のセラミック筺体30内部の所定位置に組み込まれるかもしくは嵌め込まれる。ポッティング材料60によって、筺体30内部におけるセンサ本体40の確実な位置決めが保証され、コイル44の位置が堅固に維持される。セラミック筺体と、センサ・アセンブリ10のセラミックのセンサ本体とを、後に一緒に接合して1つの一体構造にする2つの個別要素としてではなく、単一のセラミック構成部品として形成し得ることが考えられるが、これも本発明に範囲内である。リード線および導線コイルの形成に白金族の金属またはその合金を使用することはセンサ・アセンブリの製作において特に有利であることを、当業者は容易に認めるであろう。この材料は、単一のセラミック構成部品の製作に必要な焼結温度に耐え得るからである。
続いて図5を参照すると、金属の外側ハウジング24の内径は、コイル44の領域において低減されて、セラミック筺体30の末端部分を取り囲む環状の凹部55を形成している。これは、コイル44が作り出す電磁界に対する金属ハウジング24の影響を最小化すために採られる方策である。
図5に示すように、ケーブル・アダプタ32の基端部には、その内部空洞45を閉止しかつシールするカバー64が設けられる。しかし、カバー64をケーブル・アダプタ32に溶接する前に、ケーブル・アダプタ32の内部空洞45に、例えば図6に示すように、セラミック粉末またはフェルトを充填する。その後、アダプタ32の上にカバー64を溶接する。続いて、カバー64のポート66を通して空洞45内に不活性ガスを導入する。ポート66はその後溶接プラグ68で閉止する。セラミック粉末またはフェルトは、ケーブルのリード線34aおよび36aに対する機械的な支持体となり、一方、不活性ガスは、ケーブルリード線34aおよび36aの酸化を防止する。
本発明の別の実施形態においては、例えば図8および図9に示すように、より強靭なケーブル構成を用いることができる。すなわち、各同軸ケーブル34、36の中心導体を、接合点75において直列に接合される2つの異なる材料からなる2つの異なる導体74、76から形成するのである。同軸ケーブルの中心導体を形成する2つの導体材料は、Pt−10Rhまたは同様の白金ベースの合金のような第1の耐熱導体材料と、銅のような第2の導体材料とを含むであろう。第1の耐熱導体材料は、センサ・アセンブリ10に近接する比較的高温(例えば900℃)の領域「a」に配置され、第2の導体材料は、センサ・アセンブリ10から離れた比較的低温(例えば250℃)の領域「b」に配置される。この接続導体の場合は、ケーブル・アダプタ32の内部空洞45に保護不活性ガスを充填する必要性はなくなるであろう。
図5を参照すると、エンジン運転の間、エンジン・ケーシング12および翼の先端14の間に存在する間隙「x」を、最小間隙を維持する過程において監視するために、センサ本体40の末端におけるコイル44が、マージナル発振器回路20が発生させるRF電磁界を作り出す。センサ・アセンブリ10は、回転する翼の先端14がその電磁界を通過する際の電磁界の変化を検出する。続いて、信号処理回路22が、エンジン・ケーシング12に対する翼の先端14の位置を、コイル44が作り出す電磁界における変化に基づいて決定する。この情報を利用して、翼の先端およびエンジン・ケーシングの間の間隙を最小化するように、ロータ・ディスクおよび/またはエンジン・ケーシングに対して調整を行うことができ、従ってエンジン効率を改善できる。
図10および図11を参照すると、本発明の電磁センサ・アセンブリの別の実施形態が、全体として参照符号100を付して示されている。センサ・アセンブリ100は2つのセンサ本体140aおよび140bを含んでおり、この2つのセンサ本体140aおよび140bは、平行な筺体チャンバ130a、130bを有する単一のセラミック筺体130の内部に並べて組み込まれている。セラミック筺体130は金属の外側ハウジング124の内部に閉囲される。この場合、各センサ本体140a、140bは、独立の電磁界を作り出す別個の導線コイル144a、144bを有する。すなわち、各コイルは、別個のマージナル発振器回路によって駆動されるか、あるいは、その遠隔部分である。
図11から明らかなように、センサ本体140a、140bの末端部分、従ってこの部分に装着されるコイル144aおよび144bは軸方向に互いにずらして配置される。例えば、1つのコイルをもう一方のコイルから約0.5mmだけ軸方向に変位させることができる。その結果、各コイルは、翼の先端が電磁界を通過する際に、異なる電圧および周波数応答を発生するであろう。この二重コイル構成によって、センサ装置のシステム・レベルの自己校正が容易になるであろう。
本発明の耐熱電磁センサ・アセンブリおよび感知装置を、好ましい実施形態を参照して提示しかつ説明したが、当業者は、これに対して、本発明の本質および/または範囲から逸脱することなく、種々の変更および/または修正を加えることが可能であることを容易に認めるであろう。
10 センサ・アセンブリ
12 エンジン・ケーシング
14 翼先端
16 タービン翼
20 マージナル発振器回路
22 信号処理回路
24 金属ハウジング
25 フランジ
26 フランジ
27 ハウジングの内側の環状部分
28 冷却チャンネル
30 セラミック筺体
32 ケーブル・アダプタ
34 同軸ケーブル
34a リード線
35 金属被覆
36 同軸ケーブル
36a リード線
38 境界リング
40 センサ本体
42 環状の凹部
44 導線コイル
45 内部空洞
46 側面溝
48 側面溝
50 窪み
55 環状の凹部
60 ポッティング材料
64 カバー
66 ポート
68 プラグ
74 導体
75 接合点
76 導体
100 センサ・アセンブリ
130 セラミック筺体
130a チャンバ
130b チャンバ
140a センサ本体
140b センサ本体
144a 導線コイル
144b 導線コイル
a 高温領域
b 低温領域
x 翼先端間隙

Claims (18)

  1. a)セラミックのセンサ本体と、
    b)電磁界を作り出すために前記セラミックのセンサ本体の末端部分の回りに巻回される導線コイルであって、白金族の金属またはその合金から形成される導線コイルと、
    c)前記セラミックのセンサ本体および前記導線コイルを閉囲するセラミック筺体と、
    d)前記セラミック筺体の周囲を取り囲みかつ開放末端を有する金属ハウジングと、
    を含む電磁界センサ・アセンブリ。
  2. 前記センサ本体が、酸化アルミニウムから形成される、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  3. 前記センサ本体が、前記セラミック筺体の内部に堅固に取り付けられる、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  4. 前記導線コイルが、酸化物分散強化型の白金族の金属またはその合金から形成される、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  5. 前記導線コイルが、セラミック被覆導線から形成される、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  6. 前記導線コイルが、それぞれ複数の巻き数を有する複数の層によって形成される、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  7. 前記センサ本体の末端部分が、前記導線コイルを収納するための環状の凹部を有する、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  8. 前記導線コイルが、前記環状の凹部の内部において前記センサ本体に接合剤によって固定される、請求項7に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  9. 前記セラミック筺体が、酸化アルミニウムから形成される、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  10. 前記セラミック筺体が、シールされた閉止体である、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  11. 前記金属ハウジングが、冷却チャンネルを有するように形成される、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  12. 前記セラミック筺体を前記金属ハウジングに接合する金属の境界部材をさらに含む、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  13. 前記金属ハウジングの基端部分に接合されるケーブル・アダプタをさらに含む、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  14. 1対の同軸のケーブル組立品が、前記コイルとの接続用として前記ケーブル・アダプタに繋ぎ込まれる、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  15. ケーブルリード線が、前記コイルの反対端への接続用として前記同軸ケーブルの中心導体に接合される、請求項14に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  16. 各同軸ケーブルの中心導体が、相互に直列に接続される2つの異なる導体材料から形成される、請求項15に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  17. 前記センサ・アセンブリが2つのセンサ本体を含み、この2つのセンサ本体は、それぞれ、その末端部分に取り付けられる巻回コイルを有する、請求項1に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
  18. 前記2つのセンサ本体の末端部分が、軸方向に互いにずらして配置される、請求項17に記載の電磁界センサ・アセンブリ。
JP2009221838A 2008-09-29 2009-09-28 ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法 Expired - Fee Related JP5561981B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/286,262 US20100079136A1 (en) 2008-09-29 2008-09-29 Blade tip clearance measurement sensor and method for gas turbine engines
US12/286,262 2008-09-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010085405A true JP2010085405A (ja) 2010-04-15
JP5561981B2 JP5561981B2 (ja) 2014-07-30

Family

ID=41226222

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009221838A Expired - Fee Related JP5561981B2 (ja) 2008-09-29 2009-09-28 ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法

Country Status (3)

Country Link
US (3) US20100079136A1 (ja)
EP (1) EP2169345B1 (ja)
JP (1) JP5561981B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012102656A (ja) * 2010-11-09 2012-05-31 Toshiba Corp 軸シール装置、軸シール装置の間隙調整方法および蒸気タービン
JP2014092544A (ja) * 2012-10-31 2014-05-19 General Electric Co <Ge> 静電容量センサデバイスおよび製造の方法

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8943912B1 (en) * 2010-05-03 2015-02-03 Ken E. Singleton Proximity probe mounting device
GB2482468B (en) * 2010-05-18 2013-12-18 Weston Aerospace Ltd Method and system for inductive sensing of blades in a turbine engine
US8998568B2 (en) * 2010-10-21 2015-04-07 General Electric Company Sensor packaging for turbine engine
US20120096961A1 (en) * 2010-10-21 2012-04-26 General Electric Company Probe holder for turbine engine sensor
EP2505779B1 (en) * 2011-03-28 2018-05-23 General Electric Company Method and system for inspecting blade tip clearance
GB2498375B (en) * 2012-01-12 2017-05-31 Chemring Tech Solutions Ltd A buried object detector
US9228447B2 (en) * 2012-02-14 2016-01-05 United Technologies Corporation Adjustable blade outer air seal apparatus
EP2698502A1 (en) 2012-08-13 2014-02-19 Alstom Technology Ltd Method for measuring the cold build blade tip clearance of a turbomachine and tip clearance measuring arrangment for conducting said method
US20140064924A1 (en) 2012-08-30 2014-03-06 Eli Cole Warren Tip clearance probe for turbine applications
US9518850B2 (en) 2012-09-28 2016-12-13 United Technologies Corporation Embedded cap probe
US9250153B2 (en) * 2012-10-31 2016-02-02 General Electric Company Methods and systems for monitoring health of blades
US10107124B2 (en) 2013-02-25 2018-10-23 United Technologies Corporation Modular instrumentation egress seal for a gas turbine engine
GB201313725D0 (en) * 2013-07-31 2013-09-11 Salunda Ltd Fluid sensor
US9677868B2 (en) 2013-10-09 2017-06-13 Hamilton Sundstrand Corporation Tip clearance measurement system
US9856748B2 (en) * 2015-02-18 2018-01-02 United Technologies Corporation Probe tip cooling
WO2016174439A1 (en) * 2015-04-30 2016-11-03 Salunda Limited Sensing of the contents of a bore
JP6712845B2 (ja) * 2015-09-10 2020-06-24 三菱日立パワーシステムズ株式会社 光ファイバプローブ、光ファイバ計測装置及びクリアランス制御システム
US10244857B2 (en) * 2016-08-29 2019-04-02 Colgate-Palmolive Company Oral care implement and filament for the same
US10330455B2 (en) 2016-09-19 2019-06-25 United Technologies Corporation Tri-axial capacitance probe with case integrated housing
US11225880B1 (en) * 2017-02-22 2022-01-18 Rolls-Royce Corporation Turbine shroud ring for a gas turbine engine having a tip clearance probe
US10557373B2 (en) * 2017-12-05 2020-02-11 United Technologies Corporation Low profile embedded blade tip clearance probe assembly
US10218160B1 (en) * 2017-12-19 2019-02-26 United Technologies Corporation Hybrid electrical harness and method of making
US10641595B2 (en) * 2018-04-09 2020-05-05 United Technologies Corporation Low profile triaxial blade tip clearance probe assembly with driven guard
US11156455B2 (en) 2018-09-26 2021-10-26 General Electric Company System and method for measuring clearance gaps between rotating and stationary components of a turbomachine
US11143054B2 (en) 2018-11-19 2021-10-12 Rolls-Royce Corporation Tip clearance radio frequency sensor
GB2579671B (en) * 2018-12-12 2022-12-14 Weston Aerospace Ltd A probe for monitoring a moving engine element
US11145960B2 (en) 2019-02-26 2021-10-12 Rolls-Royce North American Technologies Inc. Tip clearance sensor system with an integral patch antenna array
US11964777B2 (en) 2020-09-29 2024-04-23 Safran Landing Systems Canada Inc. Remote aircraft towing interface
US11303311B1 (en) 2020-10-05 2022-04-12 Raytheon Technologies Corporation Radio frequency interface to sensor
US11575277B2 (en) 2020-10-05 2023-02-07 Raytheon Technologies Corporation Node power extraction in a waveguide system
US11265380B1 (en) 2020-10-05 2022-03-01 Raytheon Technologies Corporation Radio frequency waveguide system for mixed temperature environments
US11619567B2 (en) 2020-10-05 2023-04-04 Raytheon Technologies Corporation Multi-mode microwave waveguide blade sensing system
US11698348B2 (en) 2020-10-05 2023-07-11 Raytheon Technologies Corporation Self-referencing microwave sensing system
JP2022138980A (ja) * 2021-03-11 2022-09-26 三菱重工業株式会社 クリアランスセンサ
US12104492B1 (en) 2023-09-25 2024-10-01 Rolls-Royce North American Technologies Inc. Turbine assembly with clearance sensor having integrated internal cooling

Citations (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5177405U (ja) * 1974-12-16 1976-06-18
JPS54134462A (en) * 1978-04-11 1979-10-18 Nippon Kokan Kk Eddy flow system range finder
JPS5647726A (en) * 1979-09-28 1981-04-30 Hitachi Ltd Detector for high temperature
JPS56109003U (ja) * 1980-01-23 1981-08-24
US4311982A (en) * 1980-08-01 1982-01-19 The Yellow Springs Instrument Company, Inc. Trimmable wirewound resistance temperature transducer
JPS5935101A (ja) * 1982-07-30 1984-02-25 ウエスチングハウス エレクトリック コ−ポレ−ション 近接センサ
JPS59122528U (ja) * 1983-02-08 1984-08-17 株式会社芝浦電子製作所 温度センサ
JPS60163303U (ja) * 1984-04-06 1985-10-30 株式会社ブリヂストン 水冷ジヤケツト付渦電流変位計
JPS6273101A (ja) * 1985-09-27 1987-04-03 Hitachi Ltd 渦電流式高温用変位計
JPH02268202A (ja) * 1989-03-02 1990-11-01 Bently Nevada Corp 近接検出器とその製作方法
JPH03119662A (ja) * 1989-09-11 1991-05-22 Asea Brown Boveri Ag セラミック燃料電池の電流コレクタ
JPH06231627A (ja) * 1992-12-08 1994-08-19 Hitachi Cable Ltd 対撚り開放線路
JP3015146U (ja) * 1995-02-24 1995-08-29 有限会社日本テクモ 高温用近接センサ
JPH08240406A (ja) * 1994-10-28 1996-09-17 Barber Colman Co 位置センサ−
JPH09185815A (ja) * 1995-12-29 1997-07-15 Sony Corp 非接触式磁気ヘッド摩耗量計測装置
JPH10300410A (ja) * 1997-04-28 1998-11-13 Shinko Electric Co Ltd 高温用位置センサ
JPH11514442A (ja) * 1995-10-13 1999-12-07 ベントリー・ネバダ・コーポレーション 構成要素の整合前成形体を有する封入型トランスデューサ及びその製造方法
JP2000039364A (ja) * 1998-05-20 2000-02-08 Denso Corp サ―ミスタ式温度センサ
JP2001021532A (ja) * 1999-07-05 2001-01-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 炭化水素センサ
JP2002340692A (ja) * 2001-03-14 2002-11-27 Denso Corp 温度センサ
JP2007010656A (ja) * 2005-06-27 2007-01-18 General Electric Co <Ge> クリアランス測定システムおよび動作方法
JP2007115694A (ja) * 2005-10-20 2007-05-10 Thomas & Betts Internatl Inc 準備工程が不要な同軸ケーブルコネクタ
JP2007114094A (ja) * 2005-10-21 2007-05-10 Denso Corp 圧力センサ
JP2008128640A (ja) * 2006-11-16 2008-06-05 Jtekt Corp 車輪用転がり軸受装置
JP2009270994A (ja) * 2008-05-09 2009-11-19 Ihi Corp 膜厚検出センサの接続構造及び接続方法

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB765546A (en) * 1954-03-10 1957-01-09 Philips Nv Improvements in or relating to inductance coil arrangements
US4045729A (en) * 1976-07-26 1977-08-30 Loh Jack C Gas detector
GB2042646B (en) * 1979-02-20 1982-09-22 Rolls Royce Rotor blade tip clearance control for gas turbine engine
US4517156A (en) * 1980-05-20 1985-05-14 The Foundation: The Research Institute Of Electric And Magnetic Alloys Electrical resistant alloys having a small temperature dependence of electric resistance over a wide temperature range and a method of producing the same
JPS60163303A (ja) 1984-02-06 1985-08-26 株式会社日立製作所 照明器具
JPS6242064A (ja) * 1985-08-20 1987-02-24 Sekiyu Shigen Kaihatsu Kk 高温流体用流速検出装置
JPH0668965B2 (ja) 1988-06-20 1994-08-31 富士電機株式会社 放射線測定装置
US5104287A (en) * 1989-09-08 1992-04-14 General Electric Company Blade tip clearance control apparatus for a gas turbine engine
US5126664A (en) * 1990-12-18 1992-06-30 Bently Nevada Corporation Wire composition for a small diameter temperature stable proximity coil
JP3015146B2 (ja) 1991-05-31 2000-03-06 ヤマハ発動機株式会社 部品の位置決め装置
GB9204413D0 (en) * 1992-02-29 1992-04-15 Northern Eng Ind Method and apparatus for observing of gap between relatively rotating parts
SE470218B (sv) * 1992-04-01 1993-12-06 Abb Carbon Ab Förfarande och anordning för reglering av skoveltoppspel hos en roterande maskin
FR2722566B1 (fr) * 1994-07-13 1996-08-23 Europ Gas Turbines Sa Capteur dynamique de deplacement, utilisations d'un tel capteur et procede de mesure du deplacement d'une surface
US5791308A (en) * 1997-07-18 1998-08-11 Precision Combustion, Inc. Plug assembly
JP2001137708A (ja) * 1999-11-16 2001-05-22 Mori Fukuo 酸化触媒、一酸化炭素センサ及び水素センサ
US6667615B2 (en) * 2000-02-10 2003-12-23 Sankyo Seiki Mfg. Co., Ltd. Coin identifying device using magnetic sensors
GB0006144D0 (en) * 2000-03-14 2000-05-03 Isis Innovation Position and electromagnetic field sensor
GB0101002D0 (en) * 2001-01-13 2001-02-28 Rolls Royce Plc Monitoring distance variations
CA2353759A1 (en) 2001-07-25 2003-01-25 Mori, Fukuo Oxidizing catalysts, carbon monoxide sensor, and hydrogen sensor
US7259552B2 (en) * 2002-05-31 2007-08-21 Siemens Power Generation, Inc. Wear monitor for turbo-machine
EP1445577A1 (en) * 2003-01-30 2004-08-11 ALSTOM Technology Ltd A method and an apparatus for determining the distance between a collimator lens and an object
US7075304B2 (en) * 2003-10-01 2006-07-11 The Johns Hopkins University Variable damping induction coil for metal detection
US7026908B2 (en) * 2003-11-13 2006-04-11 Harco Laboratories, Inc. Extended temperature range thermal variable-resistance device
US7407369B2 (en) * 2004-12-29 2008-08-05 United Technologies Corporation Gas turbine engine blade tip clearance apparatus and method
DE102006028149A1 (de) * 2006-06-16 2007-12-20 Mht Mold & Hotrunner Technology Ag Formnestkavität mit entkoppelter Kühlkanalführung

Patent Citations (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5177405U (ja) * 1974-12-16 1976-06-18
JPS54134462A (en) * 1978-04-11 1979-10-18 Nippon Kokan Kk Eddy flow system range finder
US4267508A (en) * 1978-04-11 1981-05-12 Nippon Kokan Kabushiki Kaisha Apparatus for non-contact measurement of distance from a metallic body using a detection coil in the feedback circuit of an amplifier
JPS5647726A (en) * 1979-09-28 1981-04-30 Hitachi Ltd Detector for high temperature
JPS56109003U (ja) * 1980-01-23 1981-08-24
US4311982A (en) * 1980-08-01 1982-01-19 The Yellow Springs Instrument Company, Inc. Trimmable wirewound resistance temperature transducer
JPS5935101A (ja) * 1982-07-30 1984-02-25 ウエスチングハウス エレクトリック コ−ポレ−ション 近接センサ
US4563643A (en) * 1982-07-30 1986-01-07 Westinghouse Electric Corp. Eddy current proximity sensor for use in a hostile turbine environment
JPS59122528U (ja) * 1983-02-08 1984-08-17 株式会社芝浦電子製作所 温度センサ
JPS60163303U (ja) * 1984-04-06 1985-10-30 株式会社ブリヂストン 水冷ジヤケツト付渦電流変位計
JPS6273101A (ja) * 1985-09-27 1987-04-03 Hitachi Ltd 渦電流式高温用変位計
JPH02268202A (ja) * 1989-03-02 1990-11-01 Bently Nevada Corp 近接検出器とその製作方法
JPH03119662A (ja) * 1989-09-11 1991-05-22 Asea Brown Boveri Ag セラミック燃料電池の電流コレクタ
JPH06231627A (ja) * 1992-12-08 1994-08-19 Hitachi Cable Ltd 対撚り開放線路
JPH08240406A (ja) * 1994-10-28 1996-09-17 Barber Colman Co 位置センサ−
JP3015146U (ja) * 1995-02-24 1995-08-29 有限会社日本テクモ 高温用近接センサ
JPH11514442A (ja) * 1995-10-13 1999-12-07 ベントリー・ネバダ・コーポレーション 構成要素の整合前成形体を有する封入型トランスデューサ及びその製造方法
JPH09185815A (ja) * 1995-12-29 1997-07-15 Sony Corp 非接触式磁気ヘッド摩耗量計測装置
JPH10300410A (ja) * 1997-04-28 1998-11-13 Shinko Electric Co Ltd 高温用位置センサ
JP2000039364A (ja) * 1998-05-20 2000-02-08 Denso Corp サ―ミスタ式温度センサ
JP2001021532A (ja) * 1999-07-05 2001-01-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 炭化水素センサ
JP2002340692A (ja) * 2001-03-14 2002-11-27 Denso Corp 温度センサ
JP2007010656A (ja) * 2005-06-27 2007-01-18 General Electric Co <Ge> クリアランス測定システムおよび動作方法
JP2007115694A (ja) * 2005-10-20 2007-05-10 Thomas & Betts Internatl Inc 準備工程が不要な同軸ケーブルコネクタ
JP2007114094A (ja) * 2005-10-21 2007-05-10 Denso Corp 圧力センサ
JP2008128640A (ja) * 2006-11-16 2008-06-05 Jtekt Corp 車輪用転がり軸受装置
JP2009270994A (ja) * 2008-05-09 2009-11-19 Ihi Corp 膜厚検出センサの接続構造及び接続方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012102656A (ja) * 2010-11-09 2012-05-31 Toshiba Corp 軸シール装置、軸シール装置の間隙調整方法および蒸気タービン
JP2014092544A (ja) * 2012-10-31 2014-05-19 General Electric Co <Ge> 静電容量センサデバイスおよび製造の方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5561981B2 (ja) 2014-07-30
US20100079136A1 (en) 2010-04-01
US20120019237A1 (en) 2012-01-26
EP2169345A1 (en) 2010-03-31
EP2169345B1 (en) 2015-10-07
US8558538B2 (en) 2013-10-15
US20120032689A1 (en) 2012-02-09
US8773115B2 (en) 2014-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5561981B2 (ja) ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法
JP5395897B2 (ja) 高振動対応抵抗温度センサ
CN105723196B (zh) 高级射频感测探针
JP3717982B2 (ja) 軸位置センサー
US5864282A (en) Unique strain relief junction
US4971452A (en) RTD assembly
EP3339825B1 (en) High-temperature exhaust sensor
EP2700924B1 (en) High temperature resistive temperature detector for exhaust gas temperature measurement
WO2013072961A1 (ja) 温度センサおよび機器
JP2009294203A (ja) 温度センサ
EP2728303B1 (en) Capacitive sensor device and method of manufacture
JPH01277604A (ja) キャパシティブセンサ
US20160018268A1 (en) Temperature sensor for high temperature
EP2565607B1 (en) A resistor and a method of manufacturing a resistor capable of operating at high temperatures
JP5562168B2 (ja) 測温抵抗体の製造方法、ならびに、測温抵抗体を内蔵した温度測定センサー
JP6642140B2 (ja) ターボ用回転センサ、ターボチャージャ、及びターボ用回転センサの製造方法
CN209841227U (zh) 三支型全铠装快速铂热电阻
JP3118621B2 (ja) 測温機能付きカプセル型ひずみゲージ
EP0327252A2 (en) RTD assembly
JP7304328B2 (ja) 温度センサ、および、加熱器
JP2005122919A (ja) 測温素子を有するヒータ
KR20110079132A (ko) 전자파 차폐형 고온용 온도소자

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111026

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111213

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20111214

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426

Effective date: 20111214

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20111213

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20111214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130416

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130711

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140513

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140610

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5561981

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees