JPS5935101A - 近接センサ - Google Patents

近接センサ

Info

Publication number
JPS5935101A
JPS5935101A JP58135273A JP13527383A JPS5935101A JP S5935101 A JPS5935101 A JP S5935101A JP 58135273 A JP58135273 A JP 58135273A JP 13527383 A JP13527383 A JP 13527383A JP S5935101 A JPS5935101 A JP S5935101A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
sensor
housing
support member
base support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58135273A
Other languages
English (en)
Inventor
ウオルタ−・チヤ−ルズ・レスチエク
ロバ−ト・チヤ−ルズ・ミラ−
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CBS Corp
Original Assignee
Westinghouse Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Westinghouse Electric Corp filed Critical Westinghouse Electric Corp
Publication of JPS5935101A publication Critical patent/JPS5935101A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9006—Details, e.g. in the structure or functioning of sensors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は金属物体までの距離を測定するためのセンサに
関し、特に、堅牢な渦電流式センサに関するものである
。
渦電流式センサは良く知られており、その動作原理は、
交流で励起された電気コイルが金属物体に接近する時に
該コイルのインピーダンスに変化が生じることに基づい
ている。所定のコイル位置、形状寸法及び励起周波数に
ついて、コイルのインダクタンス及び抵抗変化は金属物
体の電導度、透磁率及び形状寸法の関数である。
この渦電流式センサを利用して種々の機械の変位即ち振
動を測定する機器は周知である。例えば、該センサを用
いて蒸気タービンの羽根構造を監視するものがある。高
温のタービン環境ジングの割れ、毎秒３　Ａ　Ｏｍ　（
／Ｘ）ＯｆＣ）の高速で衝突する水滴による摩滅からく
るセンサ部品の腐食、据付は中の手荒な取扱いによる電
線の破断等の損傷が生じる。
本発明のセンサは、先行技術のセンサでは損傷していた
環境でも使用しつるように、先行技術のセンサの欠点を
取り除いたものである。
本発明のセンサは、監視したい既存機械内へ実質的に妨
害を受けることなく挿入するための、堅牢で比較的小形
のユニットである。該センサは、前面と、該前面に一体
であり、フランジ付きベースで終端している円筒形の側
壁とを有する非金属性中空ハウジングを備える。該ハウ
ジングはセラミック材料で形成するのが好ましい。
センサは純度約９６チのアルミナでできたハウジングか
ら構成されていた。
ハウジング内には非金属性コイル支持体が配設されてお
り、該支持体にはコイルが巻着されている。金属性ベー
ス支持部材も設けられており、該ベース支持部材は円周
方向に延びるフランジ部と、中空の軸部とを有する。才
た、センサが備える保持リングは、ハウジングのフラン
ジ付きベースにろう付は等により封着される肩部と、ベ
ース支持部材のフランジ部に溶接等により封着されるフ
ランジ部とを有していて、苛酷な振動及び高温の飽和蒸
気の存在下で封止状態に維持される封止ユニットを提供
する。多線電気ケーブルはベース支持部拐の軸部を貫通
しコイルに電気的に接続されている。
ベース支持部材の中空軸部に封着された保護用管部材は
電気ケーブルの導管となり、そして該電気ケーブルをテ
スト中の機械外へ導出するため他の導管に接続しうる。
好適な実施例においては、中空軸部は多面体に形成され
ていて、同様に多面の絶縁部材の中空軸部を受は容れる
。多面ナツトが電気ケーブルのシールドに取着されると
共に絶縁部材の多面の内部に入っていて、ケーブルとコ
イルとの接続部が切れるようになるまでケーブルが捩れ
るのを防止する。
次に本発明の好適な実施例を添付図面について詳細に説
明する。
第１図のセンサ／θは渦電流式近接センサであって、そ
の前部に非金属性中空ハウジング７．２を備える。該ハ
ウジングは前部／３と、この前面に一体の円筒形側壁／
ｌＩとを有し、側壁ｌｌＩはフランジ付きベース１５で
終端している。低圧タービンの内部で囲まれているよう
な敵対環境の中で使用するためには、ハウジング１２、
特（こその前面／３は毎秒３ルθｍ（／２θ０ｆｔ）の
オーダーの平均速度で衝撃する水滴からくる摩滅損傷に
耐えることが肝要である。また、ハウジングは通常の運
転中に生じる高温に耐えることができねばならない。従
って、好適な実施例においては、ハウジング／、２はア
ルミナ°（酸化アルミニウム）のような稠密セラミック
材料で形成されている。
ハウジング／。２内に配設されたコイル支持体−〇には
、少なくとも１つのコイルコ／が巻着されており、好適
な実施例においては別のコイル２．２も含まれている。
温度により招来されるコイルのインピーダンス変化の効
果を無効にしてもつと精度の良い読みを得るようにする
ため、かかるセンサにおいて第コのコイルを用いること
は周知である。コイル支持体：ＬＯにある溝、２３は穴
２１７と協働して、両コイルの端がコイル支持体、２０
の内部に入るのを可能にし、両者に電気的接続が行なわ
れるようにする。
コイル支持体２Ｑは非金属性材料のものであり、高温で
耐久力があり、強く、且つ寸法的に安定しているポリイ
ミドのような樹脂で形成しつる。
ステンレス鋼のような金属性のベース支持部材３θは孔
のあいた軸部３１と、センサの封止を行なう、円周方向
に延びるフランジ部３２とを有する。
との封止は、ハウジング１２の外側上を滑ってフランジ
付きベース１３に係合する肩部グ／のある保持リングｙ
ｏと一緒に行なわれる。該保持リングダθのフランジ部
グコは、ベース支持部材３０のフランジ部３．２と組み
合ってこのフランジ部３２を封止保合する。
保持リングｔｙ−ｏは、アルミナのハウジング／λとの
非常に良好な熱膨張の整合性及びベース支持部材３０と
の十分に良い熱膨張の整合性を考慮して、コバール（Ｋ
ｏｖａｒ　）金属で形成するのが好ましい。保持リング
クθの肩部ｌｌ／はアルミナ製ハウジングのフランジ付
きベース／Ｓとの封止保合状態に置かれており、例えば
高温はんだによって封止を行なっている。この点に関し
、アルミナ製ハウジングは、アルミナに対シてはんだ封
止を行なうために、例えばニッケルメッキしたモリマン
ガンで金属化した（　ｎ１ｃｋｅｌｐｌａｔｅｄ　ｍｏ
ｌｙｍａｎｇａｎｅｓｅ　ｍｅｔａｌｌｉｚａｔｉｎ　
）、符号ｐｐで示す金属面を備えている。コバール製保
持リングとベース支持部材との間の封止は周囲の溶接部
ｐ４によって行ないつる。
コイルユ！及びユコは実施例においては第３図に示すよ
うに電気的に接続される。従って、第３図に示したコイ
ル接続例の端子Ａ、Ｂ、Ｏとのはんだ結合を行なうため
に３本のワイヤ！ｒ／。
Ｓコ及び５３を含む多線電気ケーブル３θが設けられて
いる。該ケーブル５θは、ベース支持部材３０の中空軸
部３１内に嵌まり込みそこに溶接等で取着される保護管
５Ａ内に入っている。
中空軸部に入る保護管の軸方向運動は軸部内側の小径部
Ｓｇによって制限されている。
タービン内その他に装着する際、センサｌＯは手荒な取
扱いを受けるこ吉がありうる。もしケーブルが間違って
捩られたり引っ張られたりすると、コイルへの電気接続
が切れたり、或は運転中に切れてしまう程度まで弱化す
る場合があるかも知れない。従って、本発明はかかる場
合が生じるのを防ぐ保護構造を備えている。
この保護構造の一部として、編組金属シールド６０を有
するケーブル５θは、はんだ付は等によりこの編組金属
シールドに取着された金属ナツト６λを有している。該
金属シールド及び金属ナツトがベース支持部材３０の金
属製軸部に接触して運転中に接地ループノイズが発生す
るのを防止するために、ナツトは絶縁部材６１Ｉ内、特
にその中空軸部ＡＳ内に配設する。該絶縁部材６グはコ
イル支持体λθと同様にポリイミド樹脂で形成してよい
。
軸部６Ｓの内部はナツト６λの外面と組み合うため多面
に形成されている。例えば、ナツトと軸部６５の内面き
は、第１図のＩＹ−■線に沿って示す図である第７図に
最も良く示すように、六角形を形成する６つの面を有す
る。絶縁部材６グがベース支持部材３０の軸部内で回転
するのを防止するため、それ等が組み合う表面も、即ち
軸部Ａｋの外面と軸部３１の内面（第１図に示す小径部
３ｇの右側まで）も第７図に示すように六角に形成され
ている。
絶縁部材６グの前端にある小径リップ部６ｇによって、
ナツト６．２が移動しコイル支持部Ｏの内部に入ってし
まうのを防止する。また、絶縁ワッシャ７０が入ってい
るのでナツトが所定位置外へ引き出されることもない。
該絶縁ワッシャ７０の中央には、ナツト６コが通ること
はできないがケーブルＳθは通れる直径の孔がある。
測定中、コイルがハウジング／２内で軸方向に移動しな
いことが肝要である。この不動性を与える一つの方法は
諸部品を厳しい公差で機械加工することである。前面／
３に対して定位置にコイルを保持するためのもつと安価
で簡単な方法は、波形ばねワッシャ７４’のような付勢
手段を入れ、との付勢手段を絶縁部材ＡＱに当接させて
コイル支持体、２０を所望の不動係合状態に強制するこ
とである。
第３図は、低圧蒸気タービンに適用される場合のような
センサの代表的使用方法を示す。蒸気は矢印ｇ２の方向
に羽根列ｇｏに入り、流れ案内体ｔ４ｔを経由して出る
。センサは流れ案内体の位置にある最終の羽根列を監視
するために装着可能であり、そのため複数のセンサが羽
根を半径方向において囲む流れ案内体中に設けられてい
る。センサ／θは第５図において流れ案内体ｇｌＩ中に
装着して図示されており、そして管ｊ６が継手？／を介
して別の保護管９ｏに接続されている。この保護管は湾
曲してタービン内の諸部品を周りタービン外に導かれて
、監視装置に電気接続がなされる。
ロータ９グの軸方向移動の指度を得るため、別のセンサ
／θ１が配置されている。タービン外へのケーブルの保
護通路を与えるため、センサ１０＋には管？乙を接続し
うる。
第を図は流れ案内体ｇｙを通る断面図であって、センサ
１０の装着をも一つと詳細に図示している。穴９ｔが流
れ案内体ｇｙに加工されている。紋穴９ｇは、センサ１
０と該センサｌＯを流れ案内体に取着する手段とを収容
しうる大きさ、形状のものである。また、保護管３６を
収容するため穴１００も設けられている。
センサ１０を穴９ｇの内部に取着する一つの方法は、保
持リングｌｌｏのフランジ部グーに当接するステンレス
鋼ワッシャ１０３及び１０１１のようなものと協働して
、機械ねじｉｏｏ及び１０／のような取着具を使用する
ことである。
該ワッシャ１０３及びＩＯ’ｌはテフロン製でよいワッ
シャｉｏｔ及び１０７にそれぞれ当接している。一旦セ
ンサは第を図に示された位置にある。そして機械ねじ１
００及び１０／を最終的に締め付ける前ｌこ、センサを
限られた量だけ横方向に動かして羽根列に関するセンサ
の相対位置を変えうるようにするのが望ましい。このよ
うにする一つの方法は、ハウジング１．２及びコイル支
持体２０の同心中心軸Ａ（第１図）がケーブルｊＯを支
持する保護管左６の中心軸Ａ１からずれるようにセンサ
を設計することである。
設置中に保護管ｊ６を手で回転させると、中心軸Ａが中
心軸Ａ１を中心として回り、コイルに限定された横方向
の動きが伝えられる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例によるセンサの断面図、第２
図は第１図のセンサの分解斜視図、第３図は第１図のコ
イル間の電気的接続を示す回路図、第ｙ図は第１図のＮ
−Ｎ線における断面図、第３図はタービン内のセンサを
示す断面図、第６図は第５図の取着構造を幾分詳細に示
す断面図である。 図中、１０及び／　０’はセンサ、／λは中空ハウジン
グ、Ｉ３は前面、／ｌは円筒形の側壁、／Ｓはフランジ
付きベース１．２Ｑはコイル支持体、ユ／及び、１２は
コイル、３０はベース支持部材、３ノは中空の軸部、３
．２はフランジ部、ダθは保持リング、ダ／は肩部、ｌ
Ｉ２は保持リングのフランジ部、ｊθは多線電気ケーブ
ルである。 （／コ　）

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ａ）　前面と、該前面に一体であり、フランジ付きベー
    スで終端している円筒形の側壁とを有する非金属性中空
    ハウジング、 ｂ）　該ハウジング内に配設される非金属性コイル支持
    体、 Ｃ）　該コイル支持体に巻着されたコイル、ｄ）　円周
    方向に延びるフランジ部と、中空の軸部とを有するベー
    ス支持部材、 す前記ハウジングのフランジ付きベースに封着される肩
    部と、前記ベース支持部材のフランジ部に封着されるフ
    ランジ部とを有する保持リング、 ｆ）　前記ベース支持部材の軸部を貫通し前記コイルに
    電気的に接続された多線電気ケーブル、を備える近接セ
    ンサ。
JP58135273A 1982-07-30 1983-07-26 近接センサ Pending JPS5935101A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US403431 1982-07-30
US06/403,431 US4563643A (en) 1982-07-30 1982-07-30 Eddy current proximity sensor for use in a hostile turbine environment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5935101A true JPS5935101A (ja) 1984-02-25

Family

ID=23595738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58135273A Pending JPS5935101A (ja) 1982-07-30 1983-07-26 近接センサ

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4563643A (ja)
JP (1) JPS5935101A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH032588A (ja) * 1989-05-30 1991-01-08 Kajima Corp 埋設導電体の非破壊検出装置
JPH08304009A (ja) * 1995-05-10 1996-11-22 Sumitomo Rubber Ind Ltd タイヤ表面ゴム厚さ測定装置及び測定方法
JP2010085405A (ja) * 2008-09-29 2010-04-15 Rosemount Aerospace Inc ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0789119B2 (ja) * 1986-05-30 1995-09-27 住友電気工業株式会社 電磁発電式回転センサ
US4833931A (en) * 1987-08-14 1989-05-30 Westinghouse Electric Corp. Thermally self-adjusting mount for proximity sensor
US4876506A (en) * 1988-06-13 1989-10-24 Westinghouse Electric Corp. Apparatus and method for inspecting the profile of the inner wall of a tube employing a wall follower and an eddy current probe
US5015949A (en) * 1988-12-22 1991-05-14 Westinghouse Electric Corp. Steam turbine blade arrival time processor with automatic gain control
US5016343A (en) * 1989-03-02 1991-05-21 Bently Nevada Corp. Method of making a proximity sensor
US5021737A (en) * 1989-03-02 1991-06-04 Bently Nevada Corporation Proximity sensor resistant to axial and torsional forces
US5126664A (en) * 1990-12-18 1992-06-30 Bently Nevada Corporation Wire composition for a small diameter temperature stable proximity coil
US5572119A (en) * 1994-10-28 1996-11-05 Barber-Colman Company Eddy current position sensor including an insulating base having conductive surfaces for electrically connecting a coil to the lead wires
US5955880A (en) * 1996-12-05 1999-09-21 Beam; Palmer H. Sealless pump rotor position and bearing monitor
US5925951A (en) * 1998-06-19 1999-07-20 Sundstrand Fluid Handling Corporation Electromagnetic shield for an electric motor
CA2375664C (en) * 1999-06-02 2008-02-19 Speedline Technologies, Inc. Closed loop solder wave height control system
US6949922B2 (en) * 2002-05-31 2005-09-27 Siemens Westinghouse Power Corporation Turbine blade clearance on-line measurement system
US7554324B2 (en) * 2003-10-28 2009-06-30 Honeywell International Inc. Turbine blade proximity sensor and control system
CN102047084B (zh) * 2008-04-15 2013-12-18 阿尔斯通技术有限公司 用于监测电机的方法
GB2472275A (en) 2009-07-31 2011-02-02 Oxford Rf Sensors Ltd Proximity sensor
US9932852B2 (en) * 2011-08-08 2018-04-03 General Electric Company Sensor assembly for rotating devices and methods for fabricating
US9285205B2 (en) * 2012-08-22 2016-03-15 United Technologies Corporation Turbomachine probe retention feature
US9518850B2 (en) * 2012-09-28 2016-12-13 United Technologies Corporation Embedded cap probe
US9121865B2 (en) 2012-12-12 2015-09-01 Raytheon Company Hung mass accelerometer with differential Eddy current sensing
US9784759B2 (en) 2015-11-16 2017-10-10 Raytheon Company Thermally insensitive open-loop hung mass accelerometer with differential Eddy current sensing
US10024880B2 (en) 2016-05-21 2018-07-17 Raytheon Company Athermal hung mass accelerometer with reduced sensitivity to longitudinal temperature gradients

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2049924A (en) * 1934-06-09 1936-08-04 Western Electric Co Testing apparatus
US2830261A (en) * 1954-01-05 1958-04-08 Mcnab Inc Combination valve and conductivity cell assembly
US3132299A (en) * 1960-10-17 1964-05-05 Budd Co Electromagnetic-testing bridge-net-work with digital programming control for operation under a plurality of initial unbalance conditions
US3152303A (en) * 1962-06-11 1964-10-06 United Aircraft Corp Electrodeless radio frequency conductivity probe for fluids
US3336525A (en) * 1963-01-08 1967-08-15 Kaman Aircraft Corp Variable impedance displacement transducer
US3378763A (en) * 1967-09-14 1968-04-16 Budd Co Eddy current probe with temperature compensation
US3467358A (en) * 1968-01-08 1969-09-16 Igor Evgenievich Zablotsky Vibrator indicator for turboengine rotor blading
US3521159A (en) * 1968-01-11 1970-07-21 Ird Mechanalysis Electrical sensing apparatus incorporating temperature compensation
US3491289A (en) * 1968-12-17 1970-01-20 Atomic Energy Commission Non-contact eddy current instrument
GB1307985A (en) * 1969-04-18 1973-02-21 Sybrook Electronics Ltd Inductive transducers
FR2061983A5 (ja) * 1969-10-07 1971-06-25 Snecma
US3707671A (en) * 1970-05-01 1972-12-26 Robert S Morrow Inductive vibration pickup apparatus
US3932813A (en) * 1972-04-20 1976-01-13 Simmonds Precision Products, Inc. Eddy current sensor
US3911731A (en) * 1974-02-14 1975-10-14 Gen Electric Non-contacting self-calibrating vibration sensor
US3989408A (en) * 1974-05-20 1976-11-02 Westinghouse Electric Corporation Positioning device for a turbine rotor position sensor
US4042876A (en) * 1976-04-29 1977-08-16 The United States Of America As Represented By The United States Energy Research And Development Administration Eddy current gauge for monitoring displacement using printed circuit coil
US4067661A (en) * 1976-10-01 1978-01-10 Caterpillar Tractor Co. Thermally compensated variable turbine nozzle position indicator
GB1589511A (en) * 1977-05-27 1981-05-13 Smiths Industries Ltd Probe assemblies
US4180329A (en) * 1978-03-23 1979-12-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Single blade proximity probe

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH032588A (ja) * 1989-05-30 1991-01-08 Kajima Corp 埋設導電体の非破壊検出装置
JPH08304009A (ja) * 1995-05-10 1996-11-22 Sumitomo Rubber Ind Ltd タイヤ表面ゴム厚さ測定装置及び測定方法
JP2010085405A (ja) * 2008-09-29 2010-04-15 Rosemount Aerospace Inc ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
US4563643A (en) 1986-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5935101A (ja) 近接センサ
US7170284B2 (en) Blade detection sensor having an active cooling system
US4804905A (en) Capacitive measuring system for measuring the distance between two relatively movable parts
JP5561981B2 (ja) ガス・タービン・エンジン用の翼先端間隙測定センサおよび間隙測定方法
US4831362A (en) Failure detection system for a metallic debris detection system
JP4959730B2 (ja) 流れ方向を決定する流れ測定装置
JPH07104125B2 (ja) 電気キャパシタンス間隙計
US4324144A (en) Turbine flowmeter
CN113565583B (zh) 一种双转子涡扇发动机整机高压涡轮转子动应力测试装置
CA2713426A1 (en) Probe for a capacitive sensor device and gap-measuring system
EP2728303B1 (en) Capacitive sensor device and method of manufacture
US6927567B1 (en) Passive eddy current blade detection sensor
CA2036047C (en) Rotational speed probe
JP2006504966A (ja) 流速を検出するための測定要素
CN210958064U (zh) 永磁电机定转子温度和振动测量装置和永磁电机
JP2009529688A (ja) 流れ方向を決定する流れ測定装置
TW341659B (en) A probe having an overhanging head casing offset to one side
EP2015081B1 (en) Movement probe, particularly speed sensor, for aerospace vehicles
US20090309577A1 (en) High temperature speed sensor
CN113631894B (zh) 高压室中的定位
EP3517977B1 (en) Magnetic gas turbine sensor
CN113513495A (zh) 电涡流传感器以及具有该电涡流传感器的磁悬浮分子泵
KR20220153609A (ko) 센서 장치 및 모터
CN219915660U (zh) 一种自带信号调理电路的外置式磁电转速传感器
CN214845344U (zh) 附加测温功能的磁电式abs轮速传感器