JP2010073846A - 基板加工装置及び基板加工方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】ルータビットを用いて基板を加工する基板加工装置及び基板加工方法に関し、ルータビットを効率的に使用すること。
【解決手段】ルータビット6を用いて接続部を切断する加工を行うことにより多数個取り基板40から複数の基板を切り出す基板加工装置において、ルータビット6を多数個取り基板40に対して昇降させるルータ移動ロボットと、ルータビット6の摩耗量を検出する摩耗検出装置と、摩耗検出装置で検出されるルータビット6の摩耗量が既定の寿命摩耗量を超えた際、ルータ移動ロボットを駆動してルータビット6を上昇又は下降させ、ルータビット6の多数個取り基板40に対する加工位置Pを寿命摩耗量となった加工位置(例えば、P1)から異なる加工位置(例えば、P2)に移動させる。
【選択図】図8

Description

本発明は基板加工装置及び基板加工方法に係り、特にルータビットを用いて基板等の加工対象物を加工する基板加工装置及び基板加工方法に関する。
近年、電子機器の小型化・高性能化に伴い電子部品を高密度実装したプリント基板の需要が高まっている。このプリント基板は電子機器の形状に対応した複雑な形状を有している場合が多い。また、例えば電子機器が携帯電話機である場合には、携帯電話機の種々の形態に対応して種々のプリント基板を作製する必要がある。
しかしながら、電子部品の自動実装を行う場合、プリント基板の形状毎に実装機の仕様を変更するのでは設備コストが上昇してしまう。このため、既定の矩形状を有する多数個取り基板を用意し、この多数個取り基板に複数個の電子機器に対応したプリント基板を作製することが行われている。
この際、多数個取り基板は矩形であり、またプリント基板は電子機器に対応した形状であるため、必然的に多数個取り基板にはプリント基板の外周に枠状の不要部分(以下、枠状不要部という)が発生する。よって、プリント基板を電子機器に実装する際、枠状不要部とプリント基板とを分離させる作業が必要となる。
多数個取り基板からプリント基板を分離させる方法としては、プリント基板の外周で分離予定の場所に溝を形成すると共に、一部にプリント基板と枠状の不要部分とを接続する接続部を形成しておく。そして、矩形状とされた多数個取り基板に状態でこれに形成された複数のプリント基板のそれぞれに電子部品を自動実装した後、プリント基板を携帯電話等の電子機器に搭載する際に接続部を除去する。これにより、プリント基板は枠状不要部から分離されて個片化し、電子機器に搭載される。
接続部を除去する具体的な方法としては、(1)接続部を手割り作業にて分割する手分割方法、(2)金型治具を用いプレス装置により接続部を切断する金型分割方法、(3)ルータビットにより接続部を切削し除去するルータビット分割方法等が知られている。
しかしながら(1)の手割り作業では、人が作業することによる労力と作業時間が生産性の点から大きな障害となってしまう。また、(2)のプレス装置による切断方法は生産性の向上は図れるものの、各種形状の実装後のプリント基板に対して専用の高価な金型を製作する必要があり、設備対応に掛かるコストアップは避けられない。
これに対して(3)のルータビット方式は、除去時の生産性が高く、また必要な設備コストも低く抑えられるため、プリント基板と枠状不要部との分割処理に広く用いられている(特許文献1参照)。このルータビット方式を用いてプリント基板と枠状不要部とを分割する場合、多数個取り基板は基板固定パレットと称せられる治具に装着した上でプリント基板加工装置(以下、基板加工装置という)に装着されて分割処理が行われる(特許文献1参照)。
ところで、ルータビットは消耗品であり、経時的に摩耗してその直径が細くなる。従来では、ルータビットに所定以上の摩耗が発生した場合、摩耗したルータビットを廃棄し、新しいルータビットに取り替えることが行われていた。
特開2001−156423号公報
上記の基板加工装置に用いるルータビットは、円柱状(棒状)の刃を有している。また、ルータビットの刃の長さは、直径がφ1mmである場合4〜5mm程度である。これに対し、被加工物となる基板の板厚は、一般に0.5mm程度である。
またルータビットは消耗品であり、基板加工を行うことにより経時的に摩耗してその直径は細くなる。摩耗が進んだルータビットでは、基板に対して適正な加工を行うことができなくなる。このため、ルータビットの摩耗量が所定の寿命摩耗量を超えた場合には、この摩耗したルータビットを新しいルータビットに交換することが行われていた。
従来では、一般にルータビットの所定加工位置でのみ加工を行う方法であったため、この所定加工位置における摩耗量が寿命摩耗量を超えた場合、加工位置以外の領域における刃に摩耗が生じていなくても、ルータビットを新しいルータビットに交換することが行われていた。このように従来では、ルータビットの使用効率が悪いため、実質的なルータビットの寿命が短くなり、基板加工に要するランニングコストが上昇してしまうという問題点があった。
一方、上記の特許文献1のように、加工を行う2枚の基板を異なる高さで保持し、これによりルータビットの異なる二箇所で加工を行うことにより、ルータビットの効率的な使用を図ったものも提案されている。しかしながら、この構成でもルータビットの刃において使用しない部分が残存し、必ずしもルータビットの効率的な使用が図られているとはいえなかった。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ルータビットを効率的に使用しうる基板加工装置及び基板加工方法を提供することを目的とする。
上記の課題は、本発明の第1の観点からは、ルータビットを用いて基板の被加工部の加工を行う基板加工装置において、前記ルータビットを前記基板に対して昇降させる移動装置と、前記ルータビットの摩耗量を検出する摩耗検出装置と、前記摩耗検出装置で検出される前記ルータビットの摩耗量が寿命摩耗量を超えた際、前記移動装置を駆動して前記ルータビットを上昇又は下降させ、前記ルータビットの前記基板に対する加工位置を、前記寿命摩耗量となった加工位置から異なる位置に移動させる加工位置移動装置とを有する基板加工装置により解決することができる。
本発明によれば、ルータビットの寿命を延ばすことができる。
次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。
図1及び図2は、本発明の一実施例である基板加工装置1を示している。先ず、基板加工装置1の説明に先立ち、説明の便宜上、基板加工装置1により加工される被加工物となる多数個取り基板40について説明する。図5は、被加工物となる多数個取り基板40の一例を示している。
同図に示す多数個取り基板40は、3枚のプリント基板41を内部に形成した構成とされている。各プリント基板41には、別工程において予め電子素子等が実装されている。この電子素子の自動実装を可能にするため、多数個取り基板40は既定の矩形形状(平面視で長方形状)とされている。このように多数個取り基板40は矩形形状とされているが、プリント基板41は電子機器に対応した形状とされている。このため、必然的に多数個取り基板40にはプリント基板41の外周に枠状の不要部分(以下、枠状不要部44という)が発生する。
このプリント基板41の外周で、枠状不要部44との境界部分には分離溝43が形成されている。この分離溝43はプリント基板41の全周に形成されているのではなく、一部において接続部42が形成されている。即ち、プリント基板41は、接続部42により分離溝43と連結した構成となっている。この接続部42の強度は、プリント基板41に対して電子素子等の実装処理を行う際、プリント基板41が枠状不要部44から分離しない強度を有するよう設定されている。
また、基板41を分割(個片化)する場合には、後述する基板加工装置1(図1参照)を用いて接続部42を除去する。この基板加工装置1は、図6に示すように、接続部42をルータビット6により切削することにより除去し、これによりプリント基板41と枠状不要部44とを分離させる。
ルータビット6は、図8に拡大して示すように、基板加工装置1に装着される本体部6Aと、この本体部6Aより延出し接続部42を切削する刃6Bとを有した構成とされている。そして、このルータビット6が高速回転することにより、刃6Bにより被加工物に対して溝加工を行うものである。
このルータビット6は、図6に示すように分離溝43内に刃6Bを挿入し、これを高速回転させつつ図中矢印方向に移動することにより接続部42は除去される。図5に示すように、接続部42はプリント基板41の外周の複数個所に形成されている。基板加工装置1は、この全ての接続部42をルータビット6により除去することにより、プリント基板41と枠状不要部44とを分割する。尚、ルータビット6による具体的な接続部42の除去処理(プリント基板41の分離処理)については、後に詳述するものとする。
次に、図1に戻り、本発明の一実施例である基板加工装置1の構成について説明する。基板加工装置1は、大略すると基台2、加工装置本体3、集塵装置4、メインコントローラ12、摩耗検出装置、及び加工位置移動装置等を有する。
加工装置本体3は、ルータヘッド5、ルータビット6、ルータ移動ロボット7X〜7Z等を有する。ルータヘッド5は内部にモータが配設されており、このモータの回転軸の下端部にルータビット6が配設されている。よって、ルータビット6は、ルータヘッド5により回転される。このモータはルータコントローラ13に接続されており、またルータコントローラ13はメインコントローラ12に接続されている。
ルータ移動ロボット7X〜7Zは、ルータヘッド5を支持すると共にこれを3次元的(直交するX軸,Y軸,Z軸方向)に移動させる機能を奏するものである。ルータ移動ロボット7Xはルータヘッド5を図中矢印X1,X2軸方向に移動させ、ルータ移動ロボット7Yはルータヘッド5をY1,Y2方向(図の紙面に対して鉛直方向)に移動させ、ルータ移動ロボット7Zはルータヘッド5を図中矢印Z1,Z2軸方向に移動させる。
このルータ移動ロボット7X〜7Zは、その内部にルータヘッド5を移動するための駆動装置が設けられている。この駆動装置としては、モータ、エアシリンダー、油圧シリンダー等の種々の駆動装置を適用することが可能である。本実施例では、駆動装置としてモータを用いている。
上記のルータヘッド5に設けられたモータは、ルータコントローラ13を介してメインコントローラ12に接続されている。また、ルータ移動ロボット7X〜7Zに設けられたモータは、ロボットコントローラ14を介してメインコントローラ12に接続されている。メインコントローラ12は、基板加工装置1の全体的な動作を統括的に制御するものであり、これに伴い後述するルータビット6の寿命を延ばすための制御処理(以下、この制御をルータビット制御という)も実施する。
このメインコントローラ12は、オペレーションパネル15を用いて多数個取り基板40からプリント基板41を分離処理するのに必要な各種データ、及びルータビット制御に必要な各種データが入力され格納されている。この各種データに基づき、メインコントローラ12はコントローラ13,14等を制御する。更に、メインコントローラ12には、後述する識別孔35を識別する識別センサー16も接続されている。
集塵装置4は、装着台8、集塵チャンバ9、及び集塵機10等を有する。装着台8は、後述する基板固定パレット20を上部に装着するものである。この装着台8は、集塵チャンバ9の上端部に配設されている。この集塵チャンバ9は、図中上端部が開口した略四角錐形状とされており、また下端部はダクト11に接続されている。また、上記の装着台8には開口部8aが形成されているが、この開口部8aと集塵チャンバ9の上端部は連通した構成となっている。
ダクト11は、集塵機10に接続されている。また、集塵機10には真空ポンプ等の吸引装置と、塵埃等を捕集するフィルタ等を有した構成とされている。集塵機10が駆動することにより、ルータビット6が接続部42を除去する際に発生する切粉は、集塵チャンバ9から集塵機10に向け吸引され、集塵機10において捕集される。
図3及び図4は、基板加工装置1に装着される基板固定パレット20を示している。図3は基板固定パレット20の蓋体22が開蓋した状態を示す斜視図であり、図4は基板固定パレット20の蓋体22が閉蓋した状態を示す斜視図である。尚、図示の便宜上、図1及び図2に示した基板固定パレット20と、図3及び図4に示した基板固定パレット20とでは相違している点があるが、この相違点は設計的な変更点であり、各図に示される基板固定パレット20の基本構成は同一である。
基板固定パレット20は、大略するとパレット本体21と蓋体22を有する。パレット本体21と蓋体22は蝶番23により接続されており、蓋体22はパレット本体21に対して開閉できる構成となっている。
この蓋体22は磁性体金属により形成されており、またパレット本体21の蝶番23が配設された側辺と対向する側辺にはマグネット27が配設されている。このマグネット27は、蓋体22を閉蓋状態にロックするロック機構として機能する。即ち、蓋体22が閉じられた(閉蓋された)際、蓋体22はパレット本体21にマグネット27の磁力によりロック(固定)される。また、マグネット27の磁力以上の力で蓋体22を開蓋方向に付勢することにより、パレット本体21に対して蓋体22を開蓋することができる。
図3及び図4は、いずれも多数個取り基板40をパレット本体21上に装着した状態を示している。パレット本体21には多数個取り基板40に形成された接続部42に対応した複数の凹部24及び連通孔26が形成されている。
凹部24は、ルータビット6により接続部42を除去する際、ルータビット6の逃げとなる部位である。また、ルータビット6により接続部42が切削されて除去される際に発生する切粉は、先ずこの凹部24内に落下する。連通孔26は、この凹部24と装着台8に形成された開口部8aとを連通している。
この連通孔26は、図2に示すようにパレット本体21の底面37に開口した構成となっている。この連通孔26を設けることにより、基板固定パレット20を装着台8に装着した際、集塵チャンバ9は連通孔26と連通した構成となる。よって、接続部42の除去時に発生する切粉は、凹部24、連通孔26,開口部8a、集塵チャンバ9,ダクト11を通り集塵機10にて集塵される。
また、パレット本体21には複数のスペーサ突起28及び位置決め突起29が形成されている。スペーサ突起28は、パレット本体21の多数個取り基板40が装着される位置に複数個形成されている。多数個取り基板40は、スペーサ突起28上に載置されることによりパレット本体21上に搭載される。
また、吸引孔34がスペーサ突起28及びパレット本体21を貫通するよう形成されている(図2参照)。この吸引孔34の上端はスペーサ突起28の上面に露出しており、また下端は開口部8aと対向する位置に開口している。
よって、集塵機10に設けられた真空ポンプが駆動して集塵チャンバ9内等が負圧となると、この負圧は開口部8aを介して吸引孔34にも作用する。これにより、スペーサ突起28上に多数個取り基板40が搭載された状態で吸引孔34が負圧とされると、多数個取り基板40はこの負圧によりスペーサ突起28に吸着される。この吸着力は、多数個取り基板40を基板固定パレット20に固定するための固定力のひとつとして機能する。
また、スペーサ突起28はパレット本体21の上面から突出しているため、蓋体22が閉蓋された状態において、パレット本体21の上面と多数個取り基板40との間にはスペーサ突起28の高さ分に相当する間隙である第1の通風路38(例えば、0.2〜1.0mmの間隔)が形成される。この第1の通風路38は、ルータビット6により接続部42を除去する際に発生する切粉の大きさよりも大きく設定されている。
このように、パレット本体21の上面と多数個取り基板40との間に第1の通風路38を形成することにより、集塵機10の吸引力を第1の通風路38内にも作用させることが可能となる。このため、外部の空気は第1の通風路38を介して連通孔26に流入する(流入する空気を吸入風という)。よって、パレット本体21の上側で発生した切粉は、この吸入風の流れに乗って集塵機10に吸引され集塵される。
位置決め突起29は、多数個取り基板40に形成された位置決め孔48(図5参照)に対応して設けられている。多数個取り基板40を基板固定パレット20に搭載する際、多数個取り基板40は位置決め孔48が位置決め突起29に挿通されるようパレット本体21上に搭載される。これにより、多数個取り基板40は、簡単かつ高い位置精度を持ってパレット本体21に搭載される。
また、パレット本体21の底面の四隅位置には、スペーサ33が設けられている。これにより、パレット本体21と装着台8の上面との間にはスペーサ33の高さ分に相当する間隙である第2の通風路39(例えば、0.2〜1.0mmの間隔)が形成される。この第2の通風路39は、ルータビット6により接続部42を除去する際に発生する切粉の大きさよりも大きく設定されている。
このように、パレット本体21の上面と多数個取り基板40との間に第2の通風路39を形成することにより、集塵機10の吸引力を第2の通風路39内にも作用させることが可能となる。このため、外部の空気は第2の通風路39を介して連通孔26に流入する(流入する空気を吸入風という)。よって、パレット本体21の下側で発生した切粉は、この吸入風の流れに乗って集塵機10に吸引され集塵される。
また図3に示すように、パレット本体21の外周近傍位置には、複数個(本実施例では3個)の識別孔35が形成されている。この識別孔35は、その形成位置や大きさ等を適宜組み合わせることにより識別マークを構成する。本実施例では、この識別孔35を用いて基板固定パレット20に搭載される多数個取り基板40の種類を識別する構成としている。この識別孔35は、基板固定パレット20の固有のものであり、よって本実施例と異なる他の構成の多数個取り基板を搭載する基板固定パレットでは、本実施例と異なる形成位置及び大きさの識別孔が形成される。
尚、パレット本体21の両側部には、本体用把持部31が設けられている。この本体用把持部31は、基板固定パレット20を装着台8に装着脱する際に使用される。
一方、蓋体22は、前記のようにパレット本体21に対して開閉可能な構成となっている。蓋体22は、閉蓋した状態において多数個取り基板40の上面を全体的に覆う構造となっている。この閉蓋状態で、蓋体22は多数個取り基板40を基板固定パレット20内に固定する機能を奏する。また、蓋体22は、基板固定パレット20の固定だけでなく、多数個取り基板40を保護する保護カバーとしても機能する。
この蓋体22は、複数のルータ用孔30が形成されている。このルータ用孔30の形成位置は、多数個取り基板40を装着した状態で蓋体22を閉蓋した際、多数個取り基板40が有する接続部42の形成位置と対応するよう構成されている。即ち、蓋体22を閉蓋した状態において、多数個取り基板40の接続部42はルータ用孔30から露出した状態となる。また、ルータ用孔30は、前記した基板加工装置1のルータビット6が挿入され、かつ接続部42を切削加工できる大きさで形成されている。これにより、蓋体22を閉蓋した状態で、ルータビット6を用いて多数個取り基板40に対して加工を行うことが可能となる。
また、蓋体22のパレット本体21と対向する面には、複数の固定用突起50が形成されている。この固定用突起50は、弾性体により構成されている。弾性体としては、ゴム或いはばね等の種々の適用が考えられるが、本実施例では合成ゴムを用いている。この固定用突起50は、蓋体22が閉蓋された状態において多数個取り基板40と当接し、この多数個取り基板40をパレット本体21に向け押圧付勢する。
前記したように、蓋体22が閉蓋した状態において、蓋体22はマグネット27の磁力によりパレット本体21に固定(ロック)されている。このマグネット27の磁力は、複数の固定用突起50で発生する弾性復元力よりも強い力を発揮できるよう設定されている。よって、固定用突起50が多数個取り基板40を押圧付勢する構成としても、蓋体22が容易に開蓋してしまうようなことはない。
また、固定用突起50の配設位置は、蓋体22が閉蓋された状態おいて、多数個取り基板40を構成する基板41及び枠状部44のいずれに対しても押圧付勢するよう設定されている。これにより、ルータビット6により接続部42が除去され、これにより基板41が枠状部44から分離されても、基板41及び枠状部44は基板固定パレット20内に固定された状態を維持する。
尚、蓋体22の両側部には、蓋体用把持部32が設けられている。この蓋体用把持部32は、蓋体22を開閉蓋する際に使用される。
上記構成とされた基板固定パレット20に対して多数個取り基板40を搭載するには、先ずマグネット27の磁力に抗して蓋体22を開蓋させる。本実施例の基板固定パレット20では、蓋開状態保持機構36が設けられているため、この蓋開状態保持機構36により蓋体22は開蓋した状態を維持する。
この蓋開した状態において、多数個取り基板40をパレット本体21上に載置する。この際、多数個取り基板40に形成されている位置決め孔48が、パレット本体21に設けられた位置決め突起29に挿入されるよう、多数個取り基板40をパレット本体21に搭載する。
これにより、位置決め孔48を位置決め突起29に挿入するだけの簡単な処理で、多数個取り基板40を高精度に位置決めされた状態でパレット本体21に搭載することができる。また、多数個取り基板40がパレット本体21に搭載された状態で、多数個取り基板40とパレット本体21の上面との間には、スペーサ突起28の高さに対応した第1の通風路38が形成される(図2参照)。
上記のように多数個取り基板40がパレット本体21に搭載されると、蓋体22を閉蓋する。前記ように蓋体22は磁性体よりなる金属材よりなるため、パレット本体21に設けられたマグネット27の磁力により吸引され、よって蓋体22はパレット本体21に固定(ロック)される。
この際、本実施例では蓋体22に固定用突起50が設けられ、閉蓋状態において固定用突起50が多数個取り基板40をパレット本体21に向け押圧付勢するよう構成されている。これにより、多数個取り基板40を基板固定パレット20内に強固に固定することができ、多数個取り基板40が基板固定パレット20内でずれるようなことはない。
摩耗検出装置は、メインコントローラ12を有する。この摩耗検出装置としてのメインコントローラ12は、後に詳述するように、ルータビット6が接続部42を切削加工(除去加工)する加工距離に基づき、ルータビット6に発生する摩耗量を検出するものである。本実施例においては、ルータビット6が接続部42を切削加工する加工距離を演算により求める摩耗量検出方法を用いた例について説明するが、撮像素子或いは非接触センサー等を摩耗検出装置として用い、ルータビット6に発生する摩耗量を直接的に検出する方法を用いることも可能である。
加工位置移動装置は、メインコントローラ12及びルータ移動ロボット7Zを有する。この加工位置移動装置は、ルータビット6の摩耗量が既定の寿命摩耗量を超えた際、ルータ移動ロボット7Zを駆動してルータビット6を上下方向(Z方向)に移動させ、これによりルータビット6の多数個取り基板40に対する加工位置を記寿命摩耗量となった加工位置から異なる位置に移動させる機能を奏するものである(これについては、後に詳述する)。
次に、上記構成とされた基板加工装置1を用いて多数個取り基板40の接続部42を除去する処理(基板加工処理という)について説明する。図7は、基板加工装置1のメインコントローラ12が実行する多数個取り基板40の基板加工処理を示すフローチャートである。尚、基板加工装置1には、基板加工処理を開始する前において予め新規のルータビット6(切削加工をまだ実施してないルータビット)が取り付けられているものとする。
基板加工装置1が起動して基板加工処理が開始されると、先ず基板加工処理に必要な各種データを入力する処理が行われる(ステップ10。尚、図ではステップをSと略称している)。この入力処理は、オペレーションパネル15を介して行われる。入力される具体的なデータは、接続部42の長さL(図6参照)、接続部42の個数M、多数個取り基板40の処理予定枚数N、多数個取り基板40の厚さW、及びルータビット6の刃長Tである。
入力処理が終了すると、次にメインコントローラ12はステップ10で入力されたデータを取得し、入力されたデータの内、多数個取り基板40の厚さW及びルータビット6の刃長Tから、加工領域Pの長さを演算により求める(ステップ12)。ここで、図8を用いて加工領域Pxについて説明する。
前記のように、ルータビット6は高速回転することにより、刃6Bにより被加工物である多数個取り基板40に対し溝加工(切削加工)を行うものである。これにより、接続部42は除去され、プリント基板41は個片化される。この接続部42を除去する際、ルータビット6の刃6Bも摩耗する。この刃6Bの摩耗量は経時的に増大し、やがて図8(A)に示すように他の部位に比べて断面の直径が小さい摩耗部6Cが形成される。
このように摩耗部6Cが発生すると、接続部42の適正な除去が行えなくなると共に、ルータビット6の強度も弱くなってしまう。このため、摩耗部6Cの摩耗量が所定値以上に大きくなった場合、ルータビット6を新しいものに取り替えることが行われている(この取替えが必要となる摩耗量を、以下寿命摩耗量という)。
従来では、多数個取り基板40はルータビット6の刃6Bの同一位置のみに接触して切削加工を行う構成とされており、その同一位置で寿命摩耗量以上の摩耗部6Cが発生した場合、ルータビット6を取り替えることが行われてきた。
しかしながら、ルータビット6の刃6Bの長さは、刃6Bの直径がφ1mmである場合4〜5mm程度である。これに対し、被加工物となる多数個取り基板40の板厚は一般に0.5mm程度である。よって、従来ではルータビット6の刃6Bの一部にのみに摩耗部6Cが発生した状態で、換言すると加工が可能な領域を多く残した状態でルータビット
6を交換することが行われていた。
これに対して本実施例では、ステップ12において、多数個取り基板40に対して切削加工(接続部42の除去処理)を行いうる刃6Bの最小領域を求めている(この最小領域を加工領域Pxという)。この加工領域Pxは、ルータビット6の刃長Tと多数個取り基板40の厚さWとから求めることができる。
図8に示す実施例では、刃6Bに設定される最大加工領域数Xmaxが4(Xmax=4)である場合を示している。よって、刃6Bには加工領域P1〜P4の4つの加工領域が設定されている。このように、コントローラ12は、ルータビット6の刃長Tと多数個取り基板40の厚さWに基づき加工領域P1〜P4を設定する加工条件取得装置としても機能する。
尚、刃6Bに設定される最大加工領域数XmaxはXmax=4に限定されるものではなく、上記のようにルータビット6の刃長Tと多数個取り基板40の厚さWとから求められる。具体的には、ルータビット6の刃長Tが長いほど一般的に最大加工領域数Xmaxは増大し、基板40の厚さWが厚くなるほど一般に最大加工領域数Xmaxは減少する。
加工領域Pxが求められると、続いて初期値の設定が行われる(ステップ14)。この初期値設定処理では、多数個取り基板40の加工枚数nが1にセットされ(n←1)、加工領域値Xが1にセットされ(X←1)、積算加工距離Dnが0にセットされる(Dn←0)。ここで、積算加工距離Dnとは、ルータビット6が切削加工を行った総距離である。
本実施例では後述するように、ルータビット6の摩耗部6Cが寿命摩耗量となったか否かをルータビット6が切削加工を行った総距離に基づき判定する方法を用いている。また、上記のように基板加工処理を開始する前では、基板加工装置1には新規のルータビット6が取り付けられている。このため、上記のようにステップ14において、積算加工距離Dnの初期値を0にセットする(Dn←0)。
上記の初期値の設定が終了すると、続いて多数個取り基板40の接続部42をルータビット6で除去する基板分割処理が実施される(ステップ16)。
基板分割処理を実施するには、先ず多数個取り基板40が搭載された基板固定パレット20を基板加工装置1に装着する。基板加工装置1には図示しない基板固定パレット20の固定機構が設けられている。この固定機構により、基板固定パレット20は装着台8の上部に装着される。この装着状態において、装着台8の上面とパレット本体21との間には、スペーサ33の高さに対応した第2の通風路39が形成される。
この装着処理が終了すると、識別センサー16からの信号に基づき、装着された多数個取り基板40の種類を認定する。識別センサー16は、パレット本体21に形成された識別孔35の配設位置や孔径等を検出し、この検出情報をメインコントローラ12に送信する。メインコントローラ12には、予め基板固定パレット20に搭載した多数個取り基板40の形状データが記憶されている。メインコントローラ12は、識別センサー16から送信される検出情報に基づき、基板加工装置1に装着された多数個取り基板40(基板固定パレット20)の形状データを図示しない記憶装置から読み取る。
次に,メインコントローラ12は、ルータコントローラ13を介してルータヘッド5を起動してルータビット6を回転させると共に、多数個取り基板40に対してルータビット6を移動させて接続部42の除去を行う処理を開始する。尚、これと同時にメインコントローラ12は集塵機10を起動する。これにより、集塵装置4による切粉の吸引処理が開始される。
基板加工装置1による接続部42の除去は、具体的には次のように行われる。先ず、メインコントローラ12は予め記憶している多数個取り基板40の形状データより、除去しようとする接続部42を選定する。続いて、除去しようとする接続部42の位置データを読み込み、ルータ移動ロボット7X〜7Zを駆動することにより、ルータビット6を除去しようとする接続部42の上部位置まで移動させる。
続いて、メインコントローラ12はルータ移動ロボット7X〜7Zを駆動し、ルータビット6を基板固定パレット20(蓋体22)に形成されたルータ用孔30を介して除去しようとする接続部42の近傍の分離溝43に挿入する(図6参照)。
この際、前記したステップ14において加工領域値XがX=1に設定されているため、メインコントローラ12はルータビット6の刃6Bに設定された加工領域P1〜P4の内、最も下側(Z2方向側)に位置する加工領域P1が接続部42の切削加工を行えるよう、多数個取り基板40に対するルータビット6のZ方向の位置決めを行う(図8(A)参照)。この位置決め処理は、メインコントローラ12がルータ移動ロボット7Zを駆動制御することにより行われる。
続いて、メインコントローラ12は、ルータビット6のZ方向の位置を固定した状態で、前記形状データに基づきルータ移動ロボット7X,7Yを駆動してルータビット6をX,Y方向に移動させ接続部42の切削処理を行う。これにより、多数個取り基板40に形成された接続部42は、ルータビット6により除去される。メインコントローラ12はルータ移動ロボット7X〜7Zを駆動制御することにより、上記の切削処理を全ての接続部42に対して実施する。
尚、このルータビット6により接続部42を除去する際、多数個取り基板40には強い外力が印加されるが、多数個取り基板40は基板固定パレット20に確実に保持されているため、多数個取り基板40がずれるようなことはない。
また、基板固定パレット20内及び基板固定パレット20と基板加工装置1との間には、集塵機10が生成する吸引風が流れる第1及び第2の通風路38,39が形成されており、接続部42の切削処理中に発生した切粉はこの第1及び第2の通風路38,39を介して集塵機10に排出される。よって、切粉が基板固定パレット20に残留することはなく、分割されたプリント基板41、及びこれが搭載される電子機器に切粉が付着することもなく、プリント基板41及び電子機器の信頼性を高めることができる。
ステップ18では、上記した多数個取り基板40に対する基板分割処理(ステップ16の処理)が終了したか否かを判断する。ここにおける基板分割処理の終了判断は、1枚の多数個取り基板40に対する処理が終了したか否かを判断する処理である。
このステップ18で基板分割処理が終了したと判断された場合(YESと判断された場合)には、処理はステップ20に進み、メインコントローラ12は単位加工距離Dの演算処理を行う。この単位加工距離Dとは、ルータビット6が1枚の多数個取り基板40が有する接続部42の全てを除去するのに要した切削加工距離である。この単位加工距離Dは、接続部42の長さLと接続部42の個数Mとを乗算することにより求めることができる(D←L×M)。
ステップ20で単位加工距離Dが演算されると、メインコントローラ12は前回までの積算加工距離Dnと今回の単位加工距離Dとを加算し、これを新たに積算加工距離Dnとする(Dn←Dn+D:ステップ22)。よって、ステップ22で演算される積算加工距離Dnは、新品のルータビット6が基板加工装置1が装着された後、多数個取り基板40に対して切削処理を行った総切削加工距離となる。
ステップ22で積算加工距離Dnが演算されると、メインコントローラ12は積算加工距離Dnと寿命摩耗距離Dmaxとの比較処理を行う(ステップ24)。
ここで、寿命摩耗距離Dmaxについて説明する。説明の便宜上、寿命摩耗距離Dmaxの説明に先立ち、寿命摩耗距離Dmaxの前提となる寿命摩耗量について説明する。寿命摩耗量とは、ひとつの加工領域Pxにおいて研削加工が行われた結果、当該加工位置が経時的に摩耗して使用することができなくなる摩耗量をいう。このルータビット6の寿命摩耗量は、予め実験等により求めることができる。
また、ルータビット6の摩耗量は、ルータビット6により切削加工される被加工物(本実施例では、接続部42)の研削距離に相関している。即ち、ルータビット6による被加工物の切削距離が長くなるほど摩耗量は増大する。そこで本実施例では寿命摩耗量を切削距離に換算し、これにより寿命摩耗距離Dmaxとしている。従って、ルータビット6の新品状態からの積算加工距離Dnを求め、この積算加工距離Dnが寿命摩耗距離Dmaxを超えた場合、ルータビット6には寿命摩耗量の摩耗が発生したと判断することができる。
ステップ24において、積算加工距離Dnが寿命摩耗距離Dmaxを越えていないと判断された場合(NOと判断された場合)、ルータビット6による接続部42の切削加工(除去処理)は可能である。そこでステップ24で否定判断がされると、メインコントローラ12は多数個取り基板40の処理予定枚数Nの加工が終了した否かを判断する(ステップ26)。
ステップ26において、処理予定枚数Nの多数個取り基板40に対する分離処理が終了すると、メインコントローラ12は多数個取り基板40に対する分離処理を終了する。一方、ステップ連通孔26において処理予定枚数Nの多数個取り基板40の分離処理が終了していないと判断すると、メインコントローラ12は加工枚数nを“1”だけインクリメントし(ステップ28)、処理をステップ16に戻す。以下、処理予定枚数であるN枚の多数個取り基板40に対する分離処理が終了するまで、ステップ16〜ステップ26の処理は繰り返し実施される。
一方、上記したステップ24において、積算加工距離Dnが寿命摩耗距離Dmaxを越えたと判断された場合(YESと判断された場合)は、メインコントローラ12は加工領域値Xをステップ30でインクリメント(X←X+1)されると共に、このインクリメントされた加工領域値Xが最大加工領域数Xmaxを越えたか否かを判定する(ステップ32)。
最大加工領域数Xmaxとは、1本のルータビット6に設定しうる加工領域Pxの最大数である。この最大加工領域数Xmaxは、加工領域Pxとルータビット6の刃長Tとにより求めることができる。具体的には、T=Px×n+r(nは整数、0<r<Px)と示される場合、nが最大加工領域数Xmaxとなる。尚、前記したように、加工領域Pxはルータビット6の刃長Tと多数個取り基板40の厚さWとから求めることができる。
ステップ32において加工領域値Xが最大加工領域数Xmax以下であると判断された場合は、ルータビット6に多数個取り基板40に対して切削加工が可能な加工領域Pxが存在している場合である。よってこの場合、メインコントローラ12はルータ移動ロボット7Zを駆動し、ルータ用孔30でインクリメントされた加工領域値Xに対応した加工領域Pxにより多数個取り基板40が加工されるようルータビット6を移動させる(ステップ40)。
このステップ40におけるルータビット6を移動する具体例を図8を用いて説明する。今、図8(A)に示すように加工領域値XはX=1に設定され、よって加工領域P1により多数個取り基板40(接続部42)に対する切削処理を実施していたと仮定する。この状態において、図8(A)に示すように加工領域P1の摩耗量が寿命摩耗距離Dmax以上になると、前記のようにステップ24において肯定判断(YESの判断)がされ、メインコントローラ12はステップ30で加工領域値Xをインクリメントする。この際、ステップ30の処理が実施される前における加工領域値XはX=1であったため、今回のステップ30の処理を実施することにより、加工領域値Xは新たにX=2に設定される。
続いて、メインコントローラ12は、ルータ移動ロボット7Zを駆動して多数個取り基板40に対して相対的にルータビット6を下動させ、ルータビット6を図8(A)に一点鎖線で示すように加工領域P2と対向する位置まで移動させる。これにより、多数個取り基板40は、ルータビット6(刃6B)の摩耗していない加工領域P2と対向した状態となる。そして、この加工領域P2において多数個取り基板40(接続部42)の切削加工が行われることになる。
このルータビット6を多数個取り基板40に対してZ方向に移動させ加工領域Pxを変更する処理は、ステップ24において積算加工距離Dnが寿命摩耗距離Dmaxを越えたと判断される毎に、またステップ32においてステップ30でインクリメントされた加工領域値Xが最大加工領域数Xmaxを越えるまで実施される。
よって、図8(B)に示すようにルータビット6の加工領域P2により多数個取り基板40を切削処理することにより加工領域P2が寿命摩耗距離Dmaxを越えたと判断されると、メインコントローラ12は加工領域P3が多数個取り基板40と対向する位置(同図中、一点鎖線で示す位置)までルータビット6を移動させる。また同様に、図8(C)に示すようにルータビット6の加工領域P3により多数個取り基板40を切削処理することにより加工領域P3が寿命摩耗距離Dmaxを越えたと判断されると、メインコントローラ12は加工領域P4が多数個取り基板40と対向する位置(同図中、一点鎖線で示す位置)までルータビット6を移動させる。
本実施例では、上記のようにルータビット6に設定される加工領域Px(X=1〜4)の内、最下部に位置する加工領域P1で最初に多数個取り基板40(接続部42)の切削処理を行い、この加工領域P1の摩耗量が寿命摩耗距離Dmaxになった場合、加工領域P1より上部の(本体部6Aに近い)加工領域P2で切削処理を実施する。続いて、加工領域P2の摩耗量が寿命摩耗距離Dmaxになった場合、加工領域P2より上部の(本体部6Aに近い)加工領域P3で切削処理を実施する。
このように、最下部に位置する加工領域P1から順次上方に位置する加工領域に切削位置を移動させることにより、ルータビット6の切削強度を維持することができ、ルータビット6に寿命摩耗距離Dmax(寿命摩耗量)となった加工領域Pxが発生し、これに伴い刃6Bの多数個取り基板40に対する切削加工位置を変更しても、切削加工に対する安定性及び安全性を維持させることができる。
一方、図8(D)に示すようにルータビット6の加工領域P4により多数個取り基板40を切削処理することにより加工領域P4が寿命摩耗距離Dmaxを越えたと判断された場合、ステップ30で演算される加工領域値Xの値はX=5となる。図8に示す例では最大加工領域数XmaxはXmax=4であるため、この場合でのステップ32の判断は肯定判断(YESの判断)となる。このようにステップ32において、加工領域値Xが最大加工領域数Xmaxを越えた状態は、図8(D)に示すように、全ての加工領域P1〜P4において、寿命摩耗距離Dmaxの加工が行われた状態(寿命摩耗が発生している状態)、換言するとルータビット6を交換する必要がある場合である。
よって、メインコントローラ12はステップ32で肯定判断が行われると、ステップ34でルータビット6の交換が必要であることを知らせるアラームを発生させる。このアラームは、新規のルータビット6への交換処理が終了するまで実施される(ステップ36)。一方、新規のルータビット6への交換処理が終了すると(ステップ36で肯定判断が行われると)、メインコントローラ12は加工領域値Xを1にセットすると共に積算加工距離DnをPにセットする(X←1,Dn←0)。以上のステップ30〜40までの処理が終了すると、メインコントローラ12は処理をステップ26に戻し、それ以降の処理を続行する。
上記のように本実施例に係る基板加工装置1及びこれを用いた基板加工方法は、従来の基板加工装置及び基板加工方法に比べ、ルータビット6の寿命を延ばすことができる。具体的には、ルータビット6の一箇所において寿命摩耗量以上の摩耗が発生した場合、直ちにこのルータビット6を交換することが行われていたため、ルータビット6による切削工を行いうる加工距離は寿命摩耗距離Dmaxであった。これに対して本実施例では、図8に示す加工領域値XがX=4である場合には、1本のルータビット6により多数個取り基板40を切削加工しうる加工距離は(Dmax×4)となり、従来の4倍の距離となる。
このように、1本のルータビット6により切削しうる加工距離は従来に比べ増大するため、ルータビット6の使用個数の低減を図ることができ、加工コストの低減を図ることができる。また、ルータビット6の交換作業数の低減するため、基板加工装置1による多数個取り基板40の加工効率を高めることができる。
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は上記した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能なものである。
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は上記した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能なものである。
具体的には、本実施例では基板固定パレット20をルータビット6を用いる基板加工装置1に適用した例を示したが、他の加工装置に基板固定パレット20を適用することも可能である。
また本実施例では、加工装置をプリント基板の加工に適用した例ついて説明したが、本実施例に係る加工装置は、アクリル板、ガラス板や木工等の加工にも同様に適用することが可能なものである。
以上の実施例を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
(付記1)
ルータビットを用いて基板の被加工部の加工を行う基板加工装置において、
前記ルータビットを前記基板に対して昇降させる移動装置と、
前記ルータビットの摩耗量を検出する摩耗検出装置と、
前記摩耗検出装置で検出される前記ルータビットの摩耗量が寿命摩耗量を超えた際、前記移動装置を駆動して前記ルータビットを上昇又は下降させ、前記ルータビットの前記基板に対する加工位置を、前記寿命摩耗量となった加工位置から異なる位置に移動させる加工位置移動装置とを有する基板加工装置。
(付記2)
更に、前記基板の前記被加工部の長さと、前記基板の前記被加工部の個数を取得する加工条件取得装置を設け、
前記摩耗検出装置は、加工を行った前記被加工部の長さと前記被加工部の個数とに基づき前記摩耗量を演算する付記1記載の基板加工装置。
(付記3)
前記摩耗検出装置は、前記ルータビットの形状を検出することにより前記摩耗量を求める付記1記載の基板加工装置。
(付記4)
前記加工条件取得装置は、前記基板の厚さを取得し、前記ルータビットの刃長を前記基板の厚さに応じて複数の加工領域を設定し、
前記加工位置移動装置は、前記ルータビットの摩耗量が寿命摩耗量となった際、前記ルータビットの前記基板を加工する加工領域を、前記寿命摩耗量となった加工領域から異なる加工領域に移動させる付記1乃至3のいずれか一項に記載の基板加工装置。
(付記5)
前記基板は多数個取り基板であり、前記多数個取り基板が固定される基板固定パレットが装着されることにより、複数の前記基板を一定の高さに保持する装着台を有する付記1乃至4のいずれか一項に記載の基板加工装置。
(付記6)
ルータビットを用いて基板の被加工部の加工を行う基板加工方法において、
前記被加工部を除去する加工により摩耗する前記ルータビットの摩耗量を求め、
該摩耗量が寿命摩耗量を超えた際、前記ルータビットを上昇又は下降させ、前記ルータビットの前記基板に対する加工位置を、前記寿命摩耗量となった加工位置から異なる位置に移動させる基板加工方法。
(付記7)
前記ルータビットの摩耗量を前記被加工部の長さと、前記被加工部の個数と、前記多数個取り基板の加工枚数とに基づき演算する付記6記載の基板加工方法。
(付記8)
前記ルータビットの摩耗量を、前記ルータビットの形状を検出することにより求める付記6記載の基板加工方法。
(付記9)
前記ルータビットの刃長を前記基板の厚さに応じて複数の加工領域を設定しておき、前記ルータビットの摩耗量が既定の寿命摩耗量となった際、前記ルータビットの前記多数個取り基板を加工する加工領域を、前記寿命摩耗量となった加工領域から異なる加工領域に移動させる付記6乃至8のいずれか一項に記載の基板加工方法。
図1は、本発明の一実施例である基板加工装置の構成図である。 図2は、本発明の一実施例である基板加工装置の加工装置本体を拡大して示す構成図である。 図3は、基板固定パレットの開蓋した状態を示す斜視図である。 図4は、基板固定パレットの閉蓋した状態を示す斜視図である。 図5は、基板加工装置で加工される多数個取り基板を示す平面図である。 図6は、ルータビットにより接続部を切断する様子を示す図である。 図7は、基板加工処理を示すフローチャートである。 図8は、本発明の一実施例である基板加工装置の動作を説明するための図である。
符号の説明
1 基板加工装置
2 基台
3 加工装置本体
4 集塵装置
5 ルータヘッド
6 ルータビット
7X,7Y,7Z ルータ移動ロボット
8 装着台
9 集塵チャンバ
10 集塵機
12 メインコントローラ
13 ルータコントローラ
14 ロボットコントローラ
15 オペレーションパネル
20 基板固定パレット
21 パレット本体
22 蓋体
36 蓋開状態保持機構
40 被加工物
41 基板
42 接続部
43 分離溝
44 枠状部
50 固定用突起
L 接続部の長さ
M 接続部の個数
N 処理予定枚数
n 加工枚数
W 多数個取り基板の厚さ
T ルータビット6の刃長
Px 加工領域
X 加工領域値
Dn 積算加工距離
Dmax 寿命摩耗距離
Xmax 最大加工領域数

Claims (5)

  1. ルータビットを用いて基板の被加工部の加工を行う基板加工装置において、
    前記ルータビットを前記基板に対して昇降させる移動装置と、
    前記ルータビットの摩耗量を検出する摩耗検出装置と、
    前記摩耗検出装置で検出される前記ルータビットの摩耗量が寿命摩耗量を超えた際、前記移動装置を駆動して前記ルータビットを上昇又は下降させ、前記ルータビットの前記基板に対する加工位置を、前記寿命摩耗量となった加工位置から異なる位置に移動させる加工位置移動装置とを有する基板加工装置。
  2. 更に、前記基板の前記被加工部の長さと、前記基板の前記被加工部の個数を取得する加工条件取得装置を設け、
    前記摩耗検出装置は、加工を行った前記被加工部の長さと前記被加工部の個数とに基づき前記摩耗量を演算する請求項1記載の基板加工装置。
  3. 前記加工条件取得装置は、前記基板の厚さを取得し、前記ルータビットの刃長を前記基板の厚さに応じて複数の加工領域を設定し、
    前記加工位置移動装置は、前記ルータビットの摩耗量が寿命摩耗量となった際、前記ルータビットの前記基板を加工する加工領域を、前記寿命摩耗量となった加工領域から異なる加工領域に移動させる請求項2に記載の基板加工装置。
  4. 前記基板は多数個取り基板であり、前記多数個取り基板が固定される基板固定パレットが装着されることにより、複数の前記基板を一定の高さに保持する装着台を有する請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板加工装置。
  5. ルータビットを用いて基板の被加工部の加工を行う基板加工方法において、
    前記被加工部を除去する加工により摩耗する前記ルータビットの摩耗量を求め、
    該摩耗量が寿命摩耗量を超えた際、前記ルータビットを上昇又は下降させ、前記ルータビットの前記基板に対する加工位置を、前記寿命摩耗量となった加工位置から異なる位置に移動させる基板加工方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010161181A (ja) * 2009-01-07 2010-07-22 Denso Corp 基板分割用刃具及び基板分割方法
KR101479633B1 (ko) 2013-07-22 2015-01-07 바이옵트로 주식회사 클램핑 장치
WO2020105984A1 (ko) * 2018-11-20 2020-05-28 한국생산기술연구원 공구 마모를 고려한 공구 위치 가변 가공 장치 및 이를 이용한 공구 위치 제어 방법
JP2021027093A (ja) * 2019-08-01 2021-02-22 株式会社竹原理研 基板分割装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011009507A1 (de) * 2011-01-26 2012-07-26 Gas - Automation Gmbh Leiterplattentrenneinrichtung
CN103182658A (zh) * 2011-12-28 2013-07-03 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 机械加工装置
US9849553B2 (en) * 2013-03-12 2017-12-26 Christopher R. Bialy Drilling safety system
WO2015120293A1 (en) * 2014-02-06 2015-08-13 Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University Systems and methods for real-time monitoring of micromilling tool wear
EP2942135B1 (fr) * 2014-05-07 2023-11-29 Airbus (Sas) Procédé de perçage d'un empilage de matériaux, et dispositif de perçage
JP6487475B2 (ja) 2017-02-24 2019-03-20 ファナック株式会社 工具状態推定装置及び工作機械
US10656629B2 (en) * 2018-02-13 2020-05-19 Ford Motor Company Method and system for linking fixture alignment modifications with a workpiece
CN111790933A (zh) * 2020-07-19 2020-10-20 麻城高科自动化设备有限公司 一种液压阀块精加工用双面铣床

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04105813A (ja) * 1990-08-27 1992-04-07 Hitachi Seiko Ltd プリント基板外形加工方法
JPH04316393A (ja) * 1991-04-15 1992-11-06 Oiles Ind Co Ltd プリント基板用ルータ装置
JP2002036182A (ja) * 2000-07-18 2002-02-05 Denso Corp プリント基板分割装置
JP2002178295A (ja) * 2000-12-11 2002-06-25 Hitachi Ltd プリント基板分割装置
JP2008149431A (ja) * 2006-12-20 2008-07-03 Sony Corp 基板分割装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US535939A (en) * 1895-03-19 Drill foe boeing metal
US4230194A (en) * 1979-02-23 1980-10-28 Logan Jr Clifford K Rotary drill bit
US4629372A (en) * 1981-02-02 1986-12-16 Manchester Tool Company Chip-controlling insert
US4802095A (en) * 1986-12-24 1989-01-31 The Boeing Company Method for indicating end mill wear
JP3041651B2 (ja) 1991-03-25 2000-05-15 株式会社リコー 実装プリント基板切断装置
JP3455239B2 (ja) 1992-10-02 2003-10-14 株式会社河原 重量の重いワ−クに対する自動深穴明け加工方法及び該方法の実施に用いる重量の重いワ−クに対する自動深穴明け加工システム
JPH10277420A (ja) 1997-04-09 1998-10-20 Toshiba Corp 裁断装置及び裁断方法
US5882152A (en) * 1997-06-09 1999-03-16 Janitzki; Bernhard M. Multi-bit drill
JP2001156423A (ja) 1999-11-30 2001-06-08 Icom Inc プリント基板分割装置
DE602004020497D1 (de) * 2004-08-12 2009-05-20 Makino Milling Machine Verfahren zur maschinellen bearbeitung eines werkstücks

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04105813A (ja) * 1990-08-27 1992-04-07 Hitachi Seiko Ltd プリント基板外形加工方法
JPH04316393A (ja) * 1991-04-15 1992-11-06 Oiles Ind Co Ltd プリント基板用ルータ装置
JP2002036182A (ja) * 2000-07-18 2002-02-05 Denso Corp プリント基板分割装置
JP2002178295A (ja) * 2000-12-11 2002-06-25 Hitachi Ltd プリント基板分割装置
JP2008149431A (ja) * 2006-12-20 2008-07-03 Sony Corp 基板分割装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010161181A (ja) * 2009-01-07 2010-07-22 Denso Corp 基板分割用刃具及び基板分割方法
KR101479633B1 (ko) 2013-07-22 2015-01-07 바이옵트로 주식회사 클램핑 장치
WO2020105984A1 (ko) * 2018-11-20 2020-05-28 한국생산기술연구원 공구 마모를 고려한 공구 위치 가변 가공 장치 및 이를 이용한 공구 위치 제어 방법
KR20200059358A (ko) * 2018-11-20 2020-05-29 한국생산기술연구원 공구 마모를 고려한 공구 위치 가변 가공 장치 및 이를 이용한 공구 위치 제어 방법
KR102201173B1 (ko) * 2018-11-20 2021-01-13 한국생산기술연구원 공구 마모를 고려한 공구 위치 가변 가공 장치 및 이를 이용한 공구 위치 제어 방법
JP2021027093A (ja) * 2019-08-01 2021-02-22 株式会社竹原理研 基板分割装置
JP2021122055A (ja) * 2019-08-01 2021-08-26 株式会社竹原理研 基板分割装置

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