JP5571331B2 - 切削装置 - Google Patents
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該チャックテーブルに隣接して該チャックテーブルの該第1の切削手段側に該チャックテーブルとともに加工送り方向に移動可能に配設されドレッシングボードを保持する第1のドレッシングボード支持テーブルと、
該チャックテーブルに隣接して該チャックテーブルの該第2の切削手段側に該チャックテーブルとともに加工送り方向に移動可能に配設されドレッシングボードを保持する第2のドレッシングボード支持テーブルと、を具備している、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
図示の実施形態における切削装置は、静止基台2と、該静止基台2上に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、該チャックテーブル機構3に保持された被加工物を切削する切削機構4とを具備している。
切削機構4は、上記静止基台2上に固定された門型の支持台41を具備している。この門型の支持台41は、上記切削作業領域60を跨ぐように配設されている。支持台41の側壁には加工送り方向(X軸方向)と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向(Y軸方向)に沿って平行に配設された2本のガイドレール411、411が設けられているとともに、この2本のガイドレール411、411に沿って第1の基部42aおよび第2の基部42bがそれぞれ割り出し送り方向(Y軸方向)に摺動可能に配設されている。図示の実施形態における切削機構4は、第1の基部42aおよび第2の基部42bをそれぞれ2本のガイドレール411、411に沿って割り出し送り方向(Y軸方向)に移動するための第1の割り出し送り手段43aおよび第2の割り出し送り手段43bを具備している。第1の割り出し送り手段43aおよび第2の割り出し送り手段43bは、それぞれ周知のボールスクリュー機構によって構成されている。
図4には、被加工物である半導体ウエーハの斜視図が示されている。図4に示す半導体ウエーハ10は、表面10aに複数のストリート101が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート101によって区画された複数の領域にIC、LSI等のデバイス102が形成されている。なお、この半導体ウエーハ10のストリート101には、デバイス102の機能をテストするためのテスト エレメント グループ(Teg)と称するテスト用の金属パターン104が部分的に複数配設されている。この半導体ウエーハ10は、環状のダイシングフレームFに装着されたダイシングテープTの表面に貼着される。このようにダイシングテープTを介してダイシングフレームFに支持された半導体ウエーハ10は、図示しない搬送手段によって上記チャックテーブル34に載置される。チャックテーブル34に半導体ウエーハ10が載置されたならば、図示しない吸引手段を作動することにより、半導体ウエーハ10はチャックテーブル34上にダイシングテープTを介して吸引保持される。なお、半導体ウエーハ10をダイシングテープTを介して支持するダイシングフレームFは、チャックテーブル34に装着されたクランプ343によって固定される。
3:チャックテーブル機構
32:移動基台
34:チャックテーブル
36:加工送り手段
4:切削機構
42a:第1の基部
42b:第2の基部
43a:第1の割り出し送り手段
43b:第2の割り出し送り手段
44a:第1の懸垂ブラケット
44b:第2の懸垂ブラケット
45a:第1の切り込み送り手段
45b:第2の切り込み送り手段
46a:第1のスピンドルユニット
46b:第2のスピンドルユニット
462a:第1の回転スピンドル
462b:第2の回転スピンドル
463a:第1の切削ブレード
463b:第2の切削ブレード
5a:第1のドレッシングボード支持テーブル
5b:第2のドレッシングボード支持テーブル
6a:第1のドレッシングボード
6b:第2のドレッシングボード
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを加工送り方向に移動せしめる加工送り手段と、該加工送り方向と直交する割り出し送り方向に沿って移動可能に配設された第1の回転スピンドルに装着された第1の切削ブレードを備えた第1の切削手段と、該第1の切削手段を割り出し送り方向に移動せしめる第1の割り出し送り手段と、該第1の回転スピンドルと同一軸線上に配設された第2の回転スピンドルに該第1の切削ブレードと対向して装着された第2の切削ブレードを備えた第2の切削手段と、該第2の切削手段を割り出し送り方向に移動せしめる第2の割り出し送り手段と、を具備する切削装置において、
該チャックテーブルに隣接して該チャックテーブルの該第1の切削手段側に該チャックテーブルとともに加工送り方向に移動可能に配設されドレッシングボードを保持する第1のドレッシングボード支持テーブルと、
該チャックテーブルに隣接して該チャックテーブルの該第2の切削手段側に該チャックテーブルとともに加工送り方向に移動可能に配設されドレッシングボードを保持する第2のドレッシングボード支持テーブルと、を具備している、
ことを特徴とする切削装置。 - 該第1の切削ブレードと第2の切削ブレードは種類が異なり、該第1のドレッシングボード支持テーブルには該第1の切削ブレードに対応した第1のドレッシングボードが保持され、該第2のドレッシングボード支持テーブルには該第2の切削ブレードに対応した第2のドレッシングボードが保持される、請求項1記載の切削装置。
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