JP6086790B2 - 切削装置 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 200
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Description
4 被加工物保持手段(保持手段、治具テーブル)
6 X軸移動機構
8,8a,8b 柱部
10,10a,10b 架橋部
12 切削手段
12a 第一切削手段
12b 第二切削手段
12c 第三切削手段
12d 第四切削手段
14,14a,14b,14c,14d 移動機構
16 ドレスボード保持手段
16a 第一ドレスボード保持手段
16b 第二ドレスボード保持手段
18,18a,18b X軸移動機構
20 ガイドレール
22 X軸移動テーブル
24 ボールネジ
26 パルスモータ
28 ガイドレール
30 Y軸移動テーブル
32 ボールネジ
34 パルスモータ
36 ガイドレール
38 Z軸移動テーブル
40 パルスモータ
42 切削ブレード
42a 第一切削ブレード
42b 第二切削ブレード
42c 第三切削ブレード
42d 第四切削ブレード
44 スピンドル
44a 第一スピンドル
44b 第二スピンドル
44c 第三スピンドル
44d 第四スピンドル
46 ガイドレール
48 X軸移動テーブル
50 ボールネジ
52 パルスモータ
54 切削領域
56,56a,56b 切削ブレード退避領域
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物を切削する第一切削ブレードと該第一切削ブレードが装着される第一スピンドルとを有した第一切削手段と、該保持手段で保持された被加工物を切削する第二切削ブレードと該第二切削ブレードが装着される第二スピンドルとを有した第二切削手段と、を少なくとも備えた切削装置であって、
該第一切削手段と該第二切削手段とで該保持手段で保持された被加工物を切削可能な領域を切削領域とし、該切削領域の外側で該第一切削手段と該第二切削手段の該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとを退避させる領域を切削ブレード退避領域とし、
該切削ブレード退避領域には該第一切削ブレードまたは該第二切削ブレードをドレッシングするためのドレスボードを保持するドレスボード保持手段が設けられ、
該保持手段をX軸方向に移動させる第一X軸移動手段と、
該ドレスボード保持手段をX軸方向に移動させる第二X軸移動手段と、
該第一切削手段をY軸方向に移動させる第一移動手段と、
該第二切削手段をY軸方向に移動させる第二移動手段と、を更に備えることを特徴とする切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013084906A JP6086790B2 (ja) | 2013-04-15 | 2013-04-15 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013084906A JP6086790B2 (ja) | 2013-04-15 | 2013-04-15 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014205223A JP2014205223A (ja) | 2014-10-30 |
JP6086790B2 true JP6086790B2 (ja) | 2017-03-01 |
Family
ID=52119227
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013084906A Active JP6086790B2 (ja) | 2013-04-15 | 2013-04-15 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6086790B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2607627B2 (ja) * | 1988-06-08 | 1997-05-07 | 株式会社ナガセインテグレックス | 研磨方法 |
JPH07169720A (ja) * | 1993-12-14 | 1995-07-04 | Sony Corp | ダイシング装置 |
JP5571331B2 (ja) * | 2009-07-07 | 2014-08-13 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
-
2013
- 2013-04-15 JP JP2013084906A patent/JP6086790B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014205223A (ja) | 2014-10-30 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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