JP2010071830A - 光電式エンコーダ - Google Patents
光電式エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010071830A JP2010071830A JP2008240216A JP2008240216A JP2010071830A JP 2010071830 A JP2010071830 A JP 2010071830A JP 2008240216 A JP2008240216 A JP 2008240216A JP 2008240216 A JP2008240216 A JP 2008240216A JP 2010071830 A JP2010071830 A JP 2010071830A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- phase
- origin
- unit
- photoelectric encoder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 10
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000001934 delay Effects 0.000 claims 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 abstract description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 12
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 46
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 16
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000003340 mental effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
【解決手段】スケール10が、インクリメンタルトラック12の少なくとも一箇所に形成された反射スリットからなる原点マーク14を有し、検出部(20)が、光照射部(24)と、該光照射部を中心としてその周囲に配置された、4つの位相が異なるインクリメンタル信号を出力するメイン受光部30a、30b、30ab、30bb、及び、前記光照射部を点対称の中心として測長方向に対して垂直方向に配置された、一対の原点信号受光部32z、32zbを有し、信号処理部40が、3相信号生成部48、2相正弦波信号生成部50、方向判別部56、内部周期カウンタ58、及び、原点信号処理部60を有する。
【選択図】図5
Description
12…インクリメンタルトラック
14…原点マーク
20…検出器
24…点光源
26…投光用光ファイバ
28…空間フィルタ
30a、30b、30ab、30bb…メイン受光部
32z、32zb…原点信号受光部
40…信号処理部
42…インクリメンタル信号処理部
48…3相信号生成部
50…2相正弦波信号生成部
56…方向判別部
58…内部周期カウンタ
60…原点信号処理部
67…レベル値記憶回路
Claims (6)
- 測長方向に沿って反射型位相格子が形成されたインクリメンタルトラックを有するメインスケールと、
このメインスケールと相対変位する検出部と、を備えた光電式エンコーダにおいて、
前記スケールに設けられた、前記インクリメンタルトラックの少なくとも一箇所に形成された反射スリットからなる原点マークと、
前記検出部に設けられた、前記メインスケールに拡散光を照射する光照射部、該光照射部を中心としてその周囲に配置されると共に前記光照射部から照射された光が前記メインスケールで回折されて形成された干渉縞を受光して、測長方向に沿って配置されて90度位相差、且つ、測長方向に対して垂直方向に沿って配置されて180度位相差の関係となっている4つの受光窓を有して4つの位相が異なるインクリメンタル信号を出力するメイン受光部、及び、前記光照射部を点対称の中心として前記測長方向に対して垂直方向に配置されると共に原点信号を出力する一対の原点信号受光部と、
前記4つのインクリメンタル信号から90度位相差の3相信号を生成する3相信号生成部、この3相信号をベクトル合成して90度位相差の2相正弦波信号を生成する2相正弦波信号生成部、前記メインスケールに対する前記検出部の相対変位の方向を判別してエッジを検出する方向判別部、相対変位の周期を計数する内部周期カウンタ、及び、前記原点信号受光部の出力から原点信号を発生する原点信号処理部、を有する信号処理部と、
を備えたことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記原点マークの幅が、前記メイン受光部の幅の1/4以下で、且つ、前記原点信号受光部の幅の半分程度であることを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
- 前記光照射部が、点光源又は空間フィルタを有する光源であることを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
- 前記信号処理部が、原点パルスと90度位相差矩形信号の間隔を検出するパルス間隔検出回路と、検出したパルス間隔により、前記周期カウンタ開始命令発生部のスタートトリガ位置を変更する回路と、を有することを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
- 前記信号処理部が、90度位相差の倍数を遅延させるカウンタ開始指令値遅延回路を有することを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
- 前記信号処理部が、原点信号の受光レベルを記憶する回路を有することを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008240216A JP5113000B2 (ja) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | 光電式エンコーダ |
US12/585,394 US8173951B2 (en) | 2008-09-19 | 2009-09-14 | Optical encoder comprising a main and reference light receiving portions with a three-phase signal generation for detecting displacement and direction of displacement of an incremental grating track |
CN2009101721957A CN101676692B (zh) | 2008-09-19 | 2009-09-21 | 光电式编码器 |
DE102009042323.0A DE102009042323B4 (de) | 2008-09-19 | 2009-09-21 | Optischer Kodierer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008240216A JP5113000B2 (ja) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | 光電式エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010071830A true JP2010071830A (ja) | 2010-04-02 |
JP5113000B2 JP5113000B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=41720046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008240216A Active JP5113000B2 (ja) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | 光電式エンコーダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8173951B2 (ja) |
JP (1) | JP5113000B2 (ja) |
CN (1) | CN101676692B (ja) |
DE (1) | DE102009042323B4 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012168167A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-09-06 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法 |
JP2012247221A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Nikon Corp | エンコーダ、駆動システム、及び制御装置 |
JP2013072742A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Thk Co Ltd | エンコーダ、アクチュエータ |
JP2016003945A (ja) * | 2014-06-17 | 2016-01-12 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ及び光学式エンコーダにおける原点信号生成方法 |
JP2016161441A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 位相調整器及びエンコーダ |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5391115B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2014-01-15 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
EP2386832B1 (en) * | 2010-05-10 | 2017-04-12 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder |
CN106289336B (zh) * | 2011-11-09 | 2019-07-09 | 齐戈股份有限公司 | 双通干涉测量编码器系统 |
WO2013070957A1 (en) | 2011-11-09 | 2013-05-16 | Zygo Corporation | Compact encoder head for interferometric encoder system |
JP5964162B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2016-08-03 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
JP2014106210A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Canon Inc | アブソリュートエンコーダ及び絶対位置を求める方法 |
JP6087722B2 (ja) * | 2013-05-16 | 2017-03-01 | 株式会社ミツトヨ | 原点信号発生装置及び原点信号発生システム |
CN103308084B (zh) * | 2013-06-28 | 2016-06-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种用于增量式位移测量装置的光电接收传感器 |
US9484060B2 (en) * | 2013-08-19 | 2016-11-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Encoder |
JP6664155B2 (ja) * | 2015-06-11 | 2020-03-13 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
JP6756477B2 (ja) * | 2015-11-26 | 2020-09-16 | キヤノンプレシジョン株式会社 | エンコーダ |
DE102017200988A1 (de) * | 2017-01-23 | 2018-07-26 | Robert Bosch Gmbh | Geberradanordnung und Verfahren zum Ermitteln einer Absolutwinkelposition und einer Drehrichtung |
CN107462168A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-12-12 | 广东工业大学 | 一种新型阵列光电传感器光栅位移检测系统及方法 |
CN112799056B (zh) * | 2020-12-28 | 2022-12-13 | 上海卫星工程研究所 | 一种星载雷达高度计系统及方法 |
CN116558424B (zh) * | 2023-07-10 | 2023-09-22 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用点光源反射成像的位移测量装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5792116U (ja) * | 1980-11-26 | 1982-06-07 | ||
JPS62238415A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-19 | Hitachi Medical Corp | ロ−タリエンコ−ダ出力位相補正回路 |
JPH03293521A (ja) * | 1990-04-12 | 1991-12-25 | Fanuc Ltd | 高精度エンコーダ |
JPH0894388A (ja) * | 1994-07-28 | 1996-04-12 | Yaskawa Electric Corp | 光学式エンコーダ |
JP2000266566A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Daihen Corp | 真空バリアブルコンデンサの回転位置判別方法 |
JP2006220655A (ja) * | 2005-02-11 | 2006-08-24 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置 |
JP2008203175A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ロータリーエンコーダ |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8432574D0 (en) | 1984-12-22 | 1985-02-06 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale-reading apparatus |
US4943716A (en) * | 1988-01-22 | 1990-07-24 | Mitutoyo Corporation | Diffraction-type optical encoder with improved detection signal insensitivity to optical grating gap variations |
JPH07888Y2 (ja) * | 1988-02-22 | 1995-01-11 | 株式会社ミツトヨ | 光学式変位検出器 |
JP2697919B2 (ja) * | 1989-09-29 | 1998-01-19 | キヤノン株式会社 | 信号内挿回路及び該回路を備えた変位測定装置 |
US6229140B1 (en) * | 1995-10-27 | 2001-05-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement information detection apparatus |
US7091475B2 (en) * | 2003-05-07 | 2006-08-15 | Mitutoyo Corporation | Miniature 2-dimensional encoder readhead using fiber optic receiver channels |
US7126696B2 (en) * | 2003-09-30 | 2006-10-24 | Mitutoyo Corporation | Interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
JP4498024B2 (ja) * | 2004-06-15 | 2010-07-07 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
GB0413710D0 (en) | 2004-06-21 | 2004-07-21 | Renishaw Plc | Scale reading apparatus |
JP4932284B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2012-05-16 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
JP2008232705A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
JP5159139B2 (ja) | 2007-03-29 | 2013-03-06 | 株式会社クラレ | 長繊維不織布の製造方法および人工皮革用基材の製造方法 |
US20090027692A1 (en) * | 2007-07-24 | 2009-01-29 | Mitutoyo Corporation | Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
-
2008
- 2008-09-19 JP JP2008240216A patent/JP5113000B2/ja active Active
-
2009
- 2009-09-14 US US12/585,394 patent/US8173951B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-09-21 DE DE102009042323.0A patent/DE102009042323B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2009-09-21 CN CN2009101721957A patent/CN101676692B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5792116U (ja) * | 1980-11-26 | 1982-06-07 | ||
JPS62238415A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-19 | Hitachi Medical Corp | ロ−タリエンコ−ダ出力位相補正回路 |
JPH03293521A (ja) * | 1990-04-12 | 1991-12-25 | Fanuc Ltd | 高精度エンコーダ |
JPH0894388A (ja) * | 1994-07-28 | 1996-04-12 | Yaskawa Electric Corp | 光学式エンコーダ |
JP2000266566A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Daihen Corp | 真空バリアブルコンデンサの回転位置判別方法 |
JP2006220655A (ja) * | 2005-02-11 | 2006-08-24 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置 |
JP2008203175A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ロータリーエンコーダ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012168167A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-09-06 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法 |
JP2012247221A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Nikon Corp | エンコーダ、駆動システム、及び制御装置 |
JP2013072742A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Thk Co Ltd | エンコーダ、アクチュエータ |
JP2016003945A (ja) * | 2014-06-17 | 2016-01-12 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ及び光学式エンコーダにおける原点信号生成方法 |
JP2016161441A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 位相調整器及びエンコーダ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8173951B2 (en) | 2012-05-08 |
US20100072348A1 (en) | 2010-03-25 |
CN101676692A (zh) | 2010-03-24 |
DE102009042323B4 (de) | 2020-12-03 |
DE102009042323A1 (de) | 2010-04-01 |
CN101676692B (zh) | 2011-02-16 |
JP5113000B2 (ja) | 2013-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5113000B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP5286584B2 (ja) | 絶対位置測長型エンコーダ | |
JP5391115B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP5717633B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
JP6054059B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
JP5829464B2 (ja) | 絶対測長型エンコーダ | |
JP5641746B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
US20170089737A1 (en) | Optical encoder | |
JPH08261724A (ja) | 長さ又は角度測定装置 | |
JP2006071535A (ja) | 変位検出装置 | |
EP1972902B1 (en) | Photoelectric encoder | |
JP6571393B2 (ja) | 光学エンコーダ | |
KR101434925B1 (ko) | 정점 검출 장치 및 변위 측정 장치 | |
KR102632134B1 (ko) | 인코더 장치 | |
JP4445498B2 (ja) | 透過型光学エンコーダ | |
JP6684087B2 (ja) | 光エンコーダ | |
JPH09126818A (ja) | 光電測長または測角装置 | |
JPH0521485B2 (ja) | ||
JPH11118422A (ja) | モアレ縞を用いた寸法測定装置 | |
JPH0521486B2 (ja) | ||
JP2001272252A (ja) | 光学式エンコーダ装置 | |
JPH07198424A (ja) | エンコーダ装置 | |
JP2002296075A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JPH0416713A (ja) | 光学式リニアエンコーダ | |
JP2002286505A (ja) | 光電式リニアエンコーダ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120515 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120821 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121002 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121011 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5113000 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |