JP2012168167A - 光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法 - Google Patents
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- G01D5/36—Forming the light into pulses
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Abstract
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を、それぞれ異なる位相において受光する複数の受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理して2相信号を生成する信号処理装置とを備える。信号処理装置は、2相信号のリサージュ半径に対応したアライメント調整用のモニタ信号を算出することで、前記スケールに対して前記検出ヘッドを静止させた状態で該検出ヘッドのアライメント調整を可能とする。
【選択図】図9
Description
次に、本発明の第1実施形態に係る光電式エンコーダについて図面を参照して詳細に説明する。
第1の実施形態では、2相信号A,Bのリサージュ半径R又はその二乗値R2をYaw方向の姿勢モニタ用信号MYとして用いたが、第2の実施形態では、例えばリサージュ半径Rを特性関数に近似し、その特性関数の逆関数や微分関数を使用する。これにより調整分解能が上がる。
図13は、演算処理をマイコンやPCを用いたソフトウェアによって実現した例を示す図である。
Claims (5)
- 測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、
このスケールに対して相対移動可能に配置され、前記スケールに光を照射する照射部、並びに前記スケールの回折格子で反射または透過された光を、それぞれ異なる位相において受光する複数の受光部を備えた検出ヘッドと、
この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理して2相信号を生成する信号処理装置とを備えた光電式エンコーダにおいて、
前記信号処理装置で、前記2相信号のリサージュ半径に対応したアライメント調整用のモニタ信号を算出することで、前記スケールに対して前記検出ヘッドを静止させた状態で該検出ヘッドのアライメント調整を可能とした
ことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記複数の受光部は、前記照射部を中心として上下左右に配置され、90°ずつ空間的な位相を異ならせた回折格子を介して前記スケールからの光を受光する4つの受光部であり、
前記信号処理装置は、
前記4つの受光部で得られた受光信号を演算処理して前記2相信号を生成する
ことを特徴とする請求項1記載の光電式エンコーダ。 - 前記信号処理装置は、前記リサージュ半径又はその二乗を特性関数に近似し、その逆関数又は微分関数をモニタ信号として求める
ことを特徴とする請求項1又は2記載の光電式エンコーダ。 - 請求項1又は2記載の光電式エンコーダのアライメントを調整するアライメント調整方法であって、
前記信号処理装置から出力される前記2層信号のリサージュ半径又はその二乗であるモニタ信号が最大値となるように前記検出ヘッドの前記スケールに対するYaw方向のアライメントを調整する
ことを特徴とする光電式エンコーダのアライメント調整方法。 - 請求項3記載の光電式エンコーダのアライメントを調整するアライメント調整方法であって、
前記モニタ信号が許容範囲内に入るように前記検出ヘッドの前記スケールに対するYaw方向のアライメントを調整する
ことを特徴とする光電式エンコーダのアライメント調整方法。
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