JP4853961B2 - 光束の拡がり角測定装置 - Google Patents
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本発明の目的は、上記のような比較的大きい光束に対する波長毎の光束の拡がり角を測定することのできる光束の拡がり角測定装置を提供することにある。
第1の手段は、光源から放射された白色光の光束と、該光束を透過させ単色化する複数の特性が異なるバンドパスフィルタと、該光束の光路上に設けられ、バンドパスフィルタを透過した光束の強度を複数の光束断面測定位置で測定する波長感度領域が異なる複数のピンホール付デテクタと、該ピンホール付デテクタで検出された光束の強度から前記複数の光束断面測定位置における光束幅を求め、前記複数の光束断面測定位置における光束幅間の差と前記複数の光束断面測定位置間の距離とから該白色光の成分毎に光束の拡がり角を求める拡がり角測定手段とからなることを特徴とする光束の拡がり角測定装置である。
第2の手段は、第1の手段において、前記ピンホール付デテクタを任意の位置に移動可能なXYZステージを備え、前記拡がり角測定手段は、前記XYZステージへのステージ駆動信号に同期して前記ピンホール付デテクタで検出された光束の強度を取得することを特徴とする光束の拡がり角測定装置である。
本発明では、適切な特性を持つバンドパスフィルタを光路中に入れることにより光束の単色光化を実現する。この方法は、光束形状に変化を与えることなく、光束を単色化(正確にはスペクトルの狭帯域化)できる特徴を有する。また光束の口径変化には、バンドパスフィルタの口径を変えることにより対応できる。これにより、比較的大きい光束について、単色化された光束が容易に得られる。
同図において、1はバンドパスフィルタ収納カセット機構、2はバンドパスフィルタ収納カセット機構1に収納されている個々のバンドパスフィルタ、3はバンドパスフィルタ収納カセット機構1から所望のバンドパスフィルタ4を取り出し、不図示の光源から放射された光路中に設置するバンドパスフィルタ供給用ロボット、4は光路中に設置されたバンドパスフィルタである。
これらの図において、5はバンドパスフィルタ4によって単色化された光束を入射し光束の輪郭を明確化するために設けられたアパーチャ、BKiおよびTHiは、各々i=1,2,3とする時、高さZiに対する、光強度のバックグランド値および光強度の閾値(光束の輪郭を規定する強度)である。
図2(a)に示すように、アパーチャ5は最初の光束断面測定位置Z1の手前直近に設置される。アパーチャ5から出射した光束の拡がり角は高さ(図のZ方向)によらず一様で、アパーチャ寸法が光の回折効果よりかなり大きいという条件下では、アパーチャ5からの光も元の光束と同じ拡がり角を持っている。(実際上、殆どの場合はこの条件に該当する。)
これらの図において、6はXYZステージの一部を構成しX方向の移動が可能な左右ステージ、7はXYZステージの一部を構成しY方向の移動が可能な上下ステージ、8はXYZステージの一部を構成しZ方向の移動が可能な前後ステージ、9はXYZステージ上に設けられる固定アーム、10,11,12は各々光センサとしてのピンホール付デテクタである。
ここで例示したピンホール付デテクタ10,11,12は、それぞれ波長感度領域が異なる。実際に設置されるピンホール付デテクタの数は、各ピンホール付デテクタの波長感度領域と光束の波長領域の広さによって必要な数が定まる。
光センサであるこれらのピンホール付デテクタ10,11,12は、XYZステージによる移動機構により、図2に示した任意の光束断面測定位置Ziに移動可能であって、任意の位置の光束断面の光強度を測定することができる。
同図において、13はピンホール付デテクタ10(11,12)で検出された光強度を増幅するプリアンプ、14はプリアンプ13で増幅された光強度データをデジタル信号に変換するA/D変換器、15はXYZステージの駆動信号に同期したトリガ信号を送信するトリガ信号発生回路、16はXYZステージの駆動信号に同期して検出された光強度データに基づいて光束の拡がり角を求める算出回路である。
図2において、光束断面測定位置Ziにおける光束断面の半径をR(Zi)と表記すると、光束の拡がり角φは、次式で与えられる。
φ=atan[{R(Z2)−R(Z1)}/(Z2−Z1)]
または、
φ=atan[{R(Z3)−R(Z1)}/(Z3−Z1)]
図5は、光センサとしてリニアアレイカメラ17を用いた場合の、光束内の位置と光束強度測定のグラフを示す図である。同グラフにおいて、横軸はリニアアレイカメラ17内の受光位置、縦軸はリニアアレイカメラ出力強度である。
リニアアレイカメラ17が、図5(a)に示すように、光束断面の左端にある場合は、左端付近の位置情報得られ、図5(b)に示すように、光束断面の右側にある場合は、右側付近の位置情報が得られる。その結果、左右2回の測定で1次元光強度が同時に得られ、光強度測定に要する移動回数を少なくすることができる。
さらに、光センサとして撮像カメラを用いる場合も、光束断面の左右において左右2回の測定で撮像面上の2次元強度を同時に得ることができ、光強度測定に要する移動回数を少なくすることができる。
上述のごとく、光センサとして、ピンホール付デテクタ、リニアアレイカメラ、または撮像カメラのいずれを使用しても、異なる高さでの光束断面の輪郭を把握することができ、そのデータを用いて光束の拡がり角を算出することができる。
2 バンドパスフィルタ収納カセット機構に収納されているバンドパスフィルタ 3 バンドパスフィルタ供給用ロボット
4 光路中に設置されたバンドパスフィルタ
5 アパーチャ
6 左右ステージ
7 上下ステージ
8 前後ステージ
9 固定アーム
10,11,12 ピンホール付デテクタ
13 プリアンプ
14 A/D変換器
15 トリガ信号発生回路
16 算出回路
17 リニアアレイカメラ
Claims (2)
- 光源から放射された白色光の光束と、該光束を透過させ単色化する複数の特性が異なるバンドパスフィルタと、該光束の光路上に設けられ、バンドパスフィルタを透過した光束の強度を複数の光束断面測定位置で測定する波長感度領域が異なる複数のピンホール付デテクタと、該ピンホール付デテクタで検出された光束の強度から前記複数の光束断面測定位置における光束幅を求め、前記複数の光束断面測定位置における光束幅間の差と前記複数の光束断面測定位置間の距離とから該白色光の成分毎に光束の拡がり角を求める拡がり角測定手段とからなることを特徴とする光束の拡がり角測定装置。
- 前記ピンホール付デテクタを任意の位置に移動可能なXYZステージを備え、前記拡がり角測定手段は、前記XYZステージへのステージ駆動信号に同期して前記ピンホール付デテクタで検出された光束の強度を取得することを特徴とする請求項1に記載の光束の拡がり角測定装置。
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