JP6393289B2 - レーザドップラ速度計の校正システム及び校正方法 - Google Patents
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Description
図示するように、このレーザドップラ速度計は、レーザ光源101、ビームスプリッタ102、ミラー103、対物レンズ104、光検出器105を備えている。
レーザ光源101から出射されたビームは、ビームスプリッタ102で第1ビームと第2ビームに分岐され、第2のビームは、さらにミラー103で反射される。そして、第1のビームとミラー103で反射した第2のビームは、被測定物200の同じ領域を、2θ異なる方向から照射する。
d =λ/2sinθ
によって表される。したがって、この干渉縞の間隔dは、レーザ光源101の波長と、第1ビームと第2ビームが成す角2θに応じて定まる、レーザドップラ速度計毎に固有の固定値となる。
したがって、光検出器105が出力する検出信号Doutに表れるビート信号の周波数fdを測定することにより、測定した周波数fdとレーザドップラ速度計の固有の干渉縞の間隔dとより、
v= fd×d
によって被測定物200の速度vを計測することができる。
d =λ/2sinθ
に従って定まる。
校正の方法としては、信頼できる速度計を校正器として用い、同じ被測定物の速度を、校正器とレーザドップラ速度計で計測し、校正器で計測した速度Vrefとレーザドップラ速度計で計測した速度vより、
Vref=kvを満たす計数kを補正係数として求め、レーザドップラ速度計において、
v= k×fd×d
によって速度を算出することが考えられる。
なお、本発明は、併せて、異なる二方向からレーザ光を測定領域に照射すると共に前記測定領域の散乱光を検出して検出信号として出力するレーザドップラ速度計の校正方法として、校正するレーザドップラ速度計を、定盤の面上に前記測定領域が位置するように固定するステップと、前記定盤を一軸方向に移動しつつ、当該移動を行っている期間中に前記検出信号に表れるビート信号の周期の数を計数するステップと、前記レーザドップラ速度計と異なる所定の計測装置を用いて前記定盤の前記移動の前後の前記一軸方向の移動距離を計測するステップと、計測した移動距離を計数したビート信号の周期の数で除した値を、前記レーザドップラ速度計が前記測定領域に形成する干渉縞の間隔として算出するステップとを備えた校正方法も提供する。
図1に、校正システムの構成と配置を示す。
ここで、図1aは側方から見た校正システムの構成と配置を、図1bは上方から見た校正システムの構成と配置を表している。
図中に表したようにxyz方向を定めるものとして、校正システムは、定盤1、定盤1を±x方向に移動可能なXステージ2、校正対象のレーザドップラ速度計100を定盤1の上空に支持するスタンド3、レーザ測長器4、定盤1に固定された反射体5、図1aにおいては図示を省略した校正制御装置6を備えている。
さて、このような校正システムにおいて、反射体5は反射面が+x方向を向くように定盤1の+x方向側端面に固定されており、レーザ測長器4は、xステージからx方向側に離れた位置より、反射体5に向けて、レーザ光を-x方向に照射し、反射体5で反射したレーザ光より反射体5のx軸に沿った変位Lを計測する。
図示するように、校正制御装置6は、ビート信号周期数計数部61と、補正係数算出制御部62を備えている。
ビート信号周期数計数部61は、レーザドップラ速度計100の光検出器105から出力される検出信号Doutに表れるビート信号の周期の数を計数し、補正係数算出制御部62は、次に示す補正係数算出処理を実行し、レーザドップラ速度計100をレーザドップラ速度計100の干渉縞の間隔や、レーザドップラ速度計100を補正するための補正係数を算出する。
図3に、この補正係数算出処理の手順を示す。
図示するように、この処理において、補正係数算出制御部62は、まず、レーザ測長器4をゼロリセットし(現時点の反射体5の変位を0にセットし)、レーザ測長器4に変位の計測を開始させる(ステップ302)。
次に、Xステージ2を制御し、定盤1を-x方向に所定時間移動し、その後、定盤1の移動を停止する(ステップ306)。
そして、ビート信号周期数計数部61の、検出信号Doutに表れるビート信号の周期の数の計数を停止させる(ステップ308)。
そして、この時点でレーザ測長器4が計測している反射体5の変位Lを取得する(ステップ310)。
また、ビート信号周期数計数部61が計数したビート信号の周期の数Nを取得する(ステップ312)。
そして、
N×Dtct_d = L
を満たす、Dtct_d = L/Nを、レーザドップラ速度計100が出射する二つのビーム111、112が重複して照射する領域に生じる干渉縞の真の間隔として算出する(ステップ314)。
図4に、レーザドップラ速度計100が出射する二つのビーム111、112が重複して照射する領域に生じる干渉縞の真の間隔をdとして、ビート信号の波形(a)と、定盤1の移動距離MD(b)との関係を示すように、定盤1の移動速度に関わりなく、定盤1が干渉縞の真の間隔d移動する間に、ビート信号の周期が一つ表れる(ビート信号が一度振動する)。
したがって、N×Dtct_d = L を満たす、Dtct_dとして、ビート信号の周期の数から真の間隔dを求めることができる。
さて、図3に戻り、以上のようにして真の干渉縞の間隔Dtct_dを求めたならば(ステップ314)、Dsgn_dを、レーザ光源101の波長λと、第1ビームと第2ビームが成す角2θの設計値より、
Dsgn_d =λ/2sinθ
により求めた干渉縞の間隔の設計値として、
K×Dsgn_d = Dtct_d
を満たすK= Dtct_d/ Dsgn_dを、補正係数として算出し(ステップ316)、補正係数算出処理を終了する。
さて、このようにして補正係数算出処理で算出された干渉縞の間隔Dtct_dは、干渉縞の間隔dとして、このレーザドップラ速度計100において以降の速度の計測において利用されるように設定され、これにより当該レーザドップラ速度計100の校正が完了する。または、このようにして補正係数算出処理で算出された補正係数Kが干渉縞の間隔の設計値Dsgn_dと共に、このレーザドップラ速度計100において以降の速度の計測において利用されるように設定され、これにより当該レーザドップラ速度計100の校正が完了する。
ここで、以上の実施形態では、定盤の変位の計測にレーザ測長器4を用いたが、レーザ測長器4に代えて、リニアゲージなどの接触式変位計や、レーザ干渉変位計などの他の変位計測装置を設け、当該変位計測装置によって反射体5または定盤1のx方向の変位を測定するようにしてもよい
または、レーザ測長器4に代えて、定盤1のx方向の位置を計測する位置計測装置を設け、位置計測装置で計測した定盤1の移動の前後の定盤1のx方向の位置の差を、定盤1のx方向の変位として測定するようにしてもよい。なお、このような位置計測装置としては、定盤1までのx方向の距離を計測する距離計などを用いることができる。
Claims (4)
- 異なる二方向からレーザ光を測定領域に照射すると共に前記測定領域の散乱光を検出して検出信号として出力するレーザドップラ速度計の校正システムであって、
定盤と、
定盤を一軸方向に移動するステージと、
校正するレーザドップラ速度計を、前記定盤の面上に前記測定領域が位置する配置で支持する支持手段と、
前記レーザドップラ速度計から出力される前記検出信号に表れるビート信号の周期の数を計数する計数手段と、
前記定盤の前記一軸方向の移動距離を計測する移動距離計測手段と、
干渉縞間隔算出手段とを備え、
前記干渉縞間隔算出手段は、前記ステージを介して前記定盤を前記一軸方向への移動を行い、当該移動を行っている期間中に前記検出信号に表れるビート信号の周期の数を前記計数手段を用いて計数すると共に、前記定盤の当該移動の前後の前記一軸方向の移動距離を前記移動距離計測手段を用いて計測し、計測した移動距離を計数したビート信号の周期の数で除した値を、前記レーザドップラ速度計が前記測定領域に形成する干渉縞の間隔として算出することを特徴とする校正システム。 - 請求項1記載の校正システムであって、
前記干渉縞間隔算出手段が算出した干渉縞の間隔に対する、前記校正するレーザドップラ速度計の干渉縞の間隔の設計値の比を補正係数として算出する補正係数算出手段を有することを特徴とする校正システム。 - 請求項1または2記載の校正システムであって、
前記移動距離計測手段は、
前記定盤までの前記一軸方向の位置を計測する位置計測装置と、
移動の後に前記位置計測装置が計測した位置と当該移動の前に前記位置計測装置が計測した位置との差を、前記定盤の当該移動の前後の前記一軸方向の移動距離として算定する移動距離算定手段とを有することを特徴とする校正システム。 - 異なる二方向からレーザ光を測定領域に照射すると共に前記測定領域の散乱光を検出して検出信号として出力するレーザドップラ速度計の校正方法であって、
校正するレーザドップラ速度計を、定盤の面上に前記測定領域が位置するように固定するステップと、
前記定盤を一軸方向に移動しつつ、当該移動を行っている期間中に前記検出信号に表れるビート信号の周期の数を計数するステップと、
前記レーザドップラ速度計と異なる所定の計測装置を用いて前記定盤の前記移動の前後の前記一軸方向の移動距離を計測するステップと、
計測した移動距離を計数したビート信号の周期の数で除した値を、前記レーザドップラ速度計が前記測定領域に形成する干渉縞の間隔として算出するステップとを有することを特徴とする校正方法。
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