JP2016003945A - 光学式エンコーダ及び光学式エンコーダにおける原点信号生成方法 - Google Patents

光学式エンコーダ及び光学式エンコーダにおける原点信号生成方法 Download PDF

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Abstract

【課題】一定の幅とタイミングを有する原点信号を安定して提供すること。
【解決手段】本発明では、検出ヘッド3をスケール2上で移動させるときの第1受光素子34の受光量に基づいて第1出力信号V1を生成し、第2受光素子35の受光量に基づいて第2出力信号V2を生成し、第1基準位相のときに第1出力信号V1及び第2出力信号V2のレベルが等しくなるように、第1出力信号V1又は第2出力信号V2の振幅を調整する第1振幅調整を行い、第2基準位相のときに第1出力信号V1及び第2出力信号V2のレベルが等しくなるように、第1出力信号V1又は第2出力信号V2の振幅を調整する第2振幅調整を行い、第1振幅調整後の第1出力信号V1のレベルと第2出力信号V2のレベルが等しくなるタイミングを始点とし、第2振幅調整後の第1出力信号V1のレベルと第2出力信号V2のレベルが等しくなるタイミングを終点とする原点信号を出力する。
【選択図】図2

Description

本発明は、光学式エンコーダ及び光学式エンコーダにおける原点信号生成方法に関する。
測定装置などの位置検出には、スケールに対する検出ヘッドの位置を検出する光学式エンコーダが広く用いられている。インクリメント型の光学式エンコーダのスケールには、検出ヘッドのスケールに対する相対位置の検出を行うための変位検出パターンと、原点位置を検出するための原点検出パターンとが設けられている。インクリメント型の光学式エンコーダは、原点検出パターンから検出した原点位置を基準とすることにより、変位検出パターンから検出した相対位置情報を絶対位置情報に変換することができる。したがって、インクリメント型の光学式エンコーダでは、原点位置を高精度に検出することが要求される。
特許文献1には、スケールの移動方向に第1受光素子及び第2受光素子を並列して配置した光学式のロータリーエンコーダが記載されている。図21に示すように、特許文献1に記載のロータリーエンコーダは、第1受光素子から出力される第1出力信号V11と、第2受光素子から出力される第2出力信号V12と、第1出力信号V11の振幅を縮小することにより生成される第3出力信号V13と、第2出力信号V12の振幅を縮小することにより生成される第4出力信号V14と、に基づいて原点信号を生成する。
特許文献1に記載のロータリーエンコーダは、第2出力信号V12と第3出力信号V13とのクロスポイントを原点信号の始点とし、第1出力信号V11と第4出力信号V14とのクロスポイントを原点信号の終点としている。第1出力信号V11及び第2出力信号V12を信号処理回路に入力するときの増幅率を調整することにより、生成される原点信号の幅とタイミングを調整することができる。
特許第3358854号公報
特許文献1には、原点信号の幅とタイミングを調整することが記載されている。原点信号は、いつ調整してもある基準に対して同一の幅とタイミングで生成されることが望ましい。しかし、常に一定の幅とタイミングの原点信号を生成することについては、特許文献1には記載されていない。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、一定の幅とタイミングを有する原点信号を安定して提供することを目的とする。
本発明の原点信号生成方法は、
原点検出パターンと変位検出パターンとを有するスケールと、
前記スケールに光を照射する光源と、前記光源によって前記原点検出パターンに光が照射されることにより前記原点検出パターンから出射された光を受光するとともに前記スケールの測長方向に並列して配置された第1受光素子及び第2受光素子と、前記変位検出パターンを通過した光から主信号を検出する主信号検出手段と、を有する検出ヘッドと、
を備える光学式エンコーダにおける原点信号生成方法であって、
前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させるときの前記第1受光素子の受光量に基づいて第1出力信号を生成し、
前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させるときの前記第2受光素子の受光量に基づいて第2出力信号を生成し、
前記主信号の位相が第1基準位相のときに前記第1及び第2出力信号のレベルが等しくなるように、前記第1出力信号又は前記第2出力信号の振幅を調整する第1振幅調整を行い、
前記主信号の位相が第2基準位相のときに前記第1及び第2出力信号のレベルが等しくなるように、前記第1出力信号又は前記第2出力信号の振幅を調整する第2振幅調整を行い、
前記第1振幅調整が行われた前記第1出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルが等しくなるタイミングを始点とし、前記第2振幅調整が行われた前記第1出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルが等しくなるタイミングを終点とする原点信号を出力する。
本発明では、
前記第1振幅調整では、前記主信号の位相が前記第1基準位相になるときに前記第2出力信号とレベルが等しくなるように、前記第1出力信号の振幅を調整することにより第3出力信号を生成し、
前記第2振幅調整では、前記主信号の位相が前記第2基準位相になるときに前記第1出力信号とレベルが等しくなるように、前記第2出力信号の振幅を調整することにより第4出力信号を生成し、
前記第2出力信号のレベルと前記第3出力信号のレベルが等しくなるタイミングを始点とし、前記第1出力信号のレベルと前記第4出力信号のレベルが等しくなるタイミングを終点とする前記原点信号を出力する
ことが好ましい。
本発明では、
前記光学式エンコーダは、前記スケールの測長方向に並んで配置された複数の前記原点検出パターンのそれぞれに対応する、前記測長方向に並んで配置された複数対の前記第1及び前記第2受光素子を備え、
複数の前記第1受光素子から出力された信号を足し合わせて前記第1出力信号を生成し、複数の前記第2受光素子のから出力された信号を足し合わせて前記第2出力信号を生成する
ことが好ましい。
本発明では、
前記第1及び前記第2受光素子を有する第1受光素子列と、
前記第1及び前記第2受光素子を有する第2受光素子列と、を備え、
前記第1受光素子列の前記第1受光素子が出力する前記第1出力信号と前記第2受光素子が出力する前記第2出力信号とに対して前記第1振幅調整を行い、
前記第2受光素子列の前記第1受光素子が出力する前記第1出力信号と前記第2受光素子が出力する前記第2出力信号とに対して前記第2振幅調整を行う
ことが好ましい。
本発明では、
前記第2受光素子列の前記第1受光素子が出力する前記第1出力信号は、前記第1受光素子列の前記第1受光素子が出力する前記第1出力信号に対して、所定時間遅延し、
前記第2受光素子列の前記第2受光素子が出力する前記第2出力信号は、前記第1受光素子列の前記第2受光素子が出力する前記第2出力信号に対して、前記所定時間遅延する、
ことが好ましい。
本発明では、
前記第2受光素子列の前記第1受光素子と、前記第1受光素子列の前記第1受光素子とは、前記スケールの測長方向にオフセットして配置され、
前記第2受光素子列の前記第1受光素子と、前記第1受光素子列の前記第1受光素子とは、前記スケールの測長方向にオフセットして配置される、
ことが好ましい。
本発明では、
前記第1及び前記第2受光素子列を有し、前記スケールの測長方向とは直交する方向に並んで配置される受光領域を複数備え、
前記複数の受光領域のそれぞれの前記第1受光素子列から出力される前記第1出力信号が加算された信号と、前記複数の受光領域のそれぞれの前記第1受光素子列から出力される前記第2出力信号が加算された信号と、に前記第1振幅調整を行い、
前記複数の受光領域のそれぞれの前記第2受光素子列から出力される前記第1出力信号が加算された信号と、前記複数の受光領域のそれぞれの前記第2受光素子列から出力される前記第2出力信号が加算された信号と、に前記第2振幅調整を行う、
ことが好ましい。
本発明では、
前記第1出力信号にゲインを与えることにより前記第3出力信号を生成し、
前記第2出力信号にゲインを与えることにより前記第4出力信号を生成する
ことが好ましい。
本発明では、
前記第1出力信号を縮小することにより第3出力信号を生成し、
前記第2出力信号を縮小することにより第4出力信号を生成する
ことが好ましい。
本発明では、
前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させて、前記第2出力信号と前記第3出力信号のレベルが等しくなる第1タイミング及び前記第1出力信号と前記第4出力信号のレベルが等しくなる第2タイミングを検出し、
前記主信号の位相が第1基準位相になるときの前記第3出力信号の値に対する前記第2出力信号の値の比を前記第3出力信号に乗じることにより、前記第3出力信号を補正し、
前記主信号の位相が第2基準位相になるときの前記第4出力信号の値に対する前記第1出力信号の値の比を前記第4出力信号に乗じることにより、前記第4出力信号を補正し、
補正後の前記第3出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルとが等しくなる補正後の第1タイミングを算出し、
補正後の前記第4出力信号のレベルと前記第1出力信号のレベルが等しくなる補正後の第2タイミングを算出し、
前記補正後の第1タイミングを始点とし、前記補正後の第2タイミングを終点とする原点信号を出力する
ことが好ましい。
本発明の光学式エンコーダは、
原点検出パターンと変位検出パターンを有するスケールと、
前記スケールに光を照射する光源と、前記光源によって前記原点検出パターンに光が照射されることにより前記原点検出パターンから出射された光を受光するとともに前記スケールの測長方向に並列して配置された第1受光素子及び第2受光素子と、前記変位検出パターンを通過した光から主信号を検出する主信号検出手段と、を有する検出ヘッドと、
前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力に基づいて原点信号を生成する原点信号生成手段と、を備え、
前記原点信号生成手段は、
前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させるときの前記第1受光素子の受光量に基づいて第1出力信号を生成し、
前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させるときの前記第2受光素子の受光量に基づいて第2出力信号を生成し、
前記主信号の位相が第1基準位相のときに前記第1及び第2出力信号のレベルが等しくなるように、前記第1出力信号又は前記第2出力信号の振幅を調整する第1振幅調整を行い、
前記主信号の位相が第2基準位相のときに前記第1及び第2出力信号のレベルが等しくなるように、前記第1出力信号又は前記第2出力信号の振幅を調整する第2振幅調整を行い、
前記第1振幅調整が行われた前記第1出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルが等しくなるタイミングを始点とし、前記第2振幅調整が行われた前記第1出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルが等しくなるタイミングを終点とする原点信号を出力する。
本発明によれば、一定の幅とタイミングを有する原点信号を安定して提供できる。
実施の形態1に係る光学式エンコーダの斜視図である。 実施の形態1に係る光学式エンコーダの斜視図である。 実施の形態1に係る原点信号生成手段のブロック図である。 実施の形態1に係る原点信号生成方法を説明する図である。 実施の形態1に係る原点信号処理部の回路例を示す回路図である。 実施の形態1に係る原点信号処理部の動作を示すタイミング図である。 実施の形態1に係る原点信号生成方法の流れを説明するフロー図である。 第3出力信号を生成する方法を説明する図である。 第4出力信号を生成する方法を説明する図である。 原点信号の始点と終点を求める方法を説明する図である。 実施の形態2に係る光学式エンコーダの構成を模式的に示す斜視図である。 実施の形態2に係る原点検出用受光部の配置を模式的に示す上面図である。 実施の形態3に係る光学式エンコーダの構成を模式的に示す斜視図である。 実施の形態3に係る原点検出用受光部の構成を模式的に示す上面図である。 実施の形態3に係る原点信号処理部の回路例を示す回路図である。 実施の形態3に係る原点信号発生装置の動作を示すタイミング図である。 実施の形態4に係る原点検出用受光部の構成を模式的に示す上面図である。 実施の形態3に係る原点検出用受光部に照射された光のスポット形状を示す上面図である。 実施の形態3に係る原点検出用受光部にスポットSP1及びSP2が照射された場合の原点信号処理部での信号を示すタイミング図である。 実施の形態4に係る原点検出用受光部に照射された光のスポット形状を示す上面図である。 従来の原点信号生成方法を説明する図である。
[実施の形態1]
以下、図1〜図10を参照して本発明の実施の形態1に係る光学式エンコーダについて説明する。
図1に示すように、光学式エンコーダ1は、長手形状のスケール2と、スケール2に沿って移動する検出ヘッド3と、検出ヘッド3の出力から原点信号を生成する原点信号生成部4(原点信号生成手段)と、を備える。光学式エンコーダ1は、スケール2に対する検出ヘッド3の移動量を検出する。
図2は、検出ヘッド3の内部とスケール2とを詳細に示した図である。図2に示すように、スケール2は、変位検出パターン21と原点検出パターン22とを有する。変位検出パターン21は、光透過部23と不透過部24とが一定のピッチでX方向に交互に配列されることにより形成されている。原点検出パターン22は、スケール2の測長方向(X方向)と垂直な方向(Y方向)に延びたスリットである。
検出ヘッド3は、スケール2に光を照射する光源31と、スケール2を挟んで光源31と対向する位置に配置された受光部32と、を有する。すなわち、光源31、スケール2、受光部32がZ方向に並んで配置されている。受光部32は、原点検出用受光部11及び変位検出用受光部12を有する。原点検出用受光部11は、第1受光素子34及び第2受光素子35を有する。変位検出用受光部12は、主信号受光格子33(主信号検出手段)を有する。原点信号発生装置40は、受光部32及び原点信号生成部4を有する。
第1受光素子34及び第2受光素子35は、スケール2の測長方向(X方向であり、検出ヘッド3の移動方向)に並列して配置されており、原点検出パターン22を通過した光を受光する。第1受光素子34及び第2受光素子35は、主信号受光格子33に対してY方向に離隔して配置されている。図2の例では、検出ヘッド3(光源31と受光部32)がスケール2に対して−X方向に移動する。原点検出パターン22を透過した光は、先に第1受光素子34に入射し、その後第2受光素子35に入射する。
主信号受光格子33は、変位検出パターン21を通過した光から主信号を検出する。図2では、主信号受光格子33の受光部位をハッチングで示している。主信号受光格子33により検出される主信号は、A相信号と、A相信号とは位相が90°異なるB相信号と、を含む。A相信号が0°を始点とする正弦波の場合は、A相信号の位相が135°及び225°のときに、A相信号とB相信号とが交差し、クロスポイントが形成される。
原点信号生成部4は、第1受光素子34及び第2受光素子35の出力に基づいて原点信号を生成する。検出ヘッド3が原点検出パターン22を通過するときに第1受光素子34及び第2受光素子35の出力は増減する。第1受光素子34及び第2受光素子35はX方向に離隔して配置されているので、第1受光素子34及び第2受光素子35の出力の増減には時間差が生じる。
図3は、原点信号生成部4の構成を示すブロック図である。図3に示すように、原点信号生成部4は、トリガ生成部41と、原点信号処理部42と、マイコン43と、を有する。
トリガ生成部41は、検出ヘッド3からA相信号及びB相信号を受け取り、A相信号の位相225°になるタイミングでトリガ信号を生成する。トリガ生成部41は、生成されたトリガ信号をマイコン43に出力する。
原点信号処理部42は、検出ヘッド3からA相信号、B相信号、第1出力信号V1、及び第2出力信号V2を受け取る。原点信号処理部42は、第1出力信号V1と第2出力信号V2との和をとってゲート信号Gを生成し、ゲート信号Gをマイコン43に出力する。
原点信号処理部42は、デジタルポテンショメータを有しており、第1出力信号V1にゲインを与えることにより第3出力信号V3を生成し、第2出力信号V2にゲインを与えることにより第4出力信号V4を生成する。原点信号処理部42は、デジタルポテンショメータにより、第1出力信号V1及び第2出力信号V2に与えるゲインを変更することができる。これにより、第3出力信号V3及び第4出力信号V4の振幅値を変更することができる。
図4に示すように、原点信号処理部42は、(a)V1>V4が成り立つこと、(b)V2>V3が成り立つこと、(c)ゲート信号が閾値電圧VThを超えておりアクティブであること、の3つの条件が成り立つ時のANDをとって原点信号を生成し、原点信号生成部4の外部に出力する。
図3に示すように、第1出力信号V1〜第4出力信号V4が、原点信号処理部42からマイコン43に送られる。マイコン43は、第1出力信号V1〜第4出力信号V4を用いて、所望の幅とタイミングで原点信号を得るために第3出力信号V3及び第4出力信号V4に与えるゲインを算出する。マイコン43は、原点信号処理部42のデジタルポテンショメータのゲインを変更する指示を原点信号処理部42に出力する。
図5は、原点信号処理部42を構成する回路の具体例を示す回路図である。図5に示すように、原点信号処理部42は、増幅器51〜55と、比較器61〜63と、AND回路66と、デジタルポテンショメータ58,59と、抵抗R1〜R12と、を有する。
第1受光素子34から出力された第1出力信号V1と、第2受光素子35から出力された第2出力信号V2とが、原点信号処理部42に入力される。
デジタルポテンションメータ58には、第1出力信号V1が入力される。増幅器51の非反転入力端子には、デジタルポテンションメータ58によって第1出力信号V1のレベルが調整された電圧が入力される。増幅器51の反転入力端子は、増幅器51の出力端子と接続される。これにより、増幅器51の出力端子からは、第1出力信号V1の振幅が調整された第3出力信号V3が出力される。
デジタルポテンションメータ59には、第2出力信号V2が入力される。増幅器52の非反転入力端子には、デジタルポテンションメータ59によって第2出力信号V2のレベルが調整された電圧が入力される。増幅器52の反転入力端子は、増幅器52の出力端子と接続される。これにより、増幅器52の出力端子からは、第2出力信号V2の振幅が調整された第4出力信号V4が出力される。
抵抗R1の一端には第2出力信号V2が入力され、他端は増幅器53の反転入力端子と接続される。抵抗R2の一端は、増幅器51の出力端子と接続され、第3出力信号V3が入力される。抵抗R2の他端は、増幅器53の非反転入力端子と接続される。抵抗R8の一端には参照電圧VREFが入力され、他端は増幅器53の非反転入力端子と接続される。抵抗R10の一端は増幅器53の反転入力端子と接続され、他端は増幅器53の出力端子と接続される。なお、抵抗R1、R2、R8及びR10は、同じ抵抗値を有する。よって、増幅器53の出力端子から出力される信号S1の電圧は、(V3−V2+VREF)となる。
抵抗R3の一端には第1出力信号V1が入力され、他端は増幅器54の反転入力端子と接続される。抵抗R4の一端には第2出力信号V2が入力され、他端は増幅器54の反転入力端子と接続される。抵抗R5の一端には参照電圧VREFが入力され、他端は増幅器54の非反転入力端子と接続される。抵抗R11の一端は増幅器54の反転入力端子と接続され、他端は増幅器54の出力端子と接続される。なお、抵抗R3、R4、R5及びR11は、同じ抵抗値を有する。よって、増幅器54の出力端子から出力される信号S2の電圧は、(−V1−V2+VREF)となる。
抵抗R6の一端には第4出力信号V4が入力され、他端は増幅器55の反転入力端子と接続される。抵抗R7の一端には第1出力信号V1が入力され、他端は増幅器55の非反転入力端子と接続される。抵抗R9の一端には参照電圧VREFが入力され、他端は増幅器55の非反転入力端子と接続される。抵抗R12の一端は増幅器55の反転入力端子と接続され、他端は増幅器55の出力端子と接続される。なお、抵抗R6、R7、R9及びR12は、同じ抵抗値を有する。よって、増幅器55の出力端子から出力される信号S3の電圧は、(V1−V4+VREF)となる。
比較器61の反転入力端子には、増幅器53の出力端子が接続されている。信号S1が比較器61の反転入力端子に入力される。比較器61の非反転入力端子には、参照電圧VREFが入力される。よって、比較器61の出力端子からは信号Z1が出力され、信号Z1の電圧は(V2−V3)となる。
比較器62の反転入力端子には、増幅器54の出力端子が接続されている。信号S2が比較器62の反転入力端子に入力される。比較器62の非反転入力端子には、閾値電圧VThが入力される。よって、比較器62の出力端子からはゲート信号Gが出力され、信号Gの電圧は(V1+V2)となる。
比較器63の非反転入力端子には、増幅器55の出力端子が接続されている。信号S3が比較器63の非反転入力端子に入力される。比較器63の反転入力端子には、参照電圧VREFが入力される。よって、比較器63の出力端子からは信号Z2が出力され、信号Z2の電圧は(V1−V4)となる。
AND回路66の入力端子には、比較器61、比較器62、及び比較器63の出力端子が接続されている。AND回路66の出力端子は、原点信号処理部42の外部に接続されている。AND回路66は、信号Z1、信号Z2、及びゲート信号Gの論理積をとって原点信号を生成し、AND回路66の出力端子から原点信号が出力される。
図6は、原点信号処理部42の動作を示すタイミング図である。
まず、図6に示すように、第1受光素子34が原点検出パターン22を読み取り、第1出力信号V1の読み取り波形が生じる。同時に、原点信号処理部42は第1出力信号V1にゲインを与えて第3出力信号V3を生成し、第3出力信号V3の読み取り波形が生じる。また、第1出力信号V1が立ち上がると同時に、信号Z2はHIGHになる。
続いて、第2受光素子35が原点検出パターン22を読み取り、第2出力信号V2の読み取り波形が生じる。同時に、原点信号処理部42は第2出力信号V2にゲインを与えて第4出力信号V4を生成し、第4出力信号V4の読み取り波形が生じる。
続いて、第2出力信号V2のレベルと第3出力信号V3のレベルとが等しくなるタイミングT1において、信号Z1がHIGHになる。続いて、第1出力信号V1のレベルと第4出力信号V4のレベルとが等しくなるタイミングT2において、信号Z2がLOWになる。続いて、第2出力信号V2が立ち下がると同時に、信号Z1がLOWになる。
原点信号処理部42は、ゲート信号G(V1+V2)が閾値電圧VThを超えてアクティブであるときに、信号Z1と信号Z2との論理積をとって原点信号を生成する。タイミングT1が原点信号の始点となり、タイミングT2が原点信号の終点となる。
図7のフロー図に沿って、原点信号生成部4が原点信号を生成する方法を説明する。
図9に示すように、原点信号生成部4は、検出ヘッド3をスケール2上で移動させるときの第1受光素子34の受光量に基づいて第1出力信号V1を生成する(ST101)。そして、図8に示すように、原点信号生成部4は、検出ヘッド3をスケール2上で移動させるときの第2受光素子35の受光量に基づいて第2出力信号V2を生成する(ST102)。
(第1振幅調整)
次に、図8に示すように、原点信号生成部4のマイコン42は、第2出力信号V2のレベルが第1出力信号V1のレベルより大きくなった後、最初にA相信号の位相が225°になるタイミングT1(第1基準位相)のときに第2出力信号V2とレベルが合うように、第3出力信号V3を生成するときに第1出力信号V1に与えるゲインAを算出する(ST103)。そして、原点信号生成部4は、第1出力信号V1にゲインAを与えて縮小することにより第3出力信号V3を生成する(ST104)。
ゲインAの算出方法をより詳細に説明する。まず、第1出力信号V1に予め定められたゲインAを与えることにより、補正前の第3出力信号V3を生成する。タイミングT1において、第2出力信号V2の振幅値をV2T1、補正前の第3出力信号V3の振幅値をVT1、とする。原点信号生成部4は、タイミングT1における第3出力信号V3の振幅値VT1に対する第2出力信号V2の振幅値V2T1の比を、補正前の第3出力信号V3に乗じることにより、所望の振幅値の第3出力信号V3を生成する。つまり、V3=V3・(V2T1/VT1)=V1・A・(V2T1/VT1)となり、A=A・(V2T1/VT1)となる。
(第2振幅調整)
次に、図9に示すように、原点信号生成部4は、A相信号の位相がタイミングT2(第2基準位相)のときに第1出力信号V1とレベルが合うように、第4出力信号V4を生成するときに第2出力信号V2に与えるゲインBを算出する(ST105)。タイミングT2は、A相信号の位相がタイミングT1から360°進んで225°になるときをいう。そして、原点信号生成部4は、第2出力信号V2にゲインBを与えて縮小することにより第4出力信号V4を生成する(ST106)。
ゲインBの算出方法をより詳細に説明する。まず、第2出力信号V2に予め定められたゲインBを与えることにより、補正前の第4出力信号V4を生成する。タイミングT2において、第1出力信号V1の振幅値をV1T2、補正前の第4出力信号V4の振幅値をVT2、とする。原点信号生成部4は、タイミングT2における第4出力信号V4の振幅値VT2に対する第1出力信号V1の振幅値V1T2の比を、補正前の第4出力信号V4に乗じることにより、所望の振幅値の第4出力信号V4を生成する。つまり、V4=V4・(V1T2/VT2)=V2・B・(V1T2/VT2)となり、B=B・(V1T2/VT2)となる。
次に、図10に示すように、第2出力信号V2と第3出力信号V3のレベルが等しくなるタイミングT1を始点とし、第1出力信号V1と第4出力信号V4のレベルが等しくなるタイミングT2を終点とする原点信号を出力する(ST107)。
光学式エンコーダ1では、タイミングT1において第3出力信号V3のレベルが第2出力信号V2のレベルと等しくなるように、第3出力信号V3を生成するときに第1出力信号V1に与えるゲインAを調整している。それとともに、タイミングT2において第4出力信号V4のレベルが第1出力信号V1のレベルと等しくなるように、第4出力信号V4を生成するときに第2出力信号V2に与えるゲインBを調整している。タイミングT1が原点信号の始点となり、タイミングT2が原点信号の終点となるので、タイミングT1及びタイミングT2を変えることにより、原点信号の幅とタイミングを自由に調整することができる。
さらに、光学式エンコーダ1では、トリガ信号に基づいて主信号のA相信号の位相が225°のときをタイミングT1とし、A相信号の位相がタイミングT1から360°進んだときをタイミングT2としている。これにより、光学式エンコーダ1は、A相信号の位相が45°となるタイミングを中心として、幅が360°の原点信号を出力することができる。
以上説明したように、本実施の形態によれば、一定の幅とタイミングを有する原点信号を安定して提供できる。
本実施の形態では、第1受光素子34、第2受光素子35の順番で原点検出パターン22の下に移動していく場合について説明した。しかし、第2受光素子35、第1受光素子34の順番で原点検出パターン22の下に移動していく場合についても、同様に原点信号を生成することができる。
本実施の形態では、先に第1受光素子34、次に第2受光素子35が原点検出パターン22を検出する場合について説明したが、検出ヘッド3の移動方向は逆方向であってもよい。具体的には、−X方向ではなく、+X方向が検出ヘッド3の移動方向である場合、第2受光素子35を第1受光素子、第1受光素子34を第2受光素子として取り扱うことで、上述で説明したのと同様の原点信号を生成することができるのはいうまでもない。
[実施の形態2]
次に、実施の形態2に係る光学式エンコーダ3000について説明する。図11は、光学式エンコーダ3000の構成を模式的に示す斜視図である。光学式エンコーダ3000は、光学式エンコーダ1のスケール2及び原点信号発生装置40を、それぞれスケール8及び原点信号発生装置300に置換した構成を有する。
スケール8には、X方向に並ぶ原点検出パターン22a〜22dと、変位検出パターン21と、が形成されている。原点検出パターン22a〜22dは、変位検出パターン21の測長方向(X方向)に沿って複数配置されている。原点検出パターン22a〜22dは、それぞれ原点検出パターン22と同様であるので、説明を省略する。
原点信号発生装置300は、受光部6及び原点信号生成部4を有する。受光部6は、原点検出用受光部11a〜11d及び変位検出用受光部12を有する。図12は、実施の形態2にかかる原点検出用受光部11a〜11dの配置を模式的に示す上面図である。図12に示すように、原点検出用受光部11a〜11dは、読み取り方向であるX方向に並んで配置される。原点検出用受光部11a〜11dは、それぞれ原点検出パターン22a〜22dに対応する位置に配置されている。原点検出用受光部11a〜11dは、それぞれ実施の形態1に係る原点検出用受光部11と同様の構成を有する。原点検出用受光部11a〜11dは、受光素子PD11及びPD12を有する。受光素子PD11が第1受光素子34に対応し、PD12は第2受光素子35に対応する。
実施の形態1と異なり、原点検出パターン22a〜22d及び原点検出用受光部11a〜11dが複数設けられている。原点検出用受光部11a〜11dのそれぞれの受光素子PD11からの出力を足し合わせた信号S11を第1出力信号、原点検出用受光部11a〜11dのそれぞれの受光素子PD12からの出力を足し合わせた信号S12を第2出力信号とする。これにより、光学式エンコーダ3000は、実施の形態1の光学式エンコーダ1と同様に原点信号を発生するだけでなく、さらにS/N比を大きくしてノイズの影響をより受けにくくすることができる。
[実施の形態3]
図13は、実施の形態3にかかる原点信号発生装置100が組み込まれた光学式エンコーダの例である光学式エンコーダ1000の構成を模式的に示す斜視図である。光学式エンコーダ1000は、原点信号発生装置100、光源31、及びスケール5を有する。
スケール5には、原点検出パターン22及び変位検出パターン21が形成されている。原点検出パターン22及び変位検出パターン21は、平板状部材に穿たれたスリットとして形成される。
原点信号発生装置100は、光源31により透過照明された原点検出パターン22を読み取り、原点信号を発生させる装置として構成される。原点検出パターン22はスリットであるので、透過照明により周囲とコントラストが異なる。よって、原点信号発生装置100は、原点検出パターン22を明パターンとして認識する。
原点信号発生装置100は、受光部7及び原点信号生成部4を有する。受光部7は、変位検出用受光部12及び原点検出用受光部13を有する。変位検出用受光部12は、光源31からの光に照明された変位検出パターン21のパターンを読みとる。変位検出用受光部12は、読み取り結果を示す信号を変位検出部(不図示)に出力する。変位検出部(不図示)は、受け取った信号に基づいて、検出した変位を決定する。
図14は、実施の形態3にかかる原点検出用受光部13の構成を模式的に示す上面図である。原点検出用受光部13は、原点検出パターン22の読み取り方向であるX方向に受光素子が2つ並べて配された受光素子列を有する。この受光素子列は、原点検出パターン22の読み取り方向であるX方向と垂直なY方向に少なくとも2列並んで配置される。この2つの受光素子列が、1つの単位受光領域U1を構成する。
図14に示すように、原点検出用受光部13は、受光素子PD11〜PD14を有する。受光素子PD11及びPD12は、X方向にピッチPで並んで配置され、1つの受光素子列L1を構成する。受光素子PD13及びPD14は、X方向にピッチPで並んで配置され、1つの受光素子列L2を構成する。上述のように、受光素子列L1と受光素子列L2とは、Y方向に並んで配置される。なお、受光素子列L2のX方向の端部は、受光素子列L1のX方向の端部に対して、Dだけオフセットして配置される。以下では、受光素子列L1及びL2を、それぞれ第1及び第2の受光素子列とも称する。
原点検出用受光部13では、原点検出パターン22を読み取る際に、まず受光素子PD11が原点検出パターン22の読み取りを開始し、やや遅れて受光素子PD13が原点検出パターン22の読み取りを開始する。その後、受光素子PD12が原点検出パターン22の読み取りを開始し、やや遅れて受光素子PD14が原点検出パターン22の読み取りを開始する。受光素子PD11〜PD14は、読み取った原点検出パターン22の明暗をそれぞれ出力信号S11〜S14として出力する。
実施の形態1に係る原点信号発生装置40と同様に、原点信号発生装置100の原点信号生成部4は、トリガ生成部41と、原点信号処理部42と、マイコン43と、を有する。図15は、原点信号処理部42を構成する回路の具体例を示す回路図である。図15に示すように、原点信号処理部42は、増幅器51〜55と、比較器61〜63と、AND回路66と、デジタルポテンショメータ58,59と、抵抗R1〜R12と、を有する。
受光素子PD11〜PD14から出力された出力信号S11〜S14が、原点信号処理部42に入力される。
デジタルポテンションメータ58には、出力信号S12が入力される。増幅器51の非反転入力端子には、デジタルポテンションメータ58によって出力信号S12のレベルが調整された電圧が入力される。増幅器51の反転入力端子は、増幅器51の出力端子と接続される。これにより、増幅器51の出力端子からは、出力信号S12の振幅が調整された信号S22が出力される。
デジタルポテンションメータ59には、出力信号S14が入力される。増幅器52の非反転入力端子には、デジタルポテンションメータ59によって出力信号S14のレベルが調整された電圧が入力される。増幅器52の反転入力端子は、増幅器52の出力端子と接続される。これにより、増幅器52の出力端子からは、出力信号S14の振幅が調整された信号S24が出力される。
抵抗R1の一端には出力信号S11が入力され、他端は増幅器53の反転入力端子と接続される。抵抗R2の一端は、増幅器51の出力端子と接続され、振幅調整された信号S22が入力される。抵抗R2の他端は、増幅器53の非反転入力端子と接続される。抵抗R8の一端には参照電圧VREFが入力され、他端は増幅器53の非反転入力端子と接続される。抵抗R10の一端は増幅器53の反転入力端子と接続され、他端は増幅器53の出力端子と接続される。なお、抵抗R1、R2、R8及びR10は、同じ抵抗値を有する。よって、増幅器53の出力端子から出力される信号S31は、(S22−S11+VREF)となる。
抵抗R3の一端には出力信号S11が入力され、他端は増幅器54の反転入力端子と接続される。抵抗R4の一端には出力信号S13が入力され、他端は増幅器54の反転入力端子と接続される。抵抗R13の一端には出力信号S12が入力され、他端は増幅器54の反転入力端子と接続される。抵抗R14の一端には出力信号S14が入力され、他端は増幅器54の反転入力端子と接続される。抵抗R5の一端には参照電圧VREFが入力され、他端は増幅器54の非反転入力端子と接続される。抵抗R11の一端は増幅器54の反転入力端子と接続され、他端は増幅器54の出力端子と接続される。なお、抵抗R3、R4、R5、R11、R13、及びR14は、同じ抵抗値を有する。よって、増幅器54の出力端子から出力される信号S32は、(−S11−S12−S13−S14+VREF)となる。
抵抗R6の一端には振幅調整された信号S24が入力され、他端は増幅器55の反転入力端子と接続される。抵抗R7の一端には出力信号S13が入力され、他端は増幅器55の非反転入力端子と接続される。抵抗R9の一端には参照電圧VREFが入力され、他端は増幅器55の非反転入力端子と接続される。抵抗R12の一端は増幅器55の反転入力端子と接続され、他端は増幅器55の出力端子と接続される。なお、抵抗R6、R7、R9及びR12は、同じ抵抗値を有する。よって、増幅器55の出力端子から出力される信号S33は、(S13−S24+VREF)となる。
増幅器53〜55の出力端子から出力された信号S31〜S33について、実施の形態1と同様の処理が行われ、AND回路66の出力端子から原点信号が出力される。比較器61〜63及びAND回路66の動作は、実施の形態1と同様なので、説明は省略する。
続いて、原点信号発生装置100の原点信号発生動作について説明する。図16は、原点信号発生装置100の動作を示すタイミング図である。受光素子列L1では、受光素子PD11が原点検出パターン22を読み取り、その後、受光素子PD12が原点検出パターン22を読み取る。これにより、出力信号S11に読み取り波形が生じ、その後、出力信号S12に読み取り波形が生じる。出力信号S12の振幅が調整された信号S22のレベルと、出力信号S11のレベルとが等しくなるタイミング(交差点IP1)をタイミングT1とする。
また、受光素子列L2では、受光素子PD11からオフセットD分だけ遅れて、受光素子PD13が原点検出パターン22を読み取り、その後、受光素子PD12からオフセットD分だけ遅れて、受光素子PD14が原点検出パターン22を読み取る。これにより、出力信号S11からオフセットD分だけ遅れて、出力信号S13に読み取り波形が生じ、その後、出力信号S12からオフセットD分だけ遅れて、出力信号S14に読み取り波形が生じる。出力信号S14の振幅が調整された信号S24のレベルと、出力信号S13のレベルとが等しくなるタイミング(交差点IP2)をタイミングT2とする。
タイミングT1において信号Z1はHIGHになり、出力信号S12の読み取り波形がたち下がると同時に信号Z1はLOWになる。出力信号S13に読み取り波形が生じると同時に信号Z2はHIGHになり、タイミングT2において信号Z2はLOWになる。
原点信号生成部4は、ゲート信号G(S11+S12+S13+S14)が閾値電圧VThを超えてアクティブであるときに、信号Z1と信号Z2との論理積をとって原点信号を生成する。タイミングT1が原点信号の始点となり、タイミングT2が原点信号の終点となる。
上述のように、本構成では、2つの受光素子列L1及びL2により、タイミングの相違する2つの交差点IP1及びIP2を生成する。そして、交差点IP1と交差点IP2とに挟まれる原点パルス信号Z3を生成する。本構成では、交差点IP1のタイミングは受光素子PD11及びPD12の配置並びに出力信号S12への振幅調整の倍率で決定される。また、本構成では、交差点IP2のタイミングは受光素子PD13及びPD14の配置並びに出力信号S14への振幅調整の倍率で決定される。出力信号S12及び出力信号S14の振幅調整の倍率が等しい場合、交差点IP1と交差点IP2とのタイミング差は、オフセットDで決定される一定の値となる。これにより、本構成によれば、原点信号である原点パルス信号Z3のパルス幅を一定に維持することができる。
また、本構成によれば、オフセットDは、受光素子列の配置のみで決定できる。したがって、受光部の製造プロセスなどの最小加工寸法の制約を受けることもない。その結果、原点パルス信号Z3のパルス幅の所望値に応じて、オフセットDの値を自由に決定することができる。
さらに、本構成では、原点検出パターン22側には特段の工夫を施さずとも、一定幅の原点信号を得ることができる。したがって、原点検出パターン22を読み取るにあたって、原点検出パターン22と受光部7との間に光学系などを挿入する必要もなく、簡易な構成とすることができる。
[実施の形態4]
次に、実施の形態4にかかる原点信号発生装置200について説明する。原点信号発生装置200は、原点信号発生装置100の変形例であり、測定装置などの位置決めに用いられるインクリメント型光学式エンコーダの原点位置の決定に用いられるものである。原点信号発生装置200は、原点信号発生装置100の原点検出用受光部13を原点検出用受光部14に置換した構成を有する。図17は、実施の形態4にかかる原点検出用受光部14の構成を模式的に示す上面図である。
原点検出用受光部14は、単位受光領域U1〜U3を有する。単位受光領域U1〜U3は、Y方向に並んで配置される。単位受光領域U1は実施の形態3と同様の構成であり、かつ、単位受光領域U2及びU3は、単位受光領域U1と同様の構成を有するので、説明を省略する。また、原点信号発生装置200のその他の構成及び原点信号発生動作は、原点信号発生装置100と同様であるので、説明を省略する。
原点信号発生装置200では、単位受光領域U1〜U3のそれぞれの受光素子PD11からの出力を足し合わせた信号を出力信号S11、単位受光領域U1〜U3のそれぞれの受光素子PD12からの出力を足し合わせた信号を出力信号S12、単位受光領域U1〜U3のそれぞれの受光素子PD13からの出力を足し合わせた信号を出力信号S13、単位受光領域U1〜U3のそれぞれの受光素子PD14からの出力を足し合わせた信号を出力信号S14とする。これにより、原点信号発生装置200は、実施の形態3の原点信号発生装置100と同様に原点信号を発生することができる。
原点信号発生装置では、製造誤差や運用中の外乱等により、原点検出パターン22を読み取る際に受光部に照射される光のスポットが回転してしまう場合が有る。図18は、実施の形態3にかかる原点検出用受光部13の単位受光領域U1に照射される光のスポット形状を示す上面図である。光のスポットに回転が無い場合には、光のスポットは、例えばスポットSP1のように長径がY方向に沿った形状となる。一方、光のスポットに回転が有る場合には、光のスポットは、例えばスポットSP2のように長径が時計回りに回転した形状となる。
図19は、スポットSP1及びSP2が照射された場合の原点検出用受光部13での信号を示すタイミング図である。光のスポットが紙面左から右へ移動する場合、スポットSP2では、スポットSP1と比べて、受光素子PD11及びPD12には光が早く照射され、受光素子PD13及びPD14には光が遅く照射される。このため、スポットSP2が照射された場合の交差点IP3は、スポットSP1が照射された場合の交差点IP1よりもタイミングが早くなる。また、スポットSP2が照射された場合の交差点IP4は、スポットSP1が照射された場合の交差点IP2よりもタイミングが遅くなる。そのため、スポットSP2に基づいて生成される原点パルス信号Z20は、スポットSP1に基づいて生成される原点パルス信号Z3と比べて、パルス幅が広くなってしまう。
ところが、本実施の形態では、単位受光領域がY方向に複数設けられているので、光のスポットの回転による原点パルス信号の幅の変動を抑制することができる。図20は、原点検出用受光部14に照射される光のスポット形状を示す上面図である。光のスポットに回転が無い場合には、光のスポットは、例えばスポットSP3のように長径が方向Yに沿った形状となる。一方、光のスポットに回転が有る場合には、光のスポットは、例えばスポットSP4のように長径が時計回りに回転した形状となる。
原点検出用受光部14では、光スポットの長径方向(Y方向)に単位受光領域が並んで配置されている。そのため、スポットSP4のように回転が有る場合でも、スポットSP4のY方向上側では受光素子が早いタイミングで信号を出力し、スポットSP4のY方向下側では受光素子が遅いタイミングで信号を出力する。そのため、スポットSP4の上側の単位受光領域とスポットSP4の下側の単位受光領域とから出力される出力信号S11〜S14とがそれぞれ合成され、交差点IP3と交差点IP4との間のタイミング差が相殺される。よって、本構成によれば、受光部に照射される光スポットの回転(ヨーイング)が生じても原点信号の幅を維持することが可能となる。
上記では、単位受光領域が3つの場合について説明したが、これは例示に過ぎない。本実施の形態には、単位受光領域を3つ以外の任意の複数個設けることが可能である。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、本発明の光学式エンコーダは、透過型エンコーダに限定されるものではなく、反射型エンコーダにも適用することができる。また、本発明の光学式エンコーダは、リニアエンコーダに限定されるものではなく、ロータリーエンコーダにも適用することができる。
また、上記実施の形態において、タイミングT1及びタイミングT2は、主信号の位相の225°のときに一致するものとして説明したが、これは例示にすぎない。タイミングT1及びタイミングT2の位相は、225°以外であってもよい。
さらに、上記実施の形態において、主信号を基準としてトリガ信号を生成しているが、主信号以外の他の信号を基準としてもよい。
1,1000,3000…光学式エンコーダ 2,5,8…スケール 3…検出ヘッド 4…原点信号生成部 6,7,32…受光部 11,11a〜11d,13,14…原点検出用受光部 12…変位検出用受光部 21…変位検出パターン 22,22a〜22d…原点検出パターン 23…光透過部 24…不透過部 31…光源 33…主信号受光格子 34…第1受光素子 35…第2受光素子 40,100,200,300…原点信号発生装置 41…トリガ生成部 42…原点信号処理部 43…マイコン 51〜55…増幅器 58,59…デジタルポテンショメータ 61〜63…比較器 66…AND回路 IP1〜IP4…交差点 L1,L2…受光素子列 PD11〜PD14…受光素子 R1〜R14…抵抗

Claims (11)

  1. 原点検出パターンと変位検出パターンとを有するスケールと、
    前記スケールに光を照射する光源と、前記光源によって前記原点検出パターンに光が照射されることにより前記原点検出パターンから出射された光を受光するとともに前記スケールの測長方向に並列して配置された第1受光素子及び第2受光素子と、前記変位検出パターンを通過した光から主信号を検出する主信号検出手段と、を有する検出ヘッドと、
    を備える光学式エンコーダにおける原点信号生成方法であって、
    前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させるときの前記第1受光素子の受光量に基づいて第1出力信号を生成し、
    前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させるときの前記第2受光素子の受光量に基づいて第2出力信号を生成し、
    前記主信号の位相が第1基準位相のときに前記第1及び第2出力信号のレベルが等しくなるように、前記第1出力信号又は前記第2出力信号の振幅を調整する第1振幅調整を行い、
    前記主信号の位相が第2基準位相のときに前記第1及び第2出力信号のレベルが等しくなるように、前記第1出力信号又は前記第2出力信号の振幅を調整する第2振幅調整を行い、
    前記第1振幅調整が行われた前記第1出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルが等しくなるタイミングを始点とし、前記第2振幅調整が行われた前記第1出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルが等しくなるタイミングを終点とする原点信号を出力する
    原点信号生成方法。
  2. 前記第1振幅調整では、前記主信号の位相が前記第1基準位相になるときに前記第2出力信号とレベルが等しくなるように、前記第1出力信号の振幅を調整することにより第3出力信号を生成し、
    前記第2振幅調整では、前記主信号の位相が前記第2基準位相になるときに前記第1出力信号とレベルが等しくなるように、前記第2出力信号の振幅を調整することにより第4出力信号を生成し、
    前記第2出力信号のレベルと前記第3出力信号のレベルが等しくなるタイミングを始点とし、前記第1出力信号のレベルと前記第4出力信号のレベルが等しくなるタイミングを終点とする前記原点信号を出力する
    請求項1に記載の原点信号生成方法。
  3. 前記光学式エンコーダは、前記スケールの測長方向に並んで配置された複数の前記原点検出パターンのそれぞれに対応する、前記測長方向に並んで配置された複数対の前記第1及び前記第2受光素子を備え、
    複数の前記第1受光素子から出力された信号を足し合わせて前記第1出力信号を生成し、複数の前記第2受光素子のから出力された信号を足し合わせて前記第2出力信号を生成する
    請求項1又は2に記載の原点信号生成方法。
  4. 前記第1及び前記第2受光素子を有する第1受光素子列と、
    前記第1及び前記第2受光素子を有する第2受光素子列と、を備え、
    前記第1受光素子列の前記第1受光素子が出力する前記第1出力信号と前記第2受光素子が出力する前記第2出力信号とに対して前記第1振幅調整を行い、
    前記第2受光素子列の前記第1受光素子が出力する前記第1出力信号と前記第2受光素子が出力する前記第2出力信号とに対して前記第2振幅調整を行う、
    請求項1〜3のいずれか一項に記載の原点信号生成方法。
  5. 前記第2受光素子列の前記第1受光素子が出力する前記第1出力信号は、前記第1受光素子列の前記第1受光素子が出力する前記第1出力信号に対して、所定時間遅延し、
    前記第2受光素子列の前記第2受光素子が出力する前記第2出力信号は、前記第1受光素子列の前記第2受光素子が出力する前記第2出力信号に対して、前記所定時間遅延する、
    請求項4に記載の原点信号生成方法。
  6. 前記第2受光素子列の前記第1受光素子と、前記第1受光素子列の前記第1受光素子とは、前記スケールの測長方向にオフセットして配置され、
    前記第2受光素子列の前記第2受光素子と、前記第1受光素子列の前記第2受光素子とは、前記スケールの測長方向にオフセットして配置される、
    請求項5に記載の原点信号生成方法。
  7. 前記第1及び前記第2受光素子列を有し、前記スケールの測長方向とは直交する方向に並んで配置される受光領域を複数備え、
    前記複数の受光領域のそれぞれの前記第1受光素子列から出力される前記第1出力信号が加算された信号と、前記複数の受光領域のそれぞれの前記第1受光素子列から出力される前記第2出力信号が加算された信号と、に前記第1振幅調整を行い、
    前記複数の受光領域のそれぞれの前記第2受光素子列から出力される前記第1出力信号が加算された信号と、前記複数の受光領域のそれぞれの前記第2受光素子列から出力される前記第2出力信号が加算された信号と、に前記第2振幅調整を行う、
    請求項4〜6のいずれか一項に記載の原点信号生成方法。
  8. 請求項7に記載の原点信号生成方法であって、
    前記第1出力信号にゲインを与えることにより前記第3出力信号を生成し、
    前記第2出力信号にゲインを与えることにより前記第4出力信号を生成する
    ことを特徴とする原点信号生成方法。
  9. 請求項7又は8に記載の原点信号生成方法であって、
    前記第1出力信号を縮小することにより第3出力信号を生成し、
    前記第2出力信号を縮小することにより第4出力信号を生成する
    ことを特徴とする原点信号生成方法。
  10. 請求項7〜9のいずれか一項に記載の原点信号生成方法であって、
    前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させて、前記第2出力信号と前記第3出力信号のレベルが等しくなる第1タイミング及び前記第1出力信号と前記第4出力信号のレベルが等しくなる第2タイミングを検出し、
    前記主信号の位相が第1基準位相になるときの前記第3出力信号の値に対する前記第2出力信号の値の比を前記第3出力信号に乗じることにより、前記第3出力信号を補正し、
    前記主信号の位相が第2基準位相になるときの前記第4出力信号の値に対する前記第1出力信号の値の比を前記第4出力信号に乗じることにより、前記第4出力信号を補正し、
    補正後の前記第3出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルとが等しくなる補正後の第1タイミングを算出し、
    補正後の前記第4出力信号のレベルと前記第1出力信号のレベルが等しくなる補正後の第2タイミングを算出し、
    前記補正後の第1タイミングを始点とし、前記補正後の第2タイミングを終点とする原点信号を出力する
    ことを特徴とする原点信号生成方法。
  11. 原点検出パターンと変位検出パターンを有するスケールと、
    前記スケールに光を照射する光源と、前記光源によって前記原点検出パターンに光が照射されることにより前記原点検出パターンから出射された光を受光するとともに前記スケールの測長方向に並列して配置された第1受光素子及び第2受光素子と、前記変位検出パターンを通過した光から主信号を検出する主信号検出手段と、を有する検出ヘッドと、
    前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力に基づいて原点信号を生成する原点信号生成手段と、を備え、
    前記原点信号生成手段は、
    前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させるときの前記第1受光素子の受光量に基づいて第1出力信号を生成し、
    前記検出ヘッドを前記スケールに沿って移動させるときの前記第2受光素子の受光量に基づいて第2出力信号を生成し、
    前記主信号の位相が第1基準位相のときに前記第1及び第2出力信号のレベルが等しくなるように、前記第1出力信号又は前記第2出力信号の振幅を調整する第1振幅調整を行い、
    前記主信号の位相が第2基準位相のときに前記第1及び第2出力信号のレベルが等しくなるように、前記第1出力信号又は前記第2出力信号の振幅を調整する第2振幅調整を行い、
    前記第1振幅調整が行われた前記第1出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルが等しくなるタイミングを始点とし、前記第2振幅調整が行われた前記第1出力信号のレベルと前記第2出力信号のレベルが等しくなるタイミングを終点とする原点信号を出力する
    光学式エンコーダ。
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