JP2006214929A - 光学式エンコーダ - Google Patents

Abstract

【課題】検出ヘッドとスケールとの位置関係が変化することがなく、原点の絶対位置を正確に検出する。
【解決手段】スケール１１に対し対向して２つの検出ヘッド１３、１４を配置し、スケール１１には反射部１２中に原点位置が検出できるように不連続部１５を設ける。１つの検出ヘッド１３で不連続部１５を検知して原点を求め、この時点での他の検出ヘッド１４からの出力信号をも加味して計測上の原点の絶対位置を求め、これを基準として位置情報を演算することにより、環境変化などによる原点位置ずれを少なくする。
【選択図】図１

Description

本発明は、変位測定や角度測定に用いられる光学式エンコーダに関するものである。

光学式エンコーダは基本的に、第１の光学格子が形成されたメインスケールと、このメインスケールに対向して配置された第２の光学格子が形成されたインデックススケールと、メインスケールに光を照射する光源と、メインスケールの光学格子を透過又は反射し、更にインデックススケールの光学格子を透過した光を受光する受光素子とを備えた構成とされている。この種の光学式エンコーダにおいて、インデックススケールを兼ねて受光素子アレイを用いる方式は、既に特許文献１に提案されている。また、本発明者からも上記構成のエンコーダとして特許文献２などが出願されている。

図１２は反射型の光学式エンコーダの構成図を示しており、スケールの形状をマイクロルーフミラーアレイを用いた構成とすることにより、光の利用効率を向上させている。このマイクロルーフミラーアレイを用いた構成については、特許文献３に開示されている。

この構成では、発光素子１、受光素子２、マイクロルーフミラーを用いた移動体のスケール３による構成とされ、発光素子１で発光した光が、細かい間隔の反射部と非反射部を持つスケール３で反射して受光素子２の列上に明暗の分布を与える。

この場合に、スケール３がマイクロルーフミラーアレイを用いた構成ではなく、単に反射部と非反射部を持つ構成であれば、信号レベルは異なるものの、同様な光の明暗の分布が受光素子２上に形成され、エンコーダ信号を得ることが可能である。この構成のエンコーダはインクリメンタル型と云われ、スケール３の移動に対しパルスが増減し、その移動量を検出することが可能となる。

このインクリメンタル型の問題として、回転角度の絶対位置が分からず、エンコーダとは別に絶対位置を検出するセンサが別途必要になるという問題がある。それを回避する手段として次のものが考えられている。

図１３はこれらのインクリメンタル式のエンコーダにおける絶対位置を検出するスケールを示している。即ち、スケール４に反射部５が放射状に等間隔に配置され、この一部に反射部５が欠落している欠落部分６が設けられている。

このスケール４とフォトダイオードアレイを用いた検出センサとを組み合わせて、デジタル信号のタイミングで取り込むことにより、図１４に示すようなアナログ信号の振幅及び中心電圧の変化点が求められる。スケール４の欠落部分６が通過したときに、検出センサのコントラストが下がり、信号の振幅が低下する。つまり、中心電圧はスケール４の欠落部分６が、検出センサの領域に入るときと出るときに信号レベルが変化する。

図１５は中心電圧を拡大した波形図であり、この波形から変化量が正確に検出できる。

また、光量を一定にする光量フィードバック動作を実施しているときに、欠落部分６が通過すると光量が減少するので、それを回復させるためにＬＥＤに与える電流を増加することによって、このときに電流がピークとなり、この変化を検出することでも原点検出は可能である。

また上述の信号変化のピークを検出する手段の他に、微分値がゼロを通過するときのポイントを求めることも可能である。

特公平６−０５６３０４号公報 特開２００３−１６１６４５号公報 特開２００２−３２３３４７号公報

しかしながら、従来例で示した光学式エンコーダの絶対位置検出手段では、原点位置は求まるものの、温度環境変化などにより検出ヘッドとスケールの位置関係が微妙に変化し、原点の絶対位置がずれてしまうという問題点がある。

本発明の目的は、上述の問題点を解消し、検出ヘッドとスケールとの位置関係が変化することがなく、原点の絶対位置を正確に検出し得る光学式エンコーダを提供することにある。

上記目的を達成するための本発明に係る光学式エンコーダの技術的特徴は、光学格子を形成した円板状又は円弧状のスケールと、該スケールに対して光を照射する光源と、前記スケールに対して相対移動可能に設けると共に前記光学格子のピッチに関係付けして配設され、前記光学格子による回折光を受光する複数の受光センサを有する検出ヘッドを備える光学式エンコーダにおいて、前記スケールの光学格子に不連続部を設け、それぞれ複数の受光センサを配列した第１及び第２の検出ヘッドを、前記スケールの回転中心を基準にしてほぼ１８０°の位置に配置し、これら第１及び第２の検出ヘッドの少なくとも一方から、前記スケールの不連続部が前記検出ヘッドを横切るときに出力されるエンコーダ信号の変化を基に原点位置を決定し、該原点位置を基に前記第１及び第２の検出ヘッドから出力されるエンコーダ信号を演算処理して位置情報を決定することことにある。

本発明に係る光学式エンコーダによれば、複数の検出ヘッドを設け、スケール位置に対し１８０度の関係になるように配置して、原点位置情報を２つの検出ヘッドの出力信号の演算結果より求めることにより、簡単な構成でかつ温度変化などに影響されない原点の正確な絶対位置を決定することができる。

本発明を図１〜図８に図示の実施例に基づいて詳細に説明する。

図１は実施例１の構成図を示し、反射型ロータリエンコーダのスケール１１は回転中心Ｏを中心として回転し、反射部１２が放射状に等間隔に配置されている。スケール１１からの反射光を検出して、位置情報を得る第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４がスケール１１に関して相互に１８０度の位置に設けられ、スケール１１の反射部１２の一部には不連続部１５が形成され、この不連続部１５を検出することにより原点を求めるようにされている。

図２は第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４から得られる信号の波形と時間関係を示すタイムチャート図である。この図２において、信号Ｈ１は第１の検出ヘッド１３から出力される信号、信号Ｈ２は第２の検出ヘッド１４から出力される信号であり、ＤＡはデジタルＡ相の信号、ＤＢはデジタルＢ相の信号、ＡＡはアナログＡ相の信号、ＡＢはアナログＢ相の信号をそれぞれ表している。

図３は第１の検出ヘッド１３を構成する受光センサと、光源からの光が反射部１２及び不連続部１５を持つスケール１１で反射し形成された光の分布の相対位置関係を模式的に示す説明図である。第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４は同等の構成を有しており、それぞれ種々のエンコーダ信号、即ちＡ相、Ｂ相、Ａ’相、Ｂ’相の信号のそれぞれを検出するために、例えば４個１組で６組の受光センサが配列され、全体で２４個の受光センサが配列されている。また、不連続部１５は例えばスケール１１の反射部１２を１個欠落させるか、数個の反射部を連続して欠落させることによって形成することができる。

図３（ａ）はスケール１１の不連続部１５が第１の検出ヘッド１３の感知領域に入っていない通常の検出状態を示し、（ｂ）はスケール１１の不連続部１５が検出ヘッド１３の感知領域の端部を横切る状態を示し、（ｃ）は不連続部１５が検出ヘッド１３の感知領域内に完全に入っている状態を示している。これらの図３（ａ）〜（ｃ）に示す何れの状態においても、振幅特性などが若干変わるものの、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４からは、図２に示した出力信号Ｈ１及びＨ２が得られることは、従来のロータリエンコーダと同様である。

ここで、第１の検出ヘッド１３の出力信号を詳細に観測すると、不連続部１５が検出ヘッド１３の感知領域の端部を横切るとき、つまり図３（ｂ）に示すように不連続部１５が感知領域の前端縁を横切るときと、後端縁を横切るときに第１の検出ヘッド１３の出力信号にはアンバランスが発生し、そのために平均を求めた値が変動する。

しかし、図３（ａ）に示すように不連続部１５が感知領域内に存在しないときは勿論、（ｃ）に示すように不連続部１５が検知領域内に完全に入っているときには、このアンバランスは発生することはない。従って、第１の検出ヘッド１３を不連続部１５が通過するときの出力信号のアンバランスを検出することにより、第１の検出ヘッド１３によって不連続部１５を検出し、これに基づいて原点を決定することができる。

本実施例１では、第１の検出ヘッド１３から出力される信号の中心電圧のオフセットを検知することによって、不連続部１５を検出するようにしている。即ち、第１の検出ヘッド１３から出力されるデジタルＢ相の信号Ｈ１−ＤＢの立ち上がりエッジで、アナログＡ相の信号Ｈ１−ＡＡの最大値を読み取り、デジタルＢ相の信号Ｈ１−ＤＢの立ち下がりエッジで、アナログＡ相の信号Ｈ１−ＡＡの最小値を読み取る。

これら２つの振幅値の差を求めることで振幅を検出でき、平均を求めることで中心電圧を検知することが可能となる。なお、スケール１１の回転方向が逆になった場合は、デジタルＢ相の信号のエッジとアナログＡ相の信号の最大値、最小値の位置関係は逆になる。

このように、アナログＡ相の信号Ｈ１−ＡＡの振幅の変化に基づく中心電圧のオフセットを検知して不連続部１５を検出することにより、温度変化や取付誤差に影響されることがなくなる。

スケール１１に設けられた不連続部１５が、第１の検出ヘッド１３で検知されたときに、第１の検出ヘッド１３から出力されるデジタルＡ相の信号Ｈ１−ＤＡの立ち上がりエッジを原点とする。図２においては、ｎ＝０が原点位置となる。このときの第２の検出ヘッド１４から出力されるアナログ信号Ｈ２−ＡＡ及びＨ２−ＡＢから読み取る位置情報は、より細かく検出する必要があるため、アナログ信号の電気分割した結果を、デジタル値に或る重み付けをして加えている。

例えば、デジタル信号の１周期をＸ分割したとすると、原点位置が検出されたときの第２の検出ヘッド１４から出力されるアナログＡ相とアナログＢ相により演算される位置は一般にｍ１／Ｘとなる。Ｘ＝１０００に分割しているときの８６０の位置がｍ１であるとすると、アナログＡ相の信号Ｈ２の位置は０．８６となる。

ここで、位置情報を第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４から求まる位置は、ｎ＝０、ｍ＝０．８６なので、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４から得られる位置情報の平均値は、（０＋０．８６）／２＝０．４３となる。従って、この位置を計測上の原点の絶対位置として変位量を計測すればよいことになる。

図４は第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４とスケール１１の位置関係を示す平面図である。第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４は基板１６上に実装され、この基板１６は第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４がスケール１１の回転中心Ｏに対し１８０度の位置関係となるように配置されている。

図５は基板１６が環境変化により図４の矢印Δｔ方向に伸縮した場合の図２に対応した信号波形図である。第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４が平行に矢印Δｔ方向に移動した場合に、第１の検出ヘッド１３からの出力信号Ｈ１は環境変化前に対しαだけ位相が進む方向に変化するのに対し、第２の検出ヘッド１４からの出力信号Ｈ２はαだけ位相が遅れる方向に変化する。このときにも、第１の検出ヘッド１３からの出力信号Ｈ１を基準にして、不連続部１５つまり原点を検出するので、デジタルＡ相の信号Ｈ１−ＤＡの立ち上がりエッジの点Ｂの位置を原点（ｎ＝０）と判断する。

このときの位置情報は、第１の検出ヘッド１３の出力信号Ｈ１から求められる位置と、第２の検出ヘッド１４の出力信号Ｈ２から求められる位置との和の１／２であるから、（ｎ＋ｍ＋ｍ２／Ｘ）／２＝（ｎ＋ｍ＋ｍ１／Ｘ−２α）／２となり、例えばαを１０００分割したときのうちの２００とすると、（０＋０＋０．８６−０．４）／２＝０．２３となる。

即ち、図５で原点（ｎ＝０）と判断した位置Ｂは、環境が変化する前のデータに対し位相αだけずれた位置であることが分かる。従って、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４から出力される信号から求まる位置情報を、ずれの位相αに相当する位置だけ補正すれば、環境変化前と同じ位置を計測上の原点にすることが可能となり、環境変化に影響されない正確な変量の計測が可能となる。

実施例１では、第１の検出ヘッド１３の検出信号から得られる原点位置で、カウンタをリセットしているが、本実施例２では初期化時の第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４の位置情報の演算結果をゼロとして、その修正分を記憶している。

第１の検出ヘッド１３で検出される原点で計数値をゼロにした場合に、第２の検出ヘッド１４のデジタル値はゼロとなるが、アナログ的にずれている分（ｍ１／Ｘ）があるため、原点位置がゼロの位置にはならない。そこで、本実施例２では第１の検出ヘッド１３の原点位置で、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４から求まる位置情報の和の１／２を演算し、この演算結果がゼロとなるような値を求めて記憶しておき、次回からはこの記憶した値を第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４の位置情報の演算結果から差し引くようにしている。

図６は実施例２における原点検出方法のアルゴリズムを表すフローチャート図である。測定をスタートとすると（ステップＳ１１）、原点位置をサーチするためにスケール１１を回転させる（ステップＳ１２）。次に、第１の検出ヘッド１３から出力される例えばデジタルＢ相の信号ＨＩ−ＤＢの立ち上がりと立下りのタイミングでアナログＡ相の信号Ｈ１−ＡＡを取り込む（ステップＳ１３）。このようにしてアナログＡ相の信号Ｈ１−ＡＡの山と谷における振幅が得られるので、（山＋谷）／２から中心電圧が求まる。

ここで、スケール１１の不連続部１５が第１の検出ヘッド１３の感知領域内に入ってくると、中心電圧のレベルが変化してオフセットが生ずるので、中心電圧がオフセットした位置の直後のデジタルＡ相の信号Ｈ１−ＤＡの立ち上がり位置を原点位置とする（ステップＳ１４）。

次に、最初のリセット動作か否かを判断する（ステップＳ１５）。ここで、最初のリセット動作であれば、ステップＳ１６のアルゴリズムに移る。そして、この位置で第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４から出力される信号Ｈ１及びＨ２を基に、上述した演算により位置情報の平均値（信号Ｈ１の位置＋信号Ｈ２の位置）／２を求め、更にこの値から差し引くことによってゼロとなる値Ｙを求め、この値Ｙを記憶しておく（ステップＳ１６）。これで、原点検出の初期化動作は完了する。次回の原点検出動作では、ステップＳ１６で求めた値Ｙを原点位置になるようにする。

最初のリセット動作でない場合には、｛（信号Ｈ１の位置＋信号Ｈ２の位置）／２｝−Ｙの演算をして、その値がゼロになるときが、初期化時に決めた原点位置となる（ステップＳ１７）。従って、原点でスケール１１を停止させたいときは、上記の演算結果がゼロになるように回転角度を制御すればよい。以後は、通常の動作中の（信号Ｈ１の位置＋信号Ｈ２の位置）／２の結果が位置情報となる（ステップＳ１８）。

この位置検出動作を続けるかどうかを判断し（ステップＳ１９）、必要であれば続けるが、位置検出の必要が無くなった時点で測定終了とする（ステップＳ２０）。

実施例１では、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４の和／２の値がゼロになる位置を、ゼロ位置としているのでヘッドの位置関係により、演算結果のゼロ位置が異なってしまう。これに対し、本実施例２では初期化時に決めた例えば機械的機構により停止した位置を原点とするので、装置ごとのばらつきもなく、位置決め制御のプログラムも同じ目標値にすればよく、簡素化することが可能となる利点がある。

図７は実施例３を説明するための信号波形図である。実施例１において、環境変化などにより第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４からの出力信号の位相がずれてゆくことを説明したが、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４がずれたときに、第１の検出ヘッド１３の原点位置でそれぞれのデジタル値の計数値をゼロにしているため、第２の検出ヘッド１４のデジタル値が環境変化前に対し１パルスずれてしまう現象が発生する。

通常の環境変化前であると、実施例１のように原点位置での第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４から得られる位置情報は、｛ゼロ（信号Ｈ１）＋ｍ１／Ｘ（信号Ｈ２）｝／２＝（ｍ１／Ｘ）／２である。温度変化などによって検出ヘッドの位置がずれる場合に、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４の信号が互いに逆方向にαだけずれており、第１の検出ヘッド１３の出力信号は＋αだけずれているが、そこを原点とするので第１のヘッド１３の計数値はゼロである。

第２の検出ヘッド１４は−αだけずれるので、図７のｍ１’／Ｘの位置にあるときｍ１／Ｘの計数値を示す。従って、第１の検出ヘッド１３のパルスエッジでは、第２の検出ヘッド１４はｍ１／Ｘ＋２αの値を示す。このとき得られる位置情報は、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４の平均値なので、｛ゼロ（信号Ｈ１）＋ｍ１／Ｘ＋２α（信号Ｈ２）｝／２＝（ｍ１／Ｘ）／２＋αとなる。

従って、環境変化前の位置情報からαだけずれた位置になっていることが分かり、位置情報が（ｍ１／Ｘ）／２になる位置が、環境変化前の原点位置と同じ位置である。

図８はより大きく環境が変化し、第２の検出ヘッド１４から出力されるデジタル信号の１つ後の周期に第１の検出ヘッド１３の原点位置が来た場合を示している。環境変化前に、第１の検出ヘッド１３の原点位置で第２の検出ヘッド１４のデジタルカウンタもリセットがかかってゼロになる。しかし、基準にしていたデジタル信号の周期は更に１つ前の周期であるため、第２の検出ヘッド１４から出力されるアナログ信号から検出される計数値ｍ４’／Ｘは、ｍ１／Ｘよりも大きな値になっていなければならない。

ところが、実際にはデジタル信号のゼロの位置が変わったため、第２の検出ヘッド１４の位置情報はデジタル信号の次のデジタルＡ相の信号Ｈ２−ＤＡの立ち上がりからの位置（ｍ４／Ｘ＝ｍ４’／Ｘ−１周期分Ｘ）で計算されている。即ち、ちょうど１周期分位置データが少なく検出されてしまい、原点位置も間違って検出されることになる。

図９は本実施例３のフローチャート図であり、第２の検出ヘッド１４においても第１の検出ヘッド１３と同様に振幅又は中心電圧変化により原点の位置を決定し、デジタルカウンタをリセットする（ステップＳ２１）。

先ず、第２の検出ヘッド１４からの出力信号Ｈ２の中心電圧のオフセットから原点位置を決定している（ステップＳ２３、Ｓ２４）。そして、その後は実施例２と同様に、第１の検出ヘッド１３からの出力信号Ｈ１の中心電圧のオフセットから原点位置を見付ける（ステップＳ２５、Ｓ２６）。

このとき、実施例２では第２の検出ヘッド１４のデジタル計数もリセットしたが、ステップＳ２３、Ｓ２４により絶対位置が分かるようになっているのでリセットはしていない。かくすることにより、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４のそれぞれの絶対位置情報が得られ、このように第２の検出ヘッド１４のデジタル計数値を絶対位置で検出できるようにしたことにより、デジタルカウンタが１周期のずれたことに対しても対応が可能となる。

なお、ステップＳ２７〜Ｓ３２は図６のステップＳ１５〜Ｓ２０と同じである。

図１０では、計数値は｛ゼロ（信号Ｈ１）＋Ｐ−１＋ｍ１／Ｘ（信号Ｈ２）｝／２＝（Ｐ−１＋ｍ１／Ｘ）／２となる。

ここで図１１に示すように、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４の位置がずれた場合に、計数値は｛ゼロ（信号Ｈ１）＋Ｐ＋ｍ４／Ｘ（信号Ｈ２）｝／２＝（Ｐ＋ｍ４／Ｘ）／２＝（Ｐ−１＋ｍ１／Ｘ＋４α）／２＝（Ｐ−１＋ｍ１／Ｘ）／２＋２αとなる。即ち、環境変化前のリセット位置から２αずれた位置にあることが検出されることになる。

このように、第１及び第２の検出ヘッド１３及び１４の計数をそれぞれを或る決まった位置でリセットした後に、それぞれの位置情報を演算することで、環境変化に影響されない原点位置を検出することが可能となる。

本発明は上述した実施例にのみ限定されるものではなく、幾多の変更や変形が可能である。例えば、上述した実施例では、スケールは円板状としたが、１８０°を越える円弧状とすることもできる。また、上述した実施例では、スケールの不連続部が検出ヘッドを横切るときのエンコーダ信号の中心電圧のオフセットを利用して原点位置を求めたが、エンコーダ信号の振幅の急激な低下や、光源への供給電流の急激な増加を検知して原点位置を求めることもできる。

実施例１の反射型ロータリエンコーダの構成図である。 ２つの検出ヘッドから得られる信号波形図である。 不連続部が検出ヘッドを横切るときの位置関係の説明図である。 検出ヘッドとスケールの位置関係の平面図である。 基板が変位したときの信号波形図である。 実施例２における原点検出方法のアルゴリズムのフローチャート図である。 実施例３の信号波形図である。 信号波形図である。 原点検出アルゴリズムのフローチャート図である。 アルゴリズムを用いたときの信号出力図である。 アルゴリズムを用いたときの信号出力図である。 従来例のマイクロルーフミラーアレイを用いたエンコーダの構成図である。 絶対位置を検出するためのスケールである。 信号振幅及び中心電圧の変化点の波形図である。 中心電圧の拡大波形図である。

符号の説明

１１ スケール
１２ 反射部
１３、１４ 検出ヘッド
１５ 不連続部
１６ 基板

Claims (7)

1. 光学格子を形成した円板状又は円弧状のスケールと、該スケールに対して光を照射する光源と、前記スケールに対して相対移動可能に設けると共に前記光学格子のピッチに関係付けして配設され、前記光学格子による回折光を受光する複数の受光センサを有する検出ヘッドを備える光学式エンコーダにおいて、前記スケールの光学格子に不連続部を設け、それぞれ複数の受光センサを配列した第１及び第２の検出ヘッドを、前記スケールの回転中心を基準にしてほぼ１８０°の位置に配置し、これら第１及び第２の検出ヘッドの少なくとも一方から、前記スケールの不連続部が前記検出ヘッドを横切るときに出力されるエンコーダ信号の変化を基に原点位置を決定し、該原点位置を基に前記第１及び第２の検出ヘッドから出力されるエンコーダ信号を演算処理して位置情報を決定することを特徴とする光学式エンコーダ。
2. 前記不連続部が前記検出ヘッドを通過したときに発生する前記エンコーダ信号の中心電圧の変化を検出することにより、前記原点位置を求めることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
3. 前記受光センサに一定の光量が得られるように前記光源のパワーを制御するフィードバック系において、前記不連続部が前記検出ヘッドを通過するときに発生する前記光源の駆動電流の変化を検出することにより、前記原点位置を求めることを特徴とする請求項２に記載の光学式エンコーダ。
4. 前記位置情報は前記第１及び第２の検出ヘッドから出力するアナログ正弦波信号を電気的に逓倍して演算して求めることを特徴とする請求項１〜３の何れか１つの請求項に記載の光学式エンコーダ。
5. 最初に前記原点位置を決定したときの前記原点位置情報を記憶しておき、次回からは前記原点位置情報を基準にして前記位置情報を得ることを特徴とする請求項１〜４の何れか１つの請求項に記載の光学式エンコーダ。
6. 最初に前記原点位置を決定して位置情報を得たときの状態に前記スケールを移動し、前記原点位置でリセット動作をするようにしたことを特徴とする請求項１〜４の何れか１つの請求項に記載の光学式エンコーダ。
7. 前記スケールの中心を基準に前記第１の検出ヘッドの原点位置を決定し、前記第１の検出ヘッドの絶対位置を求めた後に、前記第２の検出ヘッドの原点位置を決定し、前記第２の検出ヘッドの絶対位置を求め、前記第２の検出ヘッドが原点位置に基づいて前記第１及び第２の検出ヘッドから出力されるエンコーダ信号を演算して位置情報を得ることを特徴とする請求項１〜６の何れか１つの請求項に記載の光学式エンコーダ。

Images