JPH03293521A - 高精度エンコーダ - Google Patents
高精度エンコーダInfo
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- JPH03293521A JPH03293521A JP9511690A JP9511690A JPH03293521A JP H03293521 A JPH03293521 A JP H03293521A JP 9511690 A JP9511690 A JP 9511690A JP 9511690 A JP9511690 A JP 9511690A JP H03293521 A JPH03293521 A JP H03293521A
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- signals
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- 239000013598 vector Substances 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は回転軸や移動テーブル等の移動体の移動量や移
動速度を検出するエンコーダに関する。
動速度を検出するエンコーダに関する。
従来の技術
回転軸や移動テーブル等の移動体の移動量や移動速度を
検出するエンコーダは、移動体に取り付けられたセンサ
から略９０度の位相差のあるａ相。
検出するエンコーダは、移動体に取り付けられたセンサ
から略９０度の位相差のあるａ相。
ｂ相の信号を得て、ａ相、ｂ相のディジタルデータを得
ている。
ている。
一般にセンサから第３図（イ）に示すようなａ＝ｓ ｉ
ｎＯ＋Ｖｄ ａ＝ｓｉｎ（θ＋１８０）十Ｖｄ ｂ＝ｓｉｎ（θ十（Ｚ） ＋Ｖｄ １ｉ＝ｓｉｎ（θ＋ａ＋１８０）＋Ｖｄのａ相と該ａ相
より１８０度位相差があるｉ相の信号と、ａ相とα（通
常このαは９・０度になるように調整される）位相差の
あるｂ相、該す相と１８０度位相差のある５相の信号が
出力されるようになっている。なお、ｖｄは信号に含ま
れる直流成分であり、この信号Ｖｄは各信号とも等しく
なるように調整される。
ｎＯ＋Ｖｄ ａ＝ｓｉｎ（θ＋１８０）十Ｖｄ ｂ＝ｓｉｎ（θ十（Ｚ） ＋Ｖｄ １ｉ＝ｓｉｎ（θ＋ａ＋１８０）＋Ｖｄのａ相と該ａ相
より１８０度位相差があるｉ相の信号と、ａ相とα（通
常このαは９・０度になるように調整される）位相差の
あるｂ相、該す相と１８０度位相差のある５相の信号が
出力されるようになっている。なお、ｖｄは信号に含ま
れる直流成分であり、この信号Ｖｄは各信号とも等しく
なるように調整される。
そして、コンパレータ等でａ、 ａ相、ｂ、’５相を
それぞれ比較して第３図（ロ）、（ハ）に示すようなデ
ィジタル出力Ｄａ （ａ≧ａ）、Ｄｂ（ｂ≧Ｈ）を得て
いる。
それぞれ比較して第３図（ロ）、（ハ）に示すようなデ
ィジタル出力Ｄａ （ａ≧ａ）、Ｄｂ（ｂ≧Ｈ）を得て
いる。
また、α（略９０度）位相差のあるａ、 ｂ相の信号
をセンサから出力するエンコーダも公知である。
をセンサから出力するエンコーダも公知である。
発明が解決しようとする課題
上述した従来のエンコーダにおいては、ディジタル出力
Ｄａ、Ｄｂの位相差はαとなり、この位相差αを９０度
になるようにセンサ部の調整１組み立てを行なうか、複
雑な位相差補正を行なう必要がある。とくに位相差が正
確に９０度でないと、出力Ｄａ、Ｄｂ内の内挿データを
得る場合、正確な内挿データが得られないという欠点が
ある。
Ｄａ、Ｄｂの位相差はαとなり、この位相差αを９０度
になるようにセンサ部の調整１組み立てを行なうか、複
雑な位相差補正を行なう必要がある。とくに位相差が正
確に９０度でないと、出力Ｄａ、Ｄｂ内の内挿データを
得る場合、正確な内挿データが得られないという欠点が
ある。
そこで本発明の目的は、簡単な方法で正確に９０度位相
差のある信号を得ることのできる高精度エンコータを提
供することにある。
差のある信号を得ることのできる高精度エンコータを提
供することにある。
課題を解決するための手段
本発明は、移動体に取り付けられたセンサから、１８０
度位相差がある第１．第２の信号と、上記第１の信号よ
り略９０度位相差のある第３の信号と、該第３の信号よ
り１８０度位相差のある第４の信号を出力するエンコー
ダにおいては、上記第１の信号から第２の信号を減じて
第５の信号を作る手段と、上記第２の信号から第１の信
号を減じて第６の信号を作る手段と、上記第３の信号か
ら第４の信号を減じて第７の信号を作る手段と、上記第
５の信号と第７の信号を加算して第８の信号を作る手段
と、上記第６の信号と第７の信号を加算して第９の信号
を作る手段とを備え、正確に９０度位相差のある上記第
８と第９の信号を得るようにする。
度位相差がある第１．第２の信号と、上記第１の信号よ
り略９０度位相差のある第３の信号と、該第３の信号よ
り１８０度位相差のある第４の信号を出力するエンコー
ダにおいては、上記第１の信号から第２の信号を減じて
第５の信号を作る手段と、上記第２の信号から第１の信
号を減じて第６の信号を作る手段と、上記第３の信号か
ら第４の信号を減じて第７の信号を作る手段と、上記第
５の信号と第７の信号を加算して第８の信号を作る手段
と、上記第６の信号と第７の信号を加算して第９の信号
を作る手段とを備え、正確に９０度位相差のある上記第
８と第９の信号を得るようにする。
また、移動体に取り付けられたセンサから、１８０度位
相差かある第１．第２の信号と、少なくとも上記第１の
信号より略９０度位相差のある第３の信号を出力するエ
ンコーダにおいては、上記第１の信号と第３の信号を加
算して第４の信号を作る手段と、上記第２の信号と第３
の信号を加算して第５の信号を作る手段とを備え、正確
に９０度位相差のある上記第４と第５の信号を得るよう
にする。
相差かある第１．第２の信号と、少なくとも上記第１の
信号より略９０度位相差のある第３の信号を出力するエ
ンコーダにおいては、上記第１の信号と第３の信号を加
算して第４の信号を作る手段と、上記第２の信号と第３
の信号を加算して第５の信号を作る手段とを備え、正確
に９０度位相差のある上記第４と第５の信号を得るよう
にする。
さらに、移動体に取り付けられたセンサから、略９０度
位相差のある第１．第２の信号のみを出力するエンコー
ダにおいては、上記第１の信号と１８０度位相差のある
第３の信号を作る手段と、上記第１と第２の信号を加算
して第４の信号を作る手段と、上記第２と第３の信号を
加算して第５の信号を作る手段とを設け、正確に９０度
の位相差のある第４と第５の信号を得るようにした。
位相差のある第１．第２の信号のみを出力するエンコー
ダにおいては、上記第１の信号と１８０度位相差のある
第３の信号を作る手段と、上記第１と第２の信号を加算
して第４の信号を作る手段と、上記第２と第３の信号を
加算して第５の信号を作る手段とを設け、正確に９０度
の位相差のある第４と第５の信号を得るようにした。
作 用
第１図は本発明の作用原理を説明する説明図で、信号を
ベクトルで示し、ある信号をベクトルＡで示し、このベ
クトルＡで示される信号より１８０度位相差のある信号
のベクトルは第１図にＷと示される関係にある。一方、
ベクトルＡに示される信号に対してα位相差のある信号
のベクトルは第１図Ｂで示されるベクトルとなる。そこ
でベクトルＡとベクトルＢを加算すると、ベクトルＣと
なる。またベクトルＷとベクトルＢを加算すればベクト
ルＤとなる。第１図に示すように、２ （ｘ＋ｙ）＝１
８０ であるので、（ｘ十ｙ）は９０度となり、ベクトルＣと
Ｄは直行し、ベクトルＣ，Ｄで示される信号は位相差が
正確に９０度となる。
ベクトルで示し、ある信号をベクトルＡで示し、このベ
クトルＡで示される信号より１８０度位相差のある信号
のベクトルは第１図にＷと示される関係にある。一方、
ベクトルＡに示される信号に対してα位相差のある信号
のベクトルは第１図Ｂで示されるベクトルとなる。そこ
でベクトルＡとベクトルＢを加算すると、ベクトルＣと
なる。またベクトルＷとベクトルＢを加算すればベクト
ルＤとなる。第１図に示すように、２ （ｘ＋ｙ）＝１
８０ であるので、（ｘ十ｙ）は９０度となり、ベクトルＣと
Ｄは直行し、ベクトルＣ，Ｄで示される信号は位相差が
正確に９０度となる。
実施例
第２図は本発明を適用した光学式エンコーダの一実施例
の回路図である。
の回路図である。
第２図中Ｓ１〜Ｓ４はセンサとしての受光素子で、受光
素子Ｓ１は、 ａ＝ｓｉｎＯ＋Ｖｄ のａ相信号を受信し、受光素子Ｓ２は、ａ＝ｓｉｎ（θ
＋１８０）＋Ｖｄ のｉ相信号を受信し、受光素子Ｓ３は、ｂ＝ｓｉｎ（θ
＋ａ）＋Ｖｄ のｂ相信号を受信し、受光素子Ｓ４は、Ｋ＝ｓｉｎ（θ
＋α＋１８０）＋Ｖｄ の５相信号を受信する。
素子Ｓ１は、 ａ＝ｓｉｎＯ＋Ｖｄ のａ相信号を受信し、受光素子Ｓ２は、ａ＝ｓｉｎ（θ
＋１８０）＋Ｖｄ のｉ相信号を受信し、受光素子Ｓ３は、ｂ＝ｓｉｎ（θ
＋ａ）＋Ｖｄ のｂ相信号を受信し、受光素子Ｓ４は、Ｋ＝ｓｉｎ（θ
＋α＋１８０）＋Ｖｄ の５相信号を受信する。
符号１． ２． ３． ４は非反転増幅器でそれぞれ信
号ａ、 ａ、 ｂ、 Ｅを増幅するものである。符
号５、 ６． ７は差動増幅器で、差動増幅器５は非反
転増幅器１の出力から非反転増幅器２の出力を減じた差
を増幅し、差動増幅器６は非反転増幅器２の出力から非
反転増幅器１の出力を減じた差を増幅し、差動増幅器７
は非反転増幅器３の出力から非反転増幅器４の出力を減
じた差を増幅するものである。
号ａ、 ａ、 ｂ、 Ｅを増幅するものである。符
号５、 ６． ７は差動増幅器で、差動増幅器５は非反
転増幅器１の出力から非反転増幅器２の出力を減じた差
を増幅し、差動増幅器６は非反転増幅器２の出力から非
反転増幅器１の出力を減じた差を増幅し、差動増幅器７
は非反転増幅器３の出力から非反転増幅器４の出力を減
じた差を増幅するものである。
また、可変抵抗ｖＲ１は信号ａ、 ａの直流成分Ｖｄ
を同一にするためのオフセット調整用の可変抵抗である
。同様にＶＨ２は信号す、 ｈの直流成分Ｖｄを同一に
するためのオフセット調整用の可変抵抗である。さらに
、ＶＨ２，ＶＨ２はそれぞれ非反転増幅器１．２および
非反転増幅器３，４から出力される信号め振幅を同一と
するためのゲイン調整用の可変抵抗である。
を同一にするためのオフセット調整用の可変抵抗である
。同様にＶＨ２は信号す、 ｈの直流成分Ｖｄを同一に
するためのオフセット調整用の可変抵抗である。さらに
、ＶＨ２，ＶＨ２はそれぞれ非反転増幅器１．２および
非反転増幅器３，４から出力される信号め振幅を同一と
するためのゲイン調整用の可変抵抗である。
符号８は差動増幅器５，６の出力を加算するアナログ加
算器、符号９は差動増幅器６．７の出力を加算するアナ
ログ加算器で、ＶＦ６はゲインを調整する可変抵抗であ
る。符号１０．１１はコンパレータでそれぞれアナログ
加算器８．９の出力を設定されたレファレンス電圧と比
較するものである。
算器、符号９は差動増幅器６．７の出力を加算するアナ
ログ加算器で、ＶＦ６はゲインを調整する可変抵抗であ
る。符号１０．１１はコンパレータでそれぞれアナログ
加算器８．９の出力を設定されたレファレンス電圧と比
較するものである。
次ぎにこの実施例の動作を説明する。
受光素子８１〜Ｓ４で前述した信号ａ、 ａ、 ｂ
。
。
■が受信されると、これらの信号はそれぞれ非反転増幅
器１〜４で増幅されるが、可変抵抗ＶＲ１゜ＶＨ２でオ
フセット調整され、可変抵抗ＶＲ３゜ＶＨ２でゲインが
調整されて非反転増幅器１．２から出力される信号の直
流成分Ｖｄ、および正弦波の振幅は同一に調整される。
器１〜４で増幅されるが、可変抵抗ＶＲ１゜ＶＨ２でオ
フセット調整され、可変抵抗ＶＲ３゜ＶＨ２でゲインが
調整されて非反転増幅器１．２から出力される信号の直
流成分Ｖｄ、および正弦波の振幅は同一に調整される。
また、非反転増幅器３．４から出力される信号の直流成
分Ｖｄ、および正弦波の振幅も同一に調整される。
分Ｖｄ、および正弦波の振幅も同一に調整される。
そして、差動増幅器５．６で非反転増幅器１゜２の出力
の差が増幅されるので、差動増幅器５゜６の出力は直流
成分が打ち消され、直流成分のない信号が得られる。し
かも、差動増幅器５．６の増幅度を同一としておくこと
により、差動増幅器５．６から出力される正弦波の振幅
も同一となる。
の差が増幅されるので、差動増幅器５゜６の出力は直流
成分が打ち消され、直流成分のない信号が得られる。し
かも、差動増幅器５．６の増幅度を同一としておくこと
により、差動増幅器５．６から出力される正弦波の振幅
も同一となる。
直流成分がなく正弦波の振幅が同一であるので増幅度を
無視して差動増幅器５．６の出力を見ると、差動増幅器
５の出力は、−（ａ−ａ）＝Ｔ。
無視して差動増幅器５．６の出力を見ると、差動増幅器
５の出力は、−（ａ−ａ）＝Ｔ。
（なおａ−ａ＝Ａとする）差動増幅器６の出力は（ａ−
ａ）＝Ａとなる。なお、Ａも正弦波信号である。
ａ）＝Ａとなる。なお、Ａも正弦波信号である。
同様に、差動増幅器７からも直流成分のない正弦波のみ
の信号が得られ、この増幅器７の出力は、（ｂ−Ｅ−）
＝■となる。なお、信号ＡとＢの大きさ、すなわち振幅
は異なってもよい。
の信号が得られ、この増幅器７の出力は、（ｂ−Ｅ−）
＝■となる。なお、信号ＡとＢの大きさ、すなわち振幅
は異なってもよい。
アナログ加算器８からは、差動増幅器５，７の出力が加
算されその出力Ｃは、 Ｃ＝−（Ｔ＋Ｔ）＝ −（ａ−ａ＋’５−ｂ）＝Ａ＋Ｂ 同様に、アナログ加算器９の出力りは、Ｄ＝−（Ａ＋π
） ＝ −（ａ−ａ＋’ｂｉ−ｂ）＝Ｔ＋ Ｂ その結果、アナログ加算器８，９の出力Ｃ，Ｄは第１図
にベクトル表示したように直行するものとなる。すなわ
ち、位相差９０度の正弦波信号Ｃ２Ｄが得られる。
算されその出力Ｃは、 Ｃ＝−（Ｔ＋Ｔ）＝ −（ａ−ａ＋’５−ｂ）＝Ａ＋Ｂ 同様に、アナログ加算器９の出力りは、Ｄ＝−（Ａ＋π
） ＝ −（ａ−ａ＋’ｂｉ−ｂ）＝Ｔ＋ Ｂ その結果、アナログ加算器８，９の出力Ｃ，Ｄは第１図
にベクトル表示したように直行するものとなる。すなわ
ち、位相差９０度の正弦波信号Ｃ２Ｄが得られる。
次ぎにこの正弦波信号Ｃ，Ｄと設定されたレファレンス
電圧をコンパレータ１０，１１でそれぞれ比較して、第
３図（ロ）、（ハ）に示すディジタル出力と同様なディ
ジタル出力Ｅ、 Ｆを得る。
電圧をコンパレータ１０，１１でそれぞれ比較して、第
３図（ロ）、（ハ）に示すディジタル出力と同様なディ
ジタル出力Ｅ、 Ｆを得る。
しかも、このディジタル出力Ｅ、 Ｆは正確に９０度
位相差のあるディジタル出力となる。
位相差のあるディジタル出力となる。
また、ディジタル出力Ｅ、 Ｆの内挿データを得る場
合には、信号Ｃ，Ｄを取ａしこの信号に基づいて内挿デ
ータを作ればよい。この場合、第１図示すように、信号
Ｃ，Ｄの大きさ、すなわち正弦波信号の振幅が異なるの
で可変抵抗ＶＲ５を調節して、両信号の振幅が同一とな
るようにする。信号Ｃ，Ｄは正確に９０度位相差がある
ので、内挿データも正確なものが得られる。
合には、信号Ｃ，Ｄを取ａしこの信号に基づいて内挿デ
ータを作ればよい。この場合、第１図示すように、信号
Ｃ，Ｄの大きさ、すなわち正弦波信号の振幅が異なるの
で可変抵抗ＶＲ５を調節して、両信号の振幅が同一とな
るようにする。信号Ｃ，Ｄは正確に９０度位相差がある
ので、内挿データも正確なものが得られる。
上記実施例では、受光素子からの信号ａ、 ａ。
ｂ、５から１＝ａ−ａ、Ａ＝ａ−ａ、Ｔ＝に−ｂの３つ
の信号を作成したが、非反転増幅器１〜４の出力から直
流成分を除去し、かつ、非反転増幅器１，２の出力の振
幅を同一とすれば、非反転増幅器１．２の出力と非反転
増幅器３または４の出力を加算することによって正確に
９０度位相差のある正弦波信号を得ることができる。す
なわち、第１図において、Ａがａ、 Ｋがａ、Ｂがｂま
たはＦとなり正確な正弦波信号が得られる。同様に信号
す、′５、信号ａまたは百より正確な正弦波信号を得る
こともできる。この場合第１図において、ＡがｂＳＷか
に、Ｂがａまたは百となる。
の信号を作成したが、非反転増幅器１〜４の出力から直
流成分を除去し、かつ、非反転増幅器１，２の出力の振
幅を同一とすれば、非反転増幅器１．２の出力と非反転
増幅器３または４の出力を加算することによって正確に
９０度位相差のある正弦波信号を得ることができる。す
なわち、第１図において、Ａがａ、 Ｋがａ、Ｂがｂま
たはＦとなり正確な正弦波信号が得られる。同様に信号
す、′５、信号ａまたは百より正確な正弦波信号を得る
こともできる。この場合第１図において、ＡがｂＳＷか
に、Ｂがａまたは百となる。
さらにエンコーダのセンサ、例えば受光素子がＳＬ、Ｓ
３Ｌかなく、α位相差のある信号ａ、 ｂしか得られ
ない場合には、一方の信号ａまたはｂの１８０度位相差
のある信号ａまたはｂの信号を作りこの３つの信号（ａ
、 ａ、 ｂかａ、 ｂ、５の信号）より、前述
した方法と同様に正確に９０度位相差のある正弦波信号
を得ることができる。
３Ｌかなく、α位相差のある信号ａ、 ｂしか得られ
ない場合には、一方の信号ａまたはｂの１８０度位相差
のある信号ａまたはｂの信号を作りこの３つの信号（ａ
、 ａ、 ｂかａ、 ｂ、５の信号）より、前述
した方法と同様に正確に９０度位相差のある正弦波信号
を得ることができる。
発明の効果
本発明は、センサから検出される信号が９０度位相差が
なくとも、正確に９０度位相差のある信号を作成するこ
とができるので、センサの組み立て精度を問題とせず、
面倒なセンサの調整をも必要とせず、簡単に正確に９０
度位相差のある信号を得ることができる。
なくとも、正確に９０度位相差のある信号を作成するこ
とができるので、センサの組み立て精度を問題とせず、
面倒なセンサの調整をも必要とせず、簡単に正確に９０
度位相差のある信号を得ることができる。
しかも正確に９０度位相差があるので、内挿信号を得る
ときにも、正確な内挿信号を得ることができる。
ときにも、正確な内挿信号を得ることができる。
第１図は、本発明の作用原理を説明する説明図、第２図
は、本発明の一実施例の回路図、第３図は、従来のエン
コーダにおける信号処理の説明図である。 １〜４・・・非反転増幅器、５〜７・・・差動増幅器、
８．９・・・アナログ加算器、１０．１１・・・コンパ
レータ、ＶＲＩ〜ＶＲ５・・・可変抵抗、Ｓｌ−Ｓ４・
・・受光素子。
は、本発明の一実施例の回路図、第３図は、従来のエン
コーダにおける信号処理の説明図である。 １〜４・・・非反転増幅器、５〜７・・・差動増幅器、
８．９・・・アナログ加算器、１０．１１・・・コンパ
レータ、ＶＲＩ〜ＶＲ５・・・可変抵抗、Ｓｌ−Ｓ４・
・・受光素子。
Claims (3)
- （１）移動体に取り付けられたセンサから、１８０度位
相差がある第１，第２の信号と、上記第１の信号より略
９０度位相差のある第３の信号と、該第３の信号より１
８０度位相差のある第４の信号を出力し、これらの信号
より上記移動体の移動量を検出するエンコーダにおいて
、上記第１の信号から第２の信号を減じて第５の信号を
作る手段と、上記第２の信号から第１の信号を減じて第
６の信号を作る手段と、上記第３の信号から第４の信号
を減じて第７の信号を作る手段と、上記第５の信号と第
７の信号を加算して第８の信号を作る手段と、上記第６
の信号と第７の信号を加算して第９の信号を作る手段と
を備え、正確に９０度位相差のある上記第８と第９の信
号を得ることを特徴とする高精度エンコーダ。 - （２）移動体に取り付けられたセンサから、１８０度位
相差がある第１、第２の信号と、少なくとも上記第１の
信号より略９０度位相差のある第３の信号を出力し、こ
れらの信号より上記移動体の移動量を検出するエンコー
ダにおいて、上記第１の信号と第３の信号を加算して第
４の信号を作る手段と、上記第２の信号と第３の信号を
加算して第５の信号を作る手段とを備え、正確に９０度
位相差のある上記第４と第５の信号を得ることを特徴と
する高精度エンコーダ。 - （３）移動体に取り付けられたセンサから出力される略
９０度位相差のある第１，第２の信号から、上記移動体
の移動量を検出するエンコーダにおいて、上記第１の信
号と１８０度位相差のある第３の信号を作る手段と、上
記第１と第２の信号を加算して第４の信号を作る手段と
、上記第２と第３の信号を加算して第５の信号を作る手
段を有し、正確に９０度の位相差のある第４と第５の信
号を得る高精度エンコーダ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9511690A JPH03293521A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 高精度エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9511690A JPH03293521A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 高精度エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03293521A true JPH03293521A (ja) | 1991-12-25 |
Family
ID=14128873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9511690A Pending JPH03293521A (ja) | 1990-04-12 | 1990-04-12 | 高精度エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03293521A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153753A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Olympus Corp | エンコーダ |
| JP2008232705A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
| JP2009503462A (ja) * | 2005-07-26 | 2009-01-29 | エーベーエム−パプスト ザンクト ゲオルゲン ゲーエムベーハー ウント コー．カーゲー | 絶対値回転角センサを有する電気モータ、および回転角絶対値の形成方法 |
| JP2009115596A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Mitsutoyo Corp | 干渉計 |
| JP2010071830A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
| JP2016161441A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 位相調整器及びエンコーダ |
-
1990
- 1990-04-12 JP JP9511690A patent/JPH03293521A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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