JP2015169602A - 位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置検出対象の物体の移動方向に沿って延伸し、位置検出用の信号が一定周期で繰り返し記録されるスケールと、物体とともに移動可能でスケールに記録された位置検出用の信号を検出するセンサと、センサの出力信号とに基づいて物体の位置を取得する位置取得部とを備える。センサとしては、物体とともに移動可能で、スケールに対向して配置され、スケールに記録された位置検出用の信号を検出する主センサ21,23と、主センサ21,23の移動方向と直交する方向に隣接した位置に配置され、スケールに記録された一定周期又はその整数倍の範囲の位置検出用の信号を平均化した信号を検出する副センサ22,24とを備える。
【選択図】図1
Description
そして、図9の位置検出装置においては、磁気スケール1の磁化方向が反転する長手方向(図中のx方向)に沿って移動する磁気ヘッド2が用意され、その磁気ヘッド2に2つの磁気センサ2a,2bが配置されている。それぞれの磁気センサ2a,2bは、近接した磁気スケール1に記録された磁化方向を検出するセンサであり、記録信号の1波長の1/4周期に相当する距離だけ配置位置がずれている。このため、一方の磁気センサ2aは、磁気スケール1の記録信号を正弦波形の信号(SIN信号)として検出し、他方の磁気センサ2bは、磁気スケール1の記録信号を余弦波形の信号(COS信号)として検出する。
算出された位置の情報は、位置情報の表示装置や制御装置に伝えられる。
特許文献1には、このような磁気式の位置検出装置の例についての記載がある。
また、スケールとヘッドのクリアランスが大きくすると、スケールに記録された信号の波長よりも長い周期で現れるノイズ成分の減衰量よりも、スケールに記録された信号の減衰量の方が大きく発生してしまう。このため、クリアランスが大きい場合には、ノイズ成分の比率が著しく増大して、位置の検出精度の悪化を招いてしまう。
センサとしては、主センサと副センサとを備える。
主センサは、物体とともに移動可能で、スケールに対向して配置され、スケールに記録された位置検出用の信号を検出する。
副センサは、物体の移動方向と直交する方向に、主センサと隣接した位置に配置され、スケールに記録された一定周期又はその整数倍の範囲の位置検出用の信号を平均化した信号を検出する。
そして、位置取得部は、主センサの出力信号と副センサの出力信号とに基づいて、物体の位置を取得する。
このように長波長のノイズ成分が除去されることによって、ノイズに影響されない位置検出ができ、例えばスケールとセンサとのクリアランスを大きくしても、位置検出の精度を向上又は維持させることが可能になる。また、スケールとセンサとのクリアランスを大きくできることで、スケールとセンサとのクリアランスを高精度に維持する複雑な構成が不要になり、位置検出装置として構成の簡易化や低コスト化が行えると共に、高信頼性を向上させることができる。
図1及び図2は、本例の位置検出装置の磁気スケールと磁気ヘッドとの配置状態の例を示す図である。図1は斜視図であり、図2は磁気スケールと磁気ヘッドとを重ねた平面図である。
図1に示すように、磁気スケール10は、一定の距離ごとにN極とS極に交互に着磁させて信号を記録した磁性媒体を、金属板の表面に貼り付けた構成になっている。この磁気スケール10は、位置検出装置で移動を検出する最大の距離以上の長さに形成されている。N極とS極が変化する1つの周期が1波長になる。1波長の長さは、例えば400μmとする。
これら磁気センサ22、24は、隣接した磁気センサ21又は23に対して、x方向と直交する方向に隣接した位置に配置される。
図2に示すように、磁気センサ22,24は、x方向の長さL1,L2が、磁気スケール10の記録信号の1波長の長さと等しい長さに設定される。例えば、磁気スケール10に記録された信号の1波長が400μmであるとき、磁気センサ22,24のx方向の長さL1,L2を400μmに設定する。
図3は、磁気ヘッド20に配置された4つの磁気センサ21,22,23,24の出力信号を処理するための回路構成を示す。
磁気センサ21が検出したSIN信号と、磁気センサ22が検出したSIN−DC信号は、減算器31に供給される。この減算器31では、磁気センサ21が出力したSIN信号と、磁気センサ22が出力したSIN−DC信号との差分が検出される。この減算器31で得られた差分の信号が、正弦波形の検出信号SIN(x)として位置取得部33に供給される。
図4Aは、減算器31が出力する正弦波形の検出信号SIN(x)を示す。磁気センサ21が検出したSIN信号には、1波長よりも長い周期のノイズ成分であるSIN−DC信号が含まれているが、減算器31でこのノイズ成分が除去された信号SIN(x)が得られる。
図4Bは、減算器32が出力する余弦波形の検出信号COS(x)を示す。磁気センサ23が検出したCOS信号には、1波長よりも長い周期のノイズ成分であるCOS−DC信号が含まれているが、減算器32でこのノイズ成分が除去された信号COS(x)が得られる。
次に、本発明の他の実施の形態例を説明する。
図1及び図2に示した磁気ヘッド20が備えるSIN信号を検出する磁気センサ21とCOS信号を検出する磁気センサ23は、それぞれ1個のセンサで構成した。これに対して、それぞれの信号を検出する磁気センサ21,23を複数のセンサで構成して、その複数のセンサの信号の演算処理で、正弦波形や余弦波形の高調波成分を除去するようにしてもよい。
例えば、SIN信号を検出する8個の磁気センサ21a〜21hは、第1の群の磁気センサ21a〜21dと、第2の群の磁気センサ21e〜21hとに分け、それぞれの群の4つの磁気センサをブリッジ接続して、偶数次歪みをキャンセルさせる。また、2つの群の磁気センサは、2つの群で相互に抵抗の増減変化が逆相になるような間隔で配置する。そして、2つの群のブリッジ接続で得た信号を差動アンプで加算して、奇数次(3次など)の高調波歪みをキャンセルさせる。
ここまで説明した磁気ヘッドでは、1個又は1組の磁気センサに隣接して、ノイズ成分検出用の1個の磁気センサ22,24を配置した例を示した。これに対して、1個又は1組の磁気センサの両隣に1個ずつ、合計2個のノイズ成分検出用のセンサを配置してもよい。
すなわち、例えば図6に示すように、磁気ヘッド20にSIN信号を検出する磁気センサ21とCOS信号を検出する磁気センサ23とを配置する。そして、SIN信号を検出する磁気センサ21の一方の隣に、記録信号の1波長の長さL1の磁気センサ22aを配置し、磁気センサ21の他方の隣に、記録信号の1波長の長さL2の磁気センサ22bを配置する。
2つの1波長の長さの磁気センサ22a,22bの検出信号は、加算器34で加算される。この加算器34で加算された信号が、SIN−DC信号になる。そして、加算器34で得たノイズ成分であるSIN−DC信号と、磁気センサ21で得たSIN信号との差分を減算器31で取得することで、正弦波形の信号SIN(x)が得られる。
同様に、2つの1波長の長さの磁気センサ24a,24bの検出信号は、加算器35で加算される。この加算器35で加算された信号が、COS−DC信号になる。そして、加算器35で得たノイズ成分であるCOS−DC信号と、磁気センサ23で得たCOS信号との差分を、減算器32で取得することで、余弦波形の信号COS(x)が得られる。
なお、図6及び図7の構成では、SIN信号を検出する磁気センサ21とCOS信号を検出する磁気センサ23を1個ずつ配置する例を示した。これに対して、図5に示したように、高調波歪みを除去する構成のセンサの場合にも、同様にそれぞれの群の磁気センサに対して、ノイズ成分を検出する磁気センサを両隣に配置するようにしてもよい。
図8は、本発明を光学式スケールに適用した例を示す図である。
図8に示した光学式スケールは、それぞれ一定のピッチの格子が形成された主スケール101と副スケール102と用意し、それぞれのスケール101,102をある程度の角度を持たせて重ねる。そして、光源110からの光を、主スケール101と副スケール102を透過させ、その透過光を光学ヘッド120で受光する。ここで、光学ヘッド120は、主スケール101の格子が配列された方向に移動するので、光学ヘッド120での受光状態の変化から、格子の配置状態に対応した波形が検出され、光学ヘッド120の移動位置が検出される。
そして、光学ヘッド120内の主センサの出力と副センサの出力とを減算器121に供給し、減算器121で両センサの差分を取得する。この減算器121の出力が、位置検出用の検出信号となる。
このように構成することで、光学ヘッド120が受光する信号に含まれるノイズ成分を除去することができ、良好な位置検出が可能になる。
なお、上述した実施の形態例で説明した1波長の値として示した400μmや、クリアランスの数値として示した250μmなどの値は、好適な一例を示したものであり、本発明は、これらの数値に限定されるものではない。また、本例の位置検出装置は、クリアランスを従来よりも拡大できる点を効果の1つとして説明したが、スケールとヘッドとのクリアランスが狭い位置検出装置に本発明を適用してもよいことは勿論である。クリアランスが狭い場合には、それだけセンサの検出信号の振幅が確保でき、それだけ検出精度の向上を図ることができる。
また、図3や図7に示した構成では、減算器や加算器で演算を行う構成だけを示したが、これらの減算や加算などの演算を行う前などで、それぞれのセンサの検出信号に対して振幅(ゲイン)の調整を行った後、減算や加算を行うようにしてもよい。
Claims (7)
- 位置検出対象の物体の移動方向に沿って延伸し、位置検出用の信号が一定周期で繰り返し記録されるスケールと、
前記物体とともに移動可能で、前記スケールに対向して配置され、前記スケールに記録された位置検出用の信号を検出する主センサと、
前記物体の移動方向と直交する方向に、前記主センサと隣接した位置に配置され、前記スケールに記録された前記一定周期又はその整数倍の範囲の位置検出用の信号を平均化した信号を検出する副センサと、
前記主センサの出力信号と前記副センサの出力信号とに基づいて、前記物体の位置を取得する位置取得部とを備えた
位置検出装置。 - 前記位置取得部は、前記主センサの出力信号から前記副センサの出力信号を減算した信号に基づいて、前記物体の位置を取得する
請求項1に記載の位置検出装置。 - 前記スケールは磁気媒体を備え、前記位置検出用の信号は、前記磁気媒体の磁化方向の変化が前記一定周期で繰り返される信号であり、
前記主センサ及び前記副センサは磁気センサよりなり、前記副センサは、前記一定周期の範囲の信号又はその整数倍の信号に対して検出感度を持つ磁気センサである
請求項1又は2に記載の位置検出装置。 - 前記主センサは、前記一定周期に対して所定位相ずれた第1位相用主センサと第2位相用主センサとを備え、
前記第1位相用主センサと前記第2位相用主センサのそれぞれに隣接した位置に、前記副センサを備える
請求項1〜3のいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記主センサは、前記一定周期の整数分の1の周期を持つ高調波成分を検出してキャンセルするための複数のセンサから構成される
請求項1〜4のいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記副センサは、前記主センサの一方の隣に隣接した位置に配置した第1副センサと、前記主センサの他方の隣に隣接した位置に配置した第2副センサとを備え、
前記第1副センサと前記第2副センサの出力信号から、一定周期の範囲の位置検出用の信号を平均化した信号を検出する
請求項1〜5のいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記スケールは光の透過特性又は反射特性の変化が前記一定周期で繰り返されることで位置検出用の信号が記録され、
前記主センサ及び前記副センサは前記スケールの光の透過特性又は反射特性を検出する光学センサよりなり、前記副センサは、前記一定周期の範囲の透過特性又は反射特性の変化に対して検出感度を持つ
請求項1又は2に記載の位置検出装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018141776A (ja) * | 2017-01-26 | 2018-09-13 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 位置測定装置 |
CN111753569A (zh) * | 2019-03-26 | 2020-10-09 | 株式会社石田 | 物品移动检测装置及物品移动检测方法 |
CN113532486A (zh) * | 2020-04-20 | 2021-10-22 | Tdk株式会社 | 磁传感器、磁式编码器及透镜检测装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005003559A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Canon Inc | 位置検出装置、光学装置および位置検出方法 |
JP2008129018A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Amo Automatisierung Messtechnik Optik Gmbh | 位置測定装置 |
JP2009500637A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-08 | エヌシーティーエンジニアリング ゲーエムベーハー | 角度検出装置 |
JP2010014646A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Canon Inc | 計測装置 |
JP2012519296A (ja) * | 2009-03-02 | 2012-08-23 | アールエルエス メリルナ テニカ ディー.オー.オー. | ポジションエンコーダ装置 |
JP2012253887A (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-20 | Sodick Co Ltd | 位置検出装置 |
-
2014
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005003559A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Canon Inc | 位置検出装置、光学装置および位置検出方法 |
JP2009500637A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-08 | エヌシーティーエンジニアリング ゲーエムベーハー | 角度検出装置 |
JP2008129018A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Amo Automatisierung Messtechnik Optik Gmbh | 位置測定装置 |
JP2010014646A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Canon Inc | 計測装置 |
JP2012519296A (ja) * | 2009-03-02 | 2012-08-23 | アールエルエス メリルナ テニカ ディー.オー.オー. | ポジションエンコーダ装置 |
JP2012253887A (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-20 | Sodick Co Ltd | 位置検出装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018141776A (ja) * | 2017-01-26 | 2018-09-13 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 位置測定装置 |
JP7152159B2 (ja) | 2017-01-26 | 2022-10-12 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
CN111753569A (zh) * | 2019-03-26 | 2020-10-09 | 株式会社石田 | 物品移动检测装置及物品移动检测方法 |
CN113532486A (zh) * | 2020-04-20 | 2021-10-22 | Tdk株式会社 | 磁传感器、磁式编码器及透镜检测装置 |
JP2021173542A (ja) * | 2020-04-20 | 2021-11-01 | Tdk株式会社 | 磁気センサ、磁気式エンコーダおよびレンズ位置検出装置 |
JP7115505B2 (ja) | 2020-04-20 | 2022-08-09 | Tdk株式会社 | 磁気センサ、磁気式エンコーダおよびレンズ位置検出装置 |
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