JP2010018026A - 多孔質層を有する積層体、及びそれを用いた機能性積層体 - Google Patents
多孔質層を有する積層体、及びそれを用いた機能性積層体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010018026A JP2010018026A JP2009138109A JP2009138109A JP2010018026A JP 2010018026 A JP2010018026 A JP 2010018026A JP 2009138109 A JP2009138109 A JP 2009138109A JP 2009138109 A JP2009138109 A JP 2009138109A JP 2010018026 A JP2010018026 A JP 2010018026A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- porous layer
- laminate
- transparent
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 159
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 105
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 99
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims abstract description 73
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 68
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 44
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 677
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 160
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 143
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 143
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 103
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 62
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 37
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 27
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims description 24
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 23
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 claims description 21
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 18
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 16
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 14
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 13
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 claims description 12
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 claims description 12
- 230000001112 coagulating effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 9
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 122
- 239000002585 base Substances 0.000 description 68
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 64
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 53
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 45
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 45
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 38
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 34
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 33
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 32
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 32
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 29
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 26
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 26
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 26
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 24
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 21
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 21
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 19
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 18
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 18
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 17
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 17
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 16
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 16
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 15
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 14
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 14
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 14
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 14
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 14
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 13
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 13
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 12
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 10
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 10
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 9
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 8
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 8
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 8
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 8
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 8
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 8
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 7
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 6
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 6
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 6
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 6
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 6
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 5
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical compound C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 5
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 5
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 5
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 5
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 5
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 5
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 5
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 5
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 5
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 5
- 238000002411 thermogravimetry Methods 0.000 description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 5
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 1,1-Diethoxyethane Chemical compound CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 4
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 4
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 4
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 4
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 4
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 4
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 4
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 4
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 4
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 4
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 3
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 3
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 3
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 3
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 229940100890 silver compound Drugs 0.000 description 3
- 150000003379 silver compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloroethane Chemical compound ClC(Cl)C(Cl)Cl QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N Acrylic acid Chemical compound OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003319 Araldite® Polymers 0.000 description 2
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 2
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001875 Ebonite Polymers 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920006269 PPS film Polymers 0.000 description 2
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N TOTP Chemical compound CC1=CC=CC=C1OP(=O)(OC=1C(=CC=CC=1)C)OC1=CC=CC=C1C YSMRWXYRXBRSND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFDQGLPGKXUTMZ-UHFFFAOYSA-N [Mn].[Co].[Ni] Chemical compound [Mn].[Co].[Ni] KFDQGLPGKXUTMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 2
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- 239000010779 crude oil Substances 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VJHINFRRDQUWOJ-UHFFFAOYSA-N dioctyl sebacate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)CCCCCCCCC(=O)OCC(CC)CCCC VJHINFRRDQUWOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- HHLFWLYXYJOTON-UHFFFAOYSA-N glyoxylic acid Chemical compound OC(=O)C=O HHLFWLYXYJOTON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229940093915 gynecological organic acid Drugs 0.000 description 2
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- KCYJMWPVYGWYAF-UHFFFAOYSA-N iron phosphanylidynecobalt Chemical compound [Fe].[Co]#P KCYJMWPVYGWYAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 2
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 235000019198 oils Nutrition 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 2
- HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1 HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000012279 sodium borohydride Substances 0.000 description 2
- 229910000033 sodium borohydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- URAYPUMNDPQOKB-UHFFFAOYSA-N triacetin Chemical compound CC(=O)OCC(OC(C)=O)COC(C)=O URAYPUMNDPQOKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- MTZUIIAIAKMWLI-UHFFFAOYSA-N 1,2-diisocyanatobenzene Chemical compound O=C=NC1=CC=CC=C1N=C=O MTZUIIAIAKMWLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXHZWRZAWJVPIC-UHFFFAOYSA-N 1,2-diisocyanatonaphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=C(N=C=O)C(N=C=O)=CC=C21 ZXHZWRZAWJVPIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC=NC(N)=N1 VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDMDQYCEEKCBGR-UHFFFAOYSA-N 1,4-diisocyanatocyclohexane Chemical compound O=C=NC1CCC(N=C=O)CC1 CDMDQYCEEKCBGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBPZYKAUNRMKP-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2,4-dichlorophenyl)pentyl]1,2,4-triazole Chemical compound C=1C=C(Cl)C=C(Cl)C=1C(CCC)CN1C=NC=N1 WKBPZYKAUNRMKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QKPVEISEHYYHRH-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyacetonitrile Chemical compound COCC#N QKPVEISEHYYHRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M Butyrate Chemical compound CCCC([O-])=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Natural products CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- PYGXAGIECVVIOZ-UHFFFAOYSA-N Dibutyl decanedioate Chemical compound CCCCOC(=O)CCCCCCCCC(=O)OCCCC PYGXAGIECVVIOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000003550 Eusideroxylon zwageri Species 0.000 description 1
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 description 1
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-M Glycolate Chemical compound OCC([O-])=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- IDCBOTIENDVCBQ-UHFFFAOYSA-N TEPP Chemical compound CCOP(=O)(OCC)OP(=O)(OCC)OCC IDCBOTIENDVCBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920013629 Torelina Polymers 0.000 description 1
- 239000004742 Torelina™ Substances 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical group CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFYPSWGDJSPEQI-UHFFFAOYSA-N [B].[P].[Ni] Chemical compound [B].[P].[Ni] VFYPSWGDJSPEQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEBFYWHXKVOHDI-UHFFFAOYSA-N [Co].[P][W] Chemical compound [Co].[P][W] FEBFYWHXKVOHDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKQGJVKHBSPKST-UHFFFAOYSA-N [Ni].P#[Mo] Chemical compound [Ni].P#[Mo] CKQGJVKHBSPKST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UKBBLYOZLMOPNK-UHFFFAOYSA-N [P].[Cr].[Ni] Chemical compound [P].[Cr].[Ni] UKBBLYOZLMOPNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUWOETZNAMLKMG-UHFFFAOYSA-N [P].[Ni].[Cu] Chemical compound [P].[Ni].[Cu] JUWOETZNAMLKMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACVSDIKGGNSZDR-UHFFFAOYSA-N [P].[W].[Ni] Chemical compound [P].[W].[Ni] ACVSDIKGGNSZDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006359 acetalization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 229960005070 ascorbic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000010323 ascorbic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011668 ascorbic acid Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000004359 castor oil Substances 0.000 description 1
- 235000019438 castor oil Nutrition 0.000 description 1
- 238000012663 cationic photopolymerization Methods 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000002508 contact lithography Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- KORSJDCBLAPZEQ-UHFFFAOYSA-N dicyclohexylmethane-4,4'-diisocyanate Chemical compound C1CC(N=C=O)CCC1CC1CCC(N=C=O)CC1 KORSJDCBLAPZEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 238000011038 discontinuous diafiltration by volume reduction Methods 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N edrophonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C1=CC=CC(O)=C1 BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 150000004676 glycans Chemical class 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N glycerol triricinoleate Natural products CCCCCC[C@@H](O)CC=CCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](COC(=O)CCCCCCCC=CC[C@@H](O)CCCCCC)OC(=O)CCCCCCCC=CC[C@H](O)CCCCCC ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N 0.000 description 1
- 239000001087 glyceryl triacetate Substances 0.000 description 1
- 235000013773 glyceryl triacetate Nutrition 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 230000005802 health problem Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- LHLROOPJPUYVKD-UHFFFAOYSA-N iron phosphanylidynenickel Chemical compound [Fe].[Ni]#P LHLROOPJPUYVKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SEYZDJPFVVXSRB-UHFFFAOYSA-N iron(2+);1,2,3,4,5-pentamethylcyclopenta-1,3-diene Chemical compound [Fe+2].CC=1C(C)=C(C)[C-](C)C=1C.CC=1C(C)=C(C)[C-](C)C=1C SEYZDJPFVVXSRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 1
- 238000007644 letterpress printing Methods 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 235000021388 linseed oil Nutrition 0.000 description 1
- 239000000944 linseed oil Substances 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- AYLRODJJLADBOB-QMMMGPOBSA-N methyl (2s)-2,6-diisocyanatohexanoate Chemical compound COC(=O)[C@@H](N=C=O)CCCCN=C=O AYLRODJJLADBOB-QMMMGPOBSA-N 0.000 description 1
- 238000000813 microcontact printing Methods 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000010742 number 1 fuel oil Substances 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 239000002907 paramagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N phenylbenzene Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYDPQDSKEDUNKV-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynetungsten Chemical compound [W]#P UYDPQDSKEDUNKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 125000001557 phthalyl group Chemical group C(=O)(O)C1=C(C(=O)*)C=CC=C1 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920006350 polyacrylonitrile resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229940068918 polyethylene glycol 400 Drugs 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 description 1
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- BPJZKLBPJBMLQG-KWRJMZDGSA-N propanoyl (z,12r)-12-hydroxyoctadec-9-enoate Chemical compound CCCCCC[C@@H](O)C\C=C/CCCCCCCC(=O)OC(=O)CC BPJZKLBPJBMLQG-KWRJMZDGSA-N 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229940116351 sebacate Drugs 0.000 description 1
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-L sebacate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCCCCCC([O-])=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012424 soybean oil Nutrition 0.000 description 1
- 239000003549 soybean oil Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229960002622 triacetin Drugs 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N triglyme Chemical compound COCCOCCOCCOC YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 235000015112 vegetable and seed oil Nutrition 0.000 description 1
- 239000008158 vegetable oil Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B33/00—Layered products characterised by particular properties or particular surface features, e.g. particular surface coatings; Layered products designed for particular purposes not covered by another single class
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/386—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2305/00—Condition, form or state of the layers or laminate
- B32B2305/02—Cellular or porous
- B32B2305/026—Porous
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/20—Properties of the layers or laminate having particular electrical or magnetic properties, e.g. piezoelectric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/40—Properties of the layers or laminate having particular optical properties
- B32B2307/412—Transparent
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/0036—Heat treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2205/00—Foams characterised by their properties
- C08J2205/04—Foams characterised by their properties characterised by the foam pores
- C08J2205/044—Micropores, i.e. average diameter being between 0,1 micrometer and 0,1 millimeter
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0213—Electrical arrangements not otherwise provided for
- H05K1/0216—Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference
- H05K1/0218—Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference by printed shielding conductors, ground planes or power plane
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0274—Optical details, e.g. printed circuits comprising integral optical means
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/01—Dielectrics
- H05K2201/0104—Properties and characteristics in general
- H05K2201/0108—Transparent
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/01—Dielectrics
- H05K2201/0104—Properties and characteristics in general
- H05K2201/0116—Porous, e.g. foam
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/09681—Mesh conductors, e.g. as a ground plane
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/11—Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
- H05K2203/1105—Heating or thermal processing not related to soldering, firing, curing or laminating, e.g. for shaping the substrate or during finish plating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component
- Y10T428/249953—Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
- Y10T428/249978—Voids specified as micro
- Y10T428/249979—Specified thickness of void-containing component [absolute or relative] or numerical cell dimension
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
【解決手段】基材と、前記基材の少なくとも片面上の多孔質層とを含む積層体であって、前記多孔質層は、高分子を主成分として含む組成物から構成され、前記多孔質層における微小孔の平均孔径が0.01〜10μmであり、空孔率が30〜85%であり、前記多孔質層を構成する組成物は20℃以上のガラス転移温度を有し、前記多孔質層は、加熱処理により微小孔が消失し、透明層に変換され得るものである積層体。
前記積層体の前記多孔質層の表面上に導電体層パターンを形成し、加熱処理に付し、前記多孔質層中の微小孔を消失させ、前記多孔質層を透明層に変換する。
【選択図】図3
Description
(1) 基材と、前記基材の少なくとも片面上の多孔質層とを含む積層体であって、
前記多孔質層は、高分子を主成分として含む組成物から構成され、
前記多孔質層における微小孔の平均孔径が0.01〜10μmであり、空孔率が30〜85%であり、
前記多孔質層を構成する組成物は20℃以上のガラス転移温度を有し、前記多孔質層は、加熱処理により微小孔が消失し、透明層に変換され得るものである積層体。
積層体の多孔質層表面に24mm幅の寺岡製作所社製マスキングテープ[フィルムマスキングテープNo.603(#25)]をテープ一端から50mmの長さ分貼り付け、貼り付けられた前記テープを、直径30mm、200gf荷重のローラーで圧着し、その後、引張試験機を用いてテープ他端を剥離速度50mm/分で引っ張り、T型剥離を行う: を行ったとき、前記基材と前記多孔質層との間で界面剥離を起こさないものである。
前記多孔質層を構成すべき高分子を含む多孔質層形成用材料の溶液を、前記基材上にフィルム状に流延し、その後、これを凝固液中に浸漬し、次いで乾燥に付すことを含む、積層体の製造方法。この際の乾燥処理は、前記多孔質層を構成する組成物のガラス転移温度未満の温度で行われる。
上記(1) 〜(4) のうちのいずれかに記載の積層体の前記多孔質層の表面上に、導電体層、誘電体層、半導体層、絶縁体層、抵抗体層、及び前記層の前駆体層からなる群より選択される層を形成し、
得られた積層体を、前記多孔質層を構成する組成物のガラス転移温度以上の温度での加熱処理に付し、前記多孔質層中の微小孔を消失させ、前記多孔質層を透明層に変換することを含む、機能性積層体の製造方法。
前記多孔質層を構成する組成物がその分解温度未満に溶融温度を有する場合には、前記加熱処理は、前記多孔質層を構成する組成物の溶融温度未満で行うことが好ましい。前記多孔質層組成物が溶融することによって、微小孔が消失し、前記多孔質層は透明層に変換されるが、前記多孔質層組成物が溶融してしまうと、多孔質層上に形成されていたパターン化された機能性層のパターンが維持されにくくなる。
上記(1) 〜(4) のうちのいずれかに記載の積層体の前記多孔質層の表面上に、導電体層、誘電体層、半導体層、絶縁体層、抵抗体層、及び前記層の前駆体層からなる群より選択される層を形成し、
得られた積層体を、前記多孔質層を構成する組成物のガラス転移温度以上の温度での加熱処理に付し、前記多孔質層中の微小孔を消失させ、前記多孔質層を透明層に変換することにより得られた機能性積層体。
積層体の多孔質層表面に24mm幅の寺岡製作所社製マスキングテープ[フィルムマスキングテープNo.603(#25)]をテープ一端から50mmの長さ分貼り付け、貼り付けられた前記テープを、直径30mm、200gf荷重のローラー(Holbein Art Materials Inc.社製、耐油性硬質ゴムローラーNo.10)で圧着し、その後、引張試験機を用いてテープ他端を剥離速度50mm/分で引っ張り、T型剥離を行う:
を行ったとき、前記基材と前記多孔質層との間で界面剥離を起こさないものである。すなわち、基材と多孔質層とが、上記テープ剥離試験で界面剥離が起こらない程度の層間密着強度で直接的に積層されていることを意味している。
光透過性基材が、ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリエーテルイミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、セルロース系樹脂、ビニルアルコール系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリエチレンナフタレート系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、オレフィン系樹脂、及びポリアリレート系樹脂から選択される少なくとも1種の樹脂材料からなる透明樹脂フィルム、透明ガラス板、及び透明セラミックス基板からなる群より選択される光透過性基材であることが好ましい。
前記多孔質層を構成すべき高分子を含む多孔質層形成用材料の溶液を、前記基材上にフィルム状に流延し、その後、これを凝固液に接触させて多孔化処理を施した後、そのまま乾燥に付して、基材と多孔質層との積層体を得る方法;
前記多孔質層を構成すべき高分子を含む多孔質層形成用材料の溶液を、支持体上にフィルム状に流延し、その後、これを凝固液に接触させて多孔化処理を施した後、得られた多孔質層を支持体から基材表面上に転写し、続いて乾燥に付して、基材と多孔質層との積層体を得る方法;
等により製造できる。本発明では以下に詳述するように前者の方法が好ましく用いられる。
多孔質層から変換された透明層の透明度の指標は、次式に示すように、用いられた基材自体の全光線透過率(%)と、透明化された積層体(基材+透明層)の全光線透過率(%)との差の絶対値として表すことができる。
透明層の厚み=多孔質層の厚みx(100−空孔率)/100
電磁波制御材は、電磁波を遮断(シールド)又は吸収する材料として、周囲の電磁環境に及ぼす影響や、機器自体が周囲の電磁環境から受ける影響を軽減又は抑制するために利用されている。デジタル電子機器の普及、パソコンや携帯電話など、われわれの身近には、電気・電子機器や無線機器、システムなど、多くの電磁波発生源が存在し、それらは様々な電磁波を放射している。これらの機器から放射される電磁波は、周囲の電磁環境に影響を及ぼす可能性があり、また、機器自体も周囲の電磁環境から影響を受ける。これらの対策として電磁波シールド材料、電磁波吸収体材料等の電磁波制御材が年々重要となってきている。本発明の複合材料は、電磁波を遮断して電磁波シールド性を付与でき、電磁波制御材として極めて有用である。
構造も違っており一概には言えないが、太陽電池のセルは太陽光を充分に取り入れるために開口部は大きくなければならないが、光によりセル内で生成した電子を効率よく外部に取り出すためには電極や集電配線は充分に微細でなければならない。このように基材の透明性と微細な配線が必要とされるこのような用途で適用することが可能である。
(i) 積層体の多孔質層表面に24mm幅の寺岡製作所社製マスキングテープ[フィルムマスキングテープNo.603(#25)]をテープ一端から50mmの長さ分貼り付け、貼り付けられた前記テープを、直径30mm、200gf荷重のローラー(Holbein Art Materials Inc.社製、耐油性硬質ゴムローラーNo.10)で圧着する。
(ii) 万能引張試験機[(株)オリエンテック社製、商品名「TENSILON RTA−500」]を用いてテープ他端を剥離速度50mm/分で引っ張り、T型剥離を行う。
(iii) 多孔質層と基材との界面剥離の有無を観察する。
電子顕微鏡写真から、積層体の表面又は断面の任意の30点以上の孔についてその面積を測定し、その平均値を平均孔面積Saveとした。孔が真円であると仮定し、下記式を用いて平均孔面積から孔径に換算した値を平均孔径とした。ここでπは円周率を表す。
表面又は内部の平均孔径[μm]=2×(Save/π)1/2
多孔質層内部の空孔率は下記式より算出した。Vは多孔質層の体積[cm3 ]、Wは多孔質層の重量[g]、ρは多孔質層組成物の密度[g/cm3 ](ここで、多孔質層組成物の密度は、該組成物を構成している各成分の密度を重量組成比で分配して算出される)を示す。多孔質層の体積V、多孔質層の重量Wは、それぞれ、基材上に多孔質層が積層された積層体の体積、又は重量から、基材の体積、又は重量を差し引いて算出した。
空孔率[%]=100−100×W/(ρ・V)
ポリビニルブチラール2400の密度:1.08[g/cm3 ]
ポリビニルホルマール ビニレックEタイプの密度:1.23[g/cm3 ]
ポリアミドイミド バイロマックスN−100Hの密度:1.45[g/cm3 ]
エポキシ樹脂 jER828の密度:1.17[g/cm3 ]
酢酸セルロース LT−35の密度:1.35[g/cm3 ]
ガラス転移温度の測定は、メトラー社製示差走査熱量計DSC600Eを用いて行った。多孔質層積層体をシリカゲル入りデシケーター内に24時間保管し乾燥させ、乾燥させた多孔質層の一部をスパチュラで掻き取り、これを測定用サンプルとした。測定は、基本的にJIS K 7121に従い実施した。1回目昇温時のデータから得られた中間点ガラス転移温度(Tmg)を本発明のガラス転移温度とした。
具体的な測定条件は、昇温速度20℃/min、窒素雰囲気下、容器:標準アルミとした。
上記ガラス転移温度の測定におけるのと同様にして測定用サンプルを準備した。JIS K 7120に従い、セイコー電子工業(株)製TG/DTA 6300「高温型示差熱熱重量同時測定装置」を用いて、窒素気流下、昇温速度20℃/minにて、25℃から550℃まで加熱し、この間の重量変化を測定する熱重量分析(TG)を行ない、これによりサンプルの熱分温度を求めた。
全光線透過率(%)は、JIS K7136に準拠して、日本電色工業(株)製、NDH−5000Wヘイズメーターを用いて測定した。
そして、加熱処理されていない多孔質層積層体(基材+多孔質層)の全光線透過率(Tsp)を測定した。
最後に、加熱処理により透明化された積層体(基材+透明層)の配線の存在しない部分の全光線透過率(Tst)を測定した。
ポリビニルブチラール系樹脂溶液(和光純薬工業製、「ポリビニルブチラール2400」(平均重合度:約2300〜2500);固形分濃度15重量%、溶剤NMP)を調製し製膜用の原液とした。ガラス板上に、基材である帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)をテープで固定し、25℃としたこの原液をフィルムアプリケーターを使用して、フィルムアプリケーターと基材とのギャップ76μmの条件でキャストした。キャスト後速やかに湿度約100%、温度50℃の容器中に4分間保持した。その後、水中に浸漬して凝固させ、次いで基材から剥離させることなく室温下で自然乾燥することによって基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Aを得た。多孔質層の厚みは約19μmであり、積層体の総厚みは約119μmであった。多孔質層部分のガラス転移温度を測定したところ、79.9℃であった。
ポリビニルブチラール系樹脂溶液(和光純薬工業製、「ポリビニルブチラール2400」(平均重合度約2300〜2500);固形分濃度15重量%、溶剤NMP)100重量部に、水溶性ポリマーとして和光純薬工業製ポリエチレングリコール400(平均分子量360〜440)10重量部を加えて製膜用の原液とした。ガラス板上に、基材である帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)をテープで固定し、25℃としたこの原液をフィルムアプリケーターを使用して、フィルムアプリケーターと基材とのギャップ102μmの条件でキャストした。キャスト後速やかに湿度約100%、温度50℃の容器中に4分間保持した。その後、水中に浸漬して凝固させ、次いで基材から剥離させることなく室温下で自然乾燥することによって基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Bを得た。多孔質層の厚みは約20μmであり、積層体の総厚みは約120μmであった。多孔質層部分のガラス転移温度を測定したところ、76.9℃であった。
実施例2において、基材として、帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)の代わりに、東レ製PETフィルム(商品名「ルミラーT60」、厚み100μm)を用いたこと以外は実施例2と同様の操作を行い、基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Cを得た。得られた多孔質層の厚みは約15μmであり、積層体の総厚みは約115μmであった。
実施例2において、基材として、帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)の代わりに、並質ガラス板(厚み3mm)を用いたこと以外は実施例2と同様の操作を行い、基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Dを得た。得られた多孔質層の厚みは約19μmであり、積層体の総厚みは約3019μmであった。
ポリビニルブチラール系樹脂溶液(和光純薬工業製、「ポリビニルブチラール2400」(平均重合度約2300〜2500);固形分濃度15重量%、溶剤NMP)100重量部に、架橋剤としてエポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製jER828)5重量部を加えて製膜用の原液とした。ガラス板上に、基材である帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)をテープで固定し、25℃としたこの原液をフィルムアプリケーターを使用して、フィルムアプリケーターと基材とのギャップ102μmの条件でキャストした。キャスト後速やかに湿度約100%、温度50℃の容器中に4分間保持した。その後、水中に浸漬して凝固させ、次いで基材から剥離させることなく室温下で自然乾燥することによって基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Eを得た。多孔質層の厚みは約36μmであり、積層体の総厚みは約136μmであった。多孔質層部分のガラス転移温度を測定したところ、49.7℃であった。
実施例5において、基材として、帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)の代わりに、東レ製PETフィルム(商品名「ルミラーT60」、厚み100μm)を用いたこと以外は実施例5と同様の操作を行い、基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Fを得た。得られた多孔質層の厚みは約25μmであり、積層体の総厚みは約125μmであった。
実施例1で得た積層体A[基材/多孔質層がPETフィルム(100μm)/ポリビニルブチラール(19μm)]の多孔質層表面に、導電インク[藤倉化成株式会社製銀ペースト、ナノ・ドータイトXA9053]で、印刷スピードは15mm/sec、印圧0.1MPa、クリアランス1.5mmの条件で、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施した。使用したスクリーン印刷機はニューロング精密工業株式会社製LS−150TVAであった。スクリーン版はメッシュ株式会社製のものを使用した。印刷後、180℃で30分間の加熱処理を行い、導電インクを硬化させて配線を形成した。使用したインクは酸化銀が加熱により還元されて銀になるタイプのものであって、印刷直後は黒色であったが、加熱後には金属銀の光沢を示した。ただし、フィルム接触部は黒色のままであった。また、加熱前に白色であった多孔質層は透明化した。このようにして、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていた。図3に導電パターンの電子顕微鏡写真(x100倍)を示す。
積層体Aの全光線透過率(Tsp)は31.9%、 透明化された積層体の配線の存在しない部分の全光線透過率(Tst)は87.7%であった。
従って、透明層の透明度(T)は1.9%であった。なお、多孔質層の不透明度(P)は53.9%であった。
実施例7において、積層体として実施例2で得た積層体B[基材/多孔質層がPETフィルム(100μm)/ポリビニルブチラール(20μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていた。
実施例7において、積層体として実施例3で得た積層体C[基材/多孔質層がPETフィルム(100μm)/ポリビニルブチラール(15μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施した。印刷後、導電インクの硬化として150℃で30分間の加熱処理を行い、引き続き多孔質層の透明化処理として180℃で30分間の加熱処理を行った。このように加熱処理を2段階で行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状パターンが形成されていた。
実施例7において、積層体として実施例4で得た積層体D[基材/多孔質層が並質ガラス板(3mm)/ポリビニルブチラール(19μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドガラス板を製造した。得られた電磁波シールドガラス板を電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状パターンが形成されていた。
実施例7において、積層体として実施例5で得た積層体E[基材/多孔質層がPETフィルム(100μm)/ポリビニルブチラール+jER828(36μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状パターンが形成されていた。
実施例7において、積層体として実施例6で得た積層体F[基材/多孔質層がPETフィルム(100μm)/ポリビニルブチラール+jER828(25μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状パターンが形成されていた。
実施例7において、積層体Aの代わりに印刷基材として帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、PETフィルム上に直接、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムの作成を試みた。しかし、得られたフィルムは一見して印刷にムラが見られ、さらに電子顕微鏡で観察したところ、線幅は場所によって不均一で、また約50〜150μm程度まで広がってしまっており、電磁波シールドフィルムとしての使用は不可能であった。図4に導電パターンの電子顕微鏡写真(x100倍)を示す。
ポリビニルブチラール系樹脂溶液(電気化学工業製、「デンカブチラール#6000−AS」(平均重合度約2200);固形分濃度15重量%、溶剤NMP)を調製し製膜用の原液とした。ガラス板上に、基材である帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)をテープで固定し、25℃としたこの原液をフィルムアプリケーターを使用して、フィルムアプリケーターと基材とのギャップ102μmの条件でキャストした。キャスト後速やかに湿度約100%、温度50℃の容器中に4分間保持した。その後、水中に浸漬して凝固させ、次いで基材から剥離させることなく室温下で自然乾燥することによって基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Gを得た。多孔質層の厚みは約16μmであり、積層体の総厚みは約116μmであった。多孔質層部分のガラス転移温度を測定したところ、89.8℃であった。
実施例7において、積層体として実施例13で得た積層体G[基材/多孔質層がPETフィルム(100μm)/ポリビニルブチラール(16μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていた。
実施例13において、基材として、帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)の代わりに、東レ社製PPS(ポリフェニレンサルファイド)フィルム(商品名「トレリナ3030」、厚み50μm、コロナ処理面を使用)を用いたこと以外は実施例13と同様の操作を行い、基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Hを得た。得られた多孔質層の厚みは約17μmであり、積層体の総厚みは約117μmであった。
実施例7において、積層体として実施例15で得た積層体H[基材/多孔質層がPPSフィルム(50μm)/ポリビニルブチラール(17μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていた。
実施例13において、基材として、帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)の代わりに、寺岡製作所製PENフィルム粘着テープ(商品名「635F #25」、PEN厚み25μm、粘着層厚み30μm)の粘着層面に東レ・デュポン社製ポリイミドフィルム カプトン200H(厚み50μm)を貼り合わせたものを用いたこと以外は実施例13と同様の操作を行い、基材のPEN面上に白色の多孔質層が積層された積層体Iを得た。得られた多孔質層の厚みは約20μmであり、積層体の総厚みは約120μmであった。
実施例7において、積層体として実施例17で得た積層体I[基材/多孔質層がPENフィルム粘着テープ(25μm)+粘着層(30μm)+ポリイミドフィルム(50μm)/ポリビニルブチラール(20μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていた。
ポリビニルホルマール系樹脂溶液(チッソ製、「ビニレックEタイプ」(分子量95000〜134000);固形分濃度15重量%、溶剤NMP)を調製し製膜用の原液とした。ガラス板上に、基材である帝人デュポン社製PETフィルム(Sタイプ、厚み100μm)をテープで固定し、25℃としたこの原液をフィルムアプリケーターを使用して、フィルムアプリケーターと基材とのギャップ102μmの条件でキャストした。キャスト後速やかに湿度約100%、温度50℃の容器中に4分間保持した。その後、水中に浸漬して凝固させ、次いで基材から剥離させることなく室温下で自然乾燥することによって基材上に白色の多孔質層が積層された積層体Jを得た。多孔質層の厚みは約16μmであり、積層体の総厚みは約116μmであった。多孔質層部分のガラス転移温度を測定したところ、93.2℃であった。
実施例7において、積層体として実施例19で得た積層体J[基材/多孔質層がPETフィルム(100μm)/ポリビニルホルマール(16μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、180℃で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていた。
ポリアミドイミド系樹脂溶液(東洋紡績社製の商品名「バイロマックスN−100H」;固形分濃度20重量%、溶剤NMP、溶液粘度350dPa・s/25℃)、溶剤としてのNMP、水溶性ポリマーとしてのアルドリッチ社製ポリビニルピロリドン(分子量1万)、及び架橋剤としてのビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名「jER 828」)を、ポリアミドイミド系樹脂/NMP/ポリビニルピロリドン/ビスフェノールA型エポキシ樹脂の重量比が15/85/25/10となる割合で混合して製膜用の原液とした。ガラス板上に、基材であるポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製の商品名「カプトン200H」、厚み50μm)をテープで固定し、25℃としたこの原液をフィルムアプリケーターを使用して、フィルムアプリケーターと基材とのギャップ51μmの条件でキャストした。キャスト後速やかに湿度約100%、温度50℃の容器中に4分間保持した。その後、水中に浸漬して凝固させ、次いで基材から剥離させることなく室温下で自然乾燥することによって基材上に多孔質層が積層された積層体Kを得た。多孔質層の厚みは約23μmであり、積層体の総厚みは約73μmであった。
実施例21で得た積層体K[基材/多孔質層がポリイミドフィルム(50μm)/ポリアミドイミド系樹脂+jER 828(23μm)]の多孔質層表面に、導電インク[藤倉化成株式会社製銀ペースト、ナノ・ドータイトXA9053]で、印刷スピードは15mm/sec、印圧0.1MPa、クリアランス1.5mmの条件で、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施した。使用したスクリーン印刷機はニューロング精密工業株式会社製LS−150TVAであった。スクリーン版はメッシュ株式会社製のものを使用した。印刷後、200℃に設定したホットプレート上で30分間の加熱処理を行い、導電インクを硬化させて配線を形成した。サンプル全体が均質に加熱されるように、サンプルの上から深さ約20mmのアルミ製のバットを被せて加熱した。使用したインクは酸化銀が加熱により還元されて銀になるタイプのものであって、印刷直後は黒色であったが、加熱後には金属銀の光沢を示した。ただし、フィルム接触部は黒色のままであった。また、加熱前に黄白色であった多孔質層は透明化していた。このようにして、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていた。
積層体Kの全光線透過率(Tsp)は8.1%、
透明化された積層体の配線の存在しない部分の全光線透過率(Tst)は38.1%であった。
従って、透明層の透明度(T)は2.9%であった。なお、多孔質層の不透明度(P)は32.9%であった。
ポリアミドイミド系樹脂溶液(東洋紡績社製の商品名「バイロマックスN−100H」;固形分濃度20重量%、溶剤NMP、溶液粘度350dPa・s/25℃)、溶剤としてのNMP、水溶性ポリマーとしてのアルドリッチ社製ポリビニルピロリドン(分子量1万)を、ポリアミドイミド系樹脂/NMP/ポリビニルピロリドンとの重量比が15/85/25となる割合で混合して製膜用の原液とした。ガラス板上に、基材であるポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製の商品名「カプトン200H」、厚み50μm)をテープで固定し、25℃としたこの原液をフィルムアプリケーターを使用して、フィルムアプリケーターと基材とのギャップ51μmの条件でキャストした。キャスト後速やかに湿度約100%、温度50℃の容器中に4分間保持した。その後、水中に浸漬して凝固させ、次いで基材から剥離させることなく室温下で自然乾燥することによって基材上に多孔質層が積層された積層体を得た。多孔質層の厚みは約22μmであり、積層体の総厚みは約72μmであった。
実施例7において、積層体として比較例2で得た積層体[基材/多孔質層がポリイミドフィルム(50μm)/ポリアミドイミド系樹脂(22μm)]を用いたこと以外は実施例7と同様の操作を行い、格子状パターン(線幅20μm、ピッチ300μm)をスクリーン印刷方式にて印刷を施し、200℃に設定したホットプレート上で30分間の加熱処理を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。サンプル全体が均質に加熱されるように、サンプルの上から深さ約20mmのアルミ製のバットを被せて加熱した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていた。ただし、印刷後の200℃で30分間の加熱処理によっても、多孔質層は透明化せずに、加熱処理前とほぼ変化のない黄白色のままであった。
比較例2で得た積層体の全光線透過率(Tsp)は8.2%、
加熱処理後の積層体の配線の存在しない部分の全光線透過率(Tst)は8.1%であった。
従って、加熱処理後の透明度(T)は32.9%であった。なお、加熱処理前の多孔質層の不透明度(P)は32.8%であった。
比較例3における印刷後の加熱処理条件を、300℃に設定したホットプレート上で30分間の加熱処理に変更したこと以外は比較例3と同様の操作を行い、電磁波シールドフィルムを製造した。得られた電磁波シールドフィルムを電子顕微鏡で観察したところ、線幅20μm、ピッチ300μmの格子状導電パターンが形成されていたが、ただし、多孔質層は透明化せず、黄白色であったものが黄土色に変色する劣化現象が見られた。
比較例2で得た積層体の全光線透過率(Tsp)は8.2%、
加熱処理後の積層体の配線の存在しない部分の全光線透過率(Tst)は4.3%であった。
従って、加熱処理後の透明度(T)は36.7%であった。なお、加熱処理前の多孔質層の不透明度(P)は32.8%であった。
Claims (12)
- 基材と、前記基材の少なくとも片面上の多孔質層とを含む積層体であって、
前記多孔質層は、高分子を主成分として含む組成物から構成され、
前記多孔質層における微小孔の平均孔径が0.01〜10μmであり、空孔率が30〜85%であり、
前記多孔質層を構成する組成物は20℃以上のガラス転移温度を有し、前記多孔質層は、加熱処理により微小孔が消失し、透明層に変換され得るものである積層体。 - 前記基材は、透明樹脂フィルム、透明ガラス板、及び透明セラミックス基板からなる群より選択される光透過性基材である、請求項1に記載の積層体。
- 前記多孔質層を構成する組成物は、さらに架橋剤及び/又は可塑剤を含む、請求項1又は2に記載の積層体。
- 前記多孔質層は、前記多孔質層を構成すべき高分子を含む多孔質層形成用材料の溶液を、前記基材上にフィルム状に流延し、その後、これを凝固液中に浸漬し、次いで乾燥に付すことにより形成されたものである、請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載の積層体。
- 前記多孔質層の表面上にさらに、印刷技術により、導電体層、誘電体層、半導体層、絶縁体層、抵抗体層、及び前記層の前駆体層からなる群より選択される少なくとも1種が形成されている、請求項1〜4のうちのいずれか1項に記載の積層体。
- 請求項1〜4のうちのいずれか1項に記載の積層体を製造する方法であって、
前記多孔質層を構成すべき高分子を含む多孔質層形成用材料の溶液を、前記基材上にフィルム状に流延し、その後、これを凝固液中に浸漬し、次いで乾燥に付すことを含む、積層体の製造方法。 - 前記多孔質層形成用材料の溶液を前記基材上にフィルム状に流延した後、相対湿度70〜100%、温度15〜100℃の雰囲気下に0.2〜15分間保持し、その後、これを凝固液中に浸漬する、請求項6に記載の積層体の製造方法。
- 請求項1〜5のうちのいずれか1項に記載の積層体を、前記多孔質層を構成する組成物のガラス転移温度以上の温度での加熱処理に付し、前記多孔質層中の微小孔を消失させ、前記多孔質層を透明層に変換する方法。
- 基材と、前記基材上の高分子を主成分として含む透明層と、前記透明層上の導電体層、誘電体層、半導体層、絶縁体層、及び抵抗体層からなる群より選択される機能性層とを有する機能性積層体を製造する方法であって、
請求項1〜4のうちのいずれか1項に記載の積層体の前記多孔質層の表面上に、導電体層、誘電体層、半導体層、絶縁体層、抵抗体層、及び前記層の前駆体層からなる群より選択される層を形成し、
得られた積層体を、前記多孔質層を構成する組成物のガラス転移温度以上の温度での加熱処理に付し、前記多孔質層中の微小孔を消失させ、前記多孔質層を透明層に変換することを含む、機能性積層体の製造方法。 - 前記機能性層は、パターン化されている、請求項9に記載の機能性積層体の製造方法。
- 基材と、前記基材上の高分子を主成分として含む透明層と、前記透明層上の導電体層、誘電体層、半導体層、絶縁体層、及び抵抗体層からなる群より選択される機能性層とを有する機能性積層体であって、
請求項1〜4のうちのいずれか1項に記載の積層体の前記多孔質層の表面上に、導電体層、誘電体層、半導体層、絶縁体層、抵抗体層、及び前記層の前駆体層からなる群より選択される層を形成し、
得られた積層体を、前記多孔質層を構成する組成物のガラス転移温度以上の温度での加熱処理に付し、前記多孔質層中の微小孔を消失させ、前記多孔質層を透明層に変換することにより得られた機能性積層体。 - 前記機能性層は、パターン化されている、請求項11に記載の機能性積層体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009138109A JP5474410B2 (ja) | 2008-06-10 | 2009-06-09 | 多孔質層を有する積層体、及びそれを用いた機能性積層体 |
TW98121579A TW201043464A (en) | 2009-06-09 | 2009-06-26 | Laminate having porous layers and functional laminate using the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008152233 | 2008-06-10 | ||
JP2008152233 | 2008-06-10 | ||
JP2009138109A JP5474410B2 (ja) | 2008-06-10 | 2009-06-09 | 多孔質層を有する積層体、及びそれを用いた機能性積層体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010018026A true JP2010018026A (ja) | 2010-01-28 |
JP5474410B2 JP5474410B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=41416762
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009138109A Active JP5474410B2 (ja) | 2008-06-10 | 2009-06-09 | 多孔質層を有する積層体、及びそれを用いた機能性積層体 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110081527A1 (ja) |
EP (1) | EP2292421A4 (ja) |
JP (1) | JP5474410B2 (ja) |
KR (1) | KR20110004907A (ja) |
CN (1) | CN102056738A (ja) |
WO (1) | WO2009151056A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010100778A (ja) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Denki Kagaku Kogyo Kk | シート及びその製造方法 |
JP2012167181A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Daicel Corp | 無機粒子を含有する多孔質膜及びその製造方法 |
JP2014028326A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Daicel Corp | 多孔質層を有する積層体及びその製造方法 |
JP2014087967A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Toppan Forms Co Ltd | 積層体、データ受送信体及び通信機器 |
JP2015199300A (ja) * | 2014-04-09 | 2015-11-12 | トッパン・フォームズ株式会社 | 積層体、データ受送信体、通信機器及び透明導電膜 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2514591A4 (en) * | 2009-12-14 | 2014-02-05 | Daicel Corp | COATED BODY WITH A POROUS LAYER AND FUNCTIONAL COATING THEREWITH |
US8830160B2 (en) | 2010-06-02 | 2014-09-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Presenting information on a card with a passive electronic paper display |
US20110298760A1 (en) | 2010-06-02 | 2011-12-08 | Omer Gila | Systems and methods for writing on and using electronic paper |
US9104082B2 (en) | 2011-06-29 | 2015-08-11 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Electronic paper with porous standoff layer |
JP5406800B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-02-05 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板およびその製造方法 |
JP2012045819A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Sakaiya:Kk | 加飾膜層と金属膜層を備えた樹脂シートの製造方法 |
JP5922038B2 (ja) * | 2010-12-07 | 2016-05-24 | 株式会社朝日ラバー | 被着材料と過酸化物含有高分子材料との接着体及びその製造方法 |
US10000074B2 (en) * | 2011-10-20 | 2018-06-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Writing to an electronic imaging substate |
US10301488B2 (en) * | 2012-03-29 | 2019-05-28 | Dic Corporation | Conductive ink composition, method for producing conductive patterns, and conductive circuit |
US20140065294A1 (en) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | Intrinsiq Materials, Inc. | Surface conditioning for depositing and curing nanoparticle-based ink |
KR20140049309A (ko) * | 2012-10-17 | 2014-04-25 | 삼성전기주식회사 | 터치 패널 및 이의 제조방법 |
TWI488280B (zh) * | 2012-11-21 | 2015-06-11 | Ind Tech Res Inst | 電磁波屏蔽結構及其製造方法 |
US11133390B2 (en) * | 2013-03-15 | 2021-09-28 | The Boeing Company | Low temperature, thin film crystallization method and products prepared therefrom |
KR101610346B1 (ko) | 2013-04-26 | 2016-04-07 | 주식회사 엘지화학 | 도전성 패턴 형성용 조성물, 이를 사용한 도전성 패턴 형성 방법과, 도전성 패턴을 갖는 수지 구조체 |
US10545388B2 (en) | 2014-01-31 | 2020-01-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Display device |
WO2015116212A2 (en) | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Display device |
EP3100107B1 (en) | 2014-01-31 | 2019-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Display device |
US10646685B2 (en) * | 2014-05-09 | 2020-05-12 | Rensselaer Polytechnic Institute | Luminous roof for NICU incubators for regulating circadian rhythms in infants and for providing high visibility of infant anatomy for healthcare staff |
CN104589743B (zh) * | 2014-12-24 | 2017-06-06 | 中航复合材料有限责任公司 | 导电可设计的增韧用无纺布及复合材料 |
JP6592246B2 (ja) * | 2015-01-27 | 2019-10-16 | 株式会社コムラテック | 電子回路基板およびその製造方法 |
CN104803670B (zh) * | 2015-04-10 | 2017-04-05 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 双层探测器用闪烁陶瓷及其制备方法 |
JP1550132S (ja) * | 2015-06-10 | 2016-05-23 | ||
CN107522882B (zh) * | 2017-10-19 | 2020-02-18 | 四川斯派恩新材料有限公司 | 一种聚砜绝缘薄膜及其制备方法 |
WO2019138946A1 (ja) * | 2018-01-11 | 2019-07-18 | 三菱製紙株式会社 | 導電材料および処理方法 |
JP2023108423A (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-04 | 東京応化工業株式会社 | 積層体、及び積層体の製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0477244A (ja) * | 1990-07-19 | 1992-03-11 | Nisshinbo Ind Inc | 成形用紙 |
JP2001145826A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-05-29 | Ube Ind Ltd | 多孔質膜の製造方法および多孔質膜 |
WO2005030849A1 (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-07 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | 耐薬品性を有する多孔性フィルム |
JP2005162885A (ja) * | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Daicel Chem Ind Ltd | 耐薬品性に優れたポリアミドイミド系多孔性フィルムとその製造方法 |
JP2007116103A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-05-10 | Kimoto & Co Ltd | 基板およびそれを用いた電気回路の製造方法 |
WO2007097249A1 (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | 多孔性フィルム及び多孔性フィルムを用いた積層体 |
JP2009073124A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Daicel Chem Ind Ltd | 多孔質層を有する積層体及びその製造方法、並びに多孔質膜及びその製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4733786A (en) * | 1986-11-07 | 1988-03-29 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Container and innerseal capable of indicating heat tampering |
JP2948591B2 (ja) | 1988-05-02 | 1999-09-13 | 日東電工株式会社 | 静電気、電磁波シールド材 |
JPH05327274A (ja) | 1991-05-17 | 1993-12-10 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 電磁波シールド材 |
US5869412A (en) * | 1991-08-22 | 1999-02-09 | Minnesota Mining & Manufacturing Co. | Metal fibermat/polymer composite |
JPH05323101A (ja) | 1992-05-22 | 1993-12-07 | Kuraray Co Ltd | 反射防止性を有する電磁波シールドフィルムおよびその製造方法 |
EP0618079B1 (en) * | 1993-03-29 | 1997-02-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Porous dye-receptor sheet for thermal dye transfer |
JP3250878B2 (ja) * | 1993-07-15 | 2002-01-28 | 日清紡績株式会社 | 熱溶融型プリンター用ohpシート |
JP3388682B2 (ja) | 1996-05-23 | 2003-03-24 | 日立化成工業株式会社 | 電磁波シールド性と透明性を有するディスプレイ用フィルムの製造法 |
EP1219458B1 (en) * | 2000-12-27 | 2004-03-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet recording medium |
JP3963765B2 (ja) | 2002-04-22 | 2007-08-22 | ダイセル化学工業株式会社 | 多孔性フィルム及びその製造方法 |
JP4969192B2 (ja) | 2005-10-04 | 2012-07-04 | 株式会社ダイセル | 多孔性フィルム及びその製造方法 |
JP2007246876A (ja) | 2006-02-14 | 2007-09-27 | Daicel Chem Ind Ltd | 多孔性フィルム及びその製造方法 |
US7867945B2 (en) * | 2006-02-28 | 2011-01-11 | Fujifilm Corporation | Heat-sensitive transfer image-receiving sheet |
-
2009
- 2009-06-09 CN CN2009801216439A patent/CN102056738A/zh active Pending
- 2009-06-09 EP EP09762486.0A patent/EP2292421A4/en not_active Withdrawn
- 2009-06-09 US US12/996,860 patent/US20110081527A1/en not_active Abandoned
- 2009-06-09 WO PCT/JP2009/060546 patent/WO2009151056A1/ja active Application Filing
- 2009-06-09 KR KR1020107027560A patent/KR20110004907A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-06-09 JP JP2009138109A patent/JP5474410B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0477244A (ja) * | 1990-07-19 | 1992-03-11 | Nisshinbo Ind Inc | 成形用紙 |
JP2001145826A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-05-29 | Ube Ind Ltd | 多孔質膜の製造方法および多孔質膜 |
WO2005030849A1 (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-07 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | 耐薬品性を有する多孔性フィルム |
JP2005162885A (ja) * | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Daicel Chem Ind Ltd | 耐薬品性に優れたポリアミドイミド系多孔性フィルムとその製造方法 |
JP2007116103A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-05-10 | Kimoto & Co Ltd | 基板およびそれを用いた電気回路の製造方法 |
WO2007097249A1 (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | 多孔性フィルム及び多孔性フィルムを用いた積層体 |
JP2009073124A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Daicel Chem Ind Ltd | 多孔質層を有する積層体及びその製造方法、並びに多孔質膜及びその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010100778A (ja) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Denki Kagaku Kogyo Kk | シート及びその製造方法 |
JP2012167181A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Daicel Corp | 無機粒子を含有する多孔質膜及びその製造方法 |
JP2014028326A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Daicel Corp | 多孔質層を有する積層体及びその製造方法 |
JP2014087967A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Toppan Forms Co Ltd | 積層体、データ受送信体及び通信機器 |
JP2015199300A (ja) * | 2014-04-09 | 2015-11-12 | トッパン・フォームズ株式会社 | 積層体、データ受送信体、通信機器及び透明導電膜 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110081527A1 (en) | 2011-04-07 |
CN102056738A (zh) | 2011-05-11 |
EP2292421A4 (en) | 2013-12-25 |
JP5474410B2 (ja) | 2014-04-16 |
WO2009151056A1 (ja) | 2009-12-17 |
KR20110004907A (ko) | 2011-01-14 |
EP2292421A1 (en) | 2011-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5474410B2 (ja) | 多孔質層を有する積層体、及びそれを用いた機能性積層体 | |
JP5793425B2 (ja) | 多孔質層を有する積層体、及びそれを用いた機能性積層体 | |
JP4913663B2 (ja) | 回路基板の製造方法 | |
JP5117150B2 (ja) | 多孔質層を有する積層体及びその製造方法、並びに多孔質膜及びその製造方法 | |
JP5461973B2 (ja) | 多孔質膜及びその製造方法 | |
JP5736186B2 (ja) | 無機粒子を含有する多孔質膜及びその製造方法 | |
EP1995053B1 (en) | Porous film and layered product including porous film | |
CN101384425A (zh) | 多孔性薄膜及使用了多孔性薄膜的层叠体 | |
JP6427861B2 (ja) | 回路基板の製造方法 | |
TWI657730B (zh) | 多層印刷配線板之製造方法 | |
KR102259479B1 (ko) | 프린트 배선판의 제조 방법 | |
JP2014028326A (ja) | 多孔質層を有する積層体及びその製造方法 | |
TW201815953A (zh) | 樹脂組成物 | |
KR20070041953A (ko) | 기판 형성방법 | |
JP2018168262A (ja) | 樹脂組成物 | |
JP6276499B2 (ja) | 接着フィルム、硬化体の製造方法、硬化体、配線板、及び半導体装置 | |
JP6462375B2 (ja) | 支持体付き多孔金属箔及び透過性金属箔の製造方法 | |
TW201043464A (en) | Laminate having porous layers and functional laminate using the same | |
JP2019161016A (ja) | プリント配線板用基板、プリント配線板、プリント配線板用基板の製造方法及び銅ナノインク | |
JP7331812B2 (ja) | 配線板及び半導体装置 | |
JP2023100866A (ja) | 配線板及び半導体装置 | |
JP2017076814A (ja) | 接着フィルム、硬化体の製造方法、硬化体、配線板、及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120316 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5474410 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |