JP2010004001A - 極端紫外光用ミラー、極端紫外光用ミラーの製造方法及び極端紫外光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】EUV集光ミラー130の表面131には、Mo/Siの多層膜が設けられており、この多層膜にブレーズド溝133が形成される。プラズマ201から放射された光202は、EUV集光ミラー130に入射し、反射または回折する。EUV反射光203(EUV回折光を含む)は、中間集光点IFに向けて進む。他の波長の光は、反射角度または回折角度が異なるため、IFから外れた位置に進む。IFには、開口部151を有するSPF用アパーチャ150が設けられている。従って、EUV光のみが開口部151を通過して露光機に供給され、他の光はアパーチャ150により遮光される。
【選択図】図1
Description
Claims (17)
- 極端紫外光を反射させるミラーであって、
基板部と、
前記基板部の前記一面側に設けられる基礎部であって、前記基板部の前記一面側に設けられる第1多層膜から形成される基礎部と、
前記基礎部の一面側に一体的に設けられる反射部であって、前記基礎部の前記一面側に設けられる第2多層膜に所定形状の溝を形成することにより生成される反射部と、
を備える極端紫外光用ミラー。 - 前記反射部は焦点を有するように形成されており、前記反射部により反射される極端紫外光は、前記焦点に集まるようになっている請求項1に記載の極端紫外光用ミラー。
- 前記焦点の近傍には、前記極端紫外光を通過させるための開口部を有する遮光部材が設けられる請求項1または請求項2に記載の極端紫外光用ミラー。
- 前記第1多層膜及び前記第2多層膜は一体的に形成されており、前記第1多層膜及び前記第2多層膜をそれぞれ構成する複数のペア層の厚み寸法は、入射する極端紫外光の角度に応じて設定される請求項1または請求項2に記載の極端紫外光用ミラー。
- 前記所定形状の溝は、ブレーズド状の溝として形成される請求項1に記載の極端紫外光用ミラー。
- 前記所定形状の溝は、三角波状の溝として形成される請求項1に記載の極端紫外光用ミラー。
- 前記所定形状の溝は、波状の溝として形成される請求項1に記載の極端紫外光用ミラー。
- 前記所定形状の溝は、同心円状または平行線状に設けられる請求項1に記載の極端紫外光用ミラー。
- 前記第1多層膜及び前記第2多層膜を構成するペア層の合計数は、100以上1000以下の範囲である請求項1に記載の極端紫外光用ミラー。
- 極端紫外光用ミラーを製造するための方法であって、
所定層数の多層膜が一面側に形成された基板部を回転させながら、所定のマスクを介して加工用ビームを前記多層膜に照射することにより、前記多層膜の一部を除去して所定形状の溝を形成する、極端紫外光用ミラーの製造方法。 - 前記加工用ビームを所定の回動軸を中心として回動させながら前記多層膜に向けて照射させる請求項10に記載の極端紫外光用ミラーの製造方法。
- 前記所定の回動軸は、前記プラズマの発生点に対応して設定される請求項11に記載の極端紫外光用ミラーの製造方法。
- 前記反射部は焦点を有しており、
前記所定の回動軸は、前記焦点の位置に対応して設定される請求項11に記載の極端紫外光用ミラーの製造方法。 - レーザ光をターゲット物質に照射してプラズマ化させることにより、極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置であって、
第1排気ポンプが設けられている第1チャンバと、
前記第1チャンバに接続され、第2排気ポンプが設けられている第2チャンバと、
前記第1チャンバ内に前記ターゲット物質を供給するターゲット物質供給手段と、
前記ターゲット物質にレーザ光を照射することにより、前記ターゲット物質をプラズマ化させて極端紫外光を放射させるためのレーザ光源と、
前記プラズマから放射される前記極端紫外光を集光する極端紫外光用集光ミラーであって、前記プラズマから入射する前記極端紫外光を前記第2チャンバ内に設けられる焦点に向けて反射させる極端紫外光用ミラーと、
前記焦点の近傍に設けられる遮光手段であって、前記極端紫外光を通過させるための開口部を有し、前記開口部以外の部分では前記極端紫外光以外の波長の電磁波を減衰させる遮光手段と、
前記焦点に集まる前記極端紫外光を出力する出口部を連通または遮断するための遮断弁とを備え、さらに、
前記極端紫外光用ミラーは、一面が少なくとも一つ以上の曲率を有して形成される基板部と、前記基板部の前記一面側に設けられる基礎部であって、前記基板部の前記一面側に設けられる第1多層膜から形成される基礎部と、前記基礎部の一面側に一体的に設けられる反射部であって、前記基礎部の前記一面側に設けられる第2多層膜に所定形状の溝を形成することにより生成される反射部と、を備えて構成されることを特徴とする極端紫外光源装置。 - 前記所定形状の溝は、ブレーズド状の溝、または、三角波状の溝として形成される請求項14に記載の極端紫外光源装置。
- 前記反射部によって反射される前記レーザ光が集光する位置に、この反射されたレーザ光を吸収するための吸収手段を設けた請求項14に記載の極端紫外光源装置。
- 複数の磁場発生手段を備え、これら磁場発生手段から生じる磁場によって、前記プラズマから放出される荷電粒子を捕捉させる請求項14または請求項15のいずれかに記載の極端紫外光源装置。
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