JP2019516129A - Euv投影露光装置に使用するためのeuvコレクター - Google Patents
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Abstract
Description
25 ポンプ光通過開口部
32 ポンプ光衝突ゾーン
33 回折格子
36 外部光部分
別の態様により、EUV投影露光装置に使用するためのEUVコレクターが開示され、
−コレクターは、プラズマ源領域によって放出されたEUV使用光を案内するように具現化され、
−コレクターの全体入射面が、プラズマ源領域によって放出された放射線による入射に向けて具現化され、
−全体入射面の使用光部分が、EUV使用光を案内するように具現化され、
−全体入射面の外部光部分が、使用光のものとはその波長が異なる外部光放射線を迂回させるように具現化され、
−使用光部分及び外部光部分は合致せず、
−外部光部分は、外部光放射線のための回折格子として具現化され、
−外部光部分は、使用光部分とは別である全体入射面の一部分を構成する。
別の態様により、EUC投影露光装置に使用するためのEUVコレクターが開示され、
−コレクターは、プラズマ源領域によって放出されたEUV使用光を案内するように具現化され、
−コレクターの全体入射面が、プラズマ源領域によって放出された放射線による入射に向けて具現化され、
−全体入射面の使用光部分が、EUV使用光を案内するように具現化され、
−全体入射面の外部光部分が、使用光のものとはその波長が異なる外部光放射線を迂回させるように具現化され、
−使用光部分及び外部光部分は合致せず、
−外部光部分は、外部光放射線のための回折格子として具現化され、
−外部光部分は、外部光を吸収する全体入射面の一部分として具現化される。
Claims (15)
- EUV投影露光装置(1)に使用するためのEUVコレクター(24)であって、
コレクター(24)が、プラズマ源領域(19)によって放出されたEUV使用光(3)を案内するように具現化され、
コレクター(24)の全体入射面(34)が、前記プラズマ源領域(19)によって放出された放射線(3,31)による入射に向けて具現化され、
前記全体入射面(34)の使用光部分(35)が、前記EUV使用光(3)を案内するように具現化され、
前記全体入射面(34)の外部光部分(36;41;43)が、前記使用光(3)のものとはその波長が異なる外部光放射線(31)を迂回させるように具現化され、
前記使用光部分(35)及び前記外部光部分(36;41;43)は合致せず、
前記外部光部分(36)は、前記外部光放射線(31)のための回折格子(33)として具現化される、
ことを特徴とするEUVコレクター(24)。 - 前記外部光部分(36;41;43)は、前記使用光部分(35)の最大で50%である広がりを有することを特徴とする請求項1に記載のコレクター。
- 前記外部光部分(36)は、前記使用光部分(35)の小部分を構成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のコレクター。
- 前記使用光部分(35)は、それによって案内される前記EUV使用光(3)がその場所で1回よりも多く反射されないような実施形態を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のコレクター。
- 前記外部光部分(41)は、前記使用光部分(35)とは別である前記全体入射面(34)の一部分を構成することを特徴とする請求項1、請求項2、及び請求項4のいずれか1項に記載のコレクター。
- 前記外部光部分(43)は、前記外部光(31)を吸収する前記全体入射面(34)の一部分として具現化されることを特徴とする請求項1、請求項2、及び請求項5のいずれか1項に記載のコレクター。
- 前記使用光部分(35)の少なくとも1つの領域が、最大で45°の入射角での前記EUV使用光(3)の入射に向けて具現化されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のコレクター。
- ポンプ光源(21)からの入射ポンプ光(20)の通過のためのポンプ光通過開口部(25)によって特徴付けられる請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のコレクター。
- 前記外部光部分(36;43)は、前記全体入射面(34)のポンプ光衝突ゾーン(32)の領域に配置され、該ポンプ光衝突ゾーン(32)は、プラズマ源領域(19)に配置されたプラズマ発生材料(15)からEUVコレクターの作動中にポンプ光(20)がその中に反射されるゾーンであることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のコレクター。
- 前記外部光部分(36;43)は、前記ポンプ光衝突ゾーン(32)を完全に覆うことを特徴とする請求項9に記載のコレクター。
- 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のEUVコレクター(24)を含み、
結像される物体(10)を配置可能である物体視野(4)をEUV使用光(3)で照明するための照明光学ユニット(6)を含む、
ことを特徴とする照明系。 - 請求項11に記載の照明系を含み、
結像される物体(10)の一部分がその上に結像される基板(11)を配置可能である像視野(8)の中に物体視野(4)を結像するための投影光学ユニット(7)を含む、
ことを特徴とする光学系。 - 請求項12に記載の光学系を含み、
EUV光源(2)を含む、
ことを特徴とする投影露光装置。 - 構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル(10)及びウェーハ(11)を与える段階と、
請求項13に記載の投影露光装置を用いて前記レチクル(10)上の構造を前記ウェーハ(11)の感光層の上に投影する段階と、
前記ウェーハ(11)上に微細構造及び/又はナノ構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項14に記載の方法に従って生成された構造化構成要素。
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