JP2010002912A - 感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物及びこれらを用いて得られる光導波路 - Google Patents
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Abstract
【課題】アルカリ性水溶液に可溶で、かつ可視光領域において良好な伝搬損失を有する感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物及びこれらを用いて得られる光導波路を提供すること。
【解決手段】(A)連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有するビニル重合体、(B)重合性化合物及び(C)重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、(C)成分が、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル、オキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも1種であり、(B)成分が特定の構造を有し、(C)成分の含有量が、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.5〜5.0質量部である感光性樹脂組成物である。
【選択図】なし
【解決手段】(A)連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有するビニル重合体、(B)重合性化合物及び(C)重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、(C)成分が、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル、オキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも1種であり、(B)成分が特定の構造を有し、(C)成分の含有量が、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.5〜5.0質量部である感光性樹脂組成物である。
【選択図】なし
Description
本発明は、感光性樹脂組成物及びその硬化物、感光性樹脂フィルム及びその硬化物並びに、それらを用いた光導波路に関し、特に可視光波長領域における伝搬特性に優れ、かつアルカリ性水溶液に可溶な感光性樹脂組成物及びその硬化物、感光性樹脂フィルム及びその硬化物並びに、それらを用いた光導波路に関する。
近年注目を浴びている照明用光源として白色LEDが挙げられる。白色LEDは高い輝度と低い消費電力を併せ持つことから、近年携帯電話や携帯情報端末(PDA;Personal Digital Assistant)、携帯ゲーム機器、携帯オーディオなど、様々なモバイル機器などで多用されている。
また、これらの機器は更なる低消費電力化や軽量化などが求められていることから、より効率的に照明を当てるデバイスとして、導光板や導波路といったデバイスを用いた照明が注目を浴びている。
その中でもポリマーを用いたデバイスは、特に加工性に優れ、フレキシブルな構造が可能であることから、ポリマー導光板やポリマー導波路は、これらの用途に最適と考えられている。
これらの照明用デバイスには、適用される機器の使用環境や部品実装などの観点から、特に可視光領域における高透明性(低光伝搬損失)が要求されるが、このような用途に適する材料として、脂環式ポリオレフィンや(メタ)アクリルポリマーなどに代表されるビニル重合体が挙げられる。
これらの多くは主にプリズムやレンズのような用途に用いられ、極めて高い透明性を有するが、射出成形用途が中心であるため、小型で複雑な形状を有する部材や、極めて薄い部材などには使用できないという問題を有する。
複雑な部材を形成可能な加工技術として、感光性レジストが考えられる。感光性を持たせたシート状樹脂、フィルム状樹脂又は液状樹脂にパターンマスクを介して光を照射することで任意部分のみを三次元架橋化・不溶化し、その後溶媒などによって未照射部を溶解除去することで容易に複雑な形状の部材を形成可能である。
さらにその部材を、屈折率が低い材料や空気で覆うことにより、より効率的に光を伝搬することが可能になる。そこで感光性を有し、かつ光学特性の良好な素材が検討されている(例えば、特許文献1及び2参照)
しかしこれらの材料では、長波長側(例えば850nm)のレーザー光については良好な伝搬特性が示されているが、可視光領域である400〜600nm領域の光については検討されていなかったり、また短波長側の伝搬特性が良好であっても、人体に対して刺激が強く、環境負荷が大きいトリメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いているといった問題があった。
本発明は、前記の課題を解決するためになされたもので、アルカリ性水溶液に可溶で、かつ可視光領域において良好な伝搬損失を有する感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物及びこれらを用いて得られる光導波路を提供することを目的とするものである。
本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有するビニル重合体、重合性化合物、及び特定の重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、それからなる感光性樹脂フィルムを用いて光導波路を製造することにより上記問題を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、 (A)連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有するビニル重合体、(B)重合性化合物及び(C)重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、(C)成分が、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル、オキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも1種であり、(B)成分が、下記一般式(5)〜(8)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種であり、
(式中、R14は水素原子又はメチル基である。X2は、O(酸素原子)、S(硫黄原子)、OCH2、SCH2、O(CH2CH2O)a、O[CH2CH(CH3)O]b、又はOCH2CH(OH)CH2Oで示される2価の基である(a及びbは各々独立して1〜20の整数である)。Arは、以下の式で示される1価の有機基のいずれかである。なお、*印の部分でX2と結合する。
(R15〜R31は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の1価の有機基、又は炭素数1〜20の1価の含フッ素有機基のいずれかである。Y1は、以下の式で示される2価の基のいずれかである。
(dは2〜10の整数を示す。)))
(式中、R32は、以下の式で示される1価の有機基のいずれかである。なお、*印の部分でNと結合する。
(式中、R33〜R35は、各々独立して水素原子又はメチル基である。eは1〜10の整数である。)))
(式中、R36及びR41は、各々独立して水素原子又はメチル基である。R37〜R40は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の1価の有機基、又は炭素数1〜20の1価の含フッ素有機基のいずれかである。X3及びX4は、各々独立にO、S、O(CH2CH2O)f、又はO[CH2CH(CH3)O]gで示される2価の基である(f及びgは各々独立して1〜20の整数である。)
Y2は、以下の式で示される2価の基のいずれかである。
Y2は、以下の式で示される2価の基のいずれかである。
(hは2〜10の整数を示す。)))
(式中、R42及びR47は、各々独立して水素原子又はメチル基である。R43〜R46は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の1価の有機基、又は炭素数1〜20の1価の含フッ素有機基のいずれかである。Y3は、以下の式で示される2価の基のいずれかであり、またiは1〜5の整数である。
(jは2〜10の整数である。))、
(C)成分の含有量が、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.5〜5.0質量部である感光性樹脂組成物、
(2)該感光性樹脂組成物を硬化又は重合して得られる感光性樹脂硬化物、
(3)基材フィルム、上記感光性樹脂組成物若しくは感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの3層構造を有する感光性樹脂フィルム、
(4)基材フィルム、上記感光性樹脂組成物若しくは感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの3層構造を有する感光性樹脂フィルム硬化物、及び
(5)下部クラッド層、コア部、上部クラッド層の少なくとも1つが、上記感光性樹脂フィルム又は感光性樹脂フィルム硬化物用いて形成された光導波路、
を提供するものである。
(C)成分の含有量が、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.5〜5.0質量部である感光性樹脂組成物、
(2)該感光性樹脂組成物を硬化又は重合して得られる感光性樹脂硬化物、
(3)基材フィルム、上記感光性樹脂組成物若しくは感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの3層構造を有する感光性樹脂フィルム、
(4)基材フィルム、上記感光性樹脂組成物若しくは感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの3層構造を有する感光性樹脂フィルム硬化物、及び
(5)下部クラッド層、コア部、上部クラッド層の少なくとも1つが、上記感光性樹脂フィルム又は感光性樹脂フィルム硬化物用いて形成された光導波路、
を提供するものである。
本発明によれば、可視光領域において良好な伝搬特性を有する感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物及びこれらを用いた光導波路を提供することが可能となる。
以下、発明を実施するための最良の形態について、詳細に説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有するビニル重合体、(B)重合性化合物及び(C)重合開始剤を含有してなり、(C)成分として、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル、オキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノンのうちの少なくともいずれか1つを用いることを特徴とする。これらは1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。特にオキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル及びオキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルを混合して用いることが最も好ましい態様である。
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有するビニル重合体、(B)重合性化合物及び(C)重合開始剤を含有してなり、(C)成分として、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル、オキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノンのうちの少なくともいずれか1つを用いることを特徴とする。これらは1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。特にオキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル及びオキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルを混合して用いることが最も好ましい態様である。
このような重合開始剤を用いることで着色が少なく、可視光領域において透明性の高い硬化物が得られるだけでなく、このような組成物を用いて作られた光導波路は、可視光領域において、材料損失が低くなるため好ましい。
また(C)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.5〜5.0質量部である。0.5質量部未満であると光照射によって十分に硬化反応が進行せず、また5.0質量部を超えると(C)成分に由来する着色の影響が大きくなる結果、可視光領域において透明性が低下したり、導波路において材料損失が高くなるため好ましくない。以上の理由から、(C)成分の含有量は、さらに好ましくは1.0〜3.0質量部である。
次に、本発明に用いられる(A)成分について説明する。(A)成分は、透明性、耐熱性、アルカリ性水溶液への溶解性の観点から、主鎖に下記一般式(1)で表される繰り返し単位(A−1)及び下記一般式(2)で表わされる繰り返し単位(A―2)の少なくとも一方を含み、かつ下記一般式(3)で表される繰り返し単位(A−3)及び下記一般式(4)で表される繰り返し単位(A−4)の少なくとも一方を含むことが好ましく、特にこれらの繰り返し単位を有する(メタ)アクリルポリマーを用いることが好ましい。
上記一般式(1)中、R1〜R3は、各々独立に水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。
上記一般式(2)中、R4〜R6は、各々独立に水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。また、R7は炭素数1〜20の1価の有機基である。
上記一般式(3)中、R8〜R10は、各々独立に水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。
上記一般式(4)中、R11〜R13は各々独立に水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。また、X1は、炭素数1〜20の2価の有機基である。
一般式(1)〜(4)における有機基としては、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリーロキシカルボニル基、カルバモイル基等の1価又は2価の基が挙げられ、それらは、さらに、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリーロキシカルボニル基、カルバモイル基、アルコキシ基、アリーロキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アミノ基、シリル基等で置換されていてもよい。
繰り返し単位(A−1)の構造は、一般式(1)で表されるものであれば特に制限はない。
繰り返し単位(A−1)の原料となるマレイミドとしては、例えば、N−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−プロピルマレイミド、N−イソプロピルマレイミド、N−ブチルマレイミド、N−イソブチルマレイミド、N−2−メチル−2−プロピルマレイミド、N−ペンチルマレイミド、N−2−ペンチルマレイミド、N−3−ペンチルマレイミド、N−2−メチル−1−ブチルマレイミド、N−2−メチル−2−ブチルマレイミド、N−3−メチル−1−ブチルマレイミド、N−3−メチル−2−ブチルマレイミド、N−ヘキシルマレイミド、N−2−ヘキシルマレイミド、N−3−ヘキシルマレイミド、N−2−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−2−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−3−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−3−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−3−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−4−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−4−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2,2−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−3,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−3,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−2,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−2,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−ヒドロキシメチルマレイミド、N−1−ヒドロキシエチルマレイミド、N−2−ヒドロキシエチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−3―ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−プロピルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−プロピルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−1−ブチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−1−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−ブチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−2−ブチルマレイミド、N−2−メチル−3−ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−2−メチル−3−ヒドロキシ−2−プロピルマレイミド、N−2−メチル−2−ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−5−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−5−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−3−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−3−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−3−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−2−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−3−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−4−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−2−メチル−1−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−2−メチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−1−プロピルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−1−プロピルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−1−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−5−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−6−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−1−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−5−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−6−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−1−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−3−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−4−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−5−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−6−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−メチル、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−3−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−3−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−エチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−エチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−エチル−1−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−3−エチル−1−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−3−エチル−2−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−3−エチル−3−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−3−エチル−4−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−3−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−3−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−4−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−3−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−4−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−4−ブチルマレイミド等のアルキルマレイミド;N−シクロプロピルマレイミド、N−シクロブチルマレイミド、N−シクロペンチルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−シクロヘブチルマレイミド、N−シクロオクチルマレイミド、N−2−メチルシクロヘキシルマレイミド、N−2−エチルシクロヘキシルマレイミド、N−2−クロロシクロヘキシルマレイミド等のシクロアルキルマレイミド;N−フェニルマレイミド、N−2−メチルフェニルマレイミド、N−2−エチルフェニルマレイミド、N−2−クロロフェニルマレイミド等のアリールマレイミドなどが挙げられる。
繰り返し単位(A−1)の原料となるマレイミドとしては、例えば、N−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−プロピルマレイミド、N−イソプロピルマレイミド、N−ブチルマレイミド、N−イソブチルマレイミド、N−2−メチル−2−プロピルマレイミド、N−ペンチルマレイミド、N−2−ペンチルマレイミド、N−3−ペンチルマレイミド、N−2−メチル−1−ブチルマレイミド、N−2−メチル−2−ブチルマレイミド、N−3−メチル−1−ブチルマレイミド、N−3−メチル−2−ブチルマレイミド、N−ヘキシルマレイミド、N−2−ヘキシルマレイミド、N−3−ヘキシルマレイミド、N−2−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−2−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−3−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−3−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−3−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−4−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−4−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2,2−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−3,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−3,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−2,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−2,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−ヒドロキシメチルマレイミド、N−1−ヒドロキシエチルマレイミド、N−2−ヒドロキシエチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−3―ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−プロピルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−プロピルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−1−ブチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−1−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−ブチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−2−ブチルマレイミド、N−2−メチル−3−ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−2−メチル−3−ヒドロキシ−2−プロピルマレイミド、N−2−メチル−2−ヒドロキシ−1−プロピルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−5−ヒドロキシ−1−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−5−ヒドロキシ−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−3−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−3−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−3−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−2−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−3−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−4−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−2−メチル−1−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−2−メチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−1−プロピルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−1−プロピルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−1−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−5−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−6−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−1−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−5−ヘキシルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−6−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−1−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−3−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−4−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−5−ヘキシルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−6−ヘキシルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−4−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−2−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−4−メチル、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−3−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−4−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−メチル−5−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−3−メチル−1−ペンチルマレイミド、N−3−ヒドロキシ−3−メチル−2−ペンチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3−エチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3−エチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2−エチル−1−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−3−エチル−1−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−3−エチル−2−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−3−エチル−3−ブチルマレイミド、N−4−ヒドロキシ−3−エチル−4−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−3−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−3−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−2,3−ジメチル−4−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−3−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−4−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−2−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−4−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−1−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−2−ブチルマレイミド、N−1−ヒドロキシ−3,3−ジメチル−4−ブチルマレイミド等のアルキルマレイミド;N−シクロプロピルマレイミド、N−シクロブチルマレイミド、N−シクロペンチルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−シクロヘブチルマレイミド、N−シクロオクチルマレイミド、N−2−メチルシクロヘキシルマレイミド、N−2−エチルシクロヘキシルマレイミド、N−2−クロロシクロヘキシルマレイミド等のシクロアルキルマレイミド;N−フェニルマレイミド、N−2−メチルフェニルマレイミド、N−2−エチルフェニルマレイミド、N−2−クロロフェニルマレイミド等のアリールマレイミドなどが挙げられる。
これらの中で、透明性及び溶解性の観点から、シクロアルキルマレイミドを用いることが好ましく、N−シクロヘキシルマレイミド、N−2−メチルシクロヘキシルマレイミドを用いることがさらに好ましい。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
繰り返し単位(A−2)の原料となる(メタ)アクリレートとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヘプチル(メタ)アクリレート、オクチルヘプチル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、ウンデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、テトラデシル(メタ)アクリレート、ペンタデシル(メタ)アクリレート、ヘキサデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ベヘニル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)スクシネート等の脂肪族(メタ)アクリレート;シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)テトラヒドロフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)ヘキサヒドロフタレート等の脂環式(メタ)アクリレート;ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、o−ビフェニル(メタ)アクリレート、1−ナフチル(メタ)アクリレート、2−ナフチル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、p−クミルフェノキシエチル(メタ)アクリレート、o−フェニルフェノキシエチル(メタ)アクリレート、1−ナフトキシエチル(メタ)アクリレート、2−ナフトキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(o−フェニルフェノキシ)プロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(1−ナフトキシ)プロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(2−ナフトキシ)プロピル(メタ)アクリレート等の芳香族(メタ)アクリレート;2−テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−N−カルバゾール等の複素環式(メタ)アクリレート、これらのカプロラクトン変性体などが挙げられる。
これらの中でも透明性及び耐熱性の観点から、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート等の脂肪族(メタ)アクリレート;上記脂環式(メタ)アクリレート;上記芳香族(メタ)アクリレート;上記複素環式(メタ)アクリレートであることが好ましい。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
カルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物由来の繰り返し単位(A−3)及び(A−4)の構造は、一般式(3)及び(4)で表されるものであれば特に制限はない。
繰り返し単位(A−3)の原料となるカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸等が挙げられ、これらの中で、透明性、現像性の観点から(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸であることが好ましい。
繰り返し単位(A−3)の原料となるカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸等が挙げられ、これらの中で、透明性、現像性の観点から(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸であることが好ましい。
また、無水マレイン酸を原料として用いて、重合後にメタノール、エタノール、プロパノール等の適当なアルコールによって開環し、繰り返し単位(A−3)の構造に変換してもよい。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
繰り返し単位(A−4)の原料となるカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)スクシネート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)フタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)イソフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)テレフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)テトラヒドロフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)ヘキサヒドロフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)ヘキサヒドロイソフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)ヘキサヒドロテレフタレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、3−ビニル安息香酸、4−ビニル安息香酸等が挙げられる。
これらの中で、透明性、アルカリ可溶性の観点から、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)スクシネート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)テトラヒドロフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)ヘキサヒドロフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)ヘキサヒドロイソフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)ヘキサヒドロテレフタレートであることが好ましい。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
また、(A)成分の主鎖にマレイミド骨格を含むアルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーは、必要に応じて繰り返し構造(A−1)〜(A−4)以外の繰り返し構造を含んでもよい。
このような繰り返し構造の原料となるエチレン性不飽和基を有する化合物としては特に制限はなく、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、塩化ビニル、酢酸ビニル、ビニルピリジン、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカルバゾール、ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等が挙げられる。これらの中で、耐熱性、透明性の観点からスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、N−ビニルカルバゾールを用いることがさらに好ましい。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有するビニル重合体は、その合成方法に特に制限はないが、例えば、繰り返し単位(A−1)の原料となるマレイミド、繰り返し単位(A−2)の原料となる(メタ)アクリレート及び繰り返し単位(A−3)及び/又は(A−4)の原料となるカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物、さらには必要に応じてその他のエチレン性不飽和基を有する化合物と、適切な熱ラジカル重合開始剤を用いて加熱しながら共重合させることにより得ることができる。このとき、必要に応じて有機溶剤を反応溶媒として用いることができる。
熱ラジカル重合開始剤としては、特に制限はなく、例えば、メチルエチルケトンパーオキシド、シクロヘキサノンパーオキシド、メチルシクロヘキサノンパーオキシド等のケトンパーオキシド;1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−2−メチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン等のパーオキシケタール;p−メンタンヒドロパーオキシドなどのヒドロパーオキシド;α、α’−ビス(t−ブチルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキシド、t−ブチルクミルパーオキシド、ジ−t−ブチルパーオキシド等のジアルキルパーオキシド;オクタノイルパーオキシド、ラウロイルパーオキシド、ステアリルパーオキシド、ベンゾイルパーオキシド等のジアシルパーオキシド;ビス(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−3−メトキシブチルパーオキシカーボネート等のパーオキシカーボネート;t−ブチルパーオキシピバレート、t−ヘキシルパーオキシピバレート、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(2−エチルヘキサノイルパーオキシ)ヘキサン、t−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシイソブチレート、t−ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシラウリレート、t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキシルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシベンゾエート、t−ヘキシルパーオキシベンゾエート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(ベンゾイルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルパーオキシアセテート等のパーオキシエステル;2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2’−ジメチルバレロニトリル)等のアゾ化合物が挙げられる。
反応溶媒として用いる有機溶剤としては、(A)成分の主鎖にマレイミド骨格を含むアルカリ可溶性(メタ)アクリルポリマーを溶解し得るものであれば、特に制限はなく、例えば、トルエン、キシレン、メシチレン、クメン、p−シメン等の芳香族炭化水素;テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等の環状エーテル;メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等のケトン;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン等のエステル;エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の炭酸エステル;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の多価アルコールアルキルエーテルアセテート;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミドなどが挙げられる。
これらの有機溶剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
これらの有機溶剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
さらに(A)成分は、側鎖に連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有する。連鎖重合可能な官能基とは、具体的にはビニル基、アクリル基、メタクリル基、アリル基、スチリル基等のエチレン性不飽和基、グリシジル基などが挙げられる。
その組成や合成方法に特に制限はないが、例えば上記の(A)成分である(メタ)アクリルポリマーに、少なくとも1つのエチレン性不飽和基とエポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基、ヒドロキシル基、カルボキシル基等の1つの官能基を有する化合物を付加反応させて側鎖にエチレン性不飽和基を導入することができる。
これらの化合物としては特に制限はなく、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、α−プロピルグリシジル(メタ)アクリレート、α−ブチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−プロピルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート、α−エチル−6,7−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエチレン性不飽和基とエポキシ基を有する化合物;(2−エチル−2−オキセタニル)メチル(メタ)アクリレート、(2−メチル−2−オキセタニル)メチル(メタ)アクリレート、2−(2−エチル−2−オキセタニル)エチル(メタ)アクリレート、2−(2−メチル−2−オキセタニル)エチル(メタ)アクリレート、3−(2−エチル−2−オキセタニル)プロピル(メタ)アクリレート、3−(2−メチル−2−オキセタニル)プロピル(メタ)アクリレート等のエチレン性不飽和基とオキセタニル基を有する化合物;2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、1,1−ビス[メタ(アクリル)オキシメチル]エチルイソシアネート、2−{[2−メタ(アクリル)オキシ]エトキシ]エチルイソシアネートなどのエチレン性不飽和基とイソシアネート基を有する化合物;2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等のエチレン性不飽和基とヒドロキシル基を有する化合物;(メタ)アクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、コハク酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)、2−フタロイルエチル(メタ)アクリレート、2−テトラヒドロフタロイルエチル(メタ)アクリレート、2−ヘキサヒドロフタロイルエチル(メタ)アクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、3−ビニル安息香酸、4−ビニル安息香酸等のエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有する化合物などが挙げられる。
これらの中でも透明性及び反応性の観点から、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、1,1−ビス[メタ(アクリル)オキシメチル]エチルイソシアネート、2−{[2−メタ(アクリル)オキシ]エトキシ]エチルイソシアネート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、2−ヘキサヒドロフタロイルエチル(メタ)アクリレートであることが好ましい。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
これらの化合物は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
(A)成分の重量平均分子量は、1,000〜3,000,000であることが好ましい。1,000以上であると分子量が大きいため樹脂組成物とした場合の硬化物の強度が十分で、3,000,000以下であれば、アルカリ性水溶液からなる現像液に対する溶解性や(B)重合性化合物との相溶性が良好である。以上の観点から3,000〜2,000,000とすることがより好ましく、5,000〜1,000,000であることがさらに好ましい。
なお、本発明における重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)で測定し、標準ポリスチレン換算した値である。
なお、本発明における重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)で測定し、標準ポリスチレン換算した値である。
また、(A)成分はアルカリ金属又はアルカリ土類金属の炭酸塩水溶液に可溶であることが好ましい。ここでアルカリ金属及びアルカリ土類金属の炭酸塩を具体的に例示すれば、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ルビジウム、炭酸セシウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素ルビジウム、炭酸水素セシウム、炭酸ベリリウム、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム、炭酸バリウム等が挙げられるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウムは安価であり人体に対して毒性が低く好ましい。また、ここで水溶液における濃度は特に制限はないが、1〜10質量%の炭酸塩水溶液に可溶であることが好ましい。このような(A)成分を用いると、フォトリソグラフィープロセスにおいて容易にパターンを形成することが可能となる。
(A)成分の配合量は、(A)成分及び(B)成分の総量に対して、10〜85質量%であることが好ましい。10質量%以上であると、感光性樹脂組成物の硬化物の強度や可撓性が十分で、85質量%以下であれば、露光時に(B)成分によって絡め込まれて容易に硬化し、耐現像液性が不足することがない。以上の観点から、(A)成分の配合量は、20〜80質量%であることがより好ましく、25〜75質量%であることがさらに好ましい。
以下、本発明に用いられる(B)成分について説明する。
(B)成分の重合性化合物としては、加熱又は紫外線などの照射によって重合するものであれば特に制限はなく、例えばエチレン性不飽和基などの重合性置換基を有する化合物が好適に挙げられる。
(B)成分の重合性化合物としては、加熱又は紫外線などの照射によって重合するものであれば特に制限はなく、例えばエチレン性不飽和基などの重合性置換基を有する化合物が好適に挙げられる。
具体的には、(メタ)アクリレート、ハロゲン化ビニリデン、ビニルエーテル、ビニルエステル、ビニルピリジン、ビニルアミド、アリール化ビニル等が挙げられるが、これらのうち透明性の観点から、(メタ)アクリレートやアリール化ビニルであることが好ましい。(メタ)アクリレートとしては、単官能のもの、2官能以上の多官能のもののいずれも用いることができる。
単官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヘプチル(メタ)アクリレート、オクチルヘプチル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、ウンデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、テトラデシル(メタ)アクリレート、ペンタデシル(メタ)アクリレート、ヘキサデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ベヘニル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)スクシネート等の脂肪族(メタ)アクリレート;シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)テトラヒドロフタレート、モノ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)ヘキサヒドロフタレート等の脂環式(メタ)アクリレート;ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、o−ビフェニル(メタ)アクリレート、1−ナフチル(メタ)アクリレート、2−ナフチル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、p−クミルフェノキシエチル(メタ)アクリレート、o−フェニルフェノキシエチル(メタ)アクリレート、1−ナフトキシエチル(メタ)アクリレート、2−ナフトキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(o−フェニルフェノキシ)プロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(1−ナフトキシ)プロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(2−ナフトキシ)プロピル(メタ)アクリレート等の芳香族(メタ)アクリレート;2−テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−N−カルバゾール等の複素環式(メタ)アクリレート、これらのカプロラクトン変性体などが挙げられる。
これらの中でも透明性及び耐熱性の観点から、上記脂環式(メタ)アクリレート;上記芳香族(メタ)アクリレート;上記複素環式(メタ)アクリレートであることが好ましい。
またこれらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
またこれらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
2官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノール(メタ)アクリレート、エトキシ化2−メチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート等の脂肪族(メタ)アクリレート;シクロヘキサンジメタノール(メタ)アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンジメタノール(メタ)アクリレート、プロポキシ化シクロヘキサンジメタノール(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化シクロヘキサンジメタノール(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノール(メタ)アクリレート、エトキシ化トリシクロデカンジメタノール(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリシクロデカンジメタノール(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化トリシクロデカンジメタノール(メタ)アクリレート、エトキシ化水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エトキシ化水添ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化水添ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化水添ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート等の脂環式(メタ)アクリレート;エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ビスフェノールAFジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールAFジ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ビスフェノールAFジ(メタ)アクリレート、エトキシ化フルオレン型ジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化フルオレン型ジ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化フルオレン型ジ(メタ)アクリレート等の芳香族(メタ)アクリレート;エトキシ化イソシアヌル酸ジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化イソシアヌル酸ジ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化イソシアヌル酸ジ(メタ)アクリレート等の複素環式(メタ)アクリレート;これらのカプロラクトン変性体;ネオペンチルグリコール型エポキシ(メタ)アクリレートなどの脂肪族エポキシ(メタ)アクリレート;シクロヘキサンジメタノール型エポキシ(メタ)アクリレート、水添ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート、水添ビスフェノールF型エポキシ(メタ)アクリレートなどの脂環式エポキシ(メタ)アクリレート;レゾルシノール型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールF型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAF型エポキシ(メタ)アクリレート、フルオレン型エポキシ(メタ)アクリレート等の芳香族エポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
これらの中でも透明性及び耐熱性の観点から、上記脂環式(メタ)アクリレート;上記芳香族(メタ)アクリレート;上記複素環式(メタ)アクリレート;上記脂環式エポキシ(メタ)アクリレート;上記芳香族エポキシ(メタ)アクリレートであることが好ましい。
また、これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離等を行って精製してから使用してもよい。
また、これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離等を行って精製してから使用してもよい。
3官能以上の多官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の脂肪族(メタ)アクリレート;エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート、エトキシ化プロポキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート等の複素環式(メタ)アクリレート;これらのカプロラクトン変性体;フェノールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート等の芳香族エポキシ(メタ)アクリレートが挙げられる。
これらの中でも透明性及び耐熱性の観点から、複素環式(メタ)アクリレート;芳香族エポキシ(メタ)アクリレートであることが好ましい。
これらの化合物は、単独又は2種類以上組み合わせて使用することができ、さらにその他の重合性化合物と組み合わせて使用することもできる。
また、これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
これらの化合物は、単独又は2種類以上組み合わせて使用することができ、さらにその他の重合性化合物と組み合わせて使用することもできる。
また、これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
また、(B)成分の重合性化合物として、耐熱性の観点から、分子中に脂環構造、アリール基、アリールオキシ基及びアラルキル基からなる群から選ばれる少なくとも1種とエチレン性不飽和基を含む化合物を用いることが好ましい。具体的には、脂環構造、アリール基、アリールオキシ基及びアラルキル基からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む(メタ)アクリレート又はN−ビニルカルバゾールなどが挙げられる。なお、アリール基とは、例えば、フェニル基、ナフチル基などの芳香族炭素水素基、カルバゾール基などの芳香族複素環式基を表す。これらの化合物は1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
より具体的には、(B)成分の重合性化合物として、アリール基及びエチレン性不飽和基を含む化合物が好ましく、下記一般式(5)〜(8)で表される化合物が好適に挙げられる。
一般式(5)中、R14は水素原子又はメチル基である。また、X2は、O(酸素原子)、S(硫黄原子)、OCH2、SCH2、O(CH2CH2O)a、O[CH2CH(CH3)O]b、又はOCH2CH(OH)CH2Oで示される2価の基である、なお、a及びbは各々独立して1〜20の整数を示す。Arは、以下の式で示される1価の有機基のいずれかである。
ここで、R15〜R31は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の1価の有機基、又は炭素数1〜20の1価の含フッ素有機基のいずれかである。また、Y1は、以下の式で示される2価の基のいずれかである。なお、*印の部分でX2と結合するものである。
ここで、dは2〜10の整数である。
一般式(6)中、R32は、以下の式で示される1価の有機基のいずれかである。なお、*印の部分でNと結合するものである。
ここで、R33〜R35は、各々独立して水素原子又はメチル基である。また、eは1〜10の整数を示す。
一般式(7)中、R36及びR41は、各々独立して水素原子又はメチル基である。また、R37〜R40は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の1価の有機基、又は炭素数1〜20の1価の含フッ素有機基のいずれかである。X3及びX4は、各々独立にO、S、O(CH2CH2O)f、又はO[CH2CH(CH3)O]gで示される2価の基である。なお、f及びgは各々独立して1〜20の整数を示す。また、Y2は、以下の式で示される2価の基のいずれかである。
ここで、hは2〜10の整数である。
一般式(8)中、R42及びR47は、各々独立して水素原子又はメチル基である。R43〜R46は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の1価の有機基、又は炭素数1〜20の1価の含フッ素有機基のいずれかである。また、Y3は、以下の式で示される2価の基のいずれかであり、またiは1〜5の整数である。
ここで、jは2〜10の整数である。
なお、一般式(5)〜(8)における有機基としては、一般式(1)〜(4)で説明したものと同様の例が挙げられる。
これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
(B)成分の重合性化合物の配合量は、(A)成分及び(B)成分の総量に対して、15〜90質量%であることが好ましい。15質量%以上であると、(A)成分のポリマー鎖と化学的結合を形成しながら硬化することが容易となり、耐現像液性が不足することがない。また、90質量%以下であれば、硬化フィルムのフィルム強度や可撓性が十分である。以上の観点から、(B)成分の配合量は30〜80質量%であることがさらに好ましい。
また、上記(A)成分、(B)成分及び(C)成分に加えて、必要に応じて、本発明の感光性樹脂組成物中には、酸化防止剤、黄変防止剤、紫外線吸収剤、可視光吸収剤、着色剤、可塑剤、安定剤、充填剤、蛍光増白剤等のいわゆる添加剤を本発明の効果に悪影響を与えない割合で添加してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、適当な有機溶剤を用いて希釈し、感光性樹脂ワニスとして使用してもよい。ここで用いる有機溶剤としては、該樹脂組成物を溶解しえるものであれば特に制限はなく、例えば、トルエン、キシレン、メシチレン、クメン、p−シメン等の芳香族炭化水素;テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等の環状エーテル;メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等のケトン;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン等のエステル;エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の炭酸エステル;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の多価アルコールアルキルエーテルアセテート;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミドなどが挙げられる。
これらの中で、溶解性及び沸点の観点から、トルエン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、N,N−ジメチルアセトアミドであることが好ましい。
これらの有機溶剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
また、樹脂ワニス中の固形分濃度は、通常20〜80質量%であることが好ましい。
これらの有機溶剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
また、樹脂ワニス中の固形分濃度は、通常20〜80質量%であることが好ましい。
感光性樹脂ワニスを調合する際は、撹拌により混合することが好ましい。撹拌方法については特に制限はないが、撹拌効率の観点からプロペラを用いた撹拌が好ましい。撹拌する際のプロペラの回転速度には特に制限はないが、10〜1,000min-1であることが好ましい。10min-1以上であると、(A)〜(C)成分及び有機溶剤のそれぞれの成分が十分に混合され、1,000min-1以下であるとプロペラの回転による気泡の巻き込みが少なくなる。以上の観点から50〜800min-1であることがより好ましく、100〜500min-1であることがさらに好ましい。
撹拌時間についても特に制限はないが、1〜24時間であることが好ましい。1時間以上であると、(A)〜(C)成分及び有機溶剤のそれぞれの成分が十分に混合され、24時間以下であると、ワニス調合時間を短縮することができ、十分な生産性が得られる。
調合した感光性樹脂ワニスは、孔径50μm以下のフィルタを用いて濾過するのが好ましい。孔径50μm以下のフィルタを用いることで、大きな異物などが除去されて、ワニス塗布時にはじきなどを生じることがなく、またコア部を伝搬する光の散乱が抑制される。以上の観点から、孔径30μm以下のフィルタを用いて濾過するのがより好ましく、孔径10μm以下のフィルタを用いて濾過するのがさらに好ましい。
調合した感光性樹脂ワニスは、減圧下で脱泡することが好ましい。脱泡方法には、特に制限はなく、具体例としては真空ポンプとベルジャー、真空装置付き脱泡装置を用いることができる。減圧時の減圧度には特に制限はないが、樹脂ワニスに含まれる有機溶剤が沸騰しない範囲が好ましい。減圧脱泡時間には特に制限はないが、3〜60分であることが好ましい。3分以上であると、樹脂ワニス内に溶解した気泡を取り除くことができる。60分以下であると、樹脂ワニスに含まれる有機溶剤が揮発することがない。
以下、本発明の感光性樹脂フィルムについて説明する。
本発明の感光性樹脂フィルムは、前記感光性樹脂組成物からなり、前記(A)〜(C)成分を含有する感光性樹脂ワニスを好適な基材フィルムに塗布し、溶媒を除去して、感光性樹脂層(以下単に「樹脂層」という場合がある。)を形成することにより容易に製造することができる。また感光性樹脂組成物をワニス化することなく、直接基材フィルムに塗布して製造してもよい。
本発明の感光性樹脂フィルムは、前記感光性樹脂組成物からなり、前記(A)〜(C)成分を含有する感光性樹脂ワニスを好適な基材フィルムに塗布し、溶媒を除去して、感光性樹脂層(以下単に「樹脂層」という場合がある。)を形成することにより容易に製造することができる。また感光性樹脂組成物をワニス化することなく、直接基材フィルムに塗布して製造してもよい。
基材フィルムとしては、特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル;ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン;ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフィド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホン、液晶ポリマー等が挙げられる。
これらの中で、柔軟性及び強靭性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホンであることが好ましい。
基材フィルムの厚みは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、3〜250μmであることが好ましい。3μm以上であるとフィルム強度が十分であり、250μm以下であると十分な柔軟性が得られる。以上の観点から、5〜200μmであることがさらに好ましく、7〜150μmであることがさらに好ましい。なお、樹脂層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物等により離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。
基材フィルム上に感光性樹脂ワニス又は感光性樹脂組成物を塗布して製造した感光性樹脂フィルムは、必要に応じて保護フィルムを樹脂層上に貼り付け、基材フィルム、感光性樹脂組成物又は感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの3層構造としてもよい。
保護フィルムとしては、特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル;ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィンなどが挙げられる。これらの中で、柔軟性及び強靭性の観点から、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル;ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィンであることが好ましい。なお、樹脂層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物等により離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。
保護フィルムの厚みは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、10〜250μmであることが好ましい。10μm以上であるとフィルム強度が十分であり、250μm以下であると十分な柔軟性が得られる。以上の観点から、15〜200μmであることがより好ましく、20〜150μmであることがさらに好ましい。
本発明の感光性樹脂フィルムの樹脂層の厚みについては特に制限はないが、乾燥後の厚みで、通常は5〜500μmであることが好ましい。5μm以上であると、厚みが十分であるため樹脂フィルム又は該フィルムの硬化物の強度が十分であり、500μm以下であると、乾燥が十分に行えるため樹脂フィルム中の残留溶媒量が増えることなく、該フィルムの硬化物を加熱したときに発泡することがない。
このようにして得られた感光性樹脂フィルムは、例えばロール状に巻き取ることによって容易に保存することができる。又はロール状のフィルムを好適なサイズに切り出して、シート状にして保存することもできる。
本発明の感光性樹脂組成物は、光導波路形成用樹脂組成物として好適であり、同様に本発明の感光性樹脂フィルムは、光導波路形成用樹脂フィルムとして好適である。
感光性樹脂組成物は光、熱などによって硬化反応又は重合反応させることによって、硬化物を得ることも可能である。その際、前もってシート、フィルム、短冊等の任意の形状にしておき、その後硬化反応等させることで、任意形状を有する硬化物を得ることも可能である。このようにして得られた硬化物は、空気クラッド中で用いることで、通常の光導波路と同様に照明用デバイスとして用いることも可能である。
感光性樹脂組成物は光、熱などによって硬化反応又は重合反応させることによって、硬化物を得ることも可能である。その際、前もってシート、フィルム、短冊等の任意の形状にしておき、その後硬化反応等させることで、任意形状を有する硬化物を得ることも可能である。このようにして得られた硬化物は、空気クラッド中で用いることで、通常の光導波路と同様に照明用デバイスとして用いることも可能である。
また、感光性樹脂組成物を硬化反応させて得られる硬化物に白色LED光を照射した際、560nm付近における透過光強度と460nm付近における透過強度の比が1:1〜1:4である透過光を発することが好ましい。1:1以上であれば、透過した光は元の光源から発する光と近似となり、照明用途に適したデバイスとなり得る。1:4以上は現実的には不可能である。
上記白色LED光を照射した際の透過光の560nm付近における透過光強度と460nm付近における透過強度比1:1〜1:4を得るためには、(C)成分が、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル、オキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも1種であり、(C)成分の含有量が、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.5〜5.0質量部であることに加えて、例えば(A)成分及び(B)成分の各分子骨格中に、420〜500nmの範囲にて光を吸収し得る、電子遷移吸収を有する化学構造や2個以上の芳香環が直接結合する化学構造を有しない構成をとることにより達成される。
上記白色LED光を照射した際の透過光の560nm付近における透過光強度と460nm付近における透過強度比1:1〜1:4を得るためには、(C)成分が、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル、オキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも1種であり、(C)成分の含有量が、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.5〜5.0質量部であることに加えて、例えば(A)成分及び(B)成分の各分子骨格中に、420〜500nmの範囲にて光を吸収し得る、電子遷移吸収を有する化学構造や2個以上の芳香環が直接結合する化学構造を有しない構成をとることにより達成される。
以下、本発明の光導波路について説明する。
図1の(a)に光導波路の断面図を示す。光導波路1は基板5上に形成され、高屈折率であるコア部形成用樹脂組成物からなるコア部2並びに低屈折率であるクラッド層形成用樹脂組成物からなる下部クラッド層4及び上部クラッド層3で構成されている。
図1の(a)に光導波路の断面図を示す。光導波路1は基板5上に形成され、高屈折率であるコア部形成用樹脂組成物からなるコア部2並びに低屈折率であるクラッド層形成用樹脂組成物からなる下部クラッド層4及び上部クラッド層3で構成されている。
本発明の感光性樹脂組成物及び感光性樹脂フィルムは、光導波路1の下部クラッド層4、コア部2及び上部クラッド層3のうち、少なくとも1つに用いることが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物及び感光性樹脂フィルムは、アルカリ性水溶液からなる現像液によりパターン形成が可能との特徴を有する点から、特にコア部2に用いることで、より一層の効果を発揮する。
また、感光性樹脂フィルムを用いることによって、クラッドとコアの層間密着性や光導波路コアパターン形成時のパターン形成性(細線又は狭線間対応性)をより向上させることができ、線幅や線間の小さい微細パターン形成が可能となる。また大面積の光導波路を一度に製造できるという生産性に優れたプロセスを提供することが可能となる。
光導波路1において、基板としてはシリコーン基板、ガラス基板、FR−4等のガラスエポキシ樹脂基板のような硬い基板を用いることができる。光導波路1は、上記基板の代わりに、柔軟性及び強靭性のある前記基材フィルムを用いて、フレキシブル光導波路としてもよい。
基板として柔軟性及び強靭性のある基材フィルムを用いた場合、該基板は光導波路1の保護フィルムとしての機能も併せ持たせることが可能である。すなちわ、保護フィルム5(基板)の柔軟性や強靭性を光導波路1に付与することが可能となり、また光導波路1が汚れや傷を受けなくなるため、取り扱いやすさが向上する。
また、上記と同様に、光導波路1に柔軟性や強靭性を付与し、汚れや傷を受けないようにするとの観点から、図1の(b)のように上部クラッド層3の外側に保護フィルム5が配置されていてもよいし、図1の(c)のように下部クラッド層4及び上部クラッド層3の両方の外側に保護フィルム5が配置されていてもよい。
一方、光導波路1に柔軟性や強靭性が十分に備わっているならば、図1の(d)のように、保護フィルム5が配置されていなくてもよい。
一方、光導波路1に柔軟性や強靭性が十分に備わっているならば、図1の(d)のように、保護フィルム5が配置されていなくてもよい。
下部クラッド層4の厚みは、特に制限はないが、2〜200μmであることが好ましい。2μm以上であると伝搬光をコア内部に閉じ込めるのが容易となり、200μm以下であると、光導波路1全体の厚みが大きすぎることがない。なお、下部クラッド層4の厚みとは、コア部2と下部クラッド層4との境界から下部クラッド層4の下面までの値である。
下部クラッド層形成用樹脂フィルムの厚みについては特に制限はなく、硬化後の下部クラッド層4の厚みが上記の範囲となるように厚みが調整される。
下部クラッド層形成用樹脂フィルムの厚みについては特に制限はなく、硬化後の下部クラッド層4の厚みが上記の範囲となるように厚みが調整される。
コア部2の高さは、特に制限はないが、10〜500μmであることが好ましい。コア部の高さが10μm以上であると、光導波路形成後のLEDなどの光源との結合において、位置合わせトレランスが小さくなることがなく、500μm以下であれば、光導波路形成後の受発光素子又は光ファイバとの結合において、結合効率が小さくなることがない。
上部クラッド層3の厚みは、コア部2を埋め込むことができる範囲であれば、特に制限はないが、乾燥後の厚みで、12〜700μmであることが好ましい。上部クラッド層3の厚みとしては、最初に形成される下部クラッド層4の厚みと同一であっても異なってもよいが、コア部2を埋め込むという観点から、下部クラッド層4の厚みよりも厚くすることが好ましい。なお、上部クラッド層3の厚みとは、コア部2と下部クラッド層4との境界から上部クラッド層3の上面までの値である。
本発明の光導波路において、460nmにおける光伝搬損失は1.0dB/cm以下であることが好ましい。1.0dB/cm以下であると、光の損失が小さくなり、伝送信号の強度が十分である。
以下、本発明の感光性樹脂フィルムを最も好適な用途である光導波路形成用樹脂フィルムとして用いた場合の適用例について説明する。
光導波路形成用樹脂フィルムも、前記感光性樹脂フィルムと同様の方法によって製造することができる。
光導波路形成用樹脂フィルムも、前記感光性樹脂フィルムと同様の方法によって製造することができる。
なお、コア部形成用樹脂フィルムの製造過程で用いる基材としては、後述のコアパターン形成に用いる露光用活性光線が透過するものであれば特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル;ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン;ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリアリレート等が挙げられる。
これらの中で、露光用活性光線の透過率、柔軟性及び強靭性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリプロピレンなどのポリオレフィンであることが好ましい。
さらに、露光用活性光線の透過率向上及びコアパターンの側壁荒れ低減の観点から、高透明タイプな基材フィルムを用いることがさらに好ましい。このような高透明タイプな基材フィルムとしては、東洋紡績株式会社製コスモシャインA1517、コスモシャインA4100が挙げられる。なお、樹脂層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物などにより離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。
コア部形成用樹脂フィルムの基材フィルムの厚みは、5〜50μmであることが好ましい。5μm以上であると、支持体としての強度が十分であり、50μm以下であると、コアパターン形成時にフォトマスクとコア部形成用樹脂組成物層のギャップが大きくならず、パターン形成性が良好である。以上の観点から、基材フィルムの厚みは10〜40μmであることがより好ましく、15〜30μmであることがさらに好ましい。
上記基材フィルム上に光導波路形成用樹脂ワニス又は光導波路形成用樹脂組成物を塗布して製造した光導波路形成用樹脂フィルムは、必要に応じて前記保護フィルムを樹脂層上に貼り付け、基材フィルム、感光性樹脂組成物又は感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの3層構造としてもよい。
このようにして得られた光導波路形成用樹脂フィルムは、例えばロール状に巻き取ることによって容易に保存することができる。
又はロール状のフィルムを好適なサイズに切り出して、シート状にして保存することもできる。
又はロール状のフィルムを好適なサイズに切り出して、シート状にして保存することもできる。
以下、光導波路形成用樹脂ワニス及び/又は光導波路形成用樹脂フィルムを用いて光導波路を形成するための製造方法について説明する。
本発明の光導波路を製造する方法としては、特に制限はないが、コア部形成用樹脂ワニス及びクラッド層形成用樹脂ワニスを用いてスピンコート法などにより製造する方法、又はコア部形成用樹脂フィルム及びクラッド層形成用樹脂フィルムを用いて積層法により製造する方法などが挙げられる。また、これらの方法を組み合わせて製造することもできる。これらの中では、生産性に優れた光導波路製造プロセスが提供可能という観点から、光導波路形成用樹脂フィルムを用いて積層法により製造する方法が好ましい。
本発明の光導波路を製造する方法としては、特に制限はないが、コア部形成用樹脂ワニス及びクラッド層形成用樹脂ワニスを用いてスピンコート法などにより製造する方法、又はコア部形成用樹脂フィルム及びクラッド層形成用樹脂フィルムを用いて積層法により製造する方法などが挙げられる。また、これらの方法を組み合わせて製造することもできる。これらの中では、生産性に優れた光導波路製造プロセスが提供可能という観点から、光導波路形成用樹脂フィルムを用いて積層法により製造する方法が好ましい。
以下、光導波路形成用樹脂フィルムを下部クラッド層、コア部及び上部クラッド層に用いて光導波路を形成するための製造方法について説明する。
まず、第1の工程として下部クラッド層形成用樹脂フィルムを基板上に積層して下部クラッド層を形成する。
まず、第1の工程として下部クラッド層形成用樹脂フィルムを基板上に積層して下部クラッド層を形成する。
第1の工程における積層方式としては、ロールラミネータ又は平板型ラミネータを用いて加熱しながら圧着することにより積層する方法が挙げられるが、密着性及び追従性の観点から、平板型ラミネータを用いて減圧下で下部クラッド層形成用樹脂フィルムを積層することが好ましい。
なお、本発明において平板型ラミネータとは、積層材料を一対の平板の間に挟み、平板を加圧することにより圧着させるラミネータのことを指し、例えば、真空加圧式ラミネータを好適に用いることができる。
ここでの加熱温度は、40〜130℃であることが好ましく、圧着圧力は、0.1〜1.0MPaであることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。下部クラッド層形成用樹脂フィルムに保護フィルムが存在する場合には、保護フィルムを除去した後に積層する。
なお、真空加圧式ラミネータによる積層の前に、ロールラミネータを用いて、あらかじめ下部クラッド層形成用樹脂フィルムを基板上に仮貼りしておいてもよい。ここで、密着性及び追従性向上の観点から、圧着しながら仮貼りすることが好ましく、圧着する際、ヒートロールを有するラミネータを用いて加熱しながら行ってもよい。
ラミネート温度は、20〜130℃であることが好ましい。20℃以上であると下部クラッド層形成用樹脂フィルムと基板との密着性が向上し、130℃以下であると樹脂層がロールラミネート時に流動しすぎることがなく、必要とする膜厚が得られる。以上の観点から、40〜100℃であることがより好ましい。圧力は0.2〜0.9MPaであることが好ましく、ラミネート速度は0.1〜3m/minであることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
続いて、基材上に積層された下部クラッド層形成用樹脂フィルムを光及び/又は加熱により硬化し、下部クラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムを除去し、下部クラッド層を形成する。
下部クラッド層を形成する際の活性光線の照射量は、0.1〜5J/cm2とすることが好ましく、加熱温度は50〜200℃とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
次いで、第2の工程としてコア部形成用樹脂フィルムを第1の工程と同様な方法で積層する。ここで、コア部形成用樹脂フィルムは下部クラッド層形成用樹脂フィルムより高屈折率であるように設計され、活性光線によりコアパターンを形成し得る感光性樹脂組成物からなることが好ましい。
次に、第3の工程としてコア部を露光し、光導波路のコアパターン(コア部2)を形成する。具体的には、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線が画像状に照射される。また、レーザー直接描画を用いてフォトマスクを通さずに直接活性光線を画像上に照射してもよい。
活性光線の光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプなどの紫外線を有効に放射する公知の光源が挙げられる。また、他にも写真用フラッド電球、太陽ランプなどの可視光を有効に放射するものが挙げられる。
ここでの活性光線の照射量は、0.01〜10J/cm2であることが好ましい。0.01J/cm2以上であると、硬化反応が十分に進行し、後述する現像工程によりコア部2が流失することがなく、10J/cm2以下であると露光量過多によりコア部2が太ることがなく、微細なパターンが形成でき好適である。以上の観点から、0.05〜5J/cm2であることがより好ましく、0.1〜3J/cm2であることが特に好ましい。
なお、露光後に、コア部の解像度及び密着性向上の観点から、露光後加熱を行ってもよい。紫外線照射から露光後加熱までの時間は、10分以内であることが好ましい。10分以内であると紫外線照射により発生した活性種が失活することがない。露光後加熱の温度は40〜160℃であることが好ましく、時間は30秒〜10分であることが好ましい。
露光後、コア部形成用樹脂フィルムの基材フィルムを除去し、アルカリ性水溶液、水系現像液などの前記コア部形成用樹脂フィルムの組成に対応した現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング、ディップ及びパドルなどの公知の方法により現像する。また必要に応じて2種類以上の現像方法を併用してもよい。
上記アルカリ性水溶液の塩基としては、特に制限はないが、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ;リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩などの炭酸アルカリ;リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩;ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩;ホウ砂、メタケイ酸ナトリウム等のナトリウム塩;水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール、1,3−ジアミノプロパノール−2−モルホリン等の有機塩基などが挙げられる。
現像に用いるアルカリ性水溶液のpHは9〜11であることが好ましく、その温度はコア部形成用樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。
また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤などを混入させてもよい。
この中でも、特に炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム水溶液は人体への刺激や環境への負荷が少ないため好ましい。
また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤などを混入させてもよい。
この中でも、特に炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム水溶液は人体への刺激や環境への負荷が少ないため好ましい。
また、必要に応じ、上記アルカリ水溶液には有機溶媒を併用することも可能である。ここでいう有機溶媒とは、アルカリ水溶液と混和可能であれば特に制限はないが、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール;アセトン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなどのケトン;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテルなどが挙げられる。
これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる
これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる
現像後の処理として、必要に応じて水と上記有機溶剤からなる洗浄液を用いて光導波路のコア部を洗浄してもよい。有機溶剤は単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。有機溶剤の濃度は通常、2〜90質量%とすることが好ましく、その温度はコア部形成用樹脂組成物の現像性に合わせて調節される。
現像又は洗浄後の処理として、必要に応じて、60〜250℃程度の加熱又は0.1〜5J/cm2程度の露光を行うことによりコア部をさらに硬化して用いてもよい。
続いて、第4の工程として上部クラッド層形成用樹脂フィルムを第1及び第2の工程と同様の方法で積層して上部クラッド層を形成する。ここで、上部クラッド層形成用樹脂フィルムは、コア部形成用樹脂フィルムよりも低屈折率になるように設計されている。また上部クラッド層の厚みは、コア部の高さより大きくすることが好ましい。
次いで、第1の工程と同様な方法で上部クラッド層形成用樹脂フィルムを光及び/又は熱によって硬化し、上部クラッド層を形成する。
次いで、第1の工程と同様な方法で上部クラッド層形成用樹脂フィルムを光及び/又は熱によって硬化し、上部クラッド層を形成する。
上記クラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムがPETの場合、活性光線の照射量は、0.1〜5J/cm2であることが好ましい。一方、基材フィルムがポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルスルフィド、ポリエーテルスルホン、ポリスルホンなどの場合、PETに比べて紫外線などの短波長の活性光線を通しにくいことから、活性光線の照射量は、0.5〜30J/cm2であることが好ましい。0.5J/cm2以上であると硬化反応が十分に進行し、30J/cm2以下であると光照射の時間が長くかかりすぎることがない。以上の観点から、3〜27J/cm2であることがより好ましく、5〜25J/cm2であることが特に好ましい。
なお、より硬化させるために、両面から同時に活性光線を照射することが可能な両面露光機を使用することができる。
また、加熱をしながら活性光線を照射してもよい。活性光線照射中及び/又は照射後の加熱温度は50〜200℃であることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
上部クラッド層を形成後、必要であれば基材フィルムを除去して、光導波路1を作製することができる。
また、加熱をしながら活性光線を照射してもよい。活性光線照射中及び/又は照射後の加熱温度は50〜200℃であることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
上部クラッド層を形成後、必要であれば基材フィルムを除去して、光導波路1を作製することができる。
以下、本発明の実施例をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に制限されるものではない。
製造例1
[連鎖重合可能な官能基を有しない(メタ)アクリルポリマーP−1の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150質量部及び乳酸メチル30質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌した。
製造例1
[連鎖重合可能な官能基を有しない(メタ)アクリルポリマーP−1の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150質量部及び乳酸メチル30質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌した。
液温を80℃に上昇させ、N−シクロヘキシルマレイミド20質量部、ジシクロペンタニルメタクリレート40質量部、2−エチルヘキシルメタクリレート25質量部、メタクリル酸15質量部及び2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)3質量部を滴下後、80℃で6時間撹拌を続け、(メタ)アクリルポリマーP−1溶液(固形分36質量%)を得た。
[酸価の測定]
P−1の酸価を測定した結果、98mgKOH/gであった。なお、酸価はP−1溶液を中和するのに要した0.1mol/L水酸化カリウム水溶液量から算出した。このとき、指示薬として添加したフェノールフタレインが無色からピンク色に変色した点を中和点とした。
P−1の酸価を測定した結果、98mgKOH/gであった。なお、酸価はP−1溶液を中和するのに要した0.1mol/L水酸化カリウム水溶液量から算出した。このとき、指示薬として添加したフェノールフタレインが無色からピンク色に変色した点を中和点とした。
[重量平均分子量の測定]
P−1の重量平均分子量(標準ポリスチレン換算)をGPC(東ソー株式会社製、商品名SD−8022/DP−8020/RI−8020)を使用して測定した結果、27,000であった。なお、カラムは日立化成工業株式会社製、商品名Gelpack GL−A150−S/GL−A160−Sを使用した。
P−1の重量平均分子量(標準ポリスチレン換算)をGPC(東ソー株式会社製、商品名SD−8022/DP−8020/RI−8020)を使用して測定した結果、27,000であった。なお、カラムは日立化成工業株式会社製、商品名Gelpack GL−A150−S/GL−A160−Sを使用した。
製造例2
[メタクリル基を有する(メタ)アクリルポリマーP−2の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、上記P−1溶液(固形分36質量%)168質量部(固形分60質量部)、ジブチルスズジラウリレート0.03質量部及びp−メトキシフェノール0.1質量部を秤量し、空気を導入しながら撹拌した。
[メタクリル基を有する(メタ)アクリルポリマーP−2の作製]
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、上記P−1溶液(固形分36質量%)168質量部(固形分60質量部)、ジブチルスズジラウリレート0.03質量部及びp−メトキシフェノール0.1質量部を秤量し、空気を導入しながら撹拌した。
液温を60℃に上昇させた後、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート7質量部を30分かけて滴下後、60℃で4時間撹拌を続けて、連鎖重合可能な官能基を有する(メタ)アクリルポリマーP−2溶液(固形分40質量%)を得た。P−2は繰り返し単位として、A−1、A−2及びA−3を含有するものである。
製造例1と同様の方法で、P−2の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ53mgKOH/g、27,000であった。
製造例1と同様の方法で、P−2の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ53mgKOH/g、27,000であった。
製造例3
〔カルボキシル基を有しない(メタ)アクリルポリマーP−3の作製〕
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート120質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌した。
〔カルボキシル基を有しない(メタ)アクリルポリマーP−3の作製〕
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート120質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌した。
液温を90℃に上昇させ、N−シクロヘキシルマレイミド18質量部、ベンジルメタクリレート61質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート55質量部、2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)2質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート80質量部の混合物を3時間かけて滴下後、90℃で3時間撹拌し、さらに120℃で1時間撹拌を続けて、室温まで冷却した。
続いて、ジブチルスズジラウリレート0.03質量部及びp−メトキシフェノール0.1質量部を秤量し、空気を導入しながら撹拌した。液温を60℃に上昇させた後、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート7質量部を30分かけて滴下後、60℃で4時間撹拌を続けて、連鎖重合可能な官能基を有する(メタ)アクリルポリマーP−3溶液(固形分40質量%)を得た。P−3は繰り返し単位として、A−1及びA−2を含有するが、A−3及びA−4を含有しないものである。
製造例1と同様の方法で、P−3の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ0.1mgKOH/g、23,000であった。
製造例1と同様の方法で、P−3の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ0.1mgKOH/g、23,000であった。
実施例1
[コア部形成用樹脂ワニスCO−1の調合]
(A)成分として、前記P−2溶液(固形分40質量%)150質量部(固形分60質量部)、(B)として、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−BPE−6)20質量部、p−クミルフェノキシエチルアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−CMP−1E)20質量部及び(C)として、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステルとオキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルの混合物(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製イルガキュア754)2質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度25℃、回転数400min-1の条件で、6時間撹拌して、コア部形成用樹脂ワニスを調合した。
[コア部形成用樹脂ワニスCO−1の調合]
(A)成分として、前記P−2溶液(固形分40質量%)150質量部(固形分60質量部)、(B)として、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−BPE−6)20質量部、p−クミルフェノキシエチルアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−CMP−1E)20質量部及び(C)として、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステルとオキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルの混合物(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製イルガキュア754)2質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度25℃、回転数400min-1の条件で、6時間撹拌して、コア部形成用樹脂ワニスを調合した。
その後、孔径2μmのポリフロンフィルタ(アドバンテック東洋株式会社製、商品名PF020)及び孔径0.5μmのメンブレンフィルタ(アドバンテック東洋株式会社製、商品名J050A)を用いて、温度25℃、圧力0.4MPaの条件で加圧濾過した。続いて、真空ポンプ及びベルジャーを用いて減圧度50mmHg(約6.7kPa)の条件で15分間減圧脱泡し、コア部形成用樹脂ワニスCO−1を得た。
[コア部形成用樹脂フィルムCOF−1の作製]
上記コア部形成用樹脂ワニスCO−1を、PETフィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A1517、厚み16μm)の非処理面上に塗工機(株式会社ヒラノテクシード製、商品名マルチコーターTM−MC)を用いて塗布し、100℃で20分乾燥し、次いで保護フィルムとして離型PETフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名A31、厚み25μm)を貼付け、コア部形成用樹脂フィルムCOF−1を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が、50μmとなるように、また透過強度測定用フィルムは膜厚が100μmとなるように調節した。
上記コア部形成用樹脂ワニスCO−1を、PETフィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A1517、厚み16μm)の非処理面上に塗工機(株式会社ヒラノテクシード製、商品名マルチコーターTM−MC)を用いて塗布し、100℃で20分乾燥し、次いで保護フィルムとして離型PETフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名A31、厚み25μm)を貼付け、コア部形成用樹脂フィルムCOF−1を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が、50μmとなるように、また透過強度測定用フィルムは膜厚が100μmとなるように調節した。
[クラッド層形成用樹脂ワニスCL−1の調合]
表1に示すように、(A)成分として、前記P−2溶液(固形分40質量%)150質量部(固形分60質量部)、(B)成分として、エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−CHD−4E)20質量部、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−9300S)20質量部及び(C’)重合開始剤として、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア819)1質量部と1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア2959)1質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度25℃、回転数400min-1の条件で、6時間撹拌して、クラッド部形成用樹脂ワニスを調合した。
表1に示すように、(A)成分として、前記P−2溶液(固形分40質量%)150質量部(固形分60質量部)、(B)成分として、エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−CHD−4E)20質量部、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製、商品名A−9300S)20質量部及び(C’)重合開始剤として、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア819)1質量部と1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア2959)1質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度25℃、回転数400min-1の条件で、6時間撹拌して、クラッド部形成用樹脂ワニスを調合した。
その後、孔径2μmのポリフロンフィルタ(アドバンテック東洋株式会社製、商品名PF020)及び孔径0.5μmのメンブレンフィルタ(アドバンテック東洋株式会社製、商品名J050A)を用いて、温度25℃、圧力0.4MPaの条件で加圧濾過した。続いて、真空ポンプ及びベルジャーを用いて減圧度50mmHgの条件で15分間減圧脱泡し、クラッド部形成用樹脂ワニスCL−1を得た。
*1 製造例2で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*2 エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*3 エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*4 ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*5 1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*6 かっこ内の数字は固形分換算配合量を表わす。
*2 エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*3 エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*4 ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*5 1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*6 かっこ内の数字は固形分換算配合量を表わす。
[下部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1の作製]
上記クラッド層形成用樹脂ワニスCL−1を、PETフィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A4100、厚み50μm)の非処理面上に、コア層形成用樹脂フィルムと同様な方法で塗布乾燥し、クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が25μmとなるように調節した。
上記クラッド層形成用樹脂ワニスCL−1を、PETフィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A4100、厚み50μm)の非処理面上に、コア層形成用樹脂フィルムと同様な方法で塗布乾燥し、クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が25μmとなるように調節した。
[上部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−2の作製]
上記クラッド層形成用樹脂ワニスCL−1を、PETフィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A1517、厚み16μm)の非処理面上に、コア層形成用樹脂フィルムと同様な方法で塗布乾燥し、クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−2を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が80μmとなるように調節した。
上記クラッド層形成用樹脂ワニスCL−1を、PETフィルム(東洋紡績株式会社製、商品名A1517、厚み16μm)の非処理面上に、コア層形成用樹脂フィルムと同様な方法で塗布乾燥し、クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−2を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が80μmとなるように調節した。
[透過光強度測定用硬化フィルムの作製]
真空加圧式ラミネータを用い、保護フィルム(A31)を除去した透過強度測定用フィルムCOF−1を2枚張り合わせ、圧力0.5MPa、温度50℃及び加圧時間30秒の条件で積層した。
真空加圧式ラミネータを用い、保護フィルム(A31)を除去した透過強度測定用フィルムCOF−1を2枚張り合わせ、圧力0.5MPa、温度50℃及び加圧時間30秒の条件で積層した。
その後、長さ10cm、幅1cmの短冊状に切削し、両面より紫外線(波長365nm)を2J/cm2照射して硬化した。その後基材フィルム(A1517)を除去した後、120℃で1時間加熱処理することによって、透過強度測定用硬化フィルムを得た。
[光導波路(図1の(d))の作製]
紫外線露光機(大日本スクリーン株式会社製、商品名MAP−1200−L)を用い、下部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1に紫外線(波長365nm)を2J/cm2照射後、基材フィルム(A1517)を除去した。この硬化した下部クラッドフィルムに、ロールラミネータ(日立化成テクノプラント株式会社製、商品名HLM−1500)を用いて、保護フィルム(A31)を除去したコア部形成用樹脂フィルムCOF−1を、圧力0.4MPa、温度80℃及び速度0.4m/minの条件で積層した。
紫外線露光機(大日本スクリーン株式会社製、商品名MAP−1200−L)を用い、下部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1に紫外線(波長365nm)を2J/cm2照射後、基材フィルム(A1517)を除去した。この硬化した下部クラッドフィルムに、ロールラミネータ(日立化成テクノプラント株式会社製、商品名HLM−1500)を用いて、保護フィルム(A31)を除去したコア部形成用樹脂フィルムCOF−1を、圧力0.4MPa、温度80℃及び速度0.4m/minの条件で積層した。
次いで、幅50μmのネガ型フォトマスクを介し、上記紫外線露光機で紫外線(波長365nm)を1.5J/cm2照射し、さらに80℃で5分間露光後加熱を行った。基材フィルム(A1517)を除去し、現像液(1質量%炭酸ナトリウム水溶液)を用い、コア部2を現像した後、20%イソプロピルアルコール水溶液、次いで純水を用いて洗浄し、100℃で1時間加熱乾燥した。
次に、上記真空加圧式ラミネータを用い、保護フィルム(A31)を除去した上部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−2を、コア部2及び下部クラッド層4上に、圧力0.5MPa、温度50℃及び加圧時間30秒の条件で積層した。
紫外線(波長365nm)を2J/cm2照射し、基材フィルム(A1517)を除去した後、120℃で1時間加熱処理することによって、上部クラッド層3を形成し、図1(d)に示す光導波路1を得た。その後、ダイシングソー(株式会社ディスコ製、商品名DAD−341)を用いて導波路長10cmの光導波路を切り出した。
[白色LED光の透過強度測定]
得られた透過強度測定用サンプルの端面より白色LED光(電流出力15mA)を入射し、入射部から光が漏れ出さないよう、黒い布で覆った。もう片方の端面より透過光を出し、出てきた光を分光器(大塚電子製、商品名発光測定装置MCPD−3000)にて検出した。この560nm付近に観測される透過強度ピークと、450nm付近に観測される透過強度ピークから、透過強度比を算出したところ、1:1.77であった。
得られた透過強度測定用サンプルの端面より白色LED光(電流出力15mA)を入射し、入射部から光が漏れ出さないよう、黒い布で覆った。もう片方の端面より透過光を出し、出てきた光を分光器(大塚電子製、商品名発光測定装置MCPD−3000)にて検出した。この560nm付近に観測される透過強度ピークと、450nm付近に観測される透過強度ピークから、透過強度比を算出したところ、1:1.77であった。
[光伝搬損失の測定]
切り出した光導波路の光伝搬損失を、光源に波長850nmの光を中心波長とするVCSEL(EXFO社製、商品名FLS−300−01−VCL)、受光センサ(株式会社アドバンテスト製、商品名Q82214)、入射ファイバ(GI−50/125マルチモードファイバ、NA=0.20)及び出射ファイバ(SI−114/125、NA=0.22)を用いて測定した結果、0.12dB/cmであった。
切り出した光導波路の光伝搬損失を、光源に波長850nmの光を中心波長とするVCSEL(EXFO社製、商品名FLS−300−01−VCL)、受光センサ(株式会社アドバンテスト製、商品名Q82214)、入射ファイバ(GI−50/125マルチモードファイバ、NA=0.20)及び出射ファイバ(SI−114/125、NA=0.22)を用いて測定した結果、0.12dB/cmであった。
次に、光源を白色LED(横河電機株式会社製、商品名AQ−6303B)、受光センサに損失波長スペクトル測定装置(横河電機株式会社製、商品名AQ−6315A)を用いて、300nm〜1200nmの間でスペクトルの測定を行った。
前で述べたVCSEL光源(850nm)における伝搬損失値を用いてスペクトルの補正を行い、得られた補正スペクトルから、460nmにおける損失値を読み取り、白色LEDにおける光伝搬損失とした。補正スペクトルから得られた伝搬損失量は0.77dB/cmであった。
実施例2〜4及び比較例1〜5
表2に示す配合比に従ってコア部形成用樹脂ワニスCO−2〜9を調合した。以下、実施例1と同様の方法で、コア部形成用樹脂フィルムCOF−2〜9を作製し、光導波路1を作製した。光導波路1の作製に用いたコア部形成用樹脂フィルム及びクラッド層形成用樹脂フィルムの組合せを表3に示す。
また、得られたコア層硬化フィルムの白色LEDの透過光強度の測定結果及び光導波路1の伝搬損失と導波路パターン形状の外観観測結果を表4及び5に示す。
表2に示す配合比に従ってコア部形成用樹脂ワニスCO−2〜9を調合した。以下、実施例1と同様の方法で、コア部形成用樹脂フィルムCOF−2〜9を作製し、光導波路1を作製した。光導波路1の作製に用いたコア部形成用樹脂フィルム及びクラッド層形成用樹脂フィルムの組合せを表3に示す。
また、得られたコア層硬化フィルムの白色LEDの透過光強度の測定結果及び光導波路1の伝搬損失と導波路パターン形状の外観観測結果を表4及び5に示す。
*7 製造例1で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*8 製造例2で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*9 製造例3で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*10 エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*11 p−クミルフェノキシエチルアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*12 オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステルとオキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルの混合物(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*13 オリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノン(日本シイベルヘグナー株式会社製)
*14 1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*8 製造例2で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*9 製造例3で作製した(メタ)アクリルポリマー溶液
*10 エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*11 p−クミルフェノキシエチルアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*12 オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステルとオキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルの混合物(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*13 オリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノン(日本シイベルヘグナー株式会社製)
*14 1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
表4及び5に示されるように、本発明の樹脂組成物及びそれを用いた光導波路は、炭酸ナトリウムを用いた現像プロセスが適用可能で、また光伝搬特性にすぐれ、透過光も光源の光に近く、照明用途に適していることが明らかである。
一方、カルボキシル基を有しないビニル重合体を用いた比較例1では、炭酸ナトリウムを用いて現像できなかった。連鎖重合可能な官能基を有しないビニル重合体を用いた比較例2ではコア材料が不透明であった。
一方、カルボキシル基を有しないビニル重合体を用いた比較例1では、炭酸ナトリウムを用いて現像できなかった。連鎖重合可能な官能基を有しないビニル重合体を用いた比較例2ではコア材料が不透明であった。
また、光開始剤の配合量が少ない比較例4では、十分な光硬化ができず、現像ができなかった。
また、光開始剤の配合量が多い比較例5やイルガキュア2959を光開始剤に用いた場合(比較例3)では、開始剤に起因する着色により、伝搬損失が大きく、また透過された光は、元の光源の光よりも黄色く、照明用途として不適であった。
また、光開始剤の配合量が多い比較例5やイルガキュア2959を光開始剤に用いた場合(比較例3)では、開始剤に起因する着色により、伝搬損失が大きく、また透過された光は、元の光源の光よりも黄色く、照明用途として不適であった。
上記に示すように、本発明によれば、可視光領域において良好な伝搬損失を有する感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物及びこれらを用いた光導波路を提供することが可能となる。
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ性水溶液に可溶であるため、コアパターンを形成する際に、アルカリ現像が可能であり、作業環境を良好とすることができる上、環境負荷を低減することができる。また、可視光領域において良好な伝搬損失を有するため、光導波路などの用途として最適である。さらに、本発明の感光性樹脂フィルムによれば、高い生産性で光導波路を製造することができる。
1 光導波路
2 コア部
3 上部クラッド層
4 下部クラッド層
5 保護フィルム(基板)
2 コア部
3 上部クラッド層
4 下部クラッド層
5 保護フィルム(基板)
Claims (14)
- (A)連鎖重合可能な官能基を1分子中に少なくとも1つ有するビニル重合体、(B)重合性化合物及び(C)重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、(C)成分が、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル、オキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ{2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]}プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも1種であり、(B)成分が、下記一般式(5)〜(8)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種であり、
Y2は、以下の式で示される2価の基のいずれかである。
(C)成分の含有量が、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.5〜5.0質量部である感光性樹脂組成物。 - (C)成分が、オキシフェニル酢酸2−[2−オキソ−2−フェニルアセトキシエトキシ]エチルエステル及びオキシフェニル酢酸2−(2−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルを含有する請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- (A)成分の配合量が(A)成分及び(B)成分の総量に対して、10〜85質量%である請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
- (A)成分が、下記一般式(1)で表される繰り返し単位(A−1)及び下記一般式(2)で表される繰り返し単位(A―2)の少なくとも一方を含み、かつ、下記一般式(3)で表される繰り返し単位(A−3)及び下記一般式(4)で表される繰り返し単位(A−4)の少なくとも一方を含む請求項1〜3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- (A)成分が、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の炭酸塩水溶液に可溶である請求項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- (B)成分が、その分子中に連鎖重合可能な官能基を少なくとも1つ含む化合物である請求項1〜5のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- (B)成分に含まれる連鎖重合可能な官能基が、エチレン性不飽和基である請求項6に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化又は重合して得られる感光性樹脂硬化物。
- 硬化物に白色LED光を照射した際に観測される、560nm付近における透過光強度ピークと450nm付近における透過光強度ピークから求められる透過強度比が、1:1〜1:4である請求項8に記載の感光性樹脂硬化物。
- 基材フィルム、請求項1〜7のいずれかに記載の感光性樹脂組成物若しくは請求項9又は10に記載の感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの3層構造を有する感光性樹脂フィルム。
- 基材フィルム、請求項1〜7のいずれかに記載の感光性樹脂組成物又は請求項8又は9記載の感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの3層構造を有する感光性樹脂フィルム硬化物。
- 下部クラッド層、コア部、上部クラッド層の少なくとも1つが、請求項10に記載の感光性樹脂フィルム又は請求項11記載の感光性樹脂フィルム硬化物を用いて形成された光導波路。
- 少なくともコア部が、請求項10に記載の感光性樹脂フィルム又は請求項11に記載の感光性樹脂フィルム硬化物を用いて形成された請求項12記載の光導波路。
- 460nmにおける光伝搬損失が、1.0dB/cm以下である請求項12又は13に記載の光導波路。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014517087A (ja) * | 2011-04-21 | 2014-07-17 | エルジー・ケム・リミテッド | 高分子およびそれを含む感光性樹脂組成物{polymerandphotosensitiveresincompositioncomprisingthesame} |
WO2015033893A1 (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-12 | 日立化成株式会社 | 曲面形状部材形成用感光性樹脂組成物、及びこれを用いた、曲面形状部材形成用感光性樹脂フィルム、並びにこれらを用いたレンズ部材 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5350055B2 (ja) * | 2009-04-14 | 2013-11-27 | 電気化学工業株式会社 | 接着剤用(メタ)アクリル系樹脂組成物 |
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JP5892066B2 (ja) * | 2010-08-24 | 2016-03-23 | 日立化成株式会社 | 光導波路形成用樹脂組成物、これを用いた光導波路形成用樹脂フィルム、及びこれらを用いた光導波路 |
JP2012053228A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂ワニス、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂硬化物、及び可視光導光路 |
JP2012093708A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-05-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 可視光導光路用感光性樹脂組成物、その硬化物及び可視光導光路 |
JP5771978B2 (ja) * | 2010-12-22 | 2015-09-02 | 日立化成株式会社 | 光導波路形成用樹脂組成物及びこれを用いた光導波路形成用樹脂フィルム、並びにこれらを用いた光導波路 |
EP3054350B1 (en) | 2014-12-10 | 2018-04-11 | Goo Chemical Co., Ltd. | Liquid solder resist composition and coated printed wiring board |
CN108359380B (zh) * | 2018-03-28 | 2020-10-09 | 玉环市粢醍化妆品有限公司 | 一种乳液型汽车上光蜡的制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002020411A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-23 | The Inctec Inc | 紫外線硬化性組成物 |
JP2005259192A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Lintec Corp | 光記録媒体用粘接着シート、光記録媒体用多層構造体及び多層光記録媒体 |
JP2006293329A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-10-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射防止フィルム及びその製造方法、並びにそのような反射防止フィルムを用いた偏光板、及びそのような反射防止フィルム又は偏光板を用いた画像表示装置。 |
WO2007074782A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Mitsui Chemicals, Inc. | アントラキノン誘導体を含む光硬化性樹脂組成物 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0262546A (ja) | 1988-08-30 | 1990-03-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 改良された光学用感光性樹脂組成物 |
JPH1017635A (ja) * | 1996-07-08 | 1998-01-20 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 注型重合用放射線硬化性樹脂組成物 |
JPH1060214A (ja) * | 1996-08-22 | 1998-03-03 | Nippon Oil Co Ltd | カラーフィルター用アクリル樹脂組成物 |
JP4171073B2 (ja) * | 1997-01-30 | 2008-10-22 | チバ ホールディング インコーポレーテッド | 不揮発性フェニルグリオキシル酸エステル |
US20040235992A1 (en) * | 2001-05-30 | 2004-11-25 | Koji Okada | Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist and photosensitive coverlay film produced therefrom |
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CN1301276C (zh) * | 2001-09-25 | 2007-02-21 | 大日本印刷株式会社 | 碱溶性马来酰亚胺类共聚物及包含该共聚物的液晶显示器 |
JP4196562B2 (ja) | 2001-12-26 | 2008-12-17 | Jsr株式会社 | 光導波路形成用放射線硬化性組成物、光導波路ならびに光導波路の製造方法 |
JP2003202669A (ja) | 2002-01-09 | 2003-07-18 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法およびプリント配線板の製造方法 |
BR0309779B1 (pt) * | 2002-04-26 | 2013-06-25 | fotoiniciador incorporável | |
US20050142318A1 (en) * | 2003-12-25 | 2005-06-30 | Lintec Corporation | Pressure sensitive adhesive sheet, a multilayer structured article for photorecording media having the sheet and multilayer photorecording medium having the article |
JP2006063288A (ja) | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Jsr Corp | 感光性樹脂組成物、光導波路およびその製造方法 |
JP2007327979A (ja) | 2004-09-01 | 2007-12-20 | Fujifilm Holdings Corp | パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
CN101592861A (zh) * | 2004-10-07 | 2009-12-02 | 日立化成工业株式会社 | 光学材料用树脂组合物、光学材料用树脂薄膜及使用其的光导 |
EP2392619A1 (en) * | 2004-10-07 | 2011-12-07 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Resin composition for optical material, resin film for optical material, and optical waveguide using same |
WO2006098424A1 (en) | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Fujifilm Corporation | Antireflection film, production method thereof, polarizing plate using the antireflection film and image display device using the antireflection film or polarizing plate |
JP5407102B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2014-02-05 | 荒川化学工業株式会社 | 環状オレフィン系樹脂基材表面保護用の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物 |
EP1963374B1 (en) * | 2005-12-20 | 2010-02-17 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
JP5309992B2 (ja) | 2006-04-25 | 2013-10-09 | Jsr株式会社 | 光導波路形成用ドライフィルム、光導波路およびその製造方法 |
US7747129B2 (en) * | 2006-07-25 | 2010-06-29 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Resin composition for optical materials, resin film for optical material, and optical waveguide |
WO2008099787A1 (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-21 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 光学材料用樹脂組成物、光学材料用樹脂フィルム及びこれらを用いた光導波路 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002020411A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-23 | The Inctec Inc | 紫外線硬化性組成物 |
JP2005259192A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Lintec Corp | 光記録媒体用粘接着シート、光記録媒体用多層構造体及び多層光記録媒体 |
JP2006293329A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-10-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射防止フィルム及びその製造方法、並びにそのような反射防止フィルムを用いた偏光板、及びそのような反射防止フィルム又は偏光板を用いた画像表示装置。 |
WO2007074782A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Mitsui Chemicals, Inc. | アントラキノン誘導体を含む光硬化性樹脂組成物 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014517087A (ja) * | 2011-04-21 | 2014-07-17 | エルジー・ケム・リミテッド | 高分子およびそれを含む感光性樹脂組成物{polymerandphotosensitiveresincompositioncomprisingthesame} |
WO2015033893A1 (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-12 | 日立化成株式会社 | 曲面形状部材形成用感光性樹脂組成物、及びこれを用いた、曲面形状部材形成用感光性樹脂フィルム、並びにこれらを用いたレンズ部材 |
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---|---|
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