JP2014517087A - 高分子およびそれを含む感光性樹脂組成物{polymerandphotosensitiveresincompositioncomprisingthesame} - Google Patents

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Abstract

本発明は、新規な構造の高分子およびそれを含む感光性樹脂組成物に関する。本発明による高分子を含む感光性樹脂組成物は、テーパー角が高く、接着力に優れるという特徴がある。したがって、本発明による高分子を含む感光性樹脂組成物は様々な感光材に適用することができ、特にLCD用のカラーフィルターパターンの製造時に好ましく適用することができる。
【選択図】図1

Description

本出願は2011年4月21日に韓国特許庁に提出された韓国特許出願第10−2011−0037474号の出願日の利益を主張し、その内容の全ては本明細書に含まれる。本発明は、新規な構造の高分子およびそれを含む感光性樹脂組成物に関する。より具体的には、本発明は、感光性樹脂組成物の感光度および現像性を向上させることができる高分子およびそれを含む感光性樹脂組成物に関する。
感光性樹脂組成物は、基板上に塗布されて塗膜を形成し、この塗膜の特定部分にフォトマスクなどを用いて光照射による露光を施した後、非露光部を現像処理して除去することによってパターンを形成するのに用いられることができる。このような感光性樹脂組成物は、光を照射して重合し硬化させることができるため、光硬化性インク、感光性プリント基板、各種フォトレジスト、LCD用のカラーフィルターフォトレジスト、ブラックマトリックス用のフォトレジスト、透明感光材などに用いられている。
当技術分野では、感光度および現像性を向上できるだけでなく、基板との接着力に優れ、様々な感光材に適用することができる感光性樹脂組成物に対する研究が必要である。
本発明は、
1)下記化学式1で表される繰り返し単位と、
2)下記化学式2で表される繰り返し単位と、
3)下記化学式3で表される繰り返し単位と、
4)下記化学式4、化学式5および化学式6で表される繰り返し単位のうち1種以上とを含む高分子を提供する。
前記化学式1〜化学式6において、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R8、R9、R10、R12、R13、R14、R17、R18およびR19は、互いに同一であるかまたは異なり、各々独立して水素またはC〜C12のアルキル基であり、R7は、C〜C18のアルキル基であり、R11は、ジシクロペンタニル基、ジシクロペンテニル基、ジシクロペンテニルオキシエチル基、アダマンチル基またはイソボルニル基である。
また、R15は、ハロゲン、C〜C20のアリール基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C12のアルキル基;C〜Cのアルコキシポリ(n=2〜30)アルキレングリコール基、またはハロゲン、C〜C12のアルキル基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C20のアリール基であり、R16は、ハロゲン、C〜C20のアリール基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C12のアルキル基、C〜C12のアルキルエステル基、またはハロゲン、C〜C12のアルキル基、C〜C20のアリール基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C20のアリール基であり、R20は、ハロゲン、C〜C12のアルキル基、C〜C20のアリール基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C20のアリール基である。
aは10〜60、bは10〜60、cは10〜60、dは0〜90、eは0〜30、およびfは0〜30であり、d、eおよびfのうち少なくとも1つは0超過である。
また、本発明は、前記高分子を含むバインダー樹脂、エチレン性不飽和結合を含む重合性化合物、光開始剤、および溶媒を含む感光性樹脂組成物を提供する。なお、本発明は、前記感光性樹脂組成物を含む感光材を提供する。
本発明の一実施状態による高分子を含む感光性樹脂組成物は、テーパー角が高く、接着力に優れるという特徴がある。したがって、本発明の一実施状態による高分子を含む感光性樹脂組成物は様々な感光材に適用することができ、特にLCD用のカラーフィルターパターンの製造時に好ましく適用することができる。
本発明の実施例1によるフィルムの接着力テストの結果を示す図である。 本発明の実施例2によるフィルムの接着力テストの結果を示す図である。 本発明の実施例3によるフィルムの接着力テストの結果を示す図である。 本発明の実施例4によるフィルムの接着力テストの結果を示す図である。 本発明の比較例1によるフィルムの接着力テストの結果を示す図である。 本発明の比較例2によるフィルムの接着力テストの結果を示す図である。 本発明の実施例1によるフィルムのパターンの形状を示す図である。 本発明の実施例2によるフィルムのパターンの形状を示す図である。 本発明の実施例3によるフィルムのパターンの形状を示す図である。 本発明の実施例4によるフィルムのパターンの形状を示す図である。 本発明の比較例1によるフィルムのパターンの形状を示す図である。 本発明の比較例2によるフィルムのパターンの形状を示す図である。
以下、本発明をより詳細に説明する。最近開発される携帯用LCDディスプレイ製品の場合、画質が重要な特性である。高解像度のディスプレイのためには、カラーフィルターが実現しなければならないパターンのサイズも共に小さくならなければならない。この場合、パターンが脱落し易く、パターン末端の模様に応じて、工程によるCD(critical dimension)偏差が大きくなる。パターン脱落やCD偏差は不良品の生産につながる。
特に、ブラックマトリックスの場合、パターンのテーパーが低ければ1つのパターン内で厚さの差が甚だしくなり、低い厚さではOD(optical density)が小さくなって、光の遮蔽効果が落ちる結果を招く。したがって、高解像度用フォトレジストにおいて、パターンの形態は非常に重要な要素である。
本発明は、感光性樹脂組成物のテーパー角が高く、接着力に優れた高分子およびそれを含む感光性樹脂組成物を提供しようとする。本発明による高分子は、1)前記化学式1で表される繰り返し単位、2)前記化学式2で表される繰り返し単位、3)前記化学式3で表される繰り返し単位、および4)前記化学式4、化学式5および化学式6で表される繰り返し単位のうち1種以上を含む。
本発明による高分子において、前記化学式1〜化学式6の置換基をより具体的に説明すれば下記の通りである。前記ハロゲン基としてはフッ素、塩素、臭素、ヨウ素などが挙げられるが、これらのみに限定されるものではない。前記アルキル基は、直鎖または分枝鎖であってもよく、具体的な例としてはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、t−ブチル基などが挙げられるが、これらのみに限定されるものではない。
前記アルコキシ基の具体的な例としてはメトキシ基、エトキシ基、イソプロピルオキシ基などが挙げられるが、これらのみに限定されるものではない。前記アリール基は、単環式または多環式であってもよく、炭素数は特に限定されないが、6〜20であることが好ましい。単環式アリール基の例としてはフェニル基、ビフェニル基、テルフェニル基、スチルベンなどが挙げられ、多環式アリール基の例としてはナフチル基、アントラセニル基、フェナントレン基、ピレニル基、ペリレニル基、クリセニル基、フルオレン基などが挙げられるが、これらのみに限定されるものではない。
本発明による高分子は下記化学式7で表すことができるが、これのみに限定されるものではない。
前記化学式7において、R1〜R20、およびa〜fは前記化学式1〜化学式6における定義と同様である。
本発明による高分子は、前記化学式1〜6で表される繰り返し単位の構造、比率などを調節することにより、相溶性、耐熱性などの物性を調節することができる。前記高分子の酸価は約30〜300 KOH mg/g範囲であってもよく、約50〜120 KOH mg/g範囲であってもよい。また、前記高分子の重量平均分子量は5,000〜50,000の範囲であってもよく、7,000〜30,000の範囲であってもよい。
本発明による高分子の製造方法は後述する合成例に具体的に記載する。また、本発明による感光性樹脂組成物は、前記高分子を含むバインダー樹脂、エチレン性不飽和結合を含む重合性化合物、光開始剤、および溶媒を含む。本発明による感光性樹脂組成物において、前記バインダー樹脂は、前記高分子を単独で含んでもよく、当技術分野で周知のアルカリ可溶性樹脂をさらに含んでもよい。
本発明による感光性樹脂組成物において、前記バインダー樹脂の含量は、感光性樹脂組成物の総重量を基準に1〜20重量%であることが好ましいが、これのみに限定されるものではない。
本発明による感光性樹脂組成物において、前記エチレン性不飽和結合を含む重合性化合物としてはエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどの多価アルコールをα、β−不飽和カルボン酸でエステル化して得られる化合物;トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルアクリル酸付加物、ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリル酸付加物などのグリシジル基を含有する化合物に(メタ)アクリル酸を付加して得られる化合物;β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのフタル酸ジエステル、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのトルエンジイソシアネート付加物などの水酸基またはエチレン性不飽和結合を有する化合物と多価カルボン酸とのエステル化合物、またはポリイソシアネートとの付加物;およびメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸アルキルエステルからなる群から選択される1種以上を用いることができるが、これらのみに限定されるものではなく、当技術分野で周知のものを用いることもできる。前記エチレン性不飽和結合を含む重合性化合物の含量は、感光性樹脂組成物の総重量を基準に1〜30重量%であることが好ましいが、これのみに限定されるものではない。
本発明による感光性樹脂組成物において、前記光開始剤としては2,4−トリクロロメチル−(4'−メトキシフェニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(4'−メトキシスチリル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(3',4'−ジメトキシフェニル)−6−トリアジン、3−{4−[2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン−6−イル]フェニルチオ}プロパン酸などのトリアジン化合物;2,2'−ビス(2−クロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニルビイミダゾール、2,2'−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニルビイミダゾールなどのビイミダゾール化合物;2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル(2−ヒドロキシ)プロピルケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−1−プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オンなどのアセトフェノン系化合物;ベンゾフェノン、4,4'−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルアミノベンゾフェノン、メチル−o−ベンゾイルベンゾエート、3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、3,3',4,4'−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物;9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノンなどのフルオレノン系化合物;チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロピルオキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン系化合物;キサントン、2−メチルキサントンなどのキサントン系化合物;アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、t−ブチルアントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノンなどのアントラキノン系化合物;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパンなどのアクリジン系化合物;ベンジル、1,7,7−トリメチル−ビシクロ[2,2,1]ヘプタン−2,3−ジオン、9,10−フェナントレンキノンなどのジカルボニル化合物;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキシド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)プロピルホスフィンオキシドなどのホスフィンオキシド系化合物;メチル4−(ジメチルアミノ)ベンゾエート、エチル−4−(ジメチルアミノ)ベンゾエート、2−n−ブトキシエチル4−(ジメチルアミノ)ベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、2,6−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)−4−メチル−シクロヘキサノンなどのアミン系シナジスト;3,3'−カルボニルビニル−7−(ジエチルアミノ)クマリン、3−(2−ベンゾチアゾリル)−7−(ジエチルアミノ)クマリン、3−ベンゾイル−7−(ジエチルアミノ)クマリン、3−ベンゾイル−7−メトキシ−クマリン、10,10'−カルボニルビス[1,1,7,7−テトラメチル−2,3,6,7−テトラヒドロ−1H,5H,11H−Cl]−ベンゾピラノ[6,7,8−ij]−キノリジン−11−オンたなどのクマリン系化合物;4−ジエチルアミノカルコン、4−アジドベンザルアセトフェノンなどのカルコン化合物;2−ベンゾイルメチレン、および3−メチル−β−ナフトチアゾリンからなる群から選択される1種以上を用いることができるが、これらのみに限定されるものではなく、当技術分野で周知の光開始剤を用いることもできる。前記光開始剤の含量は、感光性樹脂組成物の総重量を基準に0.1〜5重量%であることが好ましいが、これのみに限定されるものではない。
本発明による感光性樹脂組成物において、前記溶媒としてはアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、クロロホルム、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン、1,1,1−トリクロロエタン、1,1,2−トリクロロエタン、1,1,2−トリクロロエテン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、プロパノール、ブタノール、t−ブタノール、2−エトキシプロパノール、2−メトキシプロパノール、3−メトキシブタノール、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチル3−エトキシプロピオネート、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、およびブチルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルなどからなる群から選択される1種以上を用いることが好ましいが、これらのみに限定されるものではなく、当技術分野で周知の溶媒を用いることもできる。前記溶媒の含量は、感光性樹脂組成物の総重量を基準に45〜95重量%であることが好ましいが、これのみに限定されるものではない。
また、本発明による感光性樹脂組成物は、用途に応じて、着色剤、硬化促進剤、熱重合抑制剤、界面活性剤、光増感剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤および接着助剤からなる群から選択される1種以上をさらに含むことができる。
前記着色剤としては、1種以上の顔料、染料またはこれらの混合物を用いることができる。具体的に例示すれば、黒色顔料としてはカーボンブラック、黒鉛、チタンブラックなどのような金属酸化物などを用いることができる。カーボンブラックの例としては、シースト5HIISAF−HS、シーストKH、シースト3HHAF−HS、シーストNH、シースト3M、シースト300HAF−LS、シースト116HMMAF−HS、シースト116MAF、シーストFMFEF−HS、シーストSOFEF、シーストVGPF、シーストSVHSRF−HSおよびシーストSSRF(東海カーボン社製);ダイヤグラムブラックII、ダイヤグラムブラックN339、ダイヤグラムブラックSH、ダイヤグラムブラックH、ダイヤグラムLH、ダイヤグラムHA、ダイヤグラムSF、ダイヤグラムN550M、ダイヤグラムM、ダイヤグラムE、ダイヤグラムG、ダイヤグラムR、ダイヤグラムN760M、ダイヤグラムLR、#2700、#2600、#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#900、MCF88、#52、#50、#47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050、MA7、MA77、MA8、MA11、MA100、MA40、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30BおよびOIL31B(三菱化学社製);PRINTEX−U、PRINTEX−V、PRINTEX−140U、PRINTEX−140V、PRINTEX−95、PRINTEX−85、PRINTEX−75、PRINTEX−55、PRINTEX−45、PRINTEX−300、PRINTEX−35、PRINTEX−25、PRINTEX−200、PRINTEX−40、PRINTEX−30、PRINTEX−3、PRINTEX−A、SPECIAL BLACK−550、SPECIAL BLACK−350、SPECIAL BLACK−250、SPECIAL BLACK−100、およびLAMP BLACK−101(デグサ社製);RAVEN−1100ULTRA、RAVEN−1080ULTRA、RAVEN−1060ULTRA、RAVEN−1040、RAVEN−1035、RAVEN−1020、RAVEN−1000、RAVEN−890H、RAVEN−890、RAVEN−880ULTRA、RAVEN−860ULTRA、RAVEN−850、RAVEN−820、RAVEN−790ULTRA、RAVEN−780ULTRA、RAVEN−760ULTRA、RAVEN−520、RAVEN−500、RAVEN−460、RAVEN−450、RAVEN−430ULTRA、RAVEN−420、RAVEN−410、RAVEN−2500ULTRA、RAVEN−2000、RAVEN−1500、RAVEN−1255、RAVEN−1250、RAVEN−1200、RAVEN−1190ULTRA、RAVEN−1170(コロンビア・カーボン社製)またはこれらの混合物などが挙げられる。
また、色を帯びる着色剤の例としてはカーミン6B(C.I.12490)、フタロシアニングリーン(C.I.74260)、フタロシアニンブルー(C.I.74160)、ペリレンブラック(BASF K0084.K0086)、シアニンブラック、リオノールイエロー(C.I.21090)、リオノールイエローGRO(C.I.21090)、ベンジジンイエロー4T−564D、ビクトリアピュアブルー(C.I.42595)、C.I.PIGMENT RED 3、23、97、108、122、139、140、141、142、143、144、149、166、168、175、177、180、185、189、190、192,202,214、215、220、221、224、230、235、242,254、255、260、262,264、272;C.I.PIGMENT GREEN 7、36;C.I.PIGMENT blue 15:1、15:3、15:4、15:6、16、22,28、36、60、64;C.I.PIGMENT yellow 13、14、35、53、83、93、95、110、120、138、139、150、151、154、175、180、181、185、194、213;C.I.PIGMENT VIOLET 15、19、23、29、32,37などが挙げられ、この他に白色顔料、蛍光顔料なども用いることができる。顔料として用いられるフタロシアニン系錯化合物としては、銅の他に亜鉛を中心金属とする物質も使用可能である。
前記硬化促進剤としては、例えば、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−4,6−ジメチルアミノピリジン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(2−メルカプトアセテート)、ペンタエリスリトールトリス(2−メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(2−メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールエタントリス(2−メルカプトアセテート)、およびトリメチロールエタントリス(3−メルカプトプロピオネート)からなる群から選択される1種以上を含むことができるが、これらのみに限定されるものではなく、当技術分野で一般的に周知のものを含むことができる。
前記熱重合抑制剤としては、例えば、p−アニソール、ヒドロキノン、ピロカテコール(pyrocatechol)、t−ブチルカテコール(t−butyl catechol)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミンアンモニウム塩、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩およびフェノチアジン(phenothiazine)からなる群から選択される1種以上を含むことができるが、これらのみに限定されるものではなく、当技術分野で一般的に周知のものを含むことができる。
前記界面活性剤、光増感剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤なども、従来の感光性樹脂組成物に含まれてもよい全ての化合物が用いられることができる。前記着色剤の含量は、感光性樹脂組成物の総重量を基準に1〜20重量%であることが好ましく、その他の残りの添加剤の含量は、各々独立に感光性樹脂組成物の総重量を基準に0.01〜5重量%であることが好ましいが、これのみに限定されるものではない。
一方、本発明による感光性樹脂組成物は、ロールコータ(roll coater)、カーテンコータ(curtain coater)、スピンコータ(spin coater)、スロットダイコータ、各種印刷、沈積などに用いられ、金属、紙、ガラスプラスチック基板などの支持体上に適用されることができる。また、フィルムなどの支持体上に塗布した後にその他の支持体上に転写するか、第1の支持体に塗布した後にブランケットなどに転写、再び第2の支持体に転写することも可能であり、その適用方法は特に限定されない。
本発明による感光性樹脂組成物を硬化させるための光源としては、例えば、波長が250〜450nmの光を発散する水銀蒸気アーク(arc)、炭素アーク、Xeアークなどが挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。本発明による高分子を含む感光性樹脂組成物は、感光度および現像性に優れるだけでなく、テーパー角が高く、接着力に優れるという特徴がある。したがって、本発明による高分子を含む感光性樹脂組成物は様々な感光材に適用することができ、特にLCD用のカラーフィルターパターンの製造時に好ましく適用することができる。
また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を含む感光材を提供する。本発明による感光性樹脂組成物は、TFT LCDカラーフィルター製造用の顔料分散型感光材、TFT LCDあるいは有機発光ダイオードのブラックマトリックス形成用感光材、オーバーコート層形成用感光材、カラムスペーサー感光材に用いられることが好ましいが、光硬化性塗料、光硬化性インク、光硬化性接着剤、プリント基板、プリント配線板用の感光材、その他の透明感光材、およびPDPの製造などにも用いることができ、その用途に特に制限はない。
以下、本発明の理解を助けるために好ましい実施例を提示する。但し、下記の実施例は本発明を例示するためのものであって、これによって本発明の範囲が限定されるものではない。
<実施例>
<合成例1>
ベンジルメタクリレート18g、N−フェニルマレイミド3g、スチレン2g、メタクリル酸7g、n−デシルメタクリレート9g、1−アダマンチルメタクリレート10g、連鎖移動剤として3−メルカプトプロピオン酸0.3g、溶媒として酢酸3−メトキシエステル137gを機械攪拌器(mechanical stirrer)で、窒素雰囲気下で30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を70℃に上げ、混合物の温度が70℃になった時、熱重合開始剤としてAIBN 1.3gを入れて15時間攪拌した(Mw:19,000g/mol、Av:100mgKOH/g)。
<合成例2>
ベンジルメタクリレート18g、N−フェニルマレイミド3g、スチレン2g、メタクリル酸7g、n−オクチルメタクリレート9g、ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート10g、連鎖移動剤として3−メルカプトプロピオン酸0.3g、溶媒として酢酸3−メトキシエステル137gを機械攪拌器(mechanical stirrer)で、窒素雰囲気下で30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を70℃に上げ、混合物の温度が70℃になった時、熱重合開始剤としてAIBN 1.3gを入れて15時間攪拌した(Mw:21,000g/mol、Av:100mgKOH/g)。
<合成例3>
ベンジルメタクリレート18g、N−フェニルマレイミド3g、メチルスチレン2g、アクリル酸7g、n−ラウリルメタクリレート9g、アダマンチルメタクリレート10g、連鎖移動剤として3−メルカプトプロピオン酸0.3g、溶媒として酢酸3−メトキシエステル137gを機械攪拌器(mechanical stirrer)で、窒素雰囲気下で30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を70℃に上げ、混合物の温度が70℃になった時、熱重合開始剤としてAIBN 1.3gを入れて15時間攪拌した(Mw:21,000g/mol、Av:100mgKOH/g)。
<合成例4>
ベンジルメタクリレート18g、N−フェニルマレイミド3g、メチルスチレン2g、アクリル酸7g、n−ラウリルメタクリレート9g、ジシクロペンテニルメタクリレート10g、連鎖移動剤として3−メルカプトプロピオン酸0.3g、溶媒として酢酸3−メトキシエステル137gを機械攪拌器(mechanical stirrer)で、窒素雰囲気下で30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を70℃に上げ、混合物の温度が70℃になった時、熱重合開始剤としてAIBN 1.3gを入れて15時間攪拌した(Mw:21,000g/mol、Av:100mgKOH/g)。
<比較合成例1>
ベンジルメタクリレート28g、N−フェニルマレイミド5g、スチレン3g、メタクリル酸7g、連鎖移動剤として3−メルカプトプロピオン酸0.3g、溶媒として酢酸3−メトキシエステル137gを機械攪拌器(mechanical stirrer)で、窒素雰囲気下で30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を70℃に上げ、混合物の温度が70℃になった時、熱重合開始剤としてAIBN 1.3gを入れて15時間攪拌した(Mw:15,000g/mol、Av:100mgKOH/g)。
<比較合成例2>
ベンジルメタクリレート31g、メタクリル酸18g、連鎖移動剤として3−メルカプトプロピオン酸0.3g、溶媒として酢酸3−メトキシエステル137gを機械攪拌器(mechanical stirrer)で、窒素雰囲気下で30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を70℃に上げ、混合物の温度が70℃になった時、熱重合開始剤としてAIBN 1.3gを入れて15時間攪拌した。前記高分子を重合した反応器の温度を80℃に上げ、テトラブチルアンモニウムブロミド0.1gと熱重合禁止剤としてMEHQ 0.05gを入れて30分間攪拌した後、高分子溶液に10gのグリシジルメタクリレートを入れ、120℃で12時間さらに攪拌して、所望の樹脂の合成を完結した(Mw:17,000g/mol、Av:70mgKOH/g)。
<実施例1>
バインダー樹脂の特性評価のために、ブラックマトリックス(Black matrix)用のミルベース53重量部、バインダーとして合成例1のアクリル系樹脂3重量部、重合性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート3重量部、光重合開始剤として総1重量部および有機溶媒としてPGMEA 40重量部を、シェーカーを利用して3時間混合させた。
<実施例2>
実施例1において、バインダーとして、合成例1のアクリル系樹脂の代わりに合成例2のアクリル系樹脂を用いたことを除いては、同様に実施した。
<実施例3>
実施例1において、バインダーとして、合成例1のアクリル系樹脂の代わりに合成例3のアクリル系樹脂を用いたことを除いては、同様に実施した。
<実施例4>
実施例1において、バインダーとして、合成例1のアクリル系樹脂の代わりに合成例4のアクリル系樹脂を用いたことを除いては、同様に実施した。
<比較例1>
バインダー樹脂の特性評価のために、ブラックマトリックス(Black matrix)用のミルベース53重量部、バインダーとして比較合成例1のアクリル系樹脂3重量部、重合性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート3重量部、光重合開始剤として総1重量部および有機溶媒としてPGMEA 40重量部を、シェーカーを利用して3時間混合させた。
<比較例2>
比較例1において、バインダーとして、比較合成例1のアクリル系樹脂の代わりに比較合成例2のアクリル系樹脂を用いたことを除いては、同様に実施した。
<実験例>
1)PCT接着力
ガラス(glass)上にフォトレジストをコーティング、VCD、プリベーク(prebake)、露光、ポストベーク(postbake)通じてブラックマトリックスフィルムを製造した。製作されたフィルムをHASTEST PC−IIIに入れ、120℃、100%の湿度、2気圧の圧力下で8時間処理した後、テープ剥離テスト(フィルムに格子模様のスクラッチを作った後、24mmのニチバンテープを貼り付けてから一定角度で剥離する)を通じて、高温多湿な環境におけるフィルムの接着力を確認した。前記接着力テストの結果を下記図1〜6に示す。前記実験を通じて、実施例1〜4の方が比較例1〜2の方より高温多湿な環境における接着力が遥かに優れるということを確認することができる。
2)パターン形態−テーパー角
ガラス(glass)上にフォトレジストをコーティング、VCD、プリベーク、露光を行った後、現像時間を異ならせてパターンを形成し、ポストベークを通じてブラックマトリックスパターンを製造した。このパターンの形状を、SEMを利用して測定し、その結果を下記図7〜12に示す。
実施例1〜4はパターンの形状が優れるものであったが、比較例1は55秒後にパターンが脱落し、比較例2は50秒後にパターンが脱落するという問題点があった。前記結果により、本発明による高分子を含む感光性樹脂組成物を用いる場合、現像マージンが広くなり、直立形態のパターンが作られることを確認することができる。

Claims (10)

  1. 1)下記化学式1で表される繰り返し単位と、
    2)下記化学式2で表される繰り返し単位と、
    3)下記化学式3で表される繰り返し単位と、
    4)下記化学式4、化学式5および化学式6で表される繰り返し単位のうち1種以上と、
    を含む高分子。
    前記化学式1〜化学式6において、
    R1、R2、R3、R4、R5、R6、R8、R9、R10、R12、R13、R14、R17、R18およびR19は、互いに同一であるかまたは異なり、各々独立して水素またはC〜C12のアルキル基であり、
    R7は、C〜C18のアルキル基であり、
    R11は、ジシクロペンタニル基、ジシクロペンテニル基、ジシクロペンテニルオキシエチル基、アダマンチル基またはイソボルニル基であり、
    R15は、ハロゲン、C〜C20のアリール基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C12のアルキル基;C〜Cのアルコキシポリ(n=2〜30)アルキレングリコール基;またはハロゲン、C〜C12のアルキル基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C20のアリール基であり、
    R16は、ハロゲン、C〜C20のアリール基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C12のアルキル基;C〜C12のアルキルエステル基;またはハロゲン、C〜C12のアルキル基、C〜C20のアリール基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C20のアリール基であり、
    R20は、ハロゲン、C〜C12のアルキル基、C〜C20のアリール基またはC〜C12のアルコキシ基で置換もしくは非置換されたC〜C20のアリール基であり、
    aは10〜60、bは10〜60、cは10〜60、dは0〜90、eは0〜30、およびfは0〜30であり、d、eおよびfのうち少なくとも1つは0超過である。
  2. 前記高分子は、下記化学式7で表されることを特徴とする、請求項1に記載の高分子。
    前記化学式7において、R1〜R20、およびa〜fは、前記化学式1〜化学式6における定義と同様である。
  3. 前記高分子の酸価は、30〜300 KOH mg/g範囲であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の高分子。
  4. 前記高分子の重量平均分子量は、5,000〜50,000の範囲であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の高分子。
  5. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の高分子を含むバインダー樹脂、エチレン性不飽和結合を含む重合性化合物、光開始剤、および溶媒を含む感光性樹脂組成物。
  6. 前記バインダー樹脂の含量は、感光性樹脂組成物の総重量を基準に1〜20重量%であることを特徴とする、請求項5に記載の感光性樹脂組成物。
  7. 前記感光性樹脂組成物の総重量を基準に、前記エチレン性不飽和結合を含む重合性化合物の含量は1〜30重量%、前記光開始剤の含量は0.1〜5重量%、および前記溶媒の含量は45〜95重量%であることを特徴とする、請求項5又は6に記載の感光性樹脂組成物。
  8. 前記感光性樹脂組成物は、着色剤、硬化促進剤、熱重合抑制剤、界面活性剤、光増感剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤および接着助剤からなる群から選択される1種以上をさらに含むことを特徴とする、請求項5〜7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  9. 請求項5〜8のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を含む感光材。
  10. 前記感光材は、カラーフィルター製造用の顔料分散型感光材、ブラックマトリックス形成用感光材、オーバーコート層形成用感光材、カラムスペーサー感光材およびプリント配線板用感光材からなる群から選択されることを特徴とする、請求項9に記載の感光材。
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