JP2009503504A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009503504A5
JP2009503504A5 JP2008523933A JP2008523933A JP2009503504A5 JP 2009503504 A5 JP2009503504 A5 JP 2009503504A5 JP 2008523933 A JP2008523933 A JP 2008523933A JP 2008523933 A JP2008523933 A JP 2008523933A JP 2009503504 A5 JP2009503504 A5 JP 2009503504A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass sheet
sheet material
support members
support member
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008523933A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5469340B2 (ja
JP2009503504A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/US2006/027492 external-priority patent/WO2007015772A2/en
Publication of JP2009503504A publication Critical patent/JP2009503504A/ja
Publication of JP2009503504A5 publication Critical patent/JP2009503504A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5469340B2 publication Critical patent/JP5469340B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2008523933A 2005-07-27 2006-07-13 シート状ガラスを測定するための装置及び方法 Expired - Fee Related JP5469340B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US70332305P 2005-07-27 2005-07-27
US60/703,323 2005-07-27
PCT/US2006/027492 WO2007015772A2 (en) 2005-07-27 2006-07-13 Apparatus and method for measuring a glass sheet

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013247179A Division JP5676726B2 (ja) 2005-07-27 2013-11-29 ガラスシートを測定するための装置及び方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009503504A JP2009503504A (ja) 2009-01-29
JP2009503504A5 true JP2009503504A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2009-09-03
JP5469340B2 JP5469340B2 (ja) 2014-04-16

Family

ID=37709041

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008523933A Expired - Fee Related JP5469340B2 (ja) 2005-07-27 2006-07-13 シート状ガラスを測定するための装置及び方法
JP2013247179A Expired - Fee Related JP5676726B2 (ja) 2005-07-27 2013-11-29 ガラスシートを測定するための装置及び方法
JP2014228754A Expired - Fee Related JP6169063B2 (ja) 2005-07-27 2014-11-11 ガラスシートを測定するための方法

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013247179A Expired - Fee Related JP5676726B2 (ja) 2005-07-27 2013-11-29 ガラスシートを測定するための装置及び方法
JP2014228754A Expired - Fee Related JP6169063B2 (ja) 2005-07-27 2014-11-11 ガラスシートを測定するための方法

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP1907791A4 (enrdf_load_stackoverflow)
JP (3) JP5469340B2 (enrdf_load_stackoverflow)
KR (1) KR101294450B1 (enrdf_load_stackoverflow)
CN (1) CN101268356B (enrdf_load_stackoverflow)
TW (1) TWI300838B (enrdf_load_stackoverflow)
WO (1) WO2007015772A2 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5469340B2 (ja) * 2005-07-27 2014-04-16 コーニング インコーポレイテッド シート状ガラスを測定するための装置及び方法
JP5654354B2 (ja) * 2007-11-30 2015-01-14 コーニング インコーポレイテッド 動いている基板の形状変化を検出する方法および装置
CN102721356A (zh) * 2012-06-12 2012-10-10 无锡市麦希恩机械制造有限公司 汽车玻璃天窗检具结构
CN103418644B (zh) * 2013-09-02 2015-02-18 苏州赛斯德工程设备有限公司 一种具有辅助定位治具的折弯机
US9835442B2 (en) 2013-11-25 2017-12-05 Corning Incorporated Methods for determining a shape of a substantially cylindrical specular reflective surface
CN103673915A (zh) * 2013-12-20 2014-03-26 苏州精创光学仪器有限公司 触摸屏保护玻璃翘曲度快速测量装置
CN104006769B (zh) * 2014-05-13 2017-01-18 苏州金牛精密机械有限公司 一种用于检测翘片管平面度的治具
CN104310032A (zh) * 2014-11-03 2015-01-28 苏州精创光学仪器有限公司 玻璃测量系统的输送装置
CN105783794B (zh) * 2016-03-22 2019-03-15 阳谷祥光铜业有限公司 一种平面检测方法及设备
CN105806247A (zh) * 2016-05-23 2016-07-27 南京林业大学 一种木质板材翘曲的在线检测装置和检测方法
CN109737881A (zh) * 2019-03-22 2019-05-10 李兆祥 一种齿轮监测设备
CN112595281B (zh) * 2020-12-31 2022-09-27 域鑫科技（惠州）有限公司 一种工件的面轮廓度快速测量方法及介质

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1277576A (en) * 1968-06-27 1972-06-14 Ernest James Price Conveyors or supports
JPS60146807U (ja) * 1984-03-12 1985-09-30 河口湖精密株式会社 デジタルノギスの防塵構造
JPH057532Y2 (enrdf_load_stackoverflow) * 1986-07-07 1993-02-25
US5291269A (en) * 1991-12-06 1994-03-01 Hughes Aircraft Company Apparatus and method for performing thin film layer thickness metrology on a thin film layer having shape deformations and local slope variations
JPH06331339A (ja) * 1993-05-21 1994-12-02 Hitachi Cable Ltd 薄板の変形測定方法及びその装置
JP2991932B2 (ja) * 1994-07-12 1999-12-20 新日本製鐵株式会社 鋼板の平坦度測定方法
JPH08166226A (ja) * 1994-12-14 1996-06-25 Casio Comput Co Ltd 平面度測定装置およびそれを用いた平面度測定方法
JPH1070179A (ja) * 1996-08-28 1998-03-10 Canon Inc 基板保持装置およびこれを用いた露光装置
JPH11351857A (ja) * 1998-06-08 1999-12-24 Kuroda Precision Ind Ltd 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置
JP2000065506A (ja) * 1998-08-24 2000-03-03 Ngk Insulators Ltd 厚さ測定用治具
US6608689B1 (en) * 1998-08-31 2003-08-19 Therma-Wave, Inc. Combination thin-film stress and thickness measurement device
JP2000314613A (ja) * 1999-05-06 2000-11-14 Kobe Steel Ltd 表面形状測定装置
JP4218916B2 (ja) * 1999-07-27 2009-02-04 フジノン株式会社 被測定体の支持装置の製造方法
ATE401550T1 (de) * 1999-08-31 2008-08-15 Nxp Bv Verfahren und vorrichtung zur bestimmung des verziehens einer halbleiterscheibe
JP2001332609A (ja) * 2000-03-13 2001-11-30 Nikon Corp 基板保持装置及び露光装置
JP2001330430A (ja) * 2000-05-22 2001-11-30 Daido Steel Co Ltd 平面度測定方法および平面度測定装置
US20020036774A1 (en) * 2000-08-08 2002-03-28 Emil Kamieniecki Apparatus and method for handling and testing of wafers
JP2004087593A (ja) * 2002-08-23 2004-03-18 Nikon Corp ステージ装置および露光装置
JP2004303923A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Shimadzu Corp 基板アライメント機構、及びそれを用いた基板検査装置
US7131211B2 (en) * 2003-08-18 2006-11-07 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for measurement of thickness and warpage of substrates
US7225665B2 (en) * 2005-07-27 2007-06-05 Corning Incorporated Process and apparatus for measuring the shape of an article
JP5469340B2 (ja) * 2005-07-27 2014-04-16 コーニング インコーポレイテッド シート状ガラスを測定するための装置及び方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009503504A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2013254938A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2015109460A5 (enrdf_load_stackoverflow)
CN205175359U (zh) 一种离线玻璃基板翘曲检测装置
TW200629014A (en) Lithographic apparatus and method for determining Z position errors/variations and substrate table flatness
RU2014135546A (ru) Датчик, устройство ввода и электронное устройство
CN103091042A (zh) 重心测量装置及重心测量方法
CN101487733A (zh) 电子重量计
TW201409018A (zh) 板狀體之翹曲檢查裝置及其翹曲檢查方法
WO2008063551A3 (en) Gauge to measure distortion in glass sheet
KR20150087648A (ko) 글라스 강도 측정 장치 및 방법
CN103033381B (zh) 一种晶圆传输机械手测试装置
JP2006317437A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2020105538A5 (enrdf_load_stackoverflow)
CN105509660B (zh) 平面度测量方法
CN206666631U (zh) 一种线性蒸发源系统及蒸镀装置
JP2008527328A5 (enrdf_load_stackoverflow)
TWM447589U (zh) 載盤檢測裝置
CN220207676U (zh) 一种用于锂电池弛豫测试的夹具
CN207907808U (zh) 钢管弯曲度测量装置
EP1457828A3 (en) Focus spot monitoring in a lithographic projection apparatus
JP2010185814A (ja) 携帯型硬度測定装置
JP2968956B2 (ja) 厚みおよび／または反り測定装置とその使用方法
JP2014110384A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2012093346A5 (enrdf_load_stackoverflow)